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Solutions Partner CatalogKeysight Technologies & 株式会社東陽テクニカ

電気化学・材料評価

東陽テクニカとキーサイト・テクノロジーのコラボレーション

各種材料の計測ソリューションをご提案

株式会社東陽テクニカ

固体電解質・各燃料電池用電解質計測ソリューション

誘電体計測ソリューション

計測ソリューション

東陽テクニカは世界最高水準の“はかる”技術の提供をコアコンピタンスとし、日本の産業に貢献しております。二次電池、燃料電池、低温物性、半導体など多岐に渡る分野に海外の最先端の測定機器・技術を提供しております。

全固体リチウムイオン二次電池や固体酸化物燃料電池(SOFC)のイオン伝導度評価にインピーダンス測定を用います。特に固体電解質はイオン伝導度の温度依存性(アレニウスプロット)からイオン活性化エネルギーを求めるため、温調システムとインピーダンス・アナライザを組み合わせた自動測定が必要です。

高分子材料は非常に多くの分野で利用され、研究開発が行われています。有機ＥＬ・液晶などの表示素子、プリント基板用の絶縁材、飛行機機体などに使用されるエポキシ樹脂、接着剤などその応用は限りありません。これらの材料の多くは物性評価としてのインピーダンス測定により誘電率を算出します。また、温度変化による誘電率・誘電損失の変化を見ることにより、より詳細な物性を知ることができます。

| Keysight | Solutions Partner Catalog 東陽テクニカ電気化学・材料評価02

半導体計測ソリューション

Keysight Technologies

LCRメータ/インピーダンス・アナライザ/半導体デバイス・パラメータ・アナライザ

近年、省エネルギー化や再生エネルギー活用の為の取り組みが求められ、パワー半導体、太陽電池、熱電材料が注目されています。これらのデバイスをより高効率にするためには、半導体デバイスの基礎物性、キャリア輸送機構を調べる事が不可欠です。基礎物性評価としてI-V測定/C-V測定、キャリア輸送機構を調べるためにはホール測定によりキャリア濃度・キャリア移動度を知る必要があります。また極低温真空プローバー等を組み合わせ環境温度を可変させて測定する事により、室温測定だけでは見えてこない特性を調べる事ができます。

キーサイト・テクノロジーの測定器キーサイト材料測定一覧 ………………………………… 11

キーサイト半導体測定一覧 ……………………………… 12

各種測定器 …………………………………………… 13～19

－ LCRメータ－インピーダンス・アナライザ－ソース・メジャー・ユニット－エレクトロメータ－半導体デバイス・アナライザ－パワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサ

東陽テクニカのソリューション固体電解質・各燃料電池用電解質計測ソリューション ……4

誘電体計測ソリューション …………………………………5

半導体計測ソリューション …………………………… 6～9

ヒューレット・パッカードから始まる電子計測の歴史は、アジレント・テクノロジーを経て、現在はキーサイト・テクノロジーに引き継がれています。電子計測の分野で世界最高をお届けして75年、たゆまぬ努力が、お客様の新しい分野への挑戦をお助けします。


1010

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|Z|

Frequency(Hz)

500℃

600℃

700℃

800℃

900℃1000℃

固体電解質・各燃料電池用電解質計測ソリューション最大1200℃超高温下の物性測定温調・サンプルホルダ・インピーダンス測定のトータルソリューション

LCRメータもしくはインピーダンス・アナライザ

EDMS制御ソフトウェア

ジルコニア固体電解質の温度依存性500℃～1000℃まで100℃毎に測定

（温調とインピーダンス測定を自動で制御・測定）

UHT-Z-1000 加熱炉付サンプルホルダ

温度制御オプションラインアップはP9参照

サンプルホールド部の下部側

先端部内部

ガス供給チューブサンプルホールド(スプリングで固定 )

内側チューブ

測定ケーブル

下電極

熱電対

インピーダンス・アナライザとUHT-Z-1000 超高温加熱制御システムを使用すれば加熱炉が指定の温度に到達した時点で自動的にインピーダンス測定を開始することができるため、温度とインピーダンス測定を全自動化することが可能です。


誘電体計測ソリューション

液体・固体・紛体　様々なサンプルに対応サンプルホルダ・インピーダンス測定のトータルソリューション

空気に触れてはいけないサンプルの測定（空気遮断密閉ホルダ）

粉体のインピーダンス測定（一定圧力キット）

EDMS制御ソフトウェア

LCRメータもしくはインピーダンス・アナライザ SH2-Z耐熱（～165℃）サンプルホルダ

液 /粉体測定用ホルダ

空気遮断密閉ホルダ

一定トルクで押し付け

誘電材料は用途によって様々な形状（液体・固体・紛体）があり、形状に合わせたインピーダンス測定を行う必要があります。SH2-Zサンプルホルダは、液体・固体・紛体サンプルのインピーダンス測定に対応しております。また、165℃の耐熱性能を有しているため、サンプルの温度特性も測定可能です。

空気遮断密閉ホルダは、グローブボックスの中に入れて、サンプルセッティングすることができます。セッティング後、外部環境下でSH2-Z本体と接続して測定できる下電極のオプションです。密封性が高く、揮発性の高いサンプルや大気、水分に触れてはいけない非水系のサンプル測定に適しています。

SH2-Zのトルクレンチオプションは、常に一定のトルク（≒圧力）でサンプルへの押し付けが可能です。また、同時にマイクロメーターとの連動によりサンプル厚みの計測が可能です。これにより、

1．人間の感覚による厚み測定の誤差をなくすこと2．粉体測定で問題となる粉の充填率によるデータの再現性

の両方を改善する最適なソリューションです。リチウムイオン電池の正極材料、燃料電池の電解質膜、トナーなどの各種粉体材料、厚みの規定が難しいアプリケーションなどで応用できます。

