Elektro króm rétegek
-
Upload
mariam-britt -
Category
Documents
-
view
41 -
download
3
description
Transcript of Elektro króm rétegek
Elektrokróm rétegek
Kártyás BálintMFA nyári iskola
Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Bevezetés
- Mi az elektrokróm effektus?- Reakítv porlasztás - Rétegek minősitése
- Összefoglalás, következtetés
- Chromos (görög) = szín - Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo
…)- Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására- Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép:a. szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók)b. vezető polimerek (polaron képződés)c. fémoxidok
Mi az elektrokróm effektus?
- Kijelzők- Tükrök és üvegek („Smart windows”)
- Autóipar- Optikai szűrők
Alkalmazási területek
Építészeti alkalmazás
Az eszköz keresztmetszeteMo vagy W oxid aktív réteg
Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO3 rétegben
- Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF- Reaktív: oxigén szerepe
- Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság
- Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma
MoO3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás
A rétegleválasztó berendezés
Leválasztott rétegek minősítése
- Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye
- Optikai tulajdonságok (transzmisszió)- Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM,
PL …
Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség
leírása
G=konstansS=aP+b
a=k1G+k2
b=k3G+k4
S=(k1G+k2)P+k3G+k
4
S:[nm/ciklus]
P:[W]
G: % m/m
Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség
leírása
Mérési pontok eloszlása Illesztett függvény
Kiértékelés II. - Transzmisszió
MoO3 rétegek transzmissziós spektrumai-Sávél változása-Sávél felett: reflexió miatti minimumok-maximumok
- Kiértékelt spektrumok- Tiltott sáv függése a leválasztási
paraméterektől
Transzmisszió %(1/d(lnI/I0)Eg)2
Összefoglalás
- Reaktív porlasztással választottam le MoO3 rétegeket
- Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel
- Transzmissziós tulajdonságok mérése
Köszönöm a figyelmet!