VSYS VC100 · 2019. 7. 5. · APC Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out APC Valve (Throttle...

VSYS VC100 ENHANCED PID THROTTLE VALVE CONTROLLER

2018. 7

Ver 1.5

WARRANTY

브이시스의 VC100 ENHANCED PID THROTTLE VALVE

CONTROLLER의 보증 수리 기간을 1년으로 한다. 단, 사용자의 부주의로 인한 고장일 경우 보증 수리 기간에 관계없이

유상 수리를 원칙으로 한다. VC100은 기본적으로 ±15VDC 에서 동작하도록

제작 되었다

Cable 연결 또는 분리할 경우 본 기기의 전원을 OFF한 후 진행한다. 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견 하였을 경우 임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우

보증 수리 기간은 자동 해지된다.

제품의 동작이상시에는 반드시 (주)브이시스에 연락하여 적절한 조치

및 수리를 받도록 한다.

Tel : 031 - 8065 - 5570

Fax : 031- 8065 - 5575

www.vsys.co.kr

CONTENTS

PAGE

Introduction / General information 3

Description 3

Production specifications 3

Safety 4

General 4

Safety Warning 4

Sensor Mounting Advice 4

Environmental requirements 4

Customer Support 5

FAQ 5

Installation 6

고정 핀 연결 6

Model & Serial Number 6

Interface Connector rear Dimension 7

Interface Connector Pin out 7

APC Valve (Throttle Valve) Connect Pin-out 8

Pressure Sensor Con Pin-out 8

Power Connector Pin-out 9

Operation 10

Front Panel Components 10

Over Range Display 10

Parameter Setup 11

[T MODE] SETPOINT 12

[V MODE] VALVE 13

[E MODE] SENSOR 14

[P1 MODE] PRPCESS LIMIT 1 15~16

[P2 MODE] PRPCESS LIMIT 2 17

[S MODE] SYSTEM 18

[I MODE] INFORMATION 19

RS232 & RS485 COMMAND 20~25

3

1. Introduction / General Information

Description

VC100 ENHANCED PID THROTTLE VALVE Controller는 SENSOR에서 측정된 압력을 바탕으로

향상된 PID 알고리즘을 이용하여 Throttle valve의 포지션을 정밀 제어하여 압력을 조절한다.

외부에서 ±15V 파워를 공급받아 동작하도록 함으로써

COMPACT한 크기로 최적화된 모델이다.

3개의 Set point 설정 기능을 탑재하고 RS232C 및 RS485 통신을 지원한다.

0~20mA, 4~20mA 출력의 센서를 지원 하여 폭넓은 센서를 사용 할 수 있다.

128 X 32 OLED의 선명한 화면에서 상세한 정보를 확인할 수 있으며, 제품 전면 표시 창 아래에

위치한 5개의 key를 이용하여 사용자가 직접 제어할 수 있다.

필요에 따라 2개의 Relay trip point를 추가 할 수 있다.

본 제품에 필요한 ±15VDC파워는 사용하는 압력 센서에 따라서 외부에서 별도로 공급해야 한다

VC100 Specifications

Physical

Width 96 mm

Height 48 mm

Depth 180 mm

Weight 500 ~ 800 g (Depends on options)

Electrical

Input power ±15VDC ±10%

Output power Depend on Input Power

Power Consume Max 500mA

Input signal 0~10V

Output signal 0~10V

Display window 128 * 32 OLED LCD 5 Digit

Relay contact rate 30 VDC @ 1A, 125 VAC @ 0.5A

4

2. Safety

General

제품 설치 및 작동 전에 반드시 이 매뉴얼을 숙지 하시기 바랍니다.

매뉴얼에 있는 주의사항을 따르지 않으면 심각한 신체적, 물질적

피해를 당할 수 있습니다.

제품의 설치 및 작동에 있어 주의사항을 위반하거나 따르지 않아 발생되는 문제

의 모든 책임은 사용자에게 있습니다.

SAFETY WARNING

고전압이 사용되는 진공시스템에서 전기적인 충격의 위험이 있으므로 사용시에는 반드시 접지를

해야 합니다. 접지가 안된 상태에서 가스들과 반응하여 큰 위험을 초래할 수 있습니다.