穴（ネジ）

空気遮断密閉ホルダの構造図

Oリング



測定環境を可変・複数のサンプルを効率よくかつ高確度に測定極低温測定を極めたプロービングシステムソリューション複数のサンプルを同時に温度制御でき、かつ可動式のマニピュレータでサンプルとのコンタクトを自由に変更できるため、実験の実施効率が大幅に向上します。また、温度を変更しても接触位置をキープするCVTフレキシブルプローブを使えばPCを利用した全自動測定が簡単に実施できます。キーサイト製品を制御する専用ソフトウェアも用意されています。

半導体デバイス・パラメータ・アナライザ

LCRメータ

IV測定

容量測定

パルスド IV測定


温度を変更しても接触位置をキープするCVTプローブPCを利用した全自動測定が簡単に実行できます

寒剤フロー式プローブステーション機械式冷凍機搭載プローブステーション

TTPX CPX CPX-VF CPX-HF EMPX-HF FWPX CRX-6.5K CRX-4K CRX-VF CRX-EM-HF

IV ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

CV ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

マイクロ波 ○ ◎ ◎ ◎ ○ ◎ ○ ○ ○ ○

電気-光学 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

磁気抵抗 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎

ホール効果 ◎ ◎

有機材料 ○ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎

ロードロック ◎ ○

大型サンプル ○ ◎ ○

特許取得

温度を可変させても接触位置をキープ！

4K

contact pad

contact pad

contact pad

contact pad

室温

従来のプローブ CVT プローブ

プローブアームの膨張により接触位置が変化

CVTプローブと従来のプローブの比較


仕様－ホール移動度： 0.0001cm2/V・s以上（端子間抵抗 108Ω以下）－比抵抗： 10-8Ωcm～ 109Ωcm（試料厚み=1µm）－幅広い温度範囲： 4.2K～1073K（800℃）

特長高抵抗（低移動度）サンプル　→ 交流磁場によるACホール起電圧測定法により測定ノイズ

を大幅に除去

低抵抗(微小起電圧)サンプル　→ 印加電流反転によるデルタ電圧測定法により電圧測定

高分解能を実現

幅広い温度可変測定が可能　→ アプリケーションに合った温度にてホール測定を実現する

ために幅広い温度範囲のサンプルホルダーのラインアップ


ResiTest 8400型　比抵抗/ホール測定システムパワーデバイス・発光デバイス・太陽電池等のワイドバンドギャップ半導体の評価に！

ResiTest8400型

＜ResiTest　実測データ＞

＊移動度が 1cm2/Vs 以下のサンプルも多数測定実績があります。

試料ホルダー部：ラインアップ

形　式温度範囲冷却／加熱方式（特徴）雰囲気温度／安定度

LH型 4.2 K～400 K 液体Heフロー／ヒーター He ±0.1 K

REFS型 5 K～300 K 2段冷凍機／ヒーター He ±0.1 K

REFSOP型 6 K～300 K 同上（導光用窓付） He ±0.1 K

REF型 20 K～300 K 2段冷凍機／ヒーター He ±0.1 K

REFOP型 20 K～300 K 同上（導光用窓付） He ±0.1 K

LN型 78 K～473 K 液体窒素溜／ヒーター He ±0.1 K

LNOP型 78 K～300 K 同上（導光用窓付） He ±0.1 K

RT型室温－大気－

LNS型 78 K & 室温液体窒素ジャブ浸 N2 －

VHT型室温～800℃

（室温～600℃）巻線ヒーター真空

（希ガス） ±0.1 K

キャリア濃度［/cm3］

移動度［

cm2 /

Vs］

AC磁場によるホール測定限界カタログ値

ノイズレベル◆ < 20%　● > 20%

100

10

1

0.1

0.01

0.001

試料は一辺が5mm～10mm程度の正方形で、四隅に電極を取付可能なVan der Pauw型を基準とします。試料電極と信号線との接続は、爪電極型、ワイヤリング型がございます。

