部品の高精度化に伴う高精度測定や、検査に要する測定時間の短縮、スループットの改善、

複雑形状部品の測定など、あらゆる業界において、測定機器への要求は一層拡大し続けています。

XYZAX AXCEL は、高精度化、高速駆動、温度保証範囲拡大を実現。

さらに、用途に応じて多彩なプローブシステムを選択でき、

あらゆるアプリケーションへの対応が可能です。

東京精密がお送りする新たなるグローバルスタンダード

XYZAX AXCEL が、拡大する多種多様なニーズにお応えします。

高精度、高速、高耐環境性と多彩なプローブシステムを兼ね備えた三次元座標測定機のグローバルスタンダード

Coordinate Measuring Machine60

Coordinate Measuring Machine 61

最大許容長さ測定誤差：E0, MPE (µm)10/15/8 サイズまで

1.8+3L/1000

各軸の駆動部に、新開発の駆動機構を採用し、高速かつ安定した駆動を実現。従来のベルト駆動から、新開発駆動方式に変更することで運動性能が大幅に向上しました。この新開発駆動機構により、駆動速度 64% アップ、加速度 35% アップのハイスピードを実現（当社従来機比）。測定に要するトータル時間を短縮でき、測定効率を大幅に向上します。

Ｘ軸ガイドやＹ軸キャリッジが直接温度変化の影響を受けないよう、新設計のカバーを採用。さらに、温度変化による石定盤の変形を抑える構造も取り入れることで、温度変化による影響を最小限とし、高精度を維持しながら、精度保証温度範囲を 15 ～ 30 ℃*と大幅に拡大しました。この広い精度保証温度範囲により、測定室の温度管理に掛かるコストなどを抑制することが可能です。

*RDS タイプは標準、PH タイプはオプション

クラストップレベルの高精度

新開発駆動機構による驚異のスピード

広い精度保証温度範囲 15～30℃*

XYZAX AXCEL は、新開発の高剛性ブリッジの採用と、Y 軸ガイドを上下左右４方向からエアパッドで支持する新構造により、クラストップレベルの高精度を実現しました。　　　　

駆動速度 最大　 700 mm/sec　　　 　　当社従来比 最大 64 % UP加速度　 最大 2300 mm/sec2　　　　　当社従来比 最大 35 % UP

Coordinate Measuring Machine62

三次元座標測定機の重要な部品であるブリッジの剛性は、測定時の精度に大きく影響を及ぼします。XYZAX AXCEL は、新開発の高剛性ブリッジを採用。特に、Ｘ軸ガイドの構造を全面的に見直すことで、Ｙ方向・ねじれ方向の剛性を格段に高めることに成功しました。この新開発高剛性ブリッジは、XYZAX AXCEL の高精度化を実現した最も大きな要素となっています。

高剛性ブリッジに加え、XYZAX AXCEL はＹ軸ガイドを上下左右４方向からエアパッドで支持する新開発の支持構造を採用しています（特許取得済）。この構造により、ブリッジをＹ方向に移動させた際に生じるピッチング方向・ヨーイング方向の振れを抑制。プローブ先端の振動を低減することで、更なる高精度化を実現しています。

Ｙ方向

従来比3.8倍 剛性UP

ねじれ方向

従来比1.5倍 剛性UP

ピッチング方向の振れを低減 ヨーイング方向の振れを低減

高精度化を実現する要素技術

新開発 高剛性ブリッジ

Ｙ軸４方向エアパッド支持 特許取得済

ザイザックス

ザイザックス

ザイザックスシリーズ

シリーズ

シリーズ

Coordinate Measuring Machine 63

Ｘ軸ガイドおよびＹ軸キャリッジには、新開発のカバーを採用。ガイドやキャリッジを剥き出しにせずカバーで保護することで、温度変化の影響を抑えることができ、XYZAX AXCEL の精度保証温度範囲の拡大を実現しました。また、Ｘ軸ガイドカバーは、Ｘ軸ガイドへの異物の付着を防ぐ役割も担っています。

