專題討論

何謂無塵室• 指導老師 : 蕭瑞陽• 班級 : 自控四甲• 姓名 : 吳昇翰 49612068 許學文 49612088

無塵室定義 :可維持空氣中懸浮粒子在特定限制數量以內的房間內

英制 : 1 立方英呎空間內的空氣中含有大於等於 0.5um 的灰塵顆粒數目

ISO : 標準是大於等於 0.5um 的塵埃顆粒在 1 立方公尺內之數目來定義無塵室之等級

無塵室基本要求

無塵室空調需求 條 件溫度 22 ~ 23℃ 部分特定區域之誤差不可插過正負 0.1℃

濕度 相對濕度需控制在 40%~50% 之間 在特定區域內相對濕度不可超過1~2%

塵粒數需在控制範圍 依各個層級之空氣濾清器，及管路壓力、流速來控制塵粒數在控制範圍內

換氣次數 維持室內正壓

24 小時運轉設備元件 熱氣盤管、冷卻盤管、增溼氣、幫埔、風扇、各種閥門、氣管、水

管…等

無塵室種類

氣流方式 設計等級 風口 優點 缺點

垂直式 Class1 ～ 100入風口為天花板出風口為地板

效率高 價格昂貴

水平式Class1

class1000

出入風口皆為牆壁兩端

效率次等 生產線設計需事前規劃完善

亂流式 Class1000~100,000

入風口為天花板出風口為地板角落附近

效果低 過濾空氣較慢灰塵堆積率高

垂直室

水平式

亂流室

無塵室四項原則四原則

不允許 1 過濾器管線不可漏氣2 未經過 AIR SHOWER 不可進入3 壓力不可為負壓4 未清潔物品

不發生 1 無意義的動作2 未穿無塵衣3 使用易生塵物品

不堆積 1 避免產生死角2 管線不外露

必須 1 換氣次數需頻繁2 設計上避免氣流造成灰塵堆積

汙染來源

污染物大於十分之一半導體元件之線寬，就會對產品產生影響

污染物的影響

濾網結構：濾網通常事由直徑極小但粗細不等之玻璃纖維（ Glass Fiber ）任意交錯疊製

濾網原理

補集原理類型 功 能

慣性衝擊 塵粒受氣流攜帶產生慣性力直接衝撞過慮網

攔截灰塵雖通過濾網內纖維但氣流在纖維之間流動減緩 而灰塵與濾網之間摩擦增加以至於被攬截於濾網內

擴散灰塵移動不與氣流一致 進而灰塵在濾網纖維之間胡亂撞擊而被捕集

阻擋 灰塵直徑大於濾網纖維之間間距

靜電 灰塵因帶靜電荷而被特殊處理有帶相異電荷之濾網纖維吸附

濾網種類類別 適用灰塵直徑

um

適用灰塵濃度 壓力損失

mm/Aq

補集效果

%

過濾網材質 用 途

初級過濾網 ≧5 0.1 ～ 0.7 3 ～ 20 70 ～ 85 合成纖維

玻璃纖維

外氣處理，空調箱前端處理

中級過濾網 ≧1 0.1 ～ 0.6 8 ～ 25 60 ～ 95 合成纖維

玻璃纖維

高性能過濾網之前端用或循環空氣前端用

準 HEPA ≧0.3 ≦0.3 15 ～ 35 ≧80玻璃紙

Class 100 ～ 10,000 無塵室最終過濾網

HEPA ≧0.3 ≦0.3 25 ～ 50 99.97玻璃紙

Class 100 ～ 10,000 無塵室最終過濾網

ULPA 0.1 ～ 0.3 ≦0.1 25 ～ 50 99.995特殊玻璃紙

無塵室 1 ～ 100 級用

超 ULPA 0.1 ～ 0.05 ≦0.1 25 ～ 50 99.99995特殊玻璃紙

無塵室 1 級用

由上而下

戴口罩↓

戴網帽↓洗手

↓戴無塵帽

↓穿無塵衣

↓穿無塵鞋

↓戴手套

↓進 AIR shower

出去無塵室進入無塵室

由下而上

進入更衣室↓

脫手套↓洗手

↓脫無塵鞋

↓脫無塵衣

↓脫無塵帽

↓脫口罩

↓脫網帽

↓完成脫無塵衣程序