＜アプリケーション例＞GaN、SiC、a-Si、p-Si、CIGS、IGZO、有機半導体

＜アプリケーション例＞ITO、ZnO、TiO、CNT、グラフェン、熱電材料


型名 CRX-4K REF-Z LN-Z

温度範囲 4.5 K～350 K or 20 K～675 K 15 K～300 K or 20 K～500 K 78 K～473 K

温度安定度 50 mK以下 ±0.1 K

タイプ機械式冷凍機極温度プローバー機械式冷凍機クライオスタット液体窒素冷却クライオスタット

周波数応答性 DC～67 GHz DC～1 MHz

信号ケーブル SMA-BNC SMA-3ラグ Triax SMA-SMA 同軸シールド線

サンプル接続プローブ押さえワイヤリング爪押さえ上下挟み込みワイヤリング爪押さえ

サンプル雰囲気真空 Heガス置換

対応サンプルウェハー（51 mmΦ以下）個体ディスク（10 mmΦ以下）ゲル状サンプル

サンプル交換方法ステージ取り外しトップローディング

光オプション光ファイバー導光窓光ファイバー導光窓光

装置構成

冷凍機極低温プローバーマニュピレータプローブ

336温度コントローラ

冷凍機クライオスタットサンプルロッド


LN2クライオスタットサンプルロッド


型名 UHT-Z2-1200 HT-Z2-1000 MT-Z2-500

温度範囲室温～1200 ℃ 室温～1000 ℃ 室温～500 ℃

温度安定度 ±1 ℃

タイプ加熱方式サンプル雰囲気制御可能加熱方式

周波数応答性 DC～100 kHz

信号ケーブル白金単線単線

サンプル接続上下挟み込みサンドウィッチ構造

サンプル雰囲気真空、ガス置換可能（2系統）大気

対応サンプル個体ディスク（10 mm～25 mmΦ）液体個体ディスク（12 mmΦ）以下

サンプル交換方法アウターチューブ取り外し前開き

光オプション石英ガラス不可

装置構成

加熱炉（ラック込）ProboStatサンプルホルダHA900温度コントローラヒーター用電源

卓上型加熱炉ProboStatサンプルホルダHA900温度コントローラヒーター用電源

温度制御オプションラインアップ

＊極低温プローバーは合計 10種類用意しています。詳細は株式会社東陽テクニカ営業部までお問い合せください。


インピーダンス計測ソリューション


キーサイト・テクノロジー測定編

長年にわたる、半導体パラメータ測定を柱に、半導体材料から基板材料、その他化学系材料まで、測り尽くすのがキーサイトです。

近年、省エネルギー化や再生エネルギー活用の為の取り組みが求められ、パワー半導体、太陽電池、熱電材料が注目されています。これらのデバイスをより高効率にするために、超微小電流から最新のパワーデバイス特性まで迅速に測定をし、半導体デバイスの基礎物性、キャリア輸送機構を調べる事が不可欠です。東陽テクニカ社とのコラボレーションは、I-V測定/C-V測定だけではなく、キャリア輸送機構を調べるためのホール測定によるキャリア濃度・キャリア移動度も提供します。ベースになる、基本データを提供する世界は広がっています。


材料測定・評価

低周波誘電率測定（＜1GHz程度）

高周波誘電率測定（>1GHz）

高周波誘電率測定、低誘電損失材料（>1GHz）透磁率測定

平行電極容量法伝送反射S-パラメータ法共振法E4991B

インピーダンス・アナライザ

16454A 磁性材料テスト・フィクスチャ

E4980AプレシジョンLCRメータ

材料測定用電極各種

ENA/PNAネットワーク・アナライザ

PNAネットワーク・アナライザ＋N1501A誘電体プローブ・キット

各種サンプルホルダ、フィクスチャ

N1500A材料測定ソフトウェア


PNAネットワーク・アナライザ

各種共振器

E4991Bインピーダンス・アナライザ

E4990Aインピーダンス・アナライザ

磁性体電波吸収体PCB、基盤材料半導体、電子部品用材料


試験項目測定方法代表モデル特徴概算金額

低周波誘電率測定

平行電極容量法

E4980AプレシジョンLCRメータ16451B誘電体テスト・フィクスチャ

～2MHzの誘電率測定ASTM-D150準拠

約300万円～

E4990Aインピーダンス・アナライザ 20MHz～120MHz16451B誘電体テスト・フィクスチャ

～30MHzの誘電率測定ASTM-D150準拠

約460万円～

E4991Bインピーダンス・アナライザ16453A 誘電材料テスト・フィクスチャ

～1GHzの誘電率測定約730万円～

平行電極容量法（液体対応）

E4980A プレシジョンLCRメータ16452A 液体テスト・フィクスチャ

液体の誘電率約380万円～

高周波誘電率測定（>1GHz）

伝送・反射・S-パラメータ法

N523XA PNA-Lネットワーク・アナライザN1501A 誘電体プローブ・キットN1500A 材料測定ソフトウェア

200MHz - 50GHz誘電率特性を測定－40℃～＋200℃に対応する高温プローブも用意

約950万円～（13.5GHz）

E5071C ENAネットワーク・アナライザN1501A 誘電体プローブ・キットN1500A 材料測定ソフトウェア

200MHz - 20GHz誘電率特性を測定－40℃～＋200℃に対応する高温プローブも用意

約920万円～（20GHz）

高周波誘電率測定低誘電損失材料（>1GHz）

共振法

N523XA PNA-Lネットワーク・アナライザ85072A 10GHzスプリット・シリンダ共振器N1500A 材料測定ソフトウェア

IPC TM650 2.5.5.13テスト手法に準拠共振周波数、Q値の変化より測定

約1,180万円～

各種空洞共振器各種共振器につきましては、キーサイトへお問い合せください

お問い合せください

透磁率測定インダクタンス法E4991Bインピーダンス・アナライザ16454A 磁性材料テスト・フィクスチャ

1kHz～1GHz温度特性：－55～150℃

約700万円～

概算価格は、代表的なモデルでご準備いただいた場合の参考価格となります。ご予算申請前には、営業へご確認ください。


半導体／トランジスタ評価

IC ナノテクパワーデバイス太陽電池 MEMS

B1500A半導体デバイス・アナライザ

E5270B8スロット高精度測定メインフレーム

E4980AプレシジョンLCRメータ

B2900A ソース・メジャー・ユニット

E4990Aインピーダンス・アナライザ

B1500Aにモジュール、B1530A波形生成／高速測定ユニットを追加することにより、ランダム・テレグラフ・ノイズ（RTN）測定が可能

B1542A10nsパルスIV

パラメトリック・テスト・ソリューション

B1505A/06Aパワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ

N1259A/N1265AB1505A用ハイパワー・

テストフィクスチャ

IV特性、リーク電流試験

CV特性試験

パルスIV試験

ノイズ評価試験、過渡応答評価試験

耐圧試験、オン抵抗試験




規格名試験項目代表モデル特徴概算金額

IC

IV特性試験E5270B 8スロット高精度測定メインフレームB2900A ソース・メジャー・ユニット

E5270Bは最小0.1fAの微小電流分解性能をもつ高精度な半導体デバイス評価用装置B2900Aは10fA/100nVから3A（DC）、10.5A（パルス）/ 210Vまでの IV測定を1台でサポート。画面上にIVカーブ描写

