In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle...
-
Upload
truonglien -
Category
Documents
-
view
213 -
download
0
Transcript of In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle...
![Page 1: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/1.jpg)
In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der Leistungselektronik
Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik
Dresden, 22.04.2015 Alexander Klemm
![Page 2: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/2.jpg)
Folie 2
Inhalt
Inhalt
1. Einführung
2. In-Situ Messzelle
3. Experimente
4. Zusammenfassung und Ausblick
![Page 3: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/3.jpg)
Folie 3
1 Einführung
Einführung
• Höhere Betriebstemperaturen, Höhere Zuverlässigkeit in Leistungselektronik
• Halbleitermaterial SiC Top bis zu 500 °C
• (bleifreies) Lot schmilzt bei rund 230 °C
• Neue Die-Attach Technologien /Materialien notwendig
Diffusionslöten
Grundprinzip:
Herausforderung
![Page 4: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/4.jpg)
Folie 4
1 Einführung
Diffusionslöten
•Herausforderung
• Fügepartner so nah aneinander bringen, dass ein hinreichender Querschnitt an intermetallischer Phase unter vertretbaren Bedingungen entstehen kann Zeit, Temperatur
•Bekannteste Ansätze:
a. Dünne galvanische Schichten (SLID) [Bader 1990]
b. Kompositlote [Ehrhardt 2012]
c. Dünne Lotpastenschichten [Khaja 2013]
a.
b.
c.
![Page 5: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/5.jpg)
Folie 5
1 Einführung
Diffusionslöten
Offene Fragen:
• Was passiert während des Lötprozesses?
• Überdruck- vs. Unterdruck?
• Einfluss der Prozessparameter auf finalen Porengehalt?
80 µm
Schablone
40 µm mit
Vakuum-Dampfphase
40 µm
Schablone
120 µm-Schablone
konvektionsgelötet
Quelle: [Khaja 2013]
![Page 6: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/6.jpg)
Folie 6
1 Einführung
Untersuchungsansatz
In-Situ Beobachtung des Lötvorgangs
Charakterisieren
Vergleichen
Erkenntnisse auf Diffusionslöten anwenden
Voraussetzungen:
• Versuchsstand
• Effektive Auswertung der Röntgenvideos
• Experimente
![Page 7: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/7.jpg)
Folie 7
2 In-Situ Messzelle
Pneumatik und Elektronik
• 2 K/s
• Max.-temperatur 250 °C
• Min. Druck -80 kPa (rel.)
• Max. Druck 230 kPa (rel.)
PC
Steuerelektronik
Heizer
Netzteil
p-Sensoren
Pt-Struktur
Ventil
![Page 8: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/8.jpg)
2 In-Situ Messzelle
Mechanischer Aufbau
Nut für O-Ring
Niederhalter
für PT1000
Dämmmaterial Keramikheizer
mit Pt-Struktur
Folie 8
![Page 9: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/9.jpg)
Folie 9
2 In-Situ Messzelle
Mechanischer Aufbau
Pneumatik u. Elektronik integriert
Proportionalventile für p-Regelung
Umschalten zwischen Über- u. Unterdruck
Max. Probengröße 25x30 mm²
Deckel mit Sichtfenster
![Page 10: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/10.jpg)
Folie 10
2 In-Situ Messzelle
Röntgenfilme bisher
• 5 Bilder/s
• 960x768 Pixel
• stark verrauscht
• Mit HyperCam von Monitor abgefilmt 8 bit Farbtiefe
• 1800 Bilder für 6 min Film 1,4 GB komprimiert
![Page 11: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/11.jpg)
Folie 11
2 In-Situ Messzelle
Analyse der Röntgenfilme
• ImageJ-Skript in Python-Skript integriert, parallele Rechnung mehrerer Filme auf Sim.-Rechner (> 12 h pro Film)
![Page 12: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/12.jpg)
Folie 12
2 In-Situ Messzelle
Analyse der Röntgenfilme
Automatische Skalierung mit µScan-Daten (z-Richtung)
I0*exp(µ*x) (1/µ)*log((x)/I0)
Lambert-Beersches Gesetz
![Page 13: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/13.jpg)
Folie 13
2 In-Situ Messzelle
Analyse der Röntgenfilme
Berechnung der 3D-Ebene des Chips
maskieren in Dicken
umrechnen
Ausgleichsebene
![Page 14: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/14.jpg)
Folie 14
2 In-Situ Messzelle
Analyse der Röntgenfilme
• Input:
• Einzelbilder der Videos
• Röntgenbild einer Kalibrierprobe
• Versuchsdaten (.txt)
• Messgrößen:
• Zeitlicher Verlauf von:
• Porengehalt / % der Chipfläche (konstant 73,35 mm²)
• Porenanzahl
• Mittlere Porengröße / mm²
• Neigungswinkel des Chips / ° (Ebenenglg.)
