Skaningowy mikroskop-elektronowy-sem
-
Upload
dawid-wilczynski -
Category
Engineering
-
view
207 -
download
0
Transcript of Skaningowy mikroskop-elektronowy-sem
Projekt: Budowa i eksploatacja aparatury
naukowo badawczej
IM GR3 sem V
Pola Gwiaździńska
Karolina Korus
Mateusz Stefański
Dawid Wilczyński
PLAN PREZENTACJI
Możliwości mikroskopu SEM
Budowa skaningowego mikroskopu
elektronowego
Zasada działania
Parametry
Preparatyka
Wyniki badań
MOŻLIWOŚCI MIKROSKOPU
SEM: obserwacja struktury materiałów inżynierskich,
obserwacja powierzchni przełomów,
ujawnienie uszkodzeń korozyjnych i
trybologicznych,
analiza jakościowa i ilościowa składu
chemicznego badanego obszaru,
analiza wtrąceń i wydzieleń w strukturze,
analiza dyfrakcyjna.
OGÓLNA BUDOWA
MIKROSKOPU SEMKolumna zawierająca:
urządzenia tworzące i formujące wiązkę elektronów
komorę preparatu
urządzenia rejestrujące obraz
ewentualne dodatkowe oprzyrządowanie
Zdjęcie kolumny wraz z działem elektronowym oraz detektorami
mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej
OGÓLNA BUDOWA MIKROSKOPU
SEM
Pozostałe układy
mikroskopu:
układ próżniowy
układ wysokiego
napięcia
układ sterowania
DZIAŁO ELEKTRONOWE
Działa elektronowe dzielimy na :
Emisję polową:
Działo z zimną emisją polową
Działa z emisją schotky’ego
Termoemisja jonowa:
Wolframowe
Działo z LaB6
UKŁAD SOCZEWEK
Soczewki elektromagnetyczne
kondensatora
Apertura obiektywu (przesłona)
Cewki skanujące
KOMORA PREPARATU ZE
STOLIKIEM PRÓBEK
Zdjęcie komory preparatu mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej
Ujęcie komory z próbkami od
wewnątrz mikroskopu SEM
PARAMETRY
Mikroskopy skaningowe osiągają wartości
napięcia przyspieszającego do 50kV.
Mikroskop SUPRA 35 przy napięciu
35 kV pozwala na rozdzielczość
mikroskopu 1,2 nm.
PREPARATYKA
Wielkość próbek
Średnica nie większa niż 5 cm
Wysokość nie przekraczająca 2,5 cm
Sposób przygotowania próbek
Usunięcie zanieczyszczeń
Naparowanie cienkiej warstwy przewodnika
w przypadku próbek słabo przewodzących
prąd elektryczny
PREPARATYKA
Zdjęcie płuczki ultradźwiękowej znajdującej się w
laboratoriach na wydziale MT Politechniki Śląskiej