E5270B 約330万円～

B2900A 約68万円～キャンペーン実施中

2016年5月27日まで

IV/CV特性試験B1500A 半導体デバイスアナライザ

0.1fA/0.5µVから1A/200VまでのIV測定およびCV測定を1台でサポート。また、様々なパルス測定をサポート

約700万円～

パルスIV試験B1542A 10nsパルスIVパラメトリック・テスト・ソリューション

最小10nsパルス幅のパルスIV測定によりHigh-kゲート絶縁膜やSOI （シリコン・オン・インシュレータ）の評価が可能

約830万円～

ノイズ評価試験／過渡応答評価試験

B1500A 半導体デバイスアナライザ（ B1530A 波形発生器／高速測定ユニット）

正確な高速IV/タイム・ドメイン測定が可能で、パルスIV、NBTI、RTS測定など幅広いアプリケーションに対応

約830万円～

太陽電池

IV特性試験B2900A ソース・メジャー・ユニットE5263A 2チャネル（HPSMU/MPSMU）高速ソース・モニタ・ユニット

B2900Aは3A（DC）、10.5A（パルス）/210VのIV測定に対応、サブpF微小電流測定可能100mA/100V（E5262A）、1A/200V（E5263A）の2チャネルの高速DC測定装置

B2900A 約68万円～キャンペーン実施中

2016年5月27日まで

E5263A 約300万円～

IV/CV特性試験B1500A 半導体デバイスアナライザB1505A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ

最大1A/200V（B1500A）、1500A / 10kV（B1505A）のIV特性評価CV特性評価も可能

B1500A 約700万円～B1505A 約660万円～

MEMS

リーク特性／CV特性試験 B1500A 半導体デバイスアナライザ最小0.1fA、0.5µVの電流・電圧分解能、CV評価も可能 B1500A 約700万円～

CV特性試験E4980AプレシジョンLCRメータ

20Hz - 2MHz、基本確度0.05%、40VのDCバイアスを内蔵し、掃引して高確度CV測定を実現

約230万円～

周波数特性E4990A インピーダンス・アナライザ

20Hz - 120MHzで高速、高確度測定基本確度0.08% 40VDVバイアス内蔵

約290万円～

ナノテク IV特性試験B1500A 半導体デバイスアナライザ

最小0.1fAの微小電流分解性能カーボン・ナノチューブなどのアプリケーション・テストも標準で付属

約700万円～

パワーデバイス

耐圧試験オン抵抗測定高電圧CV測定

B1505A/06A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサN1259A/N1265A ハイパワー用テスト・フィクスチャ

サブpAレベルから1500A/10kVのIV測定および、3000Vまでの高電圧CV測定を1台で実施また、N1259A/N1265A専用フィクスチャにより安全かつ高精度な測定環境を実現

約660万円～

概算価格は、代表的なモデルでご準備いただいた場合の参考価格となります。ご予算申請前には、営業へご確認ください。

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R&Dでも製造でも。世界で愛用される、高確度LCRメータ 20Hz ～ 2MHz

E4991B RFインピーダンス/マテリアル・アナライザ ¥314,766

0pt. 300 周波数範囲　1 MHz～ 3 GHz　 ¥6,900,300

0pt. 100 周波数範囲　1 MHz～ 1 GHz ¥5,896,620

0pt. 050 周波数範囲　1 MHz～ 500 MHz ¥4,642,020

0pt. 001 DCバイアス機能追加 ¥377,100

0pt. 002 材料測定機能追加 ¥628,500

0pt. 007 耐熱テストキット ¥879,900

プレシジョンLCRメータ

オーダー情報

周波数 1 MHz-500 MHz、1 GHz、3 GHz

出力信号レベル Open時 4.47 mV – 0.502 V @ all frequency

Short時 0.0894 mA – 10 mA @ all frequency

測定点数 2～ 1601点

校正機能オープン／ショート／ 50 Ω ／低損失キャパシタ

補正機能オープン／ショート、フィクスチャ電気長補正

インピーダンス・アナライザ

E4980Aの高い基本性能を継承した廉価版

RF帯での確度を追求したRF-IV法採用、確度保証－基本確度：0.65％（E4991A比20%改善）

－低損失キャパシタを使用した校正で高Q測定にも対応

従来のアクセサリを継承：7mmコネクタ

高速測定－ E4991A比で3倍高速、トレースノイズ1/2

4トレース/チャネル、4チャネル同時使用可能

使いやすい新プラットフォーム－ 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ

－前面に2、背面に4個のUSB I/F

－小型　奥行約30cmのコンパクト設計

3機種同時発売　1MHz-500MHz、1GHz、3GHzにおけるインピーダンスおよび材料測定のトータルソリューションを提供

4端子対オートバランス・ブリッジ法を極めた最高性能LCRメータ高確度測定－基本確度0.05%、低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能－治具の誤差を除去：オープン/ショート/ロード補正－ケーブル延長補正機能（1/2/4m）－ 10％確度測定範囲（測定周波数＠100 kHz） 0.0049 Ω～ 172,000,000Ω

高速測定 (short)－ 100Hz 100ms, 1kHz 20ms, 10KHz 7.7ms, 100kHz以上　5.6ms

汎用性－全てのレンジで4桁の周波数分解能－ 100µV～ 2Vrms、1µA～ 20mAの可変テスト信号自動レベル制御付き－ 201点のリスト掃引機能

オプションE4980A-001電源/DCバイアス拡張機能－ 0～ 20 Vrms/100 mArmsのテスト信号－ 40 V DCバイアス（0.3 mVの分解能）－ 10 V DC電源内蔵－ DC抵抗/DC電流/DC電圧測定機能

多チャネル測定に対応 Opt. 301スキャナー・インタフェース自動機での選別にも対応 Opt. 201ハンドラー・インタフェース

仕　様（E4980A / E4980AL共通）周波数 E4980A 20 Hz-2 MHz, E4980AL 20 Hz-300 k / 500 k / 1 MHz