또한 고전압에 의해 방전의 위험이 있으며, 고전압으로 인하여 신체적 손상 및 사망의 위험이 있

습니다. 가스를 이용하는 환경에서는 모든 제품에 이와 같은 위험성이 있습니다.

제품과 동봉한 케이블로 연결을 해야 합니다. 진공장비에 연결 시 접지를 반드시 확인하십시오.

안전뿐만 아니라 정상적인 작동을 위해서 반드시 필요합니다.

접지를 하실 때에는 반드시 지면에 설치해야 합니다.

Sensor Mounting Advice

제품 장착 전에 사용하는 진공 대역과 용도에 맞는 Sensor의 종류 및 크기를 확인해야 합니다.

또한 VC100을 통한 Sensor의 전원 공급을 하는 경우 사용전압과 소비전류를 반드시 확인해야 한

다. VC100에 연결한 파워와 사용하는 센서의 사용 전압이 다른 경우 센서의 파손이 발생한다. 또

한 VC100에 연결한 파워보다 많은 전류를 소모하면 VC100의 손상이 발생 할 수 있음에 유의.

Ex) Pressure Sensor를 사용하는 경우 RANGE 및 사용 전압, 소비전류 반드시 확인 해야 한다.

Environmental Requirements

⊙ 사용 주변 온도 : 0 ~ 70 ( 59 ~ 122)

⊙ 공기 순환이 잘 되는 곳

⊙ 습도가 낮고 건조 한곳

5

Customer Support

제품의 유지보수나 수리는 브이시스 에서만 가능합니다.

사용 중에 문제가 발생시 브이시스에 연락하시면 적절한 조치를 받으실 수 있다.

※당사에 문의할 때 제품의 Model & Serial Number가 반드시 필요

※ 연락에 앞서 FAQ를 참고하십시오.

문제의 증상에 해당되는 부분의 매뉴얼을 다시 한번 읽어 주십시오.

FAQ

브이시스 연락처

경기도 용인시 기흥구 흥덕1로 13, 컴플렉스동 405호 (흥덕IT밸리)

Tel : 031-8065-5570 E-mail : [email protected]

Fax : 031-8065-5575 Home page : www.vsys.co.kr

고장증상 고장원인 해결방법

액정화면이 꺼져있는 경우 전원공급 불량 케이블의 연결 확인

설정 압력과 다른 압력 표시 게이지(센서) 설정 불량 Range 설정, CAL 데이터 삭제

표시 값이 흔들릴 경우 케이블 연결 불량 케이블 연결확인

과도한 진동 방진 가드 설치

대기압 및 제로 값 설정 이상 다른 원인에 의한 센서 불량 센서교체

Set point 설정 이상 Set point 설정 불량 Set point 설정 확인

작은 소리가 나는 경우. 고장이 아님 Relay 동작소리

mailto:[email protected]

http://www.vsys.co.kr/

6

Installation

고정 핀 연결

1 제품과 함께 고정 핀을 제공합니다.

ㄴ 자 모양의 길이가 짧은 쪽을 제품 왼쪽 면에 있는 홈에 연결한다.

2 동봉된 볼트를 이용하여 귀사의 시스템에 장착하십시오.

Model & Serial Number

라벨은 제품의 옆 면에 부착되어 있으며, Model Number, Serial Number 등이 기록되어 있다.

옵션 항목

A: Option 1

R - > RS232통신

4 - > RS485통신

B: Option 2

L - > Relay Trip Point Limit Option

옵션이 없을 경우 O로 표기됩니다. 사용자의 주문 옵션에 따라 다른 기능을 첨가할 수 있다.

※당사에 문의할 때 제품의 Model & Serial Number가 반드시 필요

VC100-A-B

VC100-08082013-08

7

Interface Connector Rear Dimension

Interface Connector Pin-out

Interface (15-Pin male D-sub type Pin Assignment)

Pin No Assignment

1 No connection

2 TxD (Connect to HOST RxD)

3 RxD (Connect to HOST TxD)

4 No connection

5 DGND GND for RS232

6 485_A(DATA+)

7 485_B(DATA-)

