Elektrokróm rétegek

Kártyás BálintMFA nyári iskola

Puskás Tivadar Távközlési Technikum

Bevezetés

- Mi az elektrokróm effektus?- Reakítv porlasztás - Rétegek minősitése

- Összefoglalás, következtetés

- Chromos (görög) = szín - Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo

…)- Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására- Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép:a. szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók)b. vezető polimerek (polaron képződés)c. fémoxidok

Mi az elektrokróm effektus?

- Kijelzők- Tükrök és üvegek („Smart windows”)

- Autóipar- Optikai szűrők

Alkalmazási területek

Építészeti alkalmazás

Az eszköz keresztmetszeteMo vagy W oxid aktív réteg

Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO3 rétegben

- Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF- Reaktív: oxigén szerepe

- Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság

- Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma

MoO3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás

A rétegleválasztó berendezés

Leválasztott rétegek minősítése

- Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye

- Optikai tulajdonságok (transzmisszió)- Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM,

PL …

Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség

leírása

G=konstansS=aP+b

a=k1G+k2

b=k3G+k4

S=(k1G+k2)P+k3G+k

4

S:[nm/ciklus]

P:[W]

G: % m/m

Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség

leírása

Mérési pontok eloszlása Illesztett függvény

Kiértékelés II. - Transzmisszió

MoO3 rétegek transzmissziós spektrumai-Sávél változása-Sávél felett: reflexió miatti minimumok-maximumok

- Kiértékelt spektrumok- Tiltott sáv függése a leválasztási

paraméterektől

Transzmisszió %(1/d(lnI/I0)Eg)2

Összefoglalás

- Reaktív porlasztással választottam le MoO3 rétegeket

- Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel

- Transzmissziós tulajdonságok mérése

Köszönöm a figyelmet!