光子學測試解決方案 - Chroma ATE此測試運作有很大的彈性。...

Turnkey Test & Automation Solution Provider

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光子學測試解決方案

VCSEL/TO-CAN/CoC/TOSA/BOSA

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Shenzhen

Beijing

Chongqing

XiamenDongguan

Hong Kong

HsinchuKaohsiung

Taoyuan, Taiwan

Singapore, Southeast Asia

Shinyokohama, Japan

Overseas branch offices

Headquarters

Distributors

Ede, The Netherlands

Augsburg, GermanyParis

Roma

Kobenhavn

MadridIrvine, CA Chandler, AZ

Juarez, MX

Foothill Ranch, CAMarlborough, MASanta Clara, CA

SuzhouShanghai

芯片檢測系統激光二極管特性檢測系統

VCSEL芯片點測系統激光二極管老化及可靠度測試系統

TO-Can 外觀檢測系統

TOSA/BOSA溫控系統

芯片封裝

四象限電流源模組致冷晶片溫度控制器

致茂電子成立於 1984年，以自有品牌 "Chroma"行銷全球，為精密電子量

測儀器、自動化測試系統、智能製造系統與全方位 Turnkey測試及自動化

解決方案供應商，主要產品包括 LED 、太陽能、鋰電池、電動車、半導體

/IC、光子學、平面顯示器、視頻與色彩、電力電子、被動元件、電氣安規、

熱電溫控、自動光學檢測、以及智能製造系統等測試解決方案。

光子學測試解決方案主要包含激光二極管的芯片段以及光通訊主動元件的

封裝段。憑藉致茂三十年以上卓越的電力電子與光學量測技術，加上機構

整合以及溫度控制，光學元件可在不同環境溫度下進行燒機老化與特性測

試。


All specifications are subject to change without notice. Please visit our website for the most up to date specifications.


Chroma 7936芯片檢測機為自動化的切割前後晶粒檢測機。使用先進的打光技術，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源

角度、亮度及取像模式，使得 7936可以適用於 LED、激光二極管及影像感測器等產業。

由於使用高速相機以及自行開發之檢測演算法，7936可以在 4.5分鐘內檢測完 2'' LED芯片，換算為單顆處理時間為 35 msec。

7936可配置 2種不同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率；系統搭配的最小解析度為 0.7µm，可檢測約 2µm的瑕疵尺寸；所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅僅是良品 /不良品的結果，這有助於找出一組最佳參數，達到漏判與誤判的平衡點。瑕

疵原始資料亦有幫助於分析瑕疵產生之趨勢，並回饋給製程人員進

行改善。

特點

☑ 最大可檢測 8''芯片 (檢測區域達 10''範圍 )

☑ 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目☑ 瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格☑ 影像辨識成功率高達 98%

☑ 可結合上游測試機晶粒資料，合併後上傳至下一道製程設備☑ 提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料並進行分析☑ 適合 LED、激光二極管及影像感測器等產業

芯片檢測系統

Model 7936

晶粒崩缺汙染

電極線斷電極缺少

光窗刮傷電極刮傷

激光二級管及光敏二極體檢測項目

規格表

Model 7936Suitable Chip and Package TypeApplicable Ring Grip ring holder or wafer holderInspection Area 10" , suit for 6" LED expanding wafer and 8" sawing waferChip Size 125umX125um ~1.2mmX1.2mmChip Height 10um~1.5mmSuitable Package Vertical chip, flip chipInspectionCamera 5M Color Camera X 2Light Source LED co-axis light, ring light, back lightMagnification 2X, 5X objective lens selectableThroughput For LED, 2" wafer in 4.5 minutes at 2 lights

AlgorithmPad defect, mesa defect, chipping defect, double chips andemitting area defect

External InterfaceProvide external algorithm interface to replace or add new inspection algorithm

SystemLoading/ unloading Auto load port X 2Warpage Compensation Software auto focus to overcome wafer warpagePC X1Software FunctionMonitor Real-time wafer map displayImage Storage All/ defect image saving selectableReport Including chip position, defect type, inspection resultsCassette Selection Programmable cassette selection and schedulingFacility RequirementDimension 1200mm x 800 mm x 1550mmWeight 800kgPower AC 220V±10%, 50/60 Hz, 1Φ, 2KWCompressed Air 0.6 MPaOperation Temperature +5˚C ~40 ˚COperation Humidity 20%~65% R.H.