*RDS タイプ標準。PH タイプは 10/10/6 サイズ以上は標準、それ以外のサイズはオプション

Ｘ軸ガイドカバー Ｙ軸キャリッジカバー

精度保証温度範囲を拡大する要素技術

Ｘ軸ガイドカバー *・Ｙ軸キャリッジカバー

石定盤は熱伝導率が低いため内部に熱が伝わりにくく、周囲の外気の温度が変化すると、定盤の内部が一様な温度となるまでに長時間にわたって温度勾配が生じます。このような温度勾配は、定盤の変形による定盤表面の真直度低下を引き起こし、測定精度の低下を招いてしまいます。XYZAX AXCEL は、Ｙ軸溝構造と定盤の前後部に装着した断熱部材、カバーリングせず熱を放出するＹ軸ガイド構造により、これらの問題を解決しています。

Ｙ軸溝構造モータ等から発生する熱が定盤の測定領域内に流れ込むことを防ぎます。

（特許取得済）

特殊断熱部材定盤前後から出入りする熱を低減し、温度勾配の発生を抑制します。

（特許取得済）

Ｙ軸シャッター構造外気の流入を抑え、内部のスケールへの異物の付着も防止します。

カバーリングせず、熱を放出する Y 軸ガイド

温度変化の影響を抑える定盤構造

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL

Coordinate Measuring Machine64

自動車のアイドリングストップのように、本体待機時に圧縮空気の供給を自動的に停止する Air Saver 機能を搭載。不必要な空気の消費を抑え、節電やランニングコストの削減に貢献します。また、ジョイスティック操作や CNC 測定の開始時に圧縮空気の供給を自動で再開するため、手動で圧縮空気の供給をON/OFF する手間なく操作することができます。

XYZAX AXCEL の床から定盤までの高さは、通常 600 mm（Z600 サイズ） ～ 630 mm（Z800 サイズ・Z1000 サイズ）ですが、特殊架台仕様としてこの高さを変更した機種も個別に検討いたします（例：立ったままでも操作しやすいように架台を高くした、高さ 800 mm 仕様など）。

左右両方の Y 軸ガイドをカバーすることで、ガイド面への塵の付着や、ワーク・治具との接触による傷の発生を防止し、ガイド面を保護することができます。XYZAX AXCEL の広い精度保証温度範囲と相まって耐環境性能を発揮し、現場環境など測定室環境以外での使用に有効なオプションです。

X 軸ガイド下部に、定盤上を照らす LED ライトをオプションで装着可能。ライトが手元やワークの細部を明るく照らし出し、操作性を向上します。

除振台（左）と除振台を覆うアンダーカバー（右）

床から定盤までの高さ800 mm 仕様

節電やランニングコスト抑制に有効な Air Saver 機能（標準）

床からの振動伝達を低減するエア除振台（Z800 以上のサイズ標準 *）

床から定盤までの高さを変更した特殊架台仕様（オプション *）

両 Y 軸ガイドカバー仕様（オプション *）

LEDライト機能（オプション）

パフォーマンスを更に高める機能・オプション

XYZAX AXCEL は、エア除振台装置を搭載可能。床からの振動伝達を低減し、振動による影響を抑えます。また、エア除振台を搭載しても測定機の外形寸法は変わらないため、設置スペースを気にせずご使用いただけます。

* Z600 以下のサイズへの搭載はオプション。また、エア除振台搭載時はアンダーカバーが付属します。

* 本オプションは工場出荷オプションです。

* 本オプションは工場出荷オプションです。

ザイザックス

ザイザックス

ザイザックスシリーズ

シリーズ

シリーズ

Coordinate Measuring Machine 65

非接触測定にも対応可能AXCELシリーズの高精度スキャニング測定モデル

あらゆるワークへの対応を可能にするプローブヘッドRDS-C5（XYZAX AXCEL RDS標準）

RDS-C5は、XYZAX AXCEL RDSが標準搭載する自動首振りプローブヘッドです。水平方向・垂直方向のどちらにも 5° ピッチで ±180° 回転させることができ、5,184 通りの位置決めが可能*。きめ細かなアプローチを行えるため、複雑な形状のワークも測定することができます。*組み合わせるプローブシステムによって、垂直方向の回転角度に安全上の制限が生じる場合があります。

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL

Coordinate Measuring Machine66

RDS

VAST XXT XDT（オプション）

ViSCAN（オプション）

LineScan2

接触センサ 光学非接触センサ

（オプション）

XDT

RDS-C5 プローブヘッドは、用途に応じて様々なプローブの装着が可能。標準付属のスキャニングプローブ VAST XXT TL3 のほか、様々な角度から非接触画像測定を行う画像プローブ ViSCAN、面の広範囲・高速測定が可能なレーザプローブ LineScan2 などをオプションとして搭載でき、幅広い測定のニーズに対応します。