8 RLY1_Normal Close

9 RLY1_Common

10 RLY1_Normal Open

11 RLY2_Normal Close

12 RLY1_Common

13 RLY1_Normal Open

14 No connection

15 DGND GND for RS232

※ RS485 통신에 노이즈가 발생 할 경우, 120 Ω 의 종단 저항 사용을 권장

8

APC Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out

APC Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out

Pin No. Assignment Cable Color

4 Motor winding A low Brown

5 Motor winding A high Red

12 Limit switch com Orange

1 Open limit switch signal Yellow

2 Close limit switch signal Green

14 Motor winding B high Blue

15 Motor winding B low Purple

11 +15VDC @25mA (for Opto switches) Grey

15-pin, 3열 D-sub Connector (female)

Pressure Sensor Connector Pin-out

Capacitance manometer (9-Pin Female D-sub Type Pin Assignment)


1 No connection

2 Pressure signal input (4~20mA) Red

3 +15VDC Green

4 Power GND Grey

5 -15VDC White

6 No connection

7 GND Black

8 GND Brown

9 Chassis GND Shield

※주의 : Pin Assignment에 나와있는 No Connection은 아무것도 연결하지 말 것.

임의적으로 pin의 형태나 순서를 변형하지 마십시오.

9

Power Connector Pin-out (External Power Supply Input)

Power (9-Pin male D-sub Type Pin Assignment)


1 +15VDC RED

2 No connection

3 No connection

4 -15VDC YELLOW

5 Power GND BLACK

6 +15VDC RED

7 No connection

8 -15VDC YELLOW

9 Power GND BLACK

※주의

Cable 제작 시 PIN-OUT에 유의하여 제작하십시오.

잘못 제작된 케이블을 사용하여 연결할 경우 본 컨트롤러 뿐만 아니라 연결된 압력센서 및 APC

VALVE 의 손상을 초래할 수 있으며, 이 경우 무상 AS되지 않음에 유의하십시오.

10

3. Operation

Front Panel Components

위의 그림은 VC100 PRESSURE & FLOW CONTROLLER의 초기화면 이다

No Key Function

1 MENU / ESC MENU 진입 (Remote Mode 일 경우 Key Lock이 설정되어 있어

3초이상 누르고 있어야 메뉴에 진입됨) ESC 한번 더 누르면 바

로 전 화면으로 복귀

2 SP1 / SP2 / SP3 Set Point Mode 진입, FUNC를 누르면 우측하단에 FN표시

FN표시가 있으면 SP1, SP2, SP3 Mode 상태

(Remode Mode 일 경우 눌러지지 않음. Local Mode에만 동작함)

3 OPEN / CLOSE / STOP VALVE CONTROL KEY (FN표시가 없을 때)

(Remode Mode 일 경우 동작하지 않음. Local Mode에만 동작함)

4 FUNC SP1, SP2, SP3 Mode 활성화

5 ENT 명령 실행, 설정 값 저장

Over Range Display

실제 압력과 Sensor의 측정 범위를 확인하십시오.

장착된 Sensor의 범위를 초과했을 경우(일반적으로 105% of Range 초과) 화면에 ++++로 표시.

EX) 1 Torr Gauge를 대기압 상태에서(760Torr) VC100과 연결했을 경우

Display 화면에 Overrange를 뜻하는 ++++ 가 표기됨

대기압 상태에서 1000 Torr Gauge를 연결하였을 경우

740~760 Torr의 현재의 대기압이 표시됨

VC100 PRESSURE & FLOW CONTROLLER

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[CLOSE]

P 0.0000 Torr

MENU

ESC

SP1

OPEN

SP2

CLOSE

SP3

STOP

FUNC

ENT

Pos : R

0.0% P1

P2

FN

Remote & Local Display

Relay Display

P1 /P2

FUNC 모드 작동

Pressure

Display Unit

11

Parameter Setup

[MENU/ESC] Key를 누르면 아래와 같이 표시된다.

[T] mode

Set point 세부사항 설정

[V] mode

밸브의 세부사항 설정

[E] mode

Sensor 세부사항 설정

[P1] mode

Process limit 1 설정

[P2] mode

Process limit 2 설정

[S] mode

통신과 Accuracy 설정

[I] mode

Controller Information


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MENU

ESC

SP1

OPEN

SP2

CLOSE

SP3

STOP

FUNC

ENT

T V E P1 P2 I S

12

[T] SET POINT

Set point 1, 2, 3을 설정한다.