出力信号レベル100 µV – 2 V、1 µA – 20 mA（標準）、 0～ 20 V/100 mA（オプション、E4980Aのみ）

測定速度 5.6 ms（Short）、88 ms（MED）、220 ms（Long）（E4980A 100 kHz以上）ケーブル延長機能 1/2/4 m

補正機能オープン／ショート／ロード補正

E4980AL プレシジョンLCRメータ 20 Hz-300 k / 500 k / 1 MHz ¥88,293

Opt. 032 20 Hz to 300 kHz with DCR Measurement ¥519,141

Opt. 052 20 Hz to 500 kHz with DCR Measurement ¥778,712

Opt. 102 20 Hz to 1 MHz with DCR Measurement ¥1,038,282

E4980A プレシジョンLCRメータ　20 Hz～ 2 MHz ¥2,238,323

Opt. 001 電源／ DCバイアス拡張 ¥284,121

Opt. 005 エントリーモデル（測定速度遅い）－¥213,090

Opt. 201 ハンドラー・インタフェース ¥71,631

Opt. 301 スキャナー・インタフェース ¥71,631

オーダー情報オーダー情報

仕　様

製品型番： E4991B

製品型番： E4980A 製品型番： E4980AL NEW

周波数範囲－ 20Hz ～ 300kHz/500kHz/1MHz

高確度測定－基本確度0.05%、低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能－ 10％確度測定範囲（測定周波数＠100 kHz）

0.0049 Ω～ 172,000,000Ω

測定速度－ E4980Aより若干低速 (Short)

　100Hz 149ms, 1KHz 26ms, 10kHz 14ms, 100kHz 12ms

汎用性－全てのレンジで4桁の周波数分解能－ 100µV～ 2Vrms,1µA～ 20mAの可変テスト信号自動レベル制御付き－ DCバイアス1.5/2V

－ 201点のリスト掃引機能－ハンドラー I/F、スキャナー I/Fは無し


仕　様周波数 20Hz – 10/20/30/50/120 MHz

出力信号レベル 5 mV – 1 V、200 µA – 20 mA

測定速度 3 ms/点　＠f>=500 kHz、BW=1（Fast）

測定範囲 25 mΩ～ 40 MΩ（10%確度範囲）

補正機能オープン／ショート／ロード補正

アクセサリ対応表 E4990A Option 120（120 MHz）

E4990A 低周波モデル（10/20/30/50MHz）

4端子対用フィクスチャ使用可能ケーブル長0m / 1m / 2m

16451B 誘電体テストフィクスチャ使用可能

42941A インピーダンスプローブ

使用可能120MHzまで

使用不可120MHzモデルにアップグレード必要

42942A + 161xxA 7mm フィクスチャ

42942A + 16454A 磁性体テストフィクスチャ

オーダー情報E4990A インピーダンス・アナライザ　20Hz ～ 10/20/30/50/120MHz ¥204,216Opt. 120 周波数範囲　20Hz ～ 120MHz ¥5,771,160Opt. 050 周波数範囲　20Hz～ 50MHz ¥4,516,560Opt. 030 周波数範囲　20Hz～ 30MHz ¥3,638,340Opt. 020 周波数範囲　20Hz～ 20MHz ¥3,011,040Opt. 010 周波数範囲　20Hz ～ 10MHz ¥2,634,660Opt. 001 高速測定モード ¥377,100

新世代4端子対オートバランス・ブリッジ採用インピーダンス・アナライザ　4294A後継機種

インピーダンス・アナライザ、 20Hz ～ 10/20/30/50/120MHz

高確度に加え、高速測定を実現

高確度測定－基本確度0.045%代表値、0.08%仕様　低インピーダンスから高インピーダンスまで最高の性能－治具の誤差を除去：オープン/ショート/ロード補正　上限周波数で5モデルから選択可能－ 20Hz ～ 10MHzモデルなら約290万円から

高速測定－ 3ms/点（120MHzモデルopt.120, opt.001高速測定モード）－ 30ms/点（10、20、30、50MHzモデル）

トレースノイズ　4294A比で1/10に改善

等価回路解析機能搭載

4トレース/チャネル、4チャネル同時使用可能－ Ch1: 広帯域Z測定－ Ch2: 狭帯域Z測定－ Ch3: AC依存性測定－ Ch4: DCバイアス依存性測定

使いやすい新プラットフォーム－ Windows 7 embedded system－ 10.4インチ、タッチスクリーン・ディスプレイ－前面に2、背面に4個のUSB I/F－小型　奥行約30cmのコンパクト設計

