半導体工学Ⅰ - Ehime Universityakitsu.ee.ehime-u.ac.jp/lect/semi1_01.pdf ·...

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半導体工学Ⅰ

白方 祥

シリコン単結晶の結晶成長(引き上げ法)

シリコン単結晶の結晶成長(引き上げ法)

CZ法によるシリコン単結晶

クリーンルーム

クリーンルーム内部

イオン注入機

電子線描画装置

ステッパーシリコンウエハーにパターンを描画

太陽光発電所

GaAsを用いた半導体レーザ赤外光で発振

InGaAlPを用いた赤色半導体レーザ

InGaN半導体レーザ最近ではブルーレイ