Set point 1번에서 ENT를 눌러 실행시키면 아래의 4개 항목이 표시된다.

[Set]

Set Point를 설정 [] 자릿수 위치 조정, [] 값 조정

값을 설정하고 [ENT] Key를 눌러서 저장한다.

[Mode]

Pressure & Position Control Mode []를 이용하여 선택

Pressure Mode는 설정 압력을 맞추기 위해 VALVE의 Position이 자동 조절되는 모드

Position Mode는 설정된 포지션으로 VALVE가 고정되는 모드

[Gain]

Gain 값을 설정 (범위는 0.1 ~ 200%) : 작은 포지션 변경에 따라 유량변화가 큰 환경일수록 값이

작아야 함

[Lead]

Lead 값 설정 (범위는 0.01 ~ 2.00Sec) : 압력이 목표값에 수렴되지 않고 진동할 경우 이 값을 올

려야 함

각각 Set point 2,3번을 선택, 위와 같이 설정할 수 있다.

GAIN & LEAD

최상의 Auto Pressure Control을 하려면 Gain과 Lead Time의 최적화가 필요하다.

Gain은 VALVE의 OPEN/CLOSE의 반응속도를 의미한다. 값이 클수록 VALVE의 OPEN/CLOSE 변동

폭이 커서 압력 변화가 매우 빨라진다. 이 값이 너무 크면 설정 값에 수렴하지 못하고 설정 값에

서 큰 폭으로 Overshoot와 Undershoot를 왕복하게 되며 너무 작으면 설정 값까지 도달하는데 많

은 시간이 걸린다.

Lead Time은 설정 값에 도달할 때까지 오차를 반영하기 위한 샘플링 시간을 의미한다.

이 값이 작아질수록 Sampling Time이 짧아져서 많은 Sampling을 하고 이 값을 적분하여 오차에

반영하기 때문에 VALVE의 OPEN/CLOSE 반응이 빨라진다. 이 값이 너무 크면 설정 값에 안정하지

못하고 설정 값 근처에서 진동하게 되며 너무 작으면 설정 값 근처에서 매우 천천히 진동하게 된

다.

사용하는 CHAMBER/TANK/배관 등의 크기와 유입되는 유량 및 PUMPING/EXHAUST RATE을 고려

하여 GAIN 값과 LEAD 값을 설정해야 한다.

13

일반적으로 GAIN 5% LEAD TIME 1.9sec 를 기본으로 하고 보다 빠른 성능이 필요할 경우 조금씩

변경하면 최적의 값을 찾을 수 있다.

[V] VALVE

Valve의 Mode, Speed, Scan을 설정한다

[Mode]

Direct 와 Reverse Mode를 선택할 수 있다.

DIRECT MODE:

VALVE의 OPEN이 CHAMBER/TANK 내의 Mixing Gases를 배출하는 시스템인 경우

(연결된 압력센서의 값이 작아질 때)

단, CHAMBER/TANK에 압력센서가 설치되어 VC100과 연결된 상태

REVERSE MODE

VALVE의 OPEN이 CHAMBER/TANK 내로 Mixing Gases를 공급하는 시스템인 경우

(연결된 압력센서의 값이 커질 때)

단, CHAMBER/TANK에 압력센서가 설치되어 VC100과 연결된 상태

제품 출고 초기 설정은 [Direct] Mode 이다.

[Speed]

Valve Moving Speed를 설정할 수 있다.

100에 가까울수록 빠르고 900은 가장 느림

값을 설정하고 [ENT] Key를 눌러서 저장

제품 출고 초기 설정(Default)값은 250이다.

(사용하는 VALVE의 성능에 따라 속도를 맞추어야 하며 너무 빠른 속도를 설정하면 VALVE의 Slip

현상이 발생하여 오동작 할 수 있음에 유의 할 것)

[SCAN]

Valve Scanning

Valve가 Close에서 Open으로 동작하면서 Valve의 Resolution을 측정.

VC100과 Valve를 처음 연결하였을 때 Valve 각각의 오차들을 보정하기 위해서 Scan을 반드시 실

행해야 한다.

만약 밸브의 스캔에서 정상 동작 하지 않거나 에러가 발생하면 연결에 문제가 있거나 제품에 문

제가 있으므로 구매처에 문의 바람.