• Summenschwerpunkt aller Poren (rel. zu Chipmittelpunkt)
• Position, Gestalt und Größe aller Poren
• Örtlich verteilte Bedeckungszeit mit Lot Bild
![Page 15: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/15.jpg)
Folie 15
3 Experimente
Forschungsfragen
• Was passiert während des Lötprozesses?
• Unterschiede zwischen Unterdruck und Überdruck?
• Wie bewegen sich Poren? Wie bewegt sich der Chip?
• Wie entwickeln sich Poren?
• Wo entstehen Poren?
• Einfluss Prozessparameter auf finalen Porengehalt?
![Page 16: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/16.jpg)
Folie 16
3 Experimente
Was passiert während des Lötprozesses?
• Zusammenlaufen einzeln gedruckter Lotpastendepots ab 50 °C
• Ausgasen des Lösungsmittels ab 120 °C
• Aufschmelzen
• Heftige Gasbildung, die mit der Zeit langsamer wird
• Schrumpfen der Poren beim Abkühlen (Weil Tpeak>Tschmelz)
• Erstarren (Unterkühlung sichtbar, TErstarrung<Tschmelz)
![Page 17: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/17.jpg)
Folie 17
3 Experimente
Was passiert während des Lötprozesses?
• 10 min bei 240 °C und Normaldruck
• DCB, Cu-Oberfläche, 150 µm Schablone
• SnCu0.7, Typ 6
90 s at 240 °C 190 s at 240 °C 290 s at 240 °C 590 s at 240 °C
240 °C
ϑ
600 s
t
![Page 18: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/18.jpg)
Folie 18
3 Experimente
Was passiert während des Lötprozesses?
Minimum!
![Page 19: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/19.jpg)
Folie 19
3 Experimente
Einfluss von Überdruck
• 10 min bei 240 °C und Überdruck
• DCB, Cu-Oberfläche, 150 µm Schablone
• SnCu0.7, Typ 6
90 s at 240 °C 190 s at 240 °C 290 s at 240 °C 570 s at 240 °C
240 °C
ϑ
600 s
t
p
≈ 2 bar
![Page 20: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/20.jpg)
Folie 20
3 Experimente
Einfluss von Überdruck
Überdruck bremst!
![Page 21: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/21.jpg)
Folie 21
3 Experimente
Einfluss von Unterdruck
• DCB Substrat, Cu-Oberfläche
• SAC305, Typ 3, 150 µm Schablone
• 1 K/s, 90 s Peak bei 240 °C (empfohlen: 30 – 90s)
Beispielfilm ISM4-P8
240 °C
ϑ
90 s
t
p
-30 kPa
30 s
![Page 22: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/22.jpg)
Folie 22
3 Experimente
Einfluss von Unterdruck
• DCB Substrat, Cu-Oberfläche
• SAC305, Typ 3, 150 µm Schablone
• 1 K/s, 90 s Peak bei 240 °C (empfohlen: 30 – 90s)
• Druckunterschied beeinflusst die Reaktion
![Page 23: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/23.jpg)
Folie 23
3 Experimente
Einfluss von Unterdruck
• DCB Substrat, Cu-Oberfläche
• SAC305, Typ 3, 150 µm Schablone
• 1 K/s, 90 s Peak bei 240 °C (empfohlen: 30 – 90s)
• Druckunterschied beeinflusst Porenreduktion
Starke Unterschiede zwischen
einzelnen Proben!