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Chroma 7940芯片檢測機為自動化切割後晶粒檢測機，使用先進的打光技術，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得

7940可以適用於 LED、激光二極管及光敏二極體等產業。

由於使用的高速相機以及自行開發之檢測演算法，Chroma 7940可以在 2.5分鐘內檢測完 6" LED芯片。7940同時也提供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服芯片薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7940可配置兩種不同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率。系統搭配的最小解析度為 0.5um，一般來說，可以檢測1.5um左右的瑕疵尺寸。

系統功能

在擴膜之後，晶粒或芯片可能會產生不規則的排列，7940也提供了搜尋及排列功能以轉正芯片。此外，7940擁有人性化的使用介面可降低學習曲線，所有的必要資訊，如芯片分佈，瑕疵區域，檢測參數及結果，均可清楚地透過 UI呈現。

瑕疵資料分析

所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅只是良品 /不良品的結果。這有助於找出一組最佳參數，達到漏判與誤判的平衡點，瑕疵原始資料亦有幫助於分析瑕疵

產生之趨勢，並回饋給製程人員進行改善。

特點

☑高速檢測架構可於 3分鐘內完成 6吋芯片檢測☑最大可檢測 8" 芯片 (檢測區域達 10" 範圍 )

☑可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目

☑上片後芯片對位機制

☑自動尋邊功能可適用於不同形狀之芯片

☑瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格

☑瑕疵檢出率大於 99%

☑可結合上游測試機晶粒資料，合併後上傳至下一道製程設備

☑提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料並進行分析

☑適合 LED、激光二極管及光敏二極體等產業

芯片檢測系統

Model 7940

詳盡的原始瑕疵檢測資料可供分析


- 切割道異常- 磊晶缺陷- 崩缺- 晶粒殘留

- 切割道缺陷- 晶粒崩缺- 雙晶

- 晶邊崩缺- 失金

- 電極缺陷- 電極殘留- 發光區剝落- 斷線

- 光窗缺陷- 銲墊區缺陷- 外膜缺陷

- 切割不良- 電極凸點

- 切割不良- 電極凸點- 崩缺- 失金

發光二極體正面檢查項目

VCSEL正面瑕疵檢測

發光二極體背面檢查項目

VCSEL背面瑕疵檢測

規格表

Model 7940Suitable Chip and Package TypeApplicable Ring Grip ring or wafer frameInspection Area 8 inchesChip Size 125um x 125um ~ 2.2mm x 2.2mm at 5X magnificationSuitable Package LED vertical chip, flip chip, VCSELInspectionCamera 25M Color Camera x 2Light Source LED co-axis light, ring light, back lightMagnification 2X, 5X objective lens selectableResolution 1.28um/pixel (2X), 0.5um/pixel (5X)Throughput 6" wafer in 3 minutes at 2 lights, 2X magnification

Algorithm- Pad defect, mesa defect, chipping defect, double chips and emitting area defect- Provide algorithm interface to replace or add new inspection algorithm

SystemCassette Load Port Auto load ports x 3Warpage Compensation software auto focus to overcome wafer warpagePC x 1Software FunctionMonitor Real-time wafer map displayImage Storage All/defect image saving selectableReport Including chip position, defect type, inspection resultsCassette Selection Programmable cassette selection and schedulingFacility RequirementDimension (WxDxH) 1950 mm x 1650 mm x 1750 mmWeight 2000 kgPower AC 220V±10%, 50/60 Hz, 1Φ, 3KWCompressed Air 0.6 MPaOperation Temperature +5˚C ~40˚COperation Humidity 20%~60% R.H.

應用範圍

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半高機櫃老化模組

CoC載具

TO-CAN載具

全高機櫃

TO-CAN/CoC 老化測試系統 Model 58603

老化測試、信賴性測試與壽命測試Chroma 58603的高密度、多功能、溫控模組，提供激光二極管老化測試與壽命測試。每個模組可提供高達 128個通道，每個通道可以在各式控制模式下供電流、量測電壓。

自動電流控制模式 (ACC)自動電流控制模式 (Auto Current Control Mode, ACC) ，控制電路提供很穩定的電流給每一個激光二極管。不管待測的激光二極管的電阻、溫度改變，測試期間的供應電流將保持