14

[E] SENSOR

Sensor의 Cal, Range, Unit을 설정.

[CAL]

Sensor의 ZERO Cal과 CAL CLEAR를 할 수 있다.

ZERO CAL은 Pressure Sensor 로부터 CONTROLLER에 표시되는 ZERO 값을 프로그램 알고리즘

에 의한 S/W 보정을 의미하며 5% of FULLSCALE RANGE 이내에서만 ZERO CALIBRATION이 가

능하다.

이 값 이상의 보정은 SENSOR 자체의 H/W 보정이 필요하다.

※ Sensor의 Calibration은 인증 받은 점검 장비를 통하여 교정해야 한다.

Cal clear는 사용자에 의한 Calibration data를 삭제하여 출고시와 동일하게 하는 기능이다.

새로운 Sensor를 장착할 경우 Cal clear를 한다.

[RANGE]

장착된 Sensor의 최대값을 설정. [] 자릿수 위치 조정, [] 숫자 크기 조정

값을 설정하고 [ENT] Key를 눌러서 저장

0.1 Torr 의 설정 방법

1 Torr = 1000 mTorr 따라서 0.1 Torr 는 100 mTorr 로 설정하십시오.

± RANGE 차압센서 사용시

APC SYSTEM 특성상 압력제어는 오직 한쪽 방향으로만 제어가 가능하다. 따라서 ±값을 표시하

는 차압 센서를 사용 할 경우 + 혹은 – RANGE를 선택해서 설정해야 하며 이 경우 사용하는 센

서에 따라 컨트롤러에 표시되는 압력과 실제 압력에 차이가 발생하게 된다. 이 값을 보정하기 위

해서는 펌웨어에서 수정이 필요하다. 자세한 사항은 당사에 문의 바람.

[UNIT]

Sensor 단위를 설정

Torr, mTorr, Pa, kPa, mbar, ubar, cmH20, inH20등을 설정 할 수 있으며 UNIT 설정으로 Sensor값의

자동 계산이 이루어 지지 않으므로 장착된 Sensor와 사용하는 단위가 다를 경우 RANGE 설정에

서 사용자가 환산값으로 설정 해야만 한다.

제품 출고 초기 설정은 Torr이다. (지원되지 않는 단위가 필요하면 당사에 문의 바람.)

15

[P] PROCESS LIMIT

VC100은 두개의 Process Limit 를 제공한다.

Process Limit은 옵션사항으로 Normal Close와 Normal Open 접점을 제공하여 설정 값에 따라 접

점의 Normal Open 또는 Normal Close를 이용하여 내부적으로 제어하는 압력 범위를 벗어났을

경우 이를 즉시 인지 할 수 있는 내부 알람(INTERLOCK) 신호로 사용하거나 특정 압력에서 외부

의 다른 장치를 제어하는데 사용 할 수 있다.

<Relay 접점 동작변화>

Normal Open -> Close

Normal Close -> Open

PLH

Normal Open -> Open

Normal Close -> Close

PLL

Normal Open -> Close

Normal Close -> Open

센서의 값(압력값)이 설정된 PLH보다 높거나 PLL보다 낮으면 동작한다.

따라서 Normal Open과 Normal Close 접점은 반대로 동작하므로 모든 상황에서 제어가 가능하다.

Process Limit이 활성화 되면 액정표시화면 오른쪽에 P1 또는 P2가 표기되며 다시 비활성화 되면

사라진다.

Process Limit 기능은 옵션사항으로써 화면표시 유무와 상관없어 옵션이 장착된 경우에만 실제

Relay Pinout이 동작함에 유의 바람

동작

동작

16

[P1] PROCESS LIMIT 1

[PL1H]

P1 Mode에서 [ENT]를 눌렀을 때 PL1H의 값 전체 깜박인다.

이 상태에서 [ENT]를 누르면 0.1000의 가장 왼쪽자리만 깜박인다.

[] 자릿수 위치 조정, [] 숫자 크기 조정


[PL1L]

위의 상태에서 []를 눌러 실행시킨 후 PL1L로 이동하면 PL1L의 값 전체가 깜박인다.




