半導体製造プロセス開発と工程アーキテクチャ論 - …...半導体製造プロセス開発と工程アーキテクチャ論 装置を購入すれば半導体は製造できるか
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半導体工学Ⅰ 白方 祥
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半導体工学Ⅰ
白方 祥
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シリコン単結晶の結晶成長(引き上げ法)
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シリコン単結晶の結晶成長(引き上げ法)
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CZ法によるシリコン単結晶
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クリーンルーム
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クリーンルーム内部
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イオン注入機
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電子線描画装置
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ステッパーシリコンウエハーにパターンを描画
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太陽光発電所
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GaAsを用いた半導体レーザ赤外光で発振
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InGaAlPを用いた赤色半導体レーザ
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InGaN半導体レーザ最近ではブルーレイ