SU-8020 電界放出型走査電子顕微鏡使用方法

精密分析室

2014/11/20

目次

2

終了

3 　準備・始動 4 　試料の準備　挿入

7 　二次電子像の観察

6 　電子線の発生

11 　反射電子像の観察 10 　 STEM 像の観察

11 　画像の調整 12 　非点収差補正 13 　画像の保存

14 　試料交換の方法 15 　観察の終了

18 　ＭＥＮＵ階層１

16 　装置の停止

17 フラッシングとメニューボタン変更

21 　停電時および装置完全停止

22 　停電復帰後および装置立ち上げ時

19 　ＭＥＮＵ階層２

23 　試料室に空気を導入時の操作　

準備・始動

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１ . 　 DISPLAY SW を ON にして　　装置を立ち上げる

２ . 　 SU-8000 をクリック

３ . 　パスワードは無く　リターンを押す

４ . 　 HV 表示部をクリックして HV 設定　　メニューを表示させる

５ . 　フラッシングをするよう表示されたら、フラッシング 強度が２であることを確認して実行する

PC-SEM が起動

試料の準備　挿入

4

１　試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする

２　試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう 調整して、ローレットがきってあるネジで固定する

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３　オペレーションパネル / ステージで試料サイズを　　 2inches で試料の横幅を設定する　　試料高さは Standard を選択

４　加速電圧が OFF であることを確認する　　 原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する　　Ｚは８ mm も確認

Standard

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５　 AIR を押し試料交換室が大気になるとブザー　　が鳴る６　試料交換室を手前に引き、試料交換室　　を押さえながら交換棒を押し出すUNLOCK 　にした交換棒の先端に試料ホル ダーをセットし、交換棒をLOCK にして試料ホルダーを　　　　セットする７　交換室を押さえながら交換棒を引き、カチッと音がするまで引く

８　交換室を押し、 EVAC ボタンを押して真空が　　上がるとブザーが鳴る９　 OPEN ボタンを押して試料交換室のガラス　　窓から覗き、ゆっくり交換棒を押してＸｃ　　ランプがつくまで押し込んで試料をセット　　する

10 　交換棒を UNLOCK にし、　　交換棒がカチッと音が　　　するまで引く

11 　 CLOSE ボタンを押すと ブザー音が鳴る

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電子線の発生１．ステージで試料サイズ・高さを入力する

２．基本 / 電子光学系条件　　プローブ電流　 Norm　　ＥＤＳで感度が弱いときは　　 High にする 　　ＷＤ　 8.0mm 　　検出器　 SE

３．加速電圧を ON 　通常は 15kV

試料は時計方向に９０ ° 回転して観察される

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二次電子像の観察

オート画像調整

スキャンスピード

スキャンの開始・停止 オートフォーカス

アパーチャーアライメント ダイレクトセーブ

クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブ

キャプチャーボタン右のアルファベットがスピード

フォーカス

Fine Coarse

明るさ

コントラスト

倍率

イメージシフト

非点補正・軸調整

低倍　高倍切り替え

オートブライトコントロール

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反射電子像の観察１．ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入　　するこの際Ｚは必ず７ mm以上にする

２．ステージタブの BSE がオレンジになっていることを確認する

３．ステージタブの信号選択で PDBSE を選択する

４．詳細設定から検出器の設定をする５．素子の組み合わせで３つの　　構成が選べる

9

７．終わったらハンドルを右回りにまわして　　検出器をもどしておく

８．Ｚを８にして、　　信号選択を SED ２次電子にもどす

６．信号処理調整する

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ＳＴＥＭ像（明視野、暗視野）の観察

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１．試料をホルダーにセットして　　通常の方法で試料室にセット　　する

２．加速電圧は２０～３０ｋＶで使用する　　信号選択はＴＥにする

明視野用　　　　暗視野用

画像の調整

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１．フォーカスを変化して像が動くときは　　アライメント（ビーム、アパーチャ）調整を押してＸ、Ｙを調整して像の動きを止めるスティグマ　　　　　　　　　　　明るさ　　　コントラスト