설정된 PL1이 활성화 되면 액정표시화면 오른쪽에 P1이 표기되며 다시 비활성화 되면

P1이 사라진다.


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[PROCESS LIMIT 1]

PL1H : [0.1000]

PL1L : [0.0100]

MENU

ESC

SP1

OPEN

SP2

CLOSE

SP3

STOP

FUNC

ENT

17

[P2] PROCESS LIMIT 2

두 번째 Trip point 값을 설정한다.

PROCESS LIMIT 2는 PROCESS LIMIT 1 설정 방법 동일하다.

[PL2H]

P2 Mode에서 [ENT]를 눌렀을 때 PL2H의 값 전체가 깜박인다.




[PL2L]

위의 상태에서 []를 눌러 실행시킨 후 PL2L로 이동하면 PL2L의 값 전체가 깜박인다.





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[PROCESS LIMIT 2]

PL2H : [0.1000]

PL2L : [0.0100]

MENU

ESC

SP1

OPEN

SP2

CLOSE

SP3

STOP

FUNC

ENT

18

[S MODE] SYSTEM

Control Mode, Comm Setting, Set Accuracy를 설정

[Control Mode]

LOCAL, REMOTE Mode를 설정

LOCAL Mode는 사용자가 VC100 CONTROLLER의 Key를 이용하여 VALVE를 제어할 때 사용

REMOTE Mode는 RS232 & RS485 통신을 이용할 때 사용

통신을 사용할 경우 PC 또는 PLC 등의 HOST에서 편리하게 제어할 수 있다.

REMOTE Mode 설정시 컨트롤러의 동작키들은 동작하지 않으며 반드시 LOCAL 모드로 변경해야

만 동작 시킬 수 있음에 유의.

REMOTE 모드시 화면 오른쪽 위에 R 로 표기되며 로컬 키패드 버튼은 동작하지 않는다. 이때 설

정화면으로 진입하기 위해서는 3초이상 MENU키를 누르고 있어야 MENU 화면으로 진입한다.

[Comm Setting]

Baudrate, Delimiter, Address를 설정.

Baudrate 는 데이터 전송속도를 의미하며

2400, 4800, 9600, 19200, 28800, 57600을 설정할 수 있다.

제품 출고 초기값은 9600 이다

Delimiter는 RS232 혹은 RS485 통신의 종단문자를 의미한다. (End of Command)

[CR], [CRLF]를 선택할 수 있다.

[CR]은 아스키코드 0x0D를 의미하며, [LF]는 아스키코드 0x0A를 의미한다

[CRLF]를 사용하는 것은 이 둘을 모두 적용해야 한다.

제품 출고 초기값은 [CR] 이다.

Address 는 RS485 통신을 사용할 때 해당 기기에 적용되는 고유 주소를 의미한다.

VC100은 1~255의 Address를 설정할 수 있다.

※ 단, RS232 통신 사용 시 address는 반드시 000으로 설정해야 한다.

19

[I MODE] INFORMATION

정보 표기화면


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[VC100 V1.00]

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TEL : 031–8065-5570

FAX : 031-8065-5575

MENU

ESC

SP1

OPEN

SP2

CLOSE

SP3

STOP

FUNC

ENT

20

<VC100 RS232 & RS485 Default Setting> <23rd Jul, 2018 REVISION 1.7>

Baud Rate : 9600 <USER CHANGEABLE>

Parity bit : None <USER NOT CHANGEABLE>

Stop bit : 1 <USER NOT CHANGEABLE>

Data bit : 8 <USER NOT CHANGEABLE>

End of line Delimiter : CR <USER CHANGEABLE>

Handshaking : Off <USER NOT CHANGEABLE>

<Command Format>

<RS485 Format>

#XYZ_CMD Parameter<CR>

*Must be set Address in VC100 Address Field

<RS232 Format>

*Must be clear 000 in VC100 Address Field

# - RS485 Start Character

XYZ – RS485 Address : 1~255 Set by Local

_ - Space Character (0x20)

CMD – Command

Parameter – for Setting Value

<CR> - Delimiter for end of string

<<<RS232 Ex>>>

<Host>R5<CR>

<VC100>P 50.0<CR>

=>System Pressure is 50% of Fullscale Range

<<<RS485 Ex>>>

<Host>#001 R5<CR>

<VC100>*001 P 50.0<CR>

=>Address 001 Device System Pressure is 50% of Fullscale Range

*If Delimiter was set by <CRLF>, All Return End of Delimiter is <CRLF> instead of <CR>

