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D A T A S H E E TOPCテストパターン評価/開発サービス

ターゲット層

抽出したコンター

EPE

コンサルティングサービス

ICファウンドリと IDM(垂直統合型デバイスメーカー)ファブは、幅広い設計スタイルを備えたさまざまな設計業者を顧客として開拓しています。メンター・グラフィックスのコンサルティングサービスが提供するOPC(光近接効果補正)テストパターンサービスは、ファウンドリベンダや自社ファブを有する顧客に向けて、種々の設計スタイルを完全にカバーするテストパターンのモデル化を提供します。この結果、シリコンの初回成功率を高めるとともに、多額の損失をもたらす歩留まり低下を回避できます。

サービス内容

� OPCテストパターン評価

� OPCテストパターン開発

利点

� より良い結果をスピーディに達成

� 社内リソースへの負担を軽減

� 豊かな実績が培ったベストプラクティスを生かした高い成果

� エンジニアリング環境を問わずスムーズに適用できる成果物

高精度なOPCモデルで歩留まりを改善 : 阻害要因はテストパターンのカバレッジ不足不完全なカバレッジのテストパターンをチップ設計全体に適用すると、OPCモデルでは正確に予測できない構造を見逃す恐れがあります。OPC検証中にOPCエラーが検出されると、ファウンドリは個々の顧客用にレシピやモデルをカスタマイズするなど、トラブルシューティングと修正作業に追われることになります。しかしOPC検証中にエラーを発見できなかった場合、歩留まり低下あるいは歩留まりゼロという結果にもつながりかねません。これはつまり、製品投入の時期をのがす以外に、顧客や売上の消失、マスクにかかったコストの損失、製造コストの上昇、利益率の低下といった大きな損害を意味します。シリコンのたった 1つの問題が、全体として 1億円規模のコストにつながるのです。

多数のファウンドリでは、期待するピッチ幅の範囲やデザインのコンテキストに加えて、問題となりうる既知のパターンを包含する標準テストパターンセットを使用して検証しています。この際、検出されたOPCエラーは新しい問題パターンとして取り込み、テストパターンセットを更新します。この方法は満足なカバレッジをもたらす一方、処理時間と費用が負担となり、市場での成功をさまたげてしまう可能性があります。

メンター・グラフィックスのコンサルティングサービスが提供するOPCテストパターンは、OPCモデル精度と信頼性の向上を目指すファウンドリにとってのより迅速、低リスク、良好な結果をもたらすソリューションです。

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OPCテストパターンサービスの内容 � メンター・グラフィックスでは OPCテストパターンサービスを、以下の 2つのサービスとして個別に販売しています。

- OPCテストパターン評価サービス : お客様が現在使用しているOPCテストパターン、光学モデル、典型的な設計データを入力データとして使用します。主要な成果物として、設計形状においてテストマスクに形成されなかった個所を示すイメージパラメータに基づいた包括的な比較解析結果を提供します。

- OPCテストパターン開発サービス : 上記の OPCテストパターン評価サービスの後に実行します。主要な成果物として、サンプル設計のイメージパラメータを完全に含む包括的なテストパターンセット、テストマスクレイアウト、プロセスモデリングのサンプリングプランを提供します。

� 以上 2つのサービスの実行には、お客様の現場に設置されたシステムではなく、メンター・グラフィックスが保有するライセンスならびにオレゴン州ウィルソンヴィル本社に設置されたコンピュータシステムを使用します。

- サービスの納期は、1層につき 4週間以内が目安となります。

メンター・グラフィックスのコンサルティング サービスについてメンター・グラフィックスのコンサルティングサービスは、新しいツールや手法をスムーズに展開、統合できるよう支援する業界唯一のサービスパートナーとして、EDAインフラストラクチャとEDAメソドロジの実績ある専門知識をお届けします。世界各地の先見性あるエレクトロニクス企業の多くがメンター・グラフィックスのコンサルティングソリューションを実践し、設計生産性を最適化するとともに、業界最新の設計ベストプラクティスの導入を推進しています。

OPCテストパターンサービスの構成要素

熟練コンサルタントMCDスクリプトおよびツール

メンター・グラフィックスハードウェア資産

メンター・グラフィックスソフトウェア資産

出力

新テストマスク

サンプルプランの選択