Production of shadow-mask-improved technology

10
Production of shadow-mask-improved technology Chul Kim Research Institute of Mechanical Technology, School of Mechanical Engineering, Pusan National University, Changjun-dong, San 30, Pusan 609-735, South Korea Received 7 December 2000; received in revised form 2 February 2002; accepted 4 June 2002 Abstract A shadow-mask is a speci®c metal plate that is used in color TVs and computer monitors. Manufacturing is generally composed of coating, cleaning, exposure and etching processes. After a thin metal plate is made by rolling, a photosensitive liquid is coated on the metal plate in a coating process. Then, the coated metal plate passes consecutively through an exposure process in which the upper and lower glass is compressed onto the plate by vacuuming the space between the glasses and the metal plate. In this condition, the metal plate is exposed to light and will be etched forming lots of average number of precisely positioned holes of a speci®c diameter. To achieve a vacuum faster, the vacuum between glasses and the metal plate is improved by the proposed method and experiments using the proposed method are performed to verify the process. In addition, the microstructure of the shadow-mask is investigated to prevent the stain phenomena and to improve the quality of the product. # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: Coating; Etching; Shadow-mask; Photosensitive liquid 1. Introduction A ®ne multi-hole sheet metal product shadow-mask is a speci®c metal plate that is located behind the surface of a Braun tube for a color TV or computer monitor. Manu- facturing it for a 17 in. Braun tube usually comprises of coating, cleaning, exposure and the etching processes. A thin metal plate is made by rolling, and is coated by a photosensitive liquid. Then, the coated thin metal plate consecutively passes through a process in which upper and lower glass are compressed onto the metal plate by vacuuming the space between the glasses and the metal plate. Parts of the metal plate are thus exposed to light. The plate then will be etched forming lots of well-positioned holes of a speci®c diameter [1,2]. Recently, 35 s are required for complete vacuum to manufacture the shadow-mask of 17 in. Braun tubes in an actual workshop. The shadow-mask must avoid the stain phenomenon that is caused by a bad vacuum and also a bad transmittance (TM) value that indi- cates degree of transmission of light. Therefore, the time to achieve the vacuum pressure required has a large effect on productivity. In this study, the vacuum system between glasses and the metal plate will be analyzed. Stain phenomenon caused by a bad vacuum is reduced and the vacuum pressure between the glasses and metal plate is lowered by the developed vacuum system using the proposed method in order to reduce the vacuum time to achieve the required vacuum in order to make the glass and metal plates adhere closely to each other, which results in an improvement of the quality of the shadow-mask. The quality of shadow-mask is accomplished by the system [3,4]. 2. Vacuum system for the shadow-mask A schematic drawing of vacuum system for the shadow- mask is shown in Fig. 1. The system is composed of upper glass and lower glass, a plate sealing rubber pad, and pattern of the same shape as the shadow-mask of 5 mm thickness. The procedure is as follows. The thin metal plate coated by photosensitive liquid is transferred into the space between upper and lower glasses. The upper glass moves down and the lower glass is moved up. The spaces between the metal plate and two glasses are evacuated causing them to stick to each other. Finally, the coated plate is exposed to light and the patterns are photocopied onto the thin metal plate. Journal of Materials Processing Technology 127 (2002) 409±418 E-mail address: [email protected] (C. Kim). 0924-0136/02/$ ± see front matter # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0924-0136(02)00435-1

Transcript of Production of shadow-mask-improved technology

Page 1: Production of shadow-mask-improved technology

��������� � �� ����� ����������� ���������

���� ����������� ����� � ��������� ���� � ��� ��� � � ��������� ��������� ���� ��� �� ���������

�������� �� �� � � ���� ! "�#�$� � �� % ���

�������� � �������� ���� �������� � ������� ��� � !���� �� ���� ������� " #�� ����

��������

$ �� ����� �� �� �����%� ��� � �� �� �� � �� ���� � ����� &'� � �������� �������( ) � ������ �� ���� ��� �������� � �� ���*

��� ��* �+������ � ������ ���������( $��� ��� ��� � �� �� �� � �� �� ������* ������������� ��,��� �� �� ��� � ��� ��� � �� �� �

�� ��� �������( &��* ��� �� ��� ��� � �� �� � ���� ������������ ������� �+������ ������� � ����� ��� ����� � ����� �� �� ��

���������� ��� ��� �� �� �� � ������ ��� �� �� ������ ��� �� ���� � ��� ��� � �� ��( - ���� �������* ��� ��� � �� �� �� �+����� �� �����

� ���� �� ������ ����� ���� � ��� �� ����� � ��������� ��������� ����� � �����%� �� �����( &� ������ � ���� ����* ��� � ����

