Vi he thong ngay03 - nh nam
Transcript of Vi he thong ngay03 - nh nam
![Page 1: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/1.jpg)
Vi hệ thốngVi hệ thống
1
GV: Nguy ễn Hoàng Nam(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)
18/08/2010
![Page 2: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/2.jpg)
Vi hệ thống
Phân loại theo công nghệ sản xuất
§3 Phân loại và ứng dụng
Vi khối Vi bề mặt Vi khắc
Nguyễn Hoàng Nam2Vi hệ thống
![Page 3: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/3.jpg)
Vi hệ thống
�1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS
�1.3.2 Vi quang hệ thống - MOEMS
Phân loại theo lĩnh vực
Nguyễn Hoàng Nam3Vi hệ thống
�1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic
�1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
![Page 4: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/4.jpg)
Vi hệ thống
�Vi ngắt (micro-switch)
1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS
Nguyễn Hoàng Nam4Vi hệ thống
![Page 5: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/5.jpg)
Vi hệ thống
1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS
�Vi ñộng cơ (micro-motor)
Nguyễn Hoàng Nam5Vi hệ thống
![Page 6: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/6.jpg)
Vi hệ thống
1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)
Nguyễn Hoàng Nam6Vi hệ thống
![Page 7: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/7.jpg)
Vi hệ thống
1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)
Nguyễn Hoàng Nam7Vi hệ thống
![Page 8: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/8.jpg)
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
Nguyễn Hoàng Nam8Vi hệ thống
![Page 9: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/9.jpg)
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi cuộn cảm (micro-inductor)
Nguyễn Hoàng Nam9Vi hệ thống
![Page 10: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/10.jpg)
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi tụ (micro-capacitor)
Kiểu bềmặt treo
Nguyễn Hoàng Nam10Vi hệ thống
Kiểu càirăng lược
![Page 11: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/11.jpg)
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi cộng hưởng (micro-resonator)
ạng
than
hñơ
n
ạngñĩa
Nguyễn Hoàng Nam11Vi hệ thống
Dạ
ng ñơ
Dạ
ngth
anh
ñôi
Dạ
ngDạ
ngLC
![Page 12: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/12.jpg)
Vi hệ thống
1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS
�Vi lọc (micro-filter)
Bộ lọc ñơn Bộ lọc ñôi
Nguyễn Hoàng Nam12Vi hệ thống
![Page 13: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/13.jpg)
Vi hệ thống
1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic
Nguyễn Hoàng Nam13Vi hệ thống
![Page 14: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/14.jpg)
Vi hệ thống
1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Nguyễn Hoàng Nam14Vi hệ thống
![Page 15: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/15.jpg)
Vi hệ thống
1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Nguyễn Hoàng Nam15Vi hệ thống
![Page 16: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/16.jpg)
Vi hệ thống
1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS
Nguyễn Hoàng Nam16Vi hệ thống
![Page 17: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/17.jpg)
Vi hệ thống
Phân loại theo phạm vi ứng dụng
ngàn
hng
hiệ
pxe
Nguyễn Hoàng Nam17Vi hệ thống
Tron
gng
ành
công
nghiệ
hơi
![Page 18: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/18.jpg)
Vi hệ thống
Phân loại theo phạm vi ứng dụng
Nguyễn Hoàng Nam18Vi hệ thống
![Page 19: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/19.jpg)
Vi hệ thống
Phân loại theo phạm vi ứng dụng
Nguyễn Hoàng Nam19Vi hệ thống
![Page 20: Vi he thong ngay03 - nh nam](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022081401/55645de3d8b42a951e8b4c85/html5/thumbnails/20.jpg)
Vi hệ thống
Tổng quát
Nguyễn Hoàng Nam20Vi hệ thống