通常の首振りプローブの場合、測定に使用する姿勢一つひとつ、その全てのポジションで校正を行う必要がありますが、RDS-CAA 機能を持つ RDS-C5 は、 指定された 12 ポジションでの自動校正を行うだけで、5,184 ポジションの姿勢全てを校正することなく利用することができます。この RDS-CAA 機能により、校正に要する時間を大幅に短縮することが可能です。

プローブは自動交換が可能（ラック、交換マガジン、プローブソケット等はオプション）

ニーズに応じて様々なプローブを装着

校正時間を大幅に短縮する、RDS-CAA 機能

Coordinate Measuring Machine 67

測定方式 軸方向スタイラス長さ (mm)

横方向スタイラス長さ (mm)

最大スタイラス質量 (g)

最小スタイラスボール径 (mm)

VAST XXT TL3（標準） ポイント/ パッシブスキャニング 30 - 150 最大 65 最大 15

φ0.3VAST XXT TL4（オプション）

ポイント/ パッシブスキャニング 125 - 250 最大 40 最大 10

XDT（オプション） ポイント 30 - 150 最大 65 最大 15

VAST XXT は、RDS ヘッドに装着するパッシブスキャニングプローブです。通常のパッシブスキャニングプローブは、可動範囲内で測定力が大きく変化するため、たわみ補正誤差に不確かさが生じてしまいますが、VAST XXT では、0.01 N ～ 0.13 N*と測定力を非常に低く、かつ僅かな変化量に抑えられます。この低測定力により、最小ボール径φ0.3 mmのスタイラスを使用可能です。また、 可動範囲が ±3 mmと広いため、万が一の衝突時もダメージを最小限に抑えることができます。

* 測定力はスタイラスの長さや角度により変化します。

XDT は、RDS ヘッドに装着するポイント測定用プローブです。VAST XXT TL3 タイプと同様に、±3 mm の広い可動範囲を有し、軸方向に最大 150 mm、横方向に最大 65 mm までの長さのスタイラスを取りつけることができます。スタイラスや各種ジョイント、エクステンションのほか、スタイラス自動交換用の交換皿も VAST XXT TL3と共有可能です。

標準仕様の TL3 タイプのほか、軸方向の最大長さ 250 mm のTL4 タイプをオプションとして選択可能。

スキャニング測定用プローブ

VAST XXT（TL3：標準、TL4：オプション）

ポイント測定用プローブ

XDT（オプション）

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL

Coordinate Measuring Machine68

非接触式画像プローブ

ViSCAN（オプション）

ViSCAN は、RDS ヘッドに取り付ける非接触画像プローブです。RDS ヘッドとの組合せにより、様々な角度から画像測定を行うことができます。接触式プローブと同様に、手動測定、自動測定のどちらにも対応。また、芯出し顕微鏡のようなターゲットモニタによる任意位置でのポイント測定のほか、スキャニング測定を行うことも可能です。

スタイラスが接触できない極小ワークや小さな穴・溝のあるワーク、変形しやすい柔らかいワークや薄いワーク等、接触式では測れない場合に最適です。

分割光・照度の手動設定。自動測定時にも反映

0.16 mm の溝幅測定

円セグメント　多点測定様々な角度からの画像測定が可能

ザイザックス

ザイザックス

ザイザックスシリーズ

シリーズ

シリーズ

Coordinate Measuring Machine 69

非接触式ラインレーザプローブ

LineScan2システム

LineScan2 は RDS ヘッドに取付けるレーザプローブです。半導体レーザを発振させワークの反射光を受光して測定点を大量に取得します。大量の点群データを取得してリバースエンジニアリングを行いたい場合や、面計測による形状測定のリードタイムを大幅に短縮したい場合に有効です。LineScan2 は測定範囲や精度の異なる 4 つのモデルをご用意しており、用途に応じて使い分けることで、様々なワークの非接触測定を実現します。