������ �� ���� � ��� ��� � �� �� �� �������� �� ��� �������� ������ � �+�������� ���� ��� �������� ������ �� �������� �� �����

��� �������( - ������* ��� �������������� � ��� �� ����� �� �� ������� ��� �� ������ ��� �� � ������ � �� ������� ��� ,� ���� �

��� �������(

� ���� .������� /����� 0('( $�� ������ ��������(

%��& ���' �� ��� .����� /� ����� �� ������������� ��,���

� ���� ������

$ %� ���������� ����� ��� � ������� �� ����� �� ��

�����%� ��� � �� �� �� � �� ��� ��� ����� ��� ��� �� �

0� � ���� �� ����� &' �� �������� ������( ) ��

������ �� �� 1� �( 0� � ���� ��� ��� ��������� �

�� ���* ��� ��* �+������ � ��� ������ ���������(

$ ��� ��� � �� �� �� � �� �� ������* � �� �� ��� ��

������������� ��,���( &��* ��� �� ��� ��� ��� � �� ��

������������ � ���� ������� ������� � ����� �����

� ����� �� �� �� ���������� ��� ��� ��� � �� �� ��

� ������ ��� �� �� ������ ��� �� ���� � ��� ��� �

�� ��( � ��� � ��� ��� � �� �� �� ���� �+����� �� �����( &��

�� �� ��� ���� �� ������ ����� ���� � ��������������

����� � �����%� �� ����� 21*�3( �������* 45 � �� ��,�����

�� �������� � ���� �� � � ����� ��� �� ����� �� �

1� �( 0� � ����� � ��� � ��������( &�� �� ����� ��

���� ���� ��� �� � ������� �� � �� � ���� �� � �

� ���� � ��� � � �� ����� �� 6&)7 � ��� �� � ����

� ��� ������ � �� ������� � �����( &�������* ��� ���� ��

������ ��� � ���� �������� ��,����� � � � ��� ���� �

������������(

- ���� �����* ��� � ���� ������ ������ �� ���� � ���

��� � �� �� ���� �� ��8��( /� � ������� � ���� ��

� � � ���� �� ������� � ��� � ���� �������� ������ ���

�� ���� � ��� � �� �� �� ������� �� ��� ��������� � ����

������ ���� ��� �������� ������ � ����� �� ������ ���

� ���� ���� �� ������ ��� ��,����� � ���� � ����� ��

� �� ��� �� �� � ��� � �� ��� ����� ������� �� � �� �����*

����� ������� � ���������� � ��� ,� ���� � ���

�� ����� ��( &�� ,� ���� � �� ����� �� �� �����������

�� ��� ������ 24*"3(

� ������ ������ ��� ��� ��� �������

$ ����� ��� �� ��� � � ���� ������ �� ��� �� ����

� �� �� ���� � !��( 1( &�� ������ �� �������� � �����

�� �� � ����� �� ��* �� �� �� ��� ������ � �* � � ����

� ��� � �� �� �� � ��� �� ����� �� � 5 �� ��������(

&�� ��������� �� � ������( &�� ��� ��� � �� �� �� ��� ��

������������� ��,��� �� �� ������ ��� ��� �� �� ������

����� � ����� �� ����( &�� ����� �� �� ����� ���

� ��� ����� �� �� �� ����� ��( &�� �� ��� ������

��� ��� � �� �� � ��� �� ���� �� �� �� ��� � ���� ����

�� ����� �� � �� �����( !� ���* ��� �� ��� �� �� �� �+����� ��

����� � ��� � ����� �� ����������� ��� ��� ��� ��� �

�� ��(

#��� � � ) ���� �� ��������� &�������� 1�� 6����7 "�9:"1;

��(��� �������' ������<�����(��� ( �(�� 6�( ���7(

�9�"��14=>��>? : ��� ��� � ���� � ���� .������� /����� 0('( $�� ������ ��������(

�--@ / � 9 � " � � 1 4 = 6 � � 7 � � " 4 5 � 1

Page 2: Production of shadow-mask-improved technology

� ������� �� �������� ������� ��� ����������� ����� ��� �������

�)*) +������ � �����( ����(

&�� � �� � ��� �� ��� ������ ��� ��� �� ���� �

��� � �� �� �� �� �� ���( $� ���� ����* ��� �� �� ������

����� �� �� � ��� � �� �� � � ����� � ��A�� � �� � ����

� � �� �� � ���� ���� ��� � ��( B ��� ����� � �*

��� �� �� ������ ����� �� �� � ��� � �� �� � � ���

����� � ��A�� � �� ��� ��� ��� ��� � �� �� ������ ���

����� ����� � ��A��( &�� ��� ��� �� ������ ��� �����

�� �� � ��� ��� � �� �� ��������� ��� ��� �