16047E

16197A

16453A

テスト・アクセサリ／フィクスチャ

E498

0A/A

L

E498

1A

E498

2A

E499

1B

E499

0A

E499

0A w

ith

4294

2A

16034E SMD／チップ・テスト・フィクスチャ DC～ 40 MHz ¥206,542 ● ● ●16034G SMD／チップ・テスト・フィクスチャ（小型SMD用） DC～ 120 MHz ¥254,399 ● ● ●16034H SMD／チップ・テスト・フィクスチャ（アレイ部品タイプ） DC～ 120 MHz ¥254,399 ● ● ●16044A 4端子接触SMD／ SMD／チップ・テスト・フィクスチャ DC～ 10 MHz ¥394,949 ● ● ●16047A 4端子接続アキシュアル／ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC～ 13 MHz ¥66,052 ● ● ●16047E アキシュアル／ラジアル・リード・テスト・フィクスチャ DC～ 120 MHz ¥180,598 ● ● ●16048A 1 mのテストリード（BNC） DC～ 30 MHz ¥78,096 ● ●16048D 2 mのテストリード（BNC） DC～ 30 MHz ¥99,649 ● ●16048E 4 mのテストリード（BNC） DC～ 1 MHz ¥99,649 ●16048G 1 mのテストリード（BNC） DC～ 120 MHz ¥192,940 ●16048H 2 mのテストリード（BNC） DC～ 120 MHz ¥224,677 ●16065A 外部電圧バイアス・フィクスチャ（安全カバー付き、≦200 V DC） 50 Hz～ 2 MHz ¥233,493 ● ● ●16065C 外部電圧バイアス・フィクスチャ（≦40 V DC） 50 Hz～ 1 Hz ¥117,779 ●16089A/B/C/D ケルピン・クリップリード 5 Hz～ 100 kHz ¥94,198～ ● ● ●16092A RFスプリング・クリップ・テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード DC～ 500 MHz ¥283,113 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●16192A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ DC～ 2 GHz ¥389,244 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●16194A 耐熱テスト・フィクスチャ、SMDおよびリード DC～ 2 GHz ¥515,244 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●16196A/B/C/D 平行電極SMDテスト・フィクスチャ DC～ 3 GHz ¥854,358～ ● 1 ● 1 ● 2 ● ●16197A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ DC～ 3 GHz ¥712,304 ● 1 ● 1 ● 2 ● ●16200B 外部DCバイアス・アダプタ 1 MHz～ 1 GHz ¥788,642 ● 2 ● ●16334A SMD／チップ部品用ピンセット型テスト・フィクスチャ DC～ 15 MHz ¥122,089 ● ● ●16451B 誘電体材料テスト・フィクスチャ 5 Hz～ 30 MHz ¥734,968 ● ● ●16452A 液体材料テスト・フィクスチャ 20 Hz～ 30 MHz ¥1,556,582 ● ●16453A 誘電体材料テスト・フィクスチャ 1 MHz～ 1 GHz ¥1,039,288 ●16454A 磁性体材料テスト・フィクスチャ 1 kHz～ 1 GHz ¥779,591 ● ●42941A インピーダンス・プローブ・キット DC～ 120 MHz ¥589,282 ●42942A 4端子対構造から7 mm端子への変換用アダプタ DC～ 120 MHz ¥398,469 ●

注記：周波数及び使用時の詳細情報については、インピーダンス・アクセサリ・ガイド（part number 5965-4792JA）を参照ください。1 ： 16085Bとの併用した場合に互換性があります。　2 ： 3.5mmから7mmへの変換アダプタが必要です。

製品型番： E4990A


パワーデバイス・アナライザの新スタンダード－大電流・高電圧測定（10kV、1500A）から、高精度測定（10fA分解能）

－高バイアス（3000V）印加による容量測定

－最小限のケーブル変更での自動測定による大幅測定効率向上－ IGBT、SiC、GaN 次世代パワーデバイスの評価に最適

－内蔵オシロスコープ・ビューによる印可パルス／測定ポイント観測

プレシジョン・ソース／メジャー・ユニット（SMU）、最大210V、3A DC、10.5A パルス

卓越した操作性：ソース・メジャー・ユニット B2900シリーズ BenchVue

対応（無償）

－卓越した操作性：画面上で IVカーブ描写－幅広いアプリケーションに対応：210V/3A(DC) 10A(パルス）、

2chまでの構成、最高10fA電流分解能－高速ディジタイザ、任意発生機能搭載－無料制御ソフトウェアQuick IV

業界最高性能ピコアンメータ / エレクトロメータ B2980シリーズ－測定に対する不安を解消：タイムドメイン表示機能、リアルタイム・ヒストグラム表示、ノイズ・チェッカー

－業界最高の10aA分解能微小電流測定－ 1000V電圧ソース、10PΩの高抵抗測定－バッテリ駆動対応

パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ

約600万円～

半導体デバイス・アナライザ

半導体デバイス・アナライザの業界スタンダード－超微小電流・電圧測定（最小0.1fA、0.5µV分解能）から200Vまで

－ QSCV測定を含む容量測定

－高速パルス印加機能、パルス IV測定や過渡応答特性等の評価を高精度動特性評価に対応：高速電流電圧測定機能（5nsecサンプリング）

－ Easy EXPERTソフトウェア搭載

約481万円～

モデル番号 B2901A /B2902A

B2911A /B2912A

B2961A /B2962A

B2961A/62A+N1294A-022

（低ノイズ・フィルタ）

B2961A/62A+N1294A-021

（低ノイズ・フィルタ）

B2981A /B2983A

B2985A /B2987A

タイプソース／メジャー・ユニット高精度電圧源／電流源フェムト／

ピコアンメータエレクトロメータ

チャネル数 1または2 1または2 1ソース最大出力分解能 5.5桁 6.5桁 6.5桁－ 5.5桁

電流 3.03A（DC）、10.5A（パルス） 3.03 A 3.03 A 105 mA －電圧 210 V 210 V 210 V 42 V － 1000 V

最小分解能電流 1 pA 10 fA －－－－－電圧 1 µV 100 nV 100 nV － 700 µV

電圧出力ノイズ 3 mVrms 3 mVrms 350 µVrms 10 µVrms － 1.6 mVrms測定最大分解能 6.5桁 4.5桁 6.5桁

電流 3.03 A（DC）、10.5 A（パルス）

3.03 A（DC）、10.5 A（パルス）

3.03 A（DC、パルス）

105 mA（DC）、0.1 A（パルス） 20 mA

電圧 210 V 210 V 210 V 42 V － 20 V抵抗－－－－－ 10 PΩ電荷－－－－－ 2 µC

最小分解能電流 100 fA 10 fA 10 fA 10 pA 10 pA 0.01 fA電圧 100 nV 100 nV － 1 µV抵抗－－－ 1 Ω電荷－－－ 1 fC

希望小売価格 ¥682,835¥1,235,349

¥1,204,454¥1,865,270

¥865,667¥1,259,142

¥1,003,742¥1,397,217

¥1,141,816¥1,535,291

¥858,546¥1,144,718

¥1,244,891¥1,528,443

業界最高雑音性能装備 uc1電流・電圧ソース B2960シリーズ BenchVue

対応（無償）

－ 10µVrmsの超低ノイズ高精度電源－優れた電流／電圧供給分解能、6.5桁、100 nV/10 fA－高精度・革新的な任意波形機能、6種類の内蔵波形、最高10kHz