モデル項目 LineScan 2-8 LineScan 2-25 LineScan 2-50 LineScan 2-100

Z 測定範囲（mm） 8 25 50 100

ワーキングディスタンス（mm） 32 63 94 220

測定幅（測定範囲中心部）（mm） 10 25 50 80

最大取得点数 700,000 点 / 秒 700,000 点 / 秒 256,000 点 / 秒 700,000 点 / 秒

プロービングエラー MPEPF(OT)（µm） 3.3 12 20 50

球形状標準偏差（1σ）（µm） 0.9 4 5 12

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL

Coordinate Measuring Machine70

LineScan2-8 による鏡面ワークの測定例

点群データの自動分割 面を接続し、3D CAD モデル完成分割した点群に形状を貼り付け、面を簡単に生成

金型 CAD モデルと成形品 CAD モデル

修正した金型 CAD モデル成形品の CAD モデルと測定データの誤差

成形品の誤差を金型 CAD モデルに反映

金型 CADモデル　

成形品　　CAD モデル

成形品　　CAD モデル

金型 CADモデル　

LineScan2システムに、精度を大幅アップしたニューモデルが登場金型磨き面など、光沢面の高速・高精度測定に最適

LineScan2と組み合わせ、リバースエンジニアリングや金型修正を強力サポート

ZRE (ZEISS Reverse Engineering)NEW

LineScan2-8LineScan2 システムに、青色半導体レーザを使用した高精度モデルが新登場。測定点の大量取得という LineScan2 の特長に加え、抜群の高精度と光沢面への適応性向上により、金型磨き面など、従来は測定が難しかった強い光沢のある面を、高速かつ高精度に測定することができます。

ZRE は、ワークの測定結果をもとに 3D CAD モデルの作成・修正を行うソフトウェアです。リバースエンジニアリングを直感的に行えるほか、金型の修正を定量化・効率化する革新的な「金型修正機能」を備えています。

成形品の 3D CAD モデルと測定データの誤差を金型 CAD モデルに反映して修正することで、従来は成形品の測定結果をもとに作業者が感覚的に調整していた金型の修正量を定量化。「成形品の測定→金型 CAD モデルの修正→成形品の再製作と測定→金型 CAD モデルの再修正……」というトライアンドエラーを最小限に抑え、金型修正を作業者の経験に頼らず、かつ極めて効率的に行うことができます。

●専門知識不要の直感的なリバースエンジニアリング

●金型CADモデルを定量的に修正できる、革新的な「金型修正機能」

NEW ザイザックス

ザイザックス

ザイザックスシリーズ

シリーズ

シリーズ

Coordinate Measuring Machine 71

*1 E0, MPE、E150, MPE 及び R0, MPL の試験及び評価方法は、JIS B 7440-2: 2013 (ISO 10360-2: 2009) に準拠します。　PFTU, MPE の試験及び評価方法は、JIS B7440-5: 2013 (ISO 10360-5: 2010) に準拠します。　MPETHP の試験及び評価方法は、JIS B7440-4: 2003 (ISO 10360-4: 2000) に準拠します。　上記測定精度は下記仕様で測定した場合の数値です。　・E0, MPE、E150, MPE、 R0, MPL 及び PFTU, MPE…先端 φ5、長さ50 mmスタイラス　・MPETHP…先端 φ3、長さ50 mmスタイラス

*2 測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの開口高さの確認を　お願いいたします。　開口高さは、各測定機の搬入時高さに搬入台などの高さ約 200 mm を加え　た高さが必要です。

型式 XYZAX AXCEL RDS7/5/5 7/7/5 9/6/6 9/10/6 9/15/6 10/10/6 10/12/6 10/15/6 10/10/8 10/12/8 10/15/8

測定範囲X 軸 （mm） 650 850 1000 1000Y 軸 （mm） 500 700 600 1000 1500 1000 1200 1500 1000 1200 1500Z 軸 （mm） 480 600 800