一定值，電壓值則被記錄下來作為品質的參考參數。

自動功率控制模式 (APC) 在自動功率控制模式 (Auto Power Control Mode, ACC)下，依據外部光二極體 (Photo Diode)PCB板傳送的回饋訊號，控制電路可以自動調整激光二極管的電流，保持固定的回饋訊號強度。這表示測試期間的輸出光強度一直保持在一定值。電壓與電流值則被記錄

下來作為品質的參考參數。

溫度控制

利設計的加熱板 (heat plate)能夠很精確地控制激光二極管抽屜箱的溫度，同時有很好的穩定性與均溫性。與烤箱或溫控腔 (oven or chamber)類型的激光二極管老化系統測試比較，Chroma 的解決方案更加精簡、容易操作，更佳的效能與節省能源 (energy saving)。客戶端的好處是，激光二極管上留下極小痕跡、多樣性運作、以及容易維護。

個別模組操作

各個模組都架設於 19"或 24"積架上形成一系統，每個模組由 3U高度的抽屜外型構成。客戶可以在不同的模組設定不同的溫度，以及不同的開始測試時間與結束測試時間。如

此測試運作有很大的彈性。

保護機制可以關閉個別通道

控制電路同時也設計成激光二極管的保護電路，不會有電流或電壓的突波產生傷害待測

物。電流和電壓的高 /低限制可以觸發關閉個別通道的保護機制。當異常發生時，系統將關閉特定引發異常的通道，其他正常通道可正常運作。除了將保護功能設計在控制電

路內，通道絕緣 (Isolation) 與靜電 (ESD) 保護也在系統設計的考量之中。

通訊中斷恢復後資料自動寫入

老化測試資料儲存在系統的電腦中或選購的遠端伺服器。當系統模組與遠端伺服器通訊

暫時中斷時，資料可暫存於模組中達 6小時以上，通訊恢復連線之後，暫存於模組中的資料可寫入系統連線的電腦中或遠端伺服器內，沒有資料遺失。

特點

☑ 可提供老化測試、信賴性測試與壽命測試☑ 每個系統可提供高達 10個模組測試☑ 支援自動電流控制模式 (ACC) 與自動功率控制模式 (APC)

☑ 個別通道 (Channel) 驅動與量測☑ 每個通道可供應 500 mA 以上的電流☑ 達 120℃ 的精確溫度控制☑ 個別模組 (module)獨立操作


可自由的選定待測物條件一目了然的測試數據簡便的校正設定介面

軟體介面操作容易

體面板提供直覺式的視覺介面，在測試期間簡單地使用滑鼠直接點選想查看的某個模組的某個測試元件，查詢方便。老化測試原始資料儲

存於 Microsoft Excel 相容的檔案中，可做日後進一步分析之用。選購的條碼機系統可以運用在測試管理。

規格表Model 58603ModuleChannel Number up to 128Laser Diode Type TO-46, TO-56, CoC, CoSTest Function ACC, APC (optional)Burn-in Record Time 1 min to 5000 hoursCommunication Port RS232Change Kit DUT carrier boardAuto Current Control ModeCurrent Range 0~500 mA *1

Currnt Setting Resolution 0.02 mACurrent Accuracy 1%+1mACompliant Voltage 4 VVoltage Measurement Range 4 VVoltage Measurement Resolution 200uVVoltage Measurement Accuracy 1%+10mVAuto Power Control Mode (Optional)External PD type Si or InGaAs *2

Wavelength Range 390 to 1700 nmPD Current Stability 1%LD Current Range 0~500 mALD Current Measurement Accuracy 1%+1mALD Compliant Voltage 4 VLD Voltage Measurement Accuracy 1% + 10mVTemperature ControlTemperature Measuring Range 0~150 ℃Temperature Setting Range 40~120 ℃Temperature Setting/Reading Resolution 0.1 ℃Temperature Stability 0.2 ℃Temperature Accuracy 1 ℃Temperature Uniformity ±(1 ℃ + 1.2% ΔT)SystemConfiguration 23" rack, half or full heightNumber of Modules up to 10 (For full height rack)DUTs per system up to 1280 (For full height rack)CommunicationPort Ethernet to serverDimensions(H x W x D)

Half height rack , 3 modules 1600 x 600 x 900 mmFull height rack , 10 modules 2000 x 600 x 900 mm

