8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 1/22

QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ   VÀ Ứ NG DỤNG

Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng 

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 2/22

Địa chỉ bạn đã tải:

http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html

Nơ i bạn có thể thảo luận:http://myyagy.com/mientay/

Dịch tài liệu trực tuy ến miễn phí

:http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html 

Dự án dịch học liệu mở :http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html

Liên hệ v ớ i ng ườ i quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com 

Gmail: frbwrthes@gmail.com

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 3/22

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 4/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

Thực hiện:

Trần Minh Đạo Phạm Kim Ngọc 

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 5/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

I.  Cấu tạo 

II.  Nguyên lý hoạt động 

III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng: 

a) Loại màng 

b) Stylus tip và force tip

c) Parametersd) Ưu và nhược điểm 

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 6/22

CẤU TẠO 

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 7/22

NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG 

TÍN HIỆU AC 

CHUYỂN ĐỔI A/D

MẪU 

 ĐẾ  MÁY TÍNH

LVDT

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

LINEAR VARIABLE DIFFERENTIALTRANSFORMER

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 8/22

LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER 

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 9/22

 

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 10/22

S

S

S

SP P

S

S

S

SPP S

S

S

S

PP

S

S

S

SPP

S

S

S

SPP

 A

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 11/22

t

Amplitude modulator

Chỉnh lưu lọc 

V(t)

x(t)

t

Sóngmang

Tín hiệu ra 

Cùng tần số Lớn hơn 10lần 

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 12/22

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 13/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUSScan length

30µm to 30 mm

Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu 

100µm - 500µmthực tế??? 

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 14/22

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 15/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUSStylus force

1mg – 15mg (< 1mg)

Loại màng, pp chế tạo? 

Low force ? High force? Stylus tip?

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 16/22

stylus

PHƯƠ NG PHÁP STYLUSStylus tip

Diamond tip

R= 0.225µm (12.5µm)

Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) +

vận tốc quét 

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 17/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUSParameters

Maximum sample thickness 31.75 mm

Vertical range 262 micron.

X-Y stage translation 20 mm x 80 mm

vertical data resolution 1 A at 65kA range

Z-height capability 1 mm ??

Color video camera with manual zoom optics

70-280X

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 18/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Roughness

Maxdev (Maximum Deviation)

MaxRa (Maximum Ra)

Ra (Average Roughness)

Rp(Maximum Peak) Rq (RMS)

Rt (Maximum peak to valley)

Rv (Maximum valley)

Rz_din (Ten points height average)

Skew (skewness)

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 19/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Waviness

Wa (Arithmetic average of waviness)

Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness)

Wp (maximum peak of waviness)

Wq (Root – Mean – Square of Waviness)

Wt (Maximum peak to valley of waviness)

Wv (Maximum vallley of waviness)

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 20/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Height

 ASH (Delta Average step height)

 Avg Ht (Average Height)

HSC (High spot count)

Pc (peak count)

Peak (Maximum peak)

P_V (Maximum peak to valley)

TIR (Total Indicated reading)

Valley (maximum valley)

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 21/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Geometry

 Area (Area under the curve)

Perim (Perimeter)

Radius

Slop

Sm (Mean spacing between peaks)

Tp (Bearing ratio)

Volume

8/13/2019 Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/quang-pho-nguyen-tu-va-ung-dung 22/22

PHƯƠ NG PHÁP STYLUSư u và nhượ c điểm