*All response is *XYZ_ + <data field> in RS485 or RS232 Address Mode (5BYTE HEADER + DATA)

Commands

21

RS232 Command Summary

Command Function

S1 Value Set level of set-point 1 ; % of Full Scale

pressure for pressure set-points

position for position set-points

% of open for direct direction control

% of closed for reverse direction control











D1 Set Point 1 실행



E Value

Sensor Range Value Value : 0.1 ~ 99999

Min

Max

0.1

99999

F Value

Pressure Unit Value

0 = Torr (default )

1 = mTorr

2 = mbar

3 = µbar

4 = kPa

5 = Pa

6 = cmH2O

7 = inH2O

Note: E 와 F command에서 pressure reading은 F.S.의 %를

의미하고 실제 압력을 자동으로 전환해서 읽지 않으므로

사용자가 직접 Sensor range와 unit를 입력하여야 한다.

O Open valve

C Close valve

H Hold (Stop) valve

P1 Value Set low threshold for process limit 1

(Value = % of Full Scale)

22

P2 Value Set high threshold for process limit 1


P3 Value Set low threshold for process limit 2


P4 Value Set high threshold for process limit 2


Z1 Pressure Sensor Zeroing

Z2

Z3 Clear the zero

T1 Value Set-point 1 에 대한 Type

Value = 0 → Position

1 → Pressure



1 → Pressure



1 → Pressure

J Value Set Accuracy

Value = 0 → 1 digit

1 → 10 digit

N Value Direction 설정

Value = 0 → Direct

1 → Reverse

X1 Value Set Point 1 에 대한 P.Lead 설정(Value = Seconds)



M1 Value Set Point 1 에 대한 Gain 설정(Value = % gain)



23

RS-232 Request & Response Reference Summary (Continued)

Request

Message

Information

Requested

Response

Message

R0 Analog set-point value S0 Value

Value = % of Full Scale

R1 Set -point 1 value S1 Value


Ex) S1+30.00

= set-point : 30% of F.S.

(10 Torr F.S unit 이라면

set-point 는 3 Torr)





R5 System pressure value P Value


R6 Valve Position Value V Value

Value = % of Open rate

(0 → close, 100 → full open)

R7 Alternate system status

(for compatibility)

MXYZ

For the value of X

0 = analog set-point

1 = set-point 1

2 = set-point 2

3 = set-point 3

For the value of Y

0 = controlling

2 = valve open

4 = valve close

For the value of Z

0 = pressure ≤ 10% of F.S.

1 = pressure > 10% of F.S.

24

R8 Valve Status MX

For the value of X

0 = working

1 = Error

R9 Set Accuracy J Type

Type = 0 → 1 Digit

1 → 10 Digit

R11 Low threshold

process limit #1

P1 Value


R12 High threshold

process limit #1

P2 Value


R13 Low threshold

process limit #2

P3 Value


R14 High threshold

process limit #2

P4 Value


R26 Set Point 1 Type

(pressure or position)

T1 Type

Type = 0 → Position

1 → Pressure



T2 Type


1 → Pressure



T3 Type


1 → Pressure

R32 Direction Type

(direct/reverse control)

N Value

Value = 0 → Direct

1 → Reverse

R33 Pressure Sensor Range E Value,

Min Value

Max Value

0.1

99999

25

R34 Pressure Units F Value,

Value = 00 → Torr

01 → mTorr

02 → kpa

03 → pa

04 → mbar

05 → µbar

06 → cmH2O

07 → inH2O

R37 System status

MXYZ

For the value of X

0 = Local

1 = Remote

For the value of Y

0 (default)

For the value of Z

0 = open

1 = close

2 = stop

3 = set-point 1

4 = set-point 2

5 = set-point 3

R38 Software version

R41 P.Lead (Set Point 1) X1 Value

Value = seconds


Value = seconds


Value = seconds

R46 Gain (Set Point 1) M1 Value

Value = % gain


Value = % gain


Value = % gain

VSYS VC100 · 2019. 7. 5. · APC Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out APC Valve (Throttle...

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