Weights Half height rack , 3 modules 230kgFull height rack , 10 modules 500kg

Power RequirementsHalf height rack , 3 modules AC 220V±10%, 50/60Hz, 11.4A, 2.5KW Full height rack , 10 modules AC 220V±10%, 50/60Hz, 20A, 4.4KW

Environment Temperature 20~30℃Humidity <80% RH, non-condensing

Note *1 : Can be customized for other specificationsNote *2 : Wavelength dependent, customized PD types upon requestNote *3 : Thermal platform temperature without DUT loading, ΔT =│ambient temperature - setting temperature│

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老化測試

全高機櫃

激光二極管老化及可靠度測試系統

Model 58604老化測試、信賴性測試與壽命測試Chroma 58604的高密度、多功能、溫控模組，提供激光二極管老化測試。每個模組可提供高達 256個 SMU通道，每個通道可以在各式控制模式下供電流、量測電壓。

自動電流控制模式 (ACC)自動電流控制模式 (Auto Current Control Mode, ACC) ，控制電路提供很穩定的電流給每一個激光二極管。不管待測的激光二極管的電阻、溫度改變，測試期間的供應電流將保持一定值，

電壓值則被記錄下來作為品質的參考參數。

自動功率控制模式 (APC)在自動功率控制模式 (Auto Power Control Mode, ACC)下，依據外部光二極體 (Photo Diode)PCB板傳送的回饋訊號，控制電路可以自動調整激光二極管的電流，保持固定的回饋訊號強度。這表示測試期間的輸出光強度一直保持在一定值。電壓與電流值則被記錄下來作

為品質的參考參數。

溫度控制

利設計的加熱板 (heat plate)能夠很精確地控制激光二極管抽屜箱的溫度，同時有很好的穩定性與均溫性。與烤箱或溫控腔 (oven or chamber)類型的激光二極管老化系統測試比較，Chroma 的解決方案更加精簡、容易操作，更佳的效能與節省能源 (energy saving)。客戶端的好處是，激光二極管上留下極小痕跡、多樣性運作、以及容易維護。

個別模組操作

客戶可以在不同的模組設定不同的溫度，以及不同的開始測試時間與結束測試時間。如此測

試運作有很大的彈性。

保護機制可以關閉個別通道

控制電路同時也設計成激光二極管的保護電路，不會有電流或電壓的突波產生傷害待測物。

電流和電壓的高 /低限制可以觸發關閉個別通道的保護機制。當異常發生時，系統將關閉特定引發異常的通道，其他正常通道可正常運作。除了將保護功能設計在控制電路內，通道絕

緣 (Isolation) 與靜電 (ESD) 保護也在系統設計的考量之中。

通訊中斷恢復後資料自動寫入

老化測試資料儲存在系統的電腦中或選購的遠端伺服器。當系統模組與遠端伺服器通訊暫時

中斷時，資料可暫存於模組中達 6小時以上，通訊恢復連線之後，暫存於模組中的資料可寫入系統連線的電腦中或遠端伺服器內，沒有資料遺失。

特點

☑ 可提供信賴性測試與老化測試☑ 支援自動電流控制模式 (ACC) 與自動功率控制模式 (APC)

☑ 個別通道 (Channel) 驅動與量測☑ 每個通道可供應達 500 mA 的電流☑ 達 125℃ 的精確溫度控制☑ 個別模組 (module)獨立操作

CoC載具測試治具


控制面板測試數據分析測試項目

軟體介面操作容易

體面板提供直覺式的視覺介面，在測試期間簡單地使用滑鼠直接點選想查看的某個模組的某個測試元件，查詢方便。燒機測試原始資料儲

存於 Microsoft Excel 相容的檔案中，可做日後進一步分析之用。選購的條碼機系統可以運用在測試管理。

規格表

Model 58604SMU ModuleChannel Number up to 256Laser Diode Type TO-46, TO-56, CoC

Test Function ACC (standard)APC, LIV (optional)

