つくばイノベーションアリーナ ナノテクノロジー拠点(TIA-nano)Tsukuba Innovation Arena for Nanotechnology (TIA-nano)
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基礎研究Basic Research
応用研究、開発Applied Research & Development
実証Demonstration
事業化Commercialization
計測技術Instrumentation
宇宙線ミュオンによる非破壊検査NDI by cosmic-ray muon radiography
SOI技術による計測技術の革新Innovation of sensing technology with SOI
静電貯蔵リングの応用研究Researches with electrostatic ion storage ring
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熱電ナノ材料のボトムアップ創製Bottom-up synthesis of thermoelectric nanomaterials 世界初High-k/
ダイヤモンドトランジスタ試作Development of the first High-k/diamond transistor
ナノグリーンNano Green
固液界面反応、電池反応のその場追跡法開発Development of in situ characterization of solid/liquid interfacial reaction and battery reaction
全固体電池材料の単結晶薄膜化Growth of single crystal thin film of all solid-state battery materials
新規燃料電池触媒の発見Discovery of a novel catalyst for fuel cells
面内型スピンバルブプロセス開発Developing micro-fabrication processes of lateral spin-valve devices
Lithium air rechargeable batteryリチウム空気二次電池 2
ナノエレクトロニクスNanoelectronics
新構造トランジスタ縦型トンネルFET提案Proposal of a new architechure for vertical tunneling FET
DSAプロセス開発hp15nmパターン形成
Nanofabrication of DSA patterns of 15 nm hp
三次元ナノカーボン配線試作3D nanocarbon interconnection
相変化デバイスTRAM実証Demonstration of TRAM using phase-change materials
EUVマスク欠陥検査装置hp16nm対応 開発Development of EUV mask inspection system for 16 nm hp
スピントロニクス集積回路100万素子超 試作・実証1Mb prototype chip fabrication demonstration using spintronic integrated circuits
Ge nanowire FETsナノワイヤGeトランジスタ 3
Silicon-photonics interposerSi光インターポーザ 4
原子移動型スイッチ試作・実証Fabrication and demonstration of an atom transfer switch device
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セブンイレブン2000店舗実証
圧電MEMSプロセス研究開発
N-MEMSN-Micro Electro Mechanical System
R&D of Piezoelectric MEMS process
超低消費電力無線センサ端末Ultra low power wireless sensor terminal
圧電MEMS量産プロセス確立Mass production process for piezoelectric MEMS
MNOIC量産試作システムMNOIC 8/12 inch MEMS fabrication line
Demonstration of wireless sensor networkin about 2000 7-Eleven convenience stores
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スーパーグロース法発見日本ゼオン
製造プラント建設
カーボンナノチューブCarbon nanotubes (CNT)
ナノ材料安全性評価Nano-Material Safety
Super-growth method was developed
キャパシター開発PJCarbon Nanotube CapacitorDevelopment Project
サンプル供給によるアプリケーション開発
Development of new applications by providing SWCNT composite samples
ナノ材料安全性研究Nano-material safety research
Construction Manufacturing Plant by Zeon Corporation
the large-area continuous SWCNT industrial mass production pilot plant
大面積連続量産実証プラント 7
Basic ResearchApplied Research & Development
Demonstration Commercialization
アレイレーザダイオード
光変調器アレイ
受光器アレイ
光導波路アレイ
アレイレーザダイオード
光変調器アレイ
受光器アレイ
光導波路アレイ
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高耐圧スイッチングデバイス試作(3.3kVプレーナMOS構造)
超高耐圧デバイス試作IGBT16kv/PINダイオード13kv
SiC半導体研究開発
パワーエレクロトニクスPower Electronics
R&D for SiC devices
High-voltage switching devices
Ultra-high voltage devices
6“ウェハ製造技術Manufacturing Technology for 6”” SiC wafers
SiCデバイス専用試作ライン構築A manufacturing line for SiC devices
量産レベルの素子作製技術確立mass-pro manufacturing process SiC devices
サンプル供給によるアプリケーション開発Development of innovative power electronics application through trial sample devices
SiC device production-line with 6” wafers in the Matsumoto-Works of Fuji Electric Co., Ltd.
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富士電機6”量産工場建設
SiCデバイス用パッケージ 8Original packages for SiC power devices
TIA-nano の多彩な研究成果︓第1期5年目の到達段階Various achievements of TIA-nano︓Research stage at 5th year
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Litium-Air battery demonstration in dry room
2
500mm
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2015/01/28-30nano tech 2015
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