つくばイノベーションアリーナ ナノテクノロジー拠点（TIA-nano)Tsukuba Innovation Arena for Nanotechnology (TIA-nano)

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基礎研究Basic Research

応用研究、開発Applied Research & Development

実証Demonstration

事業化Commercialization

計測技術Instrumentation

宇宙線ミュオンによる非破壊検査NDI by cosmic-ray muon radiography

ＳＯＩ技術による計測技術の革新Innovation of sensing technology with SOI

静電貯蔵リングの応用研究Researches with electrostatic ion storage ring

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熱電ナノ材料のボトムアップ創製Bottom-up synthesis of thermoelectric nanomaterials 世界初High-k/

ダイヤモンドトランジスタ試作Development of the first High-k/diamond transistor

ナノグリーンNano Green

固液界面反応、電池反応のその場追跡法開発Development of in situ characterization of solid/liquid interfacial reaction and battery reaction

全固体電池材料の単結晶薄膜化Growth of single crystal thin film of all solid-state battery materials

新規燃料電池触媒の発見Discovery of a novel catalyst for fuel cells

面内型スピンバルブプロセス開発Developing micro-fabrication processes of lateral spin-valve devices

Lithium air rechargeable batteryリチウム空気二次電池 2

ナノエレクトロニクスNanoelectronics

新構造トランジスタ縦型トンネルFET提案Proposal of a new architechure for vertical tunneling FET

DSAプロセス開発hp15nmパターン形成

Nanofabrication of DSA patterns of 15 nm hp

三次元ナノカーボン配線試作3D nanocarbon interconnection

相変化デバイスTRAM実証Demonstration of TRAM using phase-change materials

EUVマスク欠陥検査装置hp16nm対応 開発Development of EUV mask inspection system for 16 nm hp

スピントロニクス集積回路100万素子超 試作・実証1Mb prototype chip fabrication demonstration using spintronic integrated circuits

Ge nanowire FETsナノワイヤGeトランジスタ 3

Silicon-photonics interposerSi光インターポーザ 4

原子移動型スイッチ試作・実証Fabrication and demonstration of an atom transfer switch device

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セブンイレブン2000店舗実証

圧電MEMSプロセス研究開発

N-MEMSN-Micro Electro Mechanical System

R&D of Piezoelectric MEMS process

超低消費電力無線センサ端末Ultra low power wireless sensor terminal

圧電MEMS量産プロセス確立Mass production process for piezoelectric MEMS

MNOIC量産試作システムMNOIC 8/12 inch MEMS fabrication line

Demonstration of wireless sensor networkin about 2000 7-Eleven convenience stores

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スーパーグロース法発見日本ゼオン

製造プラント建設

カーボンナノチューブCarbon nanotubes (CNT)

ナノ材料安全性評価Nano-Material Safety

Super-growth method was developed

キャパシター開発PJCarbon Nanotube CapacitorDevelopment Project

サンプル供給によるアプリケーション開発

Development of new applications by providing SWCNT composite samples

ナノ材料安全性研究Nano-material safety research

Construction Manufacturing Plant by Zeon Corporation

the large-area continuous SWCNT industrial mass production pilot plant

大面積連続量産実証プラント 7

Basic ResearchApplied Research & Development

Demonstration Commercialization

アレイレーザダイオード

光変調器アレイ

受光器アレイ

光導波路アレイ

アレイレーザダイオード

光変調器アレイ

受光器アレイ

光導波路アレイ

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高耐圧スイッチングデバイス試作（3.3ｋVプレーナMOS構造）

超高耐圧デバイス試作IGBT16kv/PINダイオード13kv

SiC半導体研究開発

パワーエレクロトニクスPower Electronics

R&D for SiC devices

High-voltage switching devices

Ultra-high voltage devices

6“ウェハ製造技術Manufacturing Technology for 6”” SiC wafers

SiCデバイス専用試作ライン構築A manufacturing line for SiC devices

量産レベルの素子作製技術確立mass-pro manufacturing process SiC devices

サンプル供給によるアプリケーション開発Development of innovative power electronics application through trial sample devices

SiC device production-line with 6” wafers in the Matsumoto-Works of Fuji Electric Co., Ltd.

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富士電機6”量産工場建設

SiCデバイス用パッケージ 8Original packages for SiC power devices

TIA-nano の多彩な研究成果︓第１期５年目の到達段階Various achievements of TIA-nano︓Research stage at 5th year

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Litium-Air battery demonstration in dry room

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500mm

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2015/01/28-30nano tech 2015