Burn-in Record Time 1 min to 5000 hoursAuto Current Control ModeCurrent Range ±500 mACurrent Accuracy 0.2% F.S.Compliant Voltage ±7 VVoltage Measurement Range ±7 VVoltage Measurement Accuracy 0.2% F.S.Auto Power Control Mode (Optional)External PD type Si or InGaAs *1Wavelength Range 400 ~ 1600 nm *1LD Current Range ±500 mALD Current Measurement Accuracy 0.2% F.S.LD Compliant Voltage ±7VLD Voltage Measurement Accuracy 0.2% F.S.Temperature ControlTemperature Measuring Range Ambient ~ 125 ℃Temperature Setting Range 45~125 ℃Temperature Setting/Reading Resolution 0.1 ℃Temperature Stability *3 1 ℃Temperature Uniformity ±(1 ℃ + 1.2% ΔT) *2SystemCommunicationPort Ethernet to serverDimensions (D x W x H) 1,300 mm x 900 mm x 1,900 mmWeights 500±50 kg

Power Requirements 187 ~ 250 Vac (3 Phase 4 Wire, Δ Connection ) or 323 ~ 437 Vac (3 Phase 5 Wire, Y Connection) / 45 ~ 65 Hz

Environment Temperature 20~30℃Humidity <80% RH, non-condensingCompressed Air 5 kgf/cm3, 30 L/min. ; 0.5 Mpa

Note *1 : Wavelength dependent, customized PD types upon requestNote *2 : Thermal platform temperature without DUT loading, ΔT =│ambient temperature - setting temperature│Note *3 : 1 ℃ = (Max T - Min T) within 48 hrs burn-in time

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激光二極管特性測試機

Model 58620激光二極管為高科技產品，價格不斐，多數使用於光通訊 /醫療 /國防等領域，並與人類社會息息相關。傳統的激光二極管因價格高昂，可靠性要求程度極高，

需要大量的人工與時間來進行光路調整 (Alignment)測試與封裝後的檢測。

致茂 58620為一全新概念機種，專為激光二極管 (Laser Diode)所打造設計，搭配自動化特性檢測 All-In-One設計概念，可供不同的測試項目同時進行檢測；搭配高容量的載具設計，可供多顆激光芯片 (Chip level)進行大量測試；另外藉由光學定位輔助 (AOI)，可提升自動化檢測的速度與可靠性；高穩定性的溫控平台設計，可讓研發人員精確地了解激光二極管特性與溫度的關係。

老化測試系統Model 58603

載具

激光二極管特性測試機Model 58620

共用載具Chroma 58620藉由多年在半導體 IC測試的經驗與技術，發展共用載具與更換治具等概念並應用於激光二極管產業。傳統在激光二極管前段測試過程中，需經過

多次的老化測試 (Burn-In)與特性檢測製程 (Characterization)，在更換載具的過程中常會損壞待測物減低良率，共用載具的好處可讓研發或操作員只需要在第一

次將激光二極管放置於載具中，即可在不接觸待測物之下完成所有必要的檢測，

此設計亦可搭配 Chroma 58601老化測試機。然而，激光二極管的形式 (Form Factor)於各家設計皆有所不同，而 58620更換治具 (Change Kit)的概念可符合世界上大多激光二極管的封裝形式進行修改後即馬上可進行量測，目前可使用的形

式為 Chip on carrier， Chip on sub-mount，Laser-bar等。

特點

☑ 全自動化檢測邊射型激光二極管芯片☑ 高精密及高容量載具設計☑ 自動光纖耦合測試對位設計 (Auto-alignment)

☑ AOI輔助定位，加速測試時間

☑ 共用載具設計可搭配老化測試

☑ 高精密 TEC溫度控制，穩定度達 0.01℃

☑ 搭配 Chroma PXI-Base SMU/Power meter ☑ 軟體分析激光特性：Ith，Rs，Vf，Slope Efficiency，SMSR等

自動載入 /載出位置

友善使用者介面與參數設定


自動對焦系統與光學輔助定位

規格表

Model 58620Device Under TestForm Factor CoC, CoSChannels in Carrier 80 Channels per cycle *1

Current Ranges (Chroma Model 52401)

Current Range (Source & Measurement) ±200nA / 2µA / 20µA / 200µA /2mA / 20mA / 200mA

Current Resolution ±1.6pA/±16pA/±160pA/±1.6nA/±16nA/±160nA/±1.6µA

Current Accuracy (Source & Measurement) I range ≥ 1mA : 0.1% + 0.1% FS ;I range < 1mA : 0.05%+0.2% FS