製品型番： B2900Aシリーズ / B2960シリーズ / B2980シリーズ

製品型番： B1500A 製品型番： B1505A / 06A


Keysight B1500A 半導体デバイス・アナライザ

最先端研究の測定ニーズに対応する測定機能と精度超微小電流・電圧測定（最小0.1fA、0.5uV分解能）からQSCV測定を含む容量測定、高速パルス印加機能、パルスIV測定や過渡応答特性等の評価を高精度にする高速電流電圧測定機能（5nsecサンプリング）を1台で実現します。

使い勝手の良いソフトウェアにより、すぐに評価を開始内蔵ソフトウェア（EasyEXPERT）には、230種類以上のアプリケーション・テストを標準装備しており、テスト・プログラムを作成することなく、すぐにご希望の測定を開始することができます。

IV-CV測定自動切替機能やオンウェハ測定により研究・開発の効率アップ高精度なIV-CV測定を自動切替するアダプタ（SCUU）により、スイッチング・マトリックスなどの外部機器を使わずに、簡単かつ高精度なIV-CV測定の自動切替を実現します。また、オンウェハ測定サポートにより大幅に評価効率を向上します。

最先端研究のオール・イン・ワン・ソリューション

超微小電流測定

高速パルス機能

特長その1

特長その2

特長その3

容量測定

WindowsベースGUI

高速電流電圧測定

自動IV-CV測定切替

PCでの解析を容易にする測定データ保存用USBポート、LANポート

高速IV測定を実現するモジュール

使い慣れたWindows環境

測定チャンスを無駄にしない測定データ自動保存機能

230種以上のテストを内蔵

精度を損なうことなく、IV-CV測定を自動切替するアダプタ

最先端研究に対応する測定モジュール類


B1500A デバイス・アナライザ　仕様メインフレームの特徴

使用可能なスロット数 10

グランド・ユニットのシンク性能 4.2 A

USB 2.0ポート前面に2個、背面に2個

測定機制御 GPIB

ネットワーク 100 BASE-TX/10 BASE-T LAN ポート

外部トリガ入出力1×BNCトリガ入力、1xBNCトリガ出力、8×プログラミング・トリガ入出力

モジュール情報

モジュールHPSMU（B1510A）

MPSMU（B1511A）

HRSMU（B1517A）

ASU（E5288A）

必要スロット数 2 1 1 NA

最大出力電圧 ±200 V ±100 V ±100 V ±100 V

最大出力電流 ±1 A ±100 mA ±100 mA ±100 mA

電圧測定分解能 2 µV 0.5 µV 0.5 µV 0.5 µV

電流測定分解能 10 fA 10 fA 1 fA 0.1 fA

その他モジュール

モジュール必要スロット数主要仕様

MFCMU（B1520A）

11kHz to 5MHz、最大100V DCバイアス印加

HV-SPGU（B1525A）

1最小12.5ns パルス幅、最小遷移時間10ns、最大40Vパルス（3値レベル）

WGFMU（B1530A）

1最小100ns パルス幅、最大10V出力、最小電流・電圧サンプリングスピード 5ns

B1500A オーダー情報B1500A 半導体デバイス･アナライザ･メインフレーム ¥4,147,074

B1500A-A6J 校正証明書（校正データ付き）、ANSI Z540 準拠 ¥41,674

B1500A-UK6 校正および校正証明書（校正データ付き） ¥34,728

B1500A-A00 カスタム･ソリューション用空パッケージ ¥0

B1500A-A01 スタンダード･パッケージ（MPSMU×4 & ケーブル） ¥2,939,976

B1500A-A02 高分解能パッケージ（HRSMU×4 & ケーブル） ¥3,655,073

B1500A-A03高出力パッケージ（HPSMU×2、MPSMU×2 & ケーブル）

¥3,627,306

B1500A-A04フラッシュ･メモリー･セル基本パッケージ（MPSMU×4、SPGU、ケーブル、アクセサリ類）

¥5,106,029

B1500A 追加パッケージ　オーダー情報B1500A-A10 HPSMU 追加（HPSMU× 1 & ケーブル） ¥1,080,722

B1500A-A11 MPSMU 追加（MPSMU×1 & ケーブル） ¥736,398

B1500A-A17 HRSMU 追加（HRSMU×1 & ケーブル） ¥915,516

B1500A-A20 MFCMU 追加（MFCMU & ケーブル） ¥1,924,526

B1500A-A25 HVSPGU 追加（HVSPGU×1 & ケーブル） ¥1,468,687

B1500A-A28 ASU（Atto Sense Unit）追加（ASU×1 & ケーブル） ¥358,234

B1500A-A30 WGFMU 追加（WGFMUx1、RSU×2 & ケーブル）¥3,436,654

B1500A-A31WGFMU/コネクタ･アダプタ追加（WGFMU×1、RSU×2、ケーブル & コネクタ・アダプタ）

¥3,587,867

B1500A-A3PWGFMU プローブ･ケーブル･セット（プローブ･ケーブル 8 本含む、WGFMUは含まず）

¥509,598

B1500A-A5Fパッケージ・デバイス用テスト･フィクスチャ（16442B×1）

¥967,999

B1500A アクセサリ　オーダー情報N1301A CMU アクセサリ ¥0

N1301A-100 SMU CMU ユニファイ･ユニット（SCUU） ¥666,969

N1301A-102 SCUU ケーブル（3 m） ¥267,298

N1301A-110 SCUU マグネットスタンド ¥64,579

N1301A-200 ガード･スイッチ･ユニット（GSWU） ¥73,996

N1301A-201 GSWU ケーブル（1 m） ¥13,454

N1301A-202 GSWU ケーブル（3 m） ¥20,181

B1540A EasyEXPERT ソフトウェア及び測定ライブラリ ¥1,345

B1540A-001 EasyEXPERT 標準バージョン使用ライセンス付き ¥0

B1541ADesktop EasyEXPERT ソフトウェア及び測定ライブラリ

¥1,345

B1541A-001Desktop EasyEXPERT、標準バージョン使用ライセンス付き

¥0

B1542A パルスIVソリューション･パッケージお問い合せください


Keysight B1505Aパワーデバイス・アナライザ・カーブトレーサパワーデバイスの評価に不可欠な項目を1台でカバーカーブトレーサで手の届かないところをカバー

