Vi hệ thốngVi hệ thống

1

GV: Nguy ễn Hoàng Nam(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)

18/08/2010

Vi hệ thống

Phân loại theo công nghệ sản xuất

§3 Phân loại và ứng dụng

Vi khối Vi bề mặt Vi khắc

Nguyễn Hoàng Nam2Vi hệ thống

Vi hệ thống

�1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

�1.3.2 Vi quang hệ thống - MOEMS

Phân loại theo lĩnh vực

Nguyễn Hoàng Nam3Vi hệ thống

�1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

�1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic

�1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Vi hệ thống

�Vi ngắt (micro-switch)

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

Nguyễn Hoàng Nam4Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

�Vi ñộng cơ (micro-motor)

Nguyễn Hoàng Nam5Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)

Nguyễn Hoàng Nam6Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)

Nguyễn Hoàng Nam7Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

Nguyễn Hoàng Nam8Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

�Vi cuộn cảm (micro-inductor)

Nguyễn Hoàng Nam9Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

�Vi tụ (micro-capacitor)

Kiểu bềmặt treo

Nguyễn Hoàng Nam10Vi hệ thống

Kiểu càirăng lược

Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

�Vi cộng hưởng (micro-resonator)

ạng

than

hñơ

n

ạngñĩa

Nguyễn Hoàng Nam11Vi hệ thống

Dạ

ng ñơ

Dạ

ngth

anh

ñôi

Dạ

ngDạ

ngLC

Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

�Vi lọc (micro-filter)

Bộ lọc ñơn Bộ lọc ñôi

Nguyễn Hoàng Nam12Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic

Nguyễn Hoàng Nam13Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Nguyễn Hoàng Nam14Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Nguyễn Hoàng Nam15Vi hệ thống

Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Nguyễn Hoàng Nam16Vi hệ thống

Vi hệ thống

Phân loại theo phạm vi ứng dụng

ngàn

hng

hiệ

pxe

Nguyễn Hoàng Nam17Vi hệ thống

Tron

gng

ành

công

nghiệ

hơi

Vi hệ thống

Phân loại theo phạm vi ứng dụng

Nguyễn Hoàng Nam18Vi hệ thống

Vi hệ thống

Phân loại theo phạm vi ứng dụng

Nguyễn Hoàng Nam19Vi hệ thống

Vi hệ thống

Tổng quát

Nguyễn Hoàng Nam20Vi hệ thống