倍率　　　　　　　　　　　　　　　　　　　フォーカス

非点収差補正

12

非点収差がない場合　フォーカスで均一にぼやける

非点収差がある場合　フォーカスで不均一にぼやける

アンダーフォーカス　　　最良点　　　　オーバーフォーカス

ぼけの方向が違ってくる

AUTO(STIGM)自動で非点補正をする

STIGMA/ALIGNMENT X Y

注：非点補正をするときはフォーカスをあわせながら調整する

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信号による特質

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信号電子 　　　　　性質 　　　　　場面

SE 信号量が多く、検出効率も高い

最表面で発生し高分解能

エッジコントラストが強い

電位コントラストが得られる

チャージアップの影響を受けやす

い

チャージアップしない試料の一般観察

試料最表面の超高分解能形態観察に有利

LA-BSE 信号量は少ない

組成情報と形状情報が混在

内部情報が得られる

エッジコントラストが弱い

チャージアップの影響が小さい

チャージアップする試料の一般観察

組成情報の強調

エッジコントラストの低減

適用可能分野が比較的広い

HA-BSE 信号量は少ない

組成情報多く、形状情報は少ない

内部情報が得られる

エッジコントラストが弱い

チャージアップの影響が小さい

組成コントラストの強調

内部情報の観察

材料によっては、信号の発生率が極めて

小さい

画像の保存

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１．スキャンスピード Slow で画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影

２．画像リスト内の必要な画像を　　選択（黄色の枠内）し、　　保存ボタンを押す

クイックセーブのときは　ファイル / クイックセーブから保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を自動でつけて保存してくれる

試料交換の方法

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１．加速電圧を OFF

２．試料位置を原点に戻す

３． OPEN ボタンを押しブザー音がなる

４．交換棒を UNLOCK にして試料室内に止まる　　までの挿入する

５．交換棒を LOCK にして鏡体内を覗きながら　　交換棒をストッパーがかかるまで引く

６． CLOSE ボタンを押しブザー　が鳴ったら AIR ボタンを押して、　ブザーが鳴るまで待つ

７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す　　交換棒を UNLOCK（時計回り）にして試料を外す

観察の終了

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１．加速電圧を OFF

２．試料位置を原点に戻す

３． OPEN ボタンを押しブザー音がなる

４．交換棒を UNLOCK にして試料室内に止まる　　までの挿入する

５．交換棒を LOCK にして鏡体内を覗きながら　　交換棒をストッパーがかかるまで引く６． CLOSE ボタンを押しブザー

　が鳴ったら AIR ボタンを押して、　ブザーが鳴るまで待つ７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す　　交換棒を UNLOCK（時計回り）にして試料を外す

８．交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けて EVAC を押す

装置の停止

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３．コンソール右の DISPLAY スイッチを OFF にする　　チラーの電源と連動しているので、忘れない　　ように

１．交換室パネルのＥＶＡＣが点灯していることを　　確認する

２． PC-SEM と Windows を終了する

ＯＦＦ

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フラッシングとメニューボタンの変更

フラッシングをするときはここをクリック

　をクリックするとボタンが変更できる

２を確認

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Ｍｅｎｕ階層１

20

Ｍｅｎｕ階層２

21

長いほどチャージしやすい

停電時および装置完全停止時の操作

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１．日常停止操作を行う２．排気系操作パネルのEVAC POWER スイッチを OFF にする

３．対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ３５分後に停止する　　排気系操作パネルの表示部に POFF が表示されれば停止完了です４．排気系操作パネルのイオンポンプの電源　　　スイッチ (IP 1—3) を OFF にする　　ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、　　　 IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE 　　の各ブレーカーを OFF にした後、　　 MAIN ブレーカーを OFF にする５．配電盤のブレーカーを　　　 OFF にする

停電復帰後および装置立ち上げ時

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１．配電盤の電源ブレーカーを投入する。　冷却水を流し（本体背面の流量　メーターが 1.0～ 1.5L/min であることを確認２．ディスプレイ背面の電源ブレーカーのMAIN ブレーカーを ON にする停電で停止した場合、ブレーカーが OFF になっていない場合はいったんすべてのブレーカーを OFF にしてから電源を投入して下さい

３． IP,EVAC,DISPLAY の各ブレーカーを ON にする。 (OUTER BAKE は通常は OFF)

４．排気系操作パネルの STAGE POWER,EVAC POWER, イオンポンプ電源 SW(IP 1---3) を ON にするリセットＳＷのランプが点灯しないときはリセットＳＷを押す

試料室に空気を導入時の操作

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１．電子銃高圧を OFF にする２．対物レンズ可動絞りの加熱を　　　 OFF にして３０分まつ

３．ＳＣ　ＡＩＲスイッチを３秒間押す。スイッチのランプが点滅状態になり、　　　空気導入シーケンスがスタートする。

試料室の排気４．排気系操作パネルのＳＣ　ＥＶＡＣを押す、スイッチが点滅を始め　　　試料室排気シーケンスがスタートする。３０分程度で排気完了　　　するが、高圧印可まで１時間以上まつ。５．ＳＣ　ＥＶＣスイッチが点灯してから３０分経過後、対物レンズ可動絞り　　　加熱スイッチをＤＥＧＡＳにして加熱を始める。　　　約１時間後ＡＵＴＯにする