測長方式 リニアスケールシステム最小表示 （µm） 0.01

測定精度 *1RDS-C5+VASTXXT

最大許容長さ測定誤差：E0, MPEE150, MPE

温度条件 A （µm） 1.8 + 3L/10002.3 + 3L/1000

温度条件 C （µm） 1.8 + 4L/10002.3 + 4L/1000

温度条件 E （µm） 1.8 + 5L/10002.3 + 5L/1000

繰り返し範囲の最大許容限界： （µm）R0, MPL1.3

最大許容シングルスタイラス形状誤差： （µm）PFTU, MPE1.8

最大許容スキャニングプロービング誤差： （µm）MPETHP2.9

(T = 75 s)各軸案内方式 エアベアリング

テーブル

材質 はんれい岩使用可能幅（X） （mm） 950 1050 1200 1270使用可能奥行き（Y） （mm） 1400 1600 1500 1900 2400 1900 2100 2400 2000 2200 2500床からの高さ （mm） 600 600 630平面度 JIS 1 級被測定物取付ねじ M10 ねじ穴

被測定物 最大高さ （mm） 670 790 1000最大質量 （kg） 600 800 800 1000 1500 1000 1200 1500 1000 1200 1500

駆動速度

最大加速度 （mm/sec2） 2300

速度可変範囲 （mm/sec） オートモード自動測定

0.01 ～ 700（無段階可変）

（mm/sec） ジョイスティック及びマニュアルモード（自動測定）0 ～ 120（無段階可変）

測定速度 （mm/sec） ジョイスティック及びマニュアルモード（自動測定）0 ～ 5

精度保証環境

環境温度温度条件 A (℃ ) 18 ～ 22温度条件 C (℃ ) 16 ～ 26温度条件 E (℃ ) 15 ～ 30

温度変化

温度条件 A (℃/hour) 1.0 (℃/day) 2.0

温度条件 C (℃/hour) 1.0 (℃/day) 2.0

温度条件 E (℃/hour) 2.0 (℃/day) 5.0

温度勾配温度条件 A (℃/m) 1.0温度条件 C (℃/m) 1.0温度条件 E (℃/m) 1.0

空気源 供給圧力 / 使用圧力 (MPa) 0.49 ～ 0.69 / 0.39空気消費量 (NL/min) 55 85

電源 電圧 (V/%) AC100/110/115/120/125/220/230/240 ±10（工場出荷時に調整、アース接地を要す）

消費電力 (W) 1210 1210 1350 1500

外形寸法・質量本体寸法

幅 （mm） 1462 1716 1866 1930奥行 （mm） 1450 1650 1550 1950 2450 1950 2150 2450 2050 2250 2550高さ （mm） 2339 2578 3015

本体質量 (kg) 1610 1800 2100 2550 3150 2850 3100 3450 3800 4100 4600本体搬入時高さ*2 (mm) 1940 2080 2200

仕 様

三次元座標測定機 XYZAX AXCEL

X Y

奥行き幅

高さ

搬入高さ

Z

外観図

Coordinate Measuring Machine72

XYZAX AXCEL RDS12/15/10 12/20/10 12/25/10

12001500 2000 2500

1000リニアスケールシステム

0.012.2 + 3L/10002.7 + 3L/10002.2 + 4L/10002.7 + 4L/10002.2 + 5L/10002.7 + 5L/1000

2.2

2.5

3.8(T = 75 s)

エアベアリングはんれい岩

14702500 3100 3600

630JIS 1 級

M10 ねじ穴1200

1500 10002300

オートモード自動測定0.01 ～ 700（無段階可変）

ジョイスティック及びマニュアルモード（自動測定）0 ～ 120（無段階可変）

ジョイスティック及びマニュアルモード（自動測定）0 ～ 5

18 ～ 2216 ～ 2615 ～ 30

1.02.01.02.02.05.01.01.01.0

0.49 ～ 0.69 / 0.3990

AC100/110/115/120/125/220/230/240 ±10（工場出荷時に調整、アース接地を要す）

15002180

2550 3150 36503415

5200 6300 76002600

RDS-C5

VAST XXT TL3（標準）

VAST XXT TL4（オプション）

LineScan2（オプション）

ViSCAN（オプション）

プローブソケット（オプション）

専用スタンド + スタイラスマガジン（オプション）

エクステンション（オプション）

各種アダプタ（オプション）

M3スタイラス（オプション）

XDT（オプション）

XYZAX AXCEL RDS プローブ構成MSR +スタイラスマガジン

（オプション）

TL3用交換皿（オプション）

TL4用交換皿（オプション）

XYZAX AXCEL RDS プローブ構成

ザイザックス

ザイザックス

ザイザックスシリーズ

シリーズ

シリーズ

Coordinate Measuring Machine 73