VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
-
Upload
baxter-kemp -
Category
Documents
-
view
35 -
download
0
description
Transcript of VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
![Page 1: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/1.jpg)
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
Előadó: Patay AndrásMentor: Szabó Tamás
![Page 2: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/2.jpg)
Rétegleválasztás módszerei
• Kémiai rétegleválasztások (Chemical Vapor Deposition)
• Fizikai rétegleválasztások (Physical Vapor
Deposition):
Vákuumgőzölés (elektronsugaras, termikus)
Porlasztás (DC, RF)
![Page 3: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/3.jpg)
PVD eljárás feltételei
• Vákuumrendszer: - Vákuumkamra- Csatlakozók- Vákuumszivattyúk
• Rétegleválasztó egységek:- Elektronágyú- DC porlasztó
![Page 4: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/4.jpg)
Vákuumgőzölés
• Feladat: 1. Alumíniumréteg leválasztása vákuumgőzölő berendezés segítségével
2. A növesztett réteg sűrűségének megállapítása
![Page 5: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/5.jpg)
A feladat lépései
• Szilícium-szelet megjelölése• Szilícium szelet tömegének mérése• Alumínium réteg növesztése• A növesztett réteg tömegének meghatározása• (kémiai laborban lépcsőmarás)• A növesztett réteg vastagágának lemérése Alpha-
steppel• Si-szelet felszínének kiszámítása• A növesztett réteg sűrűségének kiszámítása
![Page 6: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/6.jpg)
Eredmények
• Leválasztott tömeg: m = 0,00417g• Si szelet felszíne: A = 77,77741 cm2• Rétegvastagság: d = 330,6 nm• Számított térfogat: V = A × d = 0,002571 cm3• Számított sűrűség:
ρ = m / V = 1,6217 g/cm3
![Page 7: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/7.jpg)
![Page 8: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/8.jpg)
![Page 9: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/9.jpg)
Porlasztás
• Feladat: Titánréteg növesztése katódporlasztással „lift-off”-os szeletre, majd a réteg vastagságának lemérése, kiépülési sebesség meghatározása.
• Feladat célja: A mérés után meghatározható, hogy az azonos paraméterek mellett (teljesítmény, végvákuum, gáznyomás, szeletforgatási sebesség), mennyi idő szükséges egy általunk választott rétegvastagság eléréséhez.
![Page 10: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/10.jpg)
Adatok• Paraméterek:
- Teljesítmény: 30% (463 V, 2,7 A)- Végvákuum: 4×10-6 mbar- Gáznyomás: 30 sccm (Ar)- Szeletforgatási sebesség: 60 %- Előporlasztás: 1×3 perc- Porlasztás időtartama: 2×2 perc
• Ti-szelet vastagsága: d = 90 nm• Leválasztási sebesség: 22,5 nm/perc• Szükséges idő 200 nm vastagság eléréséhez:
8 perc 53 másodperc
![Page 11: VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL](https://reader036.fdocument.pub/reader036/viewer/2022062301/568137a0550346895d9f457e/html5/thumbnails/11.jpg)
Köszönöm a figyelmet!