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Semiconductor Test Equipment

半導体製造検査装置ケーエルエー・テンコール製品

　

プロセスパラメータ管理ソリューション�正確かつ高速の薄膜測定とプロファイリングは、�各種プロセスを管理し、ウエアファブの生産性向上に欠かせない技術です。

RS-2004探針シート抵抗測定装置

SpectraFx200高性能光学式薄膜計測

先端リソグラフィー工程制御ソリューション�最高のレチクル品質を得るためには、マスクメーカーで完全な検査と分析、ウエーハファブでは露光プロセスでの品質保証と品質管理が必要不可欠です。

Spectra CD200インライン分光CD計測

Archer300重ね合わせ検査装置

半導体業界標準の KLA-Tencor 製品が、生産性向上のための最高 レベルのトータルソリューションを提供いたします。

歩留まり管理統合ソフトウェア　Klarity Defect�歩留まりの低下を早期に発見し、データを解析、レポートを行い、歩留まり低下につながる欠陥発生のメカニズムを抽出・特定し、継続的な欠陥削減プログラムを確立するのに役立つデータの統合化を実現します。

自動Decision Flow Analysisレシピは、複雑な条件付きエンジニアリング解析手法を簡単な解析フローチャート内に取り込みます。

ビットマップ解析ソフトウェアBit Powerにより、ビットマップデータは量産テスト時に収集され、不良ビットパターンを自動的に抽出できます。

インテリジェント・ラインモニタ�ウエーハ製造からデバイス�プロセス歩留まり管理まで、トータルソリューションを提供します。

SP2XPモニタウエーハ異物検査装置

9550パターン付ウエーハ異物検査装置

2830パターン付ウエーハ欠陥検査装置

iADC自動欠陥分類システム

eDR5210欠陥レビューSEM

Klarity ACE XP高性能相関解析エンジン

Klarity Defect欠陥データ管理ソフトウェア