Voltage RangesCompliance Voltage Range ± 0.5V/1V/2.5V/5V/10V/25VCompliance Voltage Accuracy ≥ 1V: 0.05% + 0.01%FS ; <1V: 0.05% + 0.1%FSVoltage Measurement ± 3.8nV~ ± 25VVoltage Measurement Accuracy 0.05% + 38nV @0.5V to 0.05% + 1.9mV @25VTest ParametersElectrical L-I-V Curves, Ith, Vf, Rs, Linearity (Kink)Spectral Peak wavelength, SMSR, etc.Optical Spectrum Analyzer*(Optional)Wavelength Range 700 nm to 1700 nmResolution Bandwidth < 0.1 nmSMSR Measurement > 40 dBWavelength Accuracy ±0.03 nmTemperature ControlTemperature Range 25 ℃ ~85℃ ; -5℃ ~85℃ (optional)Temperature Accuracy 0.3 ℃Temperature Uniformity ±(0.5℃+1% ∆T) *3Mechanical Speci�cationMotion Stage Travel Distance 400 mmMinima Fine Stage Resolution 20 nmSystem Size (W x D x H) 1000 mm x 1200 mm x 1350 mmSystem Weight 400 ± 20 KgPower Input 220V single phase，50/60 HzWater flow Rate <3~5 lpmOperating Environment Temperature : 20℃ ~25 ℃ ; Humidity : <70%SoftwareOperating System Supported Microsoft Windows® 2000, XP or 7Note *1 : Capacity of carrier depends on the DUT size and form factorNote *2 : Chroma 58620 is compatible with multiple Optical Spectrum Analyzers. Please inquire for further details.Note *3 : ∆T = l Ambient temperature - setting temperature l

自動對焦系統與光學輔助定位

激光二極管有一大部分的應用於光通訊與電信工業的範疇內，如光收發器 (Transceiver)等產品在組裝前若能了解每顆激光二極管的特性或與直接測試光纖的耦合後的特性，能減低產品的失敗率。Chroma 58620 測試系統中含有自動對焦系統 (Auto alignment)，可搭配不同種類的光纖與 Focuser進行激光光最大功率點耦合並測試，當激光光達一定程度的耦合效率時，系統搭配光譜分析儀 (OSA)進行分析了解激光二極管共振膜態，主次模比 (Side Mode Suppression Ration)以及波長分析 (Peek wavelength) 等；此外，利用光學輔助定位的原理 (AOI)使得 Focuser快速達到激光發光區 (Emission Region)並進行搜尋最大發射功率點可加速測試，大幅減低光纖耦合調校時間與測試人力。

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TOSA/BOSA 溫控系統Model 58690/58691

特點

☑ 廣泛的溫度範圍 (-40℃ ~85℃ )

☑ 優良的均溫性 , 確保所有待測物在相同的溫度環境☑ 溫度的穩定度在±0.5℃內☑ 快速的升降溫 , 大幅縮短測試時間☑ 可支援 72* 個待測體同時控溫 , 大幅提高測試產出☑ 為 TOSA/BOSA 在量產測試中提供了 :

-電性測試連接介面

-光纖連接介面

* 視待測物構型而定

TOSA(Transmitter Optical Sub Assembly) 和 BOSA(Bi-directional Optical Sub Assembly)在光通訊與電信工業用於收發模組元件，這樣的元件其特性對環境溫度的變化極為敏感，如 :臨界電流變化、波長變化，故 TOSA和 BOSA在出廠前會需要在不同的環境溫度下作溫度測試。Chroma 58690/58691系列是全新的概念機種，專為 TOSA和 BOSA所打造設計，58690/58691系列結合過去卓越的溫控技術，專為 TOSA和 BOSA設計的溫度控制系統，快速的升降溫、優良的溫度均勻性，在生產上大幅提高測試產出。

優良的均溫性別於以往利用烤箱加熱或是對環境待測物周邊的環境空氣加熱，以達到溫控的效

果，58690/58691系列使用的是接觸式的溫控在設計上加入了溫控平台的設計並搭配 Chroma 54130系列 – 300W 的高精準度 TEC溫度控制器與 51101系列溫度紀錄器，確保載具的溫度特性與均溫性。平台溫度上平均分佈四組溫度感測器加上中

心點的溫度控制器的回覆點使得溫控平台達到良好均溫性，以及極佳的穩定性。

快速度的升降溫TOSA/BOSA 在目前的量產上會需做到三態溫度測試，58690/58691系列搭配Chroma 54130系列高精準度的 TEC溫度控制器，卓越的溫控能力，可在 25分鐘內完成三溫週期 (含熱平衡時間 )，在量產上大幅了提高生產效率。

