開催概要2019年7月19日（金）　開場: 12:30 セミナー: 13:00～17:20　東京コンファレンスセンター・品川

※定員になり次第、締め切らせていただきます。資料のみの受付は行っておりません。あらかじめご了承ください。

お申し込み www.thermofisher.com/jp-xpw-eds-19

プログラム13:00 ～ 13:10 ごあいさつ

13:10 ～ 13:40 招待講演

光電子分光の半導体開発への応用NIMS: 国立研究開発法人物質・材料研究機構　大橋 直樹様光電子分光は、内殻のスペクトルを利用した元素の価数や存在比の評価に加えて、価電子帯のバンド構造の検討、仕事関数の評価など、様々な目的に利用されている。本講演では、それらに加えて、放射光硬X線光電子分光を利用した材料や欠陥構造、さらに、素子の接合界面の電子構造評価、あわせて放射光の偏光したX線を利用した化学結合やバンド構造に関する詳細な評価など、講演者が半導体開発に向けて実施している光電子分光測定の取り組み事例を交えて、光電子分光の半導体開発への応用について概論する。

13:40 ～ 14:10 招待講演

XPSにおける実践的測定ノウハウとアプリケーション　ジャパン・リサーチ・ラボ　奥村 治樹様XPSは代表的表面分析手法である一方で、正しく理解しないまま、測定・解析が行われているケースがある。そこで、本講演ではXPS測定におけるサンプリングやチャージアップ補正の考え方などの測定ノウハウ、テクニックや、他手法等の組み合わせなどのアプリケーションなどのより実務に近い実践的内容について述べる。

14:10 ～ 14:30 最新のXPS装置 Thermo Scientific ™ Nexsa ™ のご紹介

14:30 ～ 14:45 カスタマーサポートについてのお知らせ

14:45 ～ 15:00 休憩

15:00 ～ 16:00 ポスターセッション、技術相談コーナー

16:00 ～ 16:30 招待講演

非蒸着低真空SEM-EDSによる複雑多結晶体の面分析と定量解析大阪大学大学院　理学研究科　宇宙地球科学専攻　教授　中嶋 悟様岩石のような複雑な結晶集合体について、非蒸着低真空で広い領域のSEM-EDSによる元素分布マップを取得し、多変量解析（COMPASS）により成分を自動抽出した。また、その結果から元素組成を定量し、顕微可視・ラマン・蛍光分光と組み合わせて各成分を特定した。このような手法は、複雑な材料などを非破壊で定量的に評価するのに有用である。

16:30 ～ 17:00 招待講演

COMPASS解析を用いたSEM-EDS電圧コントラストイメージング手法株式会社リコー イノベーション本部 基盤技術開発センター 分析技術研究室 分析3グループ 高橋 昭治様近年のSEM-EDSシステムでは主成分分析によりサンプル中の元素の組合せを相として抽出するが、サンプルの相が示す特性は元素による濃度の変化である必要はなく、X線スペクトルに変化を与えるものであれば相分析の対象となる。そこで主成分分析ソフト（COMPASS）を用いたサンプルの電圧イメージング手法について紹介する。

17:00 ～ 17:20 マイクロアナリシス製品の最新情報とCOMPASS無しでの未知試料の面分析

17:30 ～ 技術交流会

毎年ご好評をいただいております「XPS･EDSユーザーズフォーラム2019」を今年も開催します。本フォーラムでは、表面分析装置や電子顕微鏡アナライザーを使用されている多くの方々に、実践的な測定事例や材料解析に役立つ情報などをご紹介します。皆さまのお仕事・ご研究の一助となれば幸いです。ご参加を心よりお待ち申し上げております。

XPS・EDSユーザーズフォーラム2019

XPS・EDS UF 2019案内状案 R-0510.indd 1 2019/05/10 11:14

ポスター番号 所属・発表者 タイトル

P1産総研イノベーションコーディネータ（元群馬産業技術センター） ○宮下 喜好様

XPS分析による光触媒薄膜のセルフクリーニング作用評価

P2東邦チタニウム株式会社　○齋藤 雅由様 チーグラー・ナッタ触媒中のチタン元素の状態解析

P3熊本大学大学院　先端科学研究部　○鯉沼 陸央様 Theta Probeを用いた炭素化合物の分析と評価

P4熊本大学大学院　先端科学研究部○鯉沼 陸央様

クラスターイオン銃による表面スパッタとトランスファーベッセルによる雰囲気制御測定

P5元金沢大学院　自然科学研究科○遠藤 一央様

代表的ポリマーの VXPS、AESなどによるスペクトル解析（a）（PE, PS, PMMA, PET, Nylon6, PVC）の VXPS, IR, C13-NMR（b）（PP, P4VP, PVME, PPS, PTFE）の VXPS、AES

P6富山大学　研究推進機構　研究推進総合支援センター設備サポート・マネジメントオフィス○小野 恭史様

富山大学における設備共同利用の促進

P7ジャパン・リサーチ・ラボ○奥村 治樹様 XPSにおける実践的測定ノウハウとアプリケーション

P8大阪大学大学院　理学研究科　宇宙地球科学専攻○山北 絵理様、中嶋 悟様 コケ植物岩石境界部の非蒸着 SEM/EDS分析

P9大阪大学大学院　理学研究科　宇宙地球科学専攻○岡田 克也様、中嶋 悟様 SEM/EDS及び顕微可視・ラマン・蛍光面分析による岩石中の不純物の解析

P10大阪大学　理学部　物理学科〇田端 慶久様、中嶋 悟様 SEM/EDSによるオイル・ガス・シェールの分析

P11日本電子株式会社　EP事業ユニット　EPアプリケーション部　SEMチーム　〇淺野 奈津子様

その情報捨ててない？ 観察 × 分析 "× 分析”で多角的な解析

P12国立研究開発法人物質・材料研究機構　技術開発・共用部門　電子顕微鏡ステーション〇上杉 文彦様

NSS と Dual SDD搭載 Cs補正 STEM を用いた事例紹介

P13株式会社リコー　イノベーション本部 基盤技術開発センター分析技術研究室 分析 3グループ　〇高橋 昭治様

COMPASS解析を用いた SEM-EDS電圧コントラストイメージング手法の紹介

P14（地独）神奈川県立産業技術総合研究所 （KISTEC）　溝の口支所　川崎技術支援部　微細構造解析グループ〇矢矧 束穂様

電子顕微鏡と EDSによる材料解析

P15三井金属鉱業株式会社 機能材料事業本部　機能材料研究所　評価解析技術センター〇和田 充弘様

Dual SSD EDSとリアルタイム相分析システムを用いた ZnO含有化合物の高速相解析

P16JFEテクノリサーチ株式会社　機能材料ソリューション本部　ナノ解析センター　〇中村 貴也様

自動分析機能を用いた CrMo鋼中の析出物の分布評価

P17東京大学・日本電子産学連携室〇熊本 明仁様 STEM-EDSマッピングを用いたヘテロ界面局所構造の原子分解能構造解析

P18日本エフイー・アイ株式会社○村田 薫 FIB-SEMに搭載した SIMSよる高空間分解能元素マッピング

P19サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社○鈴木 実 COMPASS（EDS多変量イメージ解析）無しで未知試料の面分析を行う手順

P20サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社○馬場 保光 最新の XPS装置 Nexsaの紹介

サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社

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株式会社東レリサーチセンター表面科学研究部　表面解析第２研究室○藤田　学様

シリカ表面シラノール基の密度測定P21