－ハイパワーと高精度測定を両立－ 1500A/60V（22.5kWピークパワー）高電流測定－ 10kV高電圧パルスによる超高速測定－ 10fA/200nV分解能、安全で確かな自動測定

ロータリー・ノブを用いたカーブトレーサ感覚の操作性

1台で必要な測定項目に対応オン抵抗（サブmΩ）、耐圧、微小リーク電流（サブpA）Vth（しきい値電圧）、容量…

1500A/60V（22.5kWピークパワー）：広範囲なオン特性評価1000A@20Vを余裕でカバー：広いパワーレンジに対応電流掃引による、同一条件でのオン抵抗ばらつき評価

ブレークダウン評価も安全に確実に豊富な測定停止制御機能自動データ記録機能により、デバイス破壊時もデータ確保

測定効率を上げる卓越した操作性測定セレクタ、自動測定機能を用いた自動連続測定接続変更をすることなく高電流測定（オン抵抗）、高電圧測定（耐圧）、高精度測定（Vthなど）を切り替えながら連続自動測定オシロスコープ・ビューによる測定波形モニタ・測定最適化

ブレークダウン測定も確実に：ストップ・ライト／自動記録機能特定の範囲に測定値が入ったところで、測定を停止させるストップ・ライト機能により、デバイスの破壊を回避して測定をすすめることが可能。デバイスが破壊されて、正常動作時のデータが書きかえられた場合も、自動記録機能により、手軽に破壊前のデータの再現が可能。

波形モニタによる測定状況確認・最適化オシロスコープ・ビューによる測定波形、IV（電圧・電流）測定結果を同時表示します。IV測定カーブ上の特定のポイントでの、測定波形を表示することができ、測定点の調整などを効率的に実施可能。

ストップ・ライト機能自動記録機能

500 mA@1200 V

オシロスコープ・ビュー


オーダー情報： B1505APパッケージ製品

オプション最大電圧最大電流容量内容概算価格

H20 3 kV 20 A 3 kV/20 A/ フィクスチャ・パック 1,073万円

H21 3 kV 20 A ○ 3 kV/20 A/C-V/ フィクスチャ・パック 1,304万円





U50 10 kV 500 A 10 kV/500 A/ フィクスチャ・パック 2,442万円

U70 10 kV 1500 A 10 kV/1500 A/ フィクスチャ・パック 2,660万円

ハイパワー測定、高精度測定を両立（必要な測定項目に1台で対応）

高電流測定によるオン特性評価IGBTモジュールのIc/Vc特性を評価した例を示します。1500Aまでの測定を実現。

電流掃印・電圧測定による正確な抵抗測定電圧掃印のみのカーブトレーサとは異なり、電流掃印・電圧測定が可能な為、デバイスの正確なオン抵抗測定が容易です。特定の統一した条件でのオン抵抗のバラツキ評価にも対応し、歩留まり向上に向けた取り組みを可能とします。上図では、電流を300Aまで掃印し、電圧測定することにより、1mΩ以下の抵抗測定を行った例を示しています。（赤の線が電流掃印・電圧測定結果、青の線が抵抗値表示結果）

多種の測定を接続変更なしで連続自動測定モジュラ・セレクタおよび、クイック・テスト・モードを用いることにより、高電流測定によるId/Vd評価、高精度測定によるVth（しきい値）測定、高電圧測定による耐圧評価などを、自動的に切り替えながら（ケーブル接続の変更することなく）実施できます。多項目の測定を大幅に効率化することができます。

22.5kWピークの広範囲高電流測定高電流測定時に、実際に有効な電流・電圧レンジは負荷線により決まります。IGBTモジュールの1000Aにおける20mΩ程度のオン抵抗測定時に必要な1000A/20Vの測定も対応可能です。

高電圧測定によるブレーク・ダウン測定10kVまでのブレーク・ダウン電圧測定例。パルス測定による超高速測定。測定後も即座に残留電荷を解消する安全なソリューション。

60V－60A

－1500A

－500A

500A

1500Apulse

1mΩ

クイック・テスト・モード

モジュラ・セレクタ耐圧

Id-Vd

Vth


受付時間 9：00-18：00 （土・日・祭日を除く）

ホームページ記載事項は変更になる場合があります。ご発注の際はご確認ください。

[email protected]

TELFAX

キーサイト・テクノロジー合同会社

計測お客様窓口

0120-421-345 (042-656-7832)0120-421-678 (042-656-7840)

本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1

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お問い合せ先

© Keysight Technologies, 2016Published in Japan, February 29, 20165992-1399JAJP0000-08cSwww.keysight.co.jp

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株式会社東陽テクニカ〒103-8284東京都中央区八重洲 1-1-6TEL 03-3279-0771（代表）FAX 03-3246-0645Contact : https://www.toyo.co.jp/contacts/URL : http://www.toyo.co.jp

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ヒューレット・パッカードからアジレント、そしてキーサイトへキーサイトは、75年以上もの間、電子計測によって未知なる世界を解き明かしてきました。キーサイト独自のハードウェア、ソフトウェア、スペシャリストが、お客様の次のブレークスルーを実現します。Unlocking measurement insights since 1939.

1939 未来

価格は 2015年 12月のもので、消費税は含まれておりません。


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