高精密專利治具設計

致茂提供高精密治具 (Fixture)供不同的 TOSA/BOSA等封裝型態使用，治具包含待測物需要的溫控平台，也專門針對待測物需要的光和電的特性測式，一併設計電

性測試連接端和光纖連接。除了讓使用者方便將待測物放置在溫控系統中，且可

直接和使用端測試系統做連結，根據不同待測物封裝型式，治具設計上也提供不

同的通道數量 , 以 TO-56封裝型式的 TOSA為例，最多可支援 72個通道數，在產線上提高了產量。

軟體介面58690/58691系列搭配Chroma 54100 系列 TEC控制器程序提供了使用者操作介面，可設置和讀取溫度、查看 TEC電流和溫度 VS時間曲線、數據記錄至文件中、溫度循環設定和爬升 /下降控制速度設定等。 PID參數、電流限制和其他重要的設定，可以從工程模式來設定。


快速的升降溫優良的溫控能力

TOSA/BOSA溫控專用治具 (58690) TOSA/BOSA溫控專用治具 (58691) 光通訊元件測試應用

25℃

-40℃

≤ 25min.

85℃

無過充現象

(No overshoot)

規格表

Model 58690 58691Device Under Thermal ControlForm Factor QFSP TOSA Cylindrical TOSA, BOSATemperature Area 440 x 350 (mm) 440 x 350 (mm)DUT Number *1 20 typically 72 typicallyCommunication Port Ethernet EthernetTemperature ControlTemperature Setting Range -40 to 85℃ -40 to 85℃Temperature Setting/Reading Resolution 0.01℃ 0.01℃Temperature Control Stability *2 < ±0.5℃ < ±0.5℃Temperature Uniformity <±(1+1%ΔT) *3 <±(1+1%ΔT) *3

Temperature Cycle *2≦25 minutes typically ≦25 minutes typically

Mechanical Speci�cationsDimension (W x D x H) 700mm x 900mm x 1511mm 700mm x 900mm x 1511mmSystem Weight 220kg 220kgFacilityPower Requirement 220 VAC, 50/60Hz, 2kW 220 VAC, 50/60Hz, 2kWOperation Temperature 10 to 35℃ 10 to 35℃

Dry AirMeets ISO 8573.1:2001 Class 2.1.2Flow Rate ≧50 LPM

Meets ISO 8573.1:2001 Class 2.1.2Flow Rate ≧50 LPM

Note *1 : Dependent on DUT form factor (e.g. 64 channel for TOSA TO-CAN form factor)Note *2 : Under the condition that is without loading and stable thermal loadingNote *3 : ΔT = | ambient temperature – setting temperature |

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Chroma 7925為自動化 TO-Can封裝外觀檢測系統，可提供封裝前後的透鏡與金屬外蓋缺陷進行檢測。透過高解析度之鏡頭以及多樣的光源配置，可檢出

30um以上的透鏡刮傷及異物。使用者可以自由設定良品與不良品之規則及缺陷編碼，並依據編碼進行挑揀。從上片、檢測、挑揀及下片均為全自動化流程，大

幅降低人員操作及製程管理發生錯誤的機會。檢測完成後，工程師可以取得詳細

的缺陷量化數據，以及儲存缺陷影像以利於再判讀。相較於人工目檢無法保留檢

測資料，使用 Chroma 7925所取得之資料，將有助於分析製程問題，並進一步提升產品良率。

特點

☑可檢測金屬外蓋與透鏡之刮傷、破裂、異物及膠合不良等缺陷

☑具備自動對焦功能，可克服載盤製造公差內的高度差異

☑檢測完成後可依設定規格挑揀不良品

☑每小時最高可檢測 3600顆待測物☑自動化上下料盤，減少人員上下料時間

TO-Can 外觀檢測系統Model 7925

TO-Can檢測項目

鏡片破裂金屬外蓋刮傷金屬外蓋錯誤

鍍膜異常鏡片刮傷鏡片污染

規格表

Model 7925Target TO-CAN packageTray Size < 6” (width) X 6” (Length)

Station LayoutOptical side inspector X1Auto cassette X 2Picker X1

Throughput UPH 3600 (depends on the numbers of lighting)Stages X, Y axis motorized stagesAlgorithm Provide enable/ disable function and external algorithm interfaceImage Save All/ defect/ none image selectableMonitor Real-time tray mapReport *.txt, including chip position, defect typeDimension 1500mm x 1200 mm x 1800mm