![Page 24: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/24.jpg)
Folie 24
3 Experimente
Unterschiede zwischen Über- und Unterdruck
• Prinzip des kleinsten Zwangs Überdruck hemmt Reaktion des Flussmittels Unterdruck beschleunigt
• Überdruck erhöht Siedetemperatur des Lösungsmittels
• Zu hoher Überdruck stoppt Ausgasen und akkumuliert Poren
100 200 300 400 500 100 200 300 400 500
![Page 25: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/25.jpg)
Folie 25
3 Experimente
Wie bewegen sich Poren?
Beispielfilm 2D
ISM4-P9_overlay
![Page 26: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/26.jpg)
Folie 26
3 Experimente
Bedeckungszeit 90 s @240°C 90 s @240°C, 10 s Vakuum zu Beginn
![Page 27: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/27.jpg)
3 Experimente
Unbedeckte Fläche
• Wesentlicher Lötvorgang scheint schon nach ca. 30 s abgeschlossen
Folie 27
![Page 28: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/28.jpg)
3 Experimente
A. Klemm
Folie 28
Blick in eine Pore von oben
10 min @240 °C
REM-Bilder von oben
DCB-Kupfer
Lot
Intermetallik
![Page 29: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/29.jpg)
Folie 29
3 Experimente
Wie bewegt sich der Chip?
Beispielvideo 3D
ISM4-P8_dreiD
![Page 30: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/30.jpg)
Folie 30
3 Experimente
Beispielvideo mit 10 fps
Beispielvideo 2D
ISM06-01_P1
![Page 31: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/31.jpg)
Folie 31
4 Zusammenfassung und Ausblick
Zusammenfassung
• Jetzt Filmaufnahme mit 10 fps
• Vollständig automatisierte Filmanalyse
• Vertrauenswürdige z-Kalibrierung
• Prinzip des kleinsten Zwangs
• Überdruck verhindert Trocknen vor Aufschmelzen
Konventionelles Löten:
Unterdruck besser für Voidreduktion als Überdruck
Diffusionslöten:
Kombination Über- und Unterdruck sinnvoll
• Es existiert ein Minimum des Porengehaltes
• Jede Lötstelle ist ein Einzelstück!
• Mehr Experimente für umfassendes Verständnis nötig
![Page 32: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/32.jpg)
Folie 32
4 Zusammenfassung und Ausblick
Ausblick
• Kombinierter Lötprozess (Unter- und Überdruck)
• Systematischer Versuchsplan
• Was bestimmt die Porenverteilung?
• Lässt sich das Minimum des Porengehaltes verschieben?
• Lässt sich die niemals benetzte Fläche beeinflussen?
• Theoretisches Verständnis des Verhaltens von Gasblasen in flüssigem Lot:
• Ausgasbedingung einer Gasblase?
• Steigen Gasblasen nach oben, oder bleiben an Substrat haften?
• Wie entsteht Chipneigung durch Gasblasen in Lötstelle?
Simulation und Berechnung
![Page 33: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/33.jpg)
Slide 33
4 Zusammenfassung und Ausblick
Quellen
[Khaja 2013] Khaja A. S., et al. (2013). Optimized Thin-Film Diffusion Soldering for Power-Electronics Production, in Proceedings of International Spring Seminar on Electronics Technology, May 8-12, 2013; Alba Iulia
[Bader 1990] Bader Stefan: Erzeugung thermisch stabiler Mikroverbindungen durch isothermische Erstarrung. Dissertation Technische Universität Stuttgart, 1990
[Ehrhardt 2012] Ehrhardt C., Oppermann H., Lang K.-D. (2012). Transient Liquid Phase Soldering for Lead-Free Joining of Power Electronic Modules in High Temperature Electronics , in Proceedings of International Conference on High Temperature Electronics (HiTEC), May 8-10, 2012, North Albuquerque
![Page 34: In-Situ Röntgenuntersuchungen an Lötstellen der ... · Pt-Struktur Ventil . 2 In-Situ Messzelle Mechanischer Aufbau Nut für O-Ring Niederhalter für PT1000 Dämmmaterial Keramikheizer](https://reader034.fdocument.pub/reader034/viewer/2022050715/5d5e94fd88c993c8718b7731/html5/thumbnails/34.jpg)
Videos auf Youtube:
https://www.youtube.com/channel/UCKuFzZ3gKtmqtjzt0gS6GpA
23.04.2015 - vertraulich Präsentationsname XYZ
Folie 34