캠퍼스 안내도

National Center forInter-University Research Facilities

▶ 찾아오시는 길

서울대학교 기초과학공동기기원

151-742 서울특별시 관악구 관악로 1TEL _ 02-880-5431 Homepage _ irf.snu.ac.kr

EPMA의 특징

EPMA 응용분야

사용료 안내

서울대학교 기초과학 공동기기원에서 보유하고 있는 EPMA

Electron Probe Micro Analyzer전자현미분석기

EPMA

서울대학교 기초과학공동기기원

장점

지질학광물감정 및 결정화학, 암석 기재 및 분류, 암석의 생성환경, 상평형

연구, 지질연대 측정, 운석 연구, 토기 산지분석

재료학 및 금속학상변화 및 결함연구, 원소의 확산 및 희귀상 연구, 박막의 화학특성 규명

의학 및 생물학치과학의 원소확산연구, 생물세포의 무기원소 분포, 의약품 및 촉매연구

모델 : 일본 JEOL사 JXA-8900R

Detectable element range : 5B to 92U (일부원소는 표준시료가

없기 때문에 정확한 정량분석이 불가능하오니 실험 전 문의 바랍니다.)

Type of crystals : LIF, LIFH, PETJ, PETH, TAP, LDE2

Specimen size(max) : 25mm×25mm×10mm (H)

박편시료 (max) : 85mm×5mm×1mm (H)

● 높은 분해능● 비파괴 분석● 빠른 분석● 정확한 정량분석● SEM 기능 동반● 주성분 원소의 분석● 적은양의 시료로도 분석 가능

● 전이원소 식별 불가● 고체 시료만 분석 가능● 시료 준비의 까다로움● 분석결과 해석의 어려움● 적절한 표준시료와 분석조건● 고가의 장비

단점

기본료 : 25,000원 사용료 : 25,000원/시간

Carbon coating : 7000원/회 외부 연구소 및 산업체 : 200%

지하철 이용

■ 지하철 2호선 서울대입구 하차시 (3번출구)·버스 (5513 이용시) → 서울대 정문 → 행정관 → 신공학관 → 유전공학연구소 → 교수회관에서 하차(정류장번호:13번) → 길 건너편 신공학관 방면으로 60m지점이 기초과학 공동기기원 ·버스 (5511 이용시) → 서울대 정문 → 경영대 → 기숙사 삼거리 → 기초과학 공동 기기원 하차 (정류장 번호: 12번)

*소요시간 20분

■ 지하철 2호선 낙성대입구 하차시 (추천사양)낙성대 하차 → 4번 출구로 나와 마을버스 02번승차 (GS칼텍스 옆길에 위치) → 서울대 후문 → 노천강당 → 기초과학 공동기기원 하차 (정류장 번호: 12번)

*소요시간 15분

승용차 이용

남부순환도로의 신림사거리(신림역), 봉천사거리(서울대입구역), 낙성대입구에서 좌·우회전합니다.

한강대교를 넘어오는 경우 상도터널을 지나 지하철 7호선 상도역에서 좌회전하여 직진합니다.

이후 서울대학교 정문이나 후문(추천사양)으로 진입합니다.

① 후문 진입 후 기숙사삼거리에서 좌회전 한 후 직진합니다. 직진하시다가 12번 버스정류장 앞 건물(건물번호 139-1동)로 들어오시면 됩니다.

② 정문으로 진입 시 게이트웨이에서 좌회전(경영대방향) 도로로 진입하셔서 기숙사삼거리를 지나 계속 직진 하신 후 139-1동(정류장번호 12번) 건물로 오시면 됩니다.

EPMA는 Electron Probe Micro Analyzer의 약자로 전자현미 분석

기라고 합니다.

전자총으로부터 15~30㎸로 가속된 빔 전자를 연마된 시료표

면에 충돌시키면 시료의 구성원소들로부터 원소별 고유한 파장

(에너지)를 갖는 X-선이 발생하는데 이를 검출기로 측정하여 화

학조성을 규명하는 분석법입니다. EPMA 장비는 EDS(Energy

Dispersive Spectrons copy)와 WDS(Wavelength Dispersive

Spectroscopy) 크게 두 가지 방법으로 나눌 수 있습니다.

시료 물질을 구성하는 원소를 식별하기 위해 시료에서 발생된

x-선의 파장 또는 에너지를 측정하여 존재하는 원소의 종류를

알아낼 수 있는 분석법입니다.

시료에서 한원소의 상대적인 비를 알기위해 알고자하는 부분에

선을 그어 측정하는 분석법입니다. 분석 범위 내에 시료가 균일

한지의 여부, 원소의 분포 정도를 알 수 있습니다.

물질을 구성하는 원소의 함량을 측정하는 실험으로 실험 전

standardization 작업 후 SEM Image를 관찰하면서 원하는 부

분에 정확한 측정이 가능한 점 분석(Point Analysis)입니다.시료에서 한원소의 상대적인 비를 알기위해 면을 선택해 측정하는

방법입니다. 선 분석(Line Analysis)보다 시간은 더 소요되지만 color

map으로 되어있어 광물의 누대구조, 균질여부, 융리현상, 합성한 시

료의 분포를 한눈에 볼 수 있습니다.

시료준비

고체 시료만 분석이 가능합니다. (ex. 박막, 박편, pellet, 벌크시료 등.)

시료표면은 반드시 완전한 평면이어야 합니다.

(표면의 굴곡은 분석에서 심각한 오차를 초래합니다.)

시료의 두께는 5~10㎛ 이상이어야 합니다.

전기적 부도체 시료는 표면에서의 방전을 막기 위해서 c(탄소)

코팅을 해야 합니다. (탄소 코팅기 기기원 보유)

EPMA란? 정성분석 _ Qualitative Analysis 선 분석 _ Line Analysis

정량분석 _ Quantitative Analysis면 분석 _ Map Analysis

시료 준비 및 실험과정

실험과정

시료준비정성분석

Qualitative Analysis

StandardAnalysis

정량분석Quantitative

Analysis

선 분석Line

Analysis

면 분석Map

Analysis