四象限電流源模組

Model 52400e 系列激光二級管在特性檢測上亟需要高精準低雜訊比的電流 -電壓源，並通常在量產或實驗室中搭配另一組光功率計與 PD進行量測發光功率 (optical power)與 LIV曲線，利用 Chroma 52400 SMU系列雙通道四項限電流電壓源正好可一次解決以上需求並符合激光二級管的需求，以第一通道的當作供給

電流源並量測電壓可測試半導體特性的 I-V曲線 (如圖中黑線 )，以第二通道當作光功率計的負載，便可以依照功率測試出 L-I 曲線 (圖中灰線 )。

Chroma SMU可在卡片內部進行同步 (Synchronization)量測後，得到完整的 LIV曲線，另外閾值電流(Ith)，光電轉換效率 (Iop)，與 Kink 等特徵項目可經由 Chroma軟體進行快速的數值分析後得到。

特點

☑ PXI Express Peripheral Module (x1 PCI Express Link)

☑ 四象限輸出☑ 18-bit 量測解析度 (多重檔位 )

☑ 低雜訊輸出☑ 可編程輸出轉換率及高速量測 (100k s/S)

☑ 可存取之量測記錄檔☑ DIO/觸發位元☑ 硬體序列引擎 -輸出可程式化☑ 可編程阻抗輸出☑ 浮接 & 護衛 (Guarding) 輸出

同步雙通道一般激光器 LIV 曲線

Sync

LED(DUT)

PhotoDiode

SMUCh2

SMUCh1

Current (mA)

Pow

er (m

W) Voltag

e (V)

0 75 150 225 300 375 450 525 600

35

30

25

20

15

10

5

0

1.60

1.20

0.80

0.40

0.00

PowerVoltage

致冷晶片溫度控制器

Model 54130/54180 系列激光二極管依據物理特性會強烈受到外在溫度影響改變光譜與

電性特性，因此在 58620設計上加入了溫控平台的設計並搭配 Chroma 54130 – 300W 的高精準度 TEC溫度控制器與 51101溫度紀錄器，確保載具的溫度特性與均溫性。由系統圖示可看到，

平台溫度上平均分佈四組溫度感測器加上中心點的溫度控制器的

回覆點使得溫控平台達到良好均溫性，以及極佳的穩定性。

特點

☑ 雙向控制與 150W (24V/8A)，300W (24V/13A)， 800W (40V/20A) 功率輸出

☑ 溫度設定範圍從 -70~250℃，溫度解析度達 0.01℃，絕對精度達 0.3℃

☑ 在 PID控制下，短期穩定±0.01℃ (1小時 )，長時間穩定性 ±0.05℃ (24小時 )

☑ 用於 PC 的 RS232、USB 2.0，LAN串行通信端口遠程操作和數據記錄熱

Time

Temp.

25

Stability±0.01℃

54130 系列54180 系列

規格表

Model 54115-24-8 54130-27-12 54180-40-20TEC Output Voltage 24VDC 27VDC 40VDCTEC Output Current 8A 12A 20ATEC Driving Output Power 150W 300W 800WTemperature ControlSetting Temperature Range -49 to 149℃ - 70 to 250℃ *1Setting Temperature Resolution 0.01℃Temperature Control Stability Short Term : ≦0.01℃ ; Long Term : ≦0.05℃Temperature MonitoringMonitoring Temperature Range -49 to 149℃ - 70 to 250℃ *1

Temperature Sensor Type T-type thermocouple Standard : T-typeOptional : K-type

Monitoring Temperature Resolution 0.01℃Monitoring Temperature Relative Accuracy <±0.3℃Monitoring Temperature Absolute Accuracy < ±(0.3+0.002×|T-25|) ℃Note *1 : Platform temperature range is highly relating to the structure and design and will need to apply external elements to reach extreme conditions. To reach below -30 degree, it will need extra coolant. To reach beyond 150 degree, other heating material will need to be considered.

大訊號 PID/AUTO TUNE 控制

Time

Temp.

SV

PID auto tune & optimized(Chroma)PID not optimized(others)

Time

Temp.

SV

PID control chromaConvention on/off control

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光子學測試解決方案 - Chroma ATE此測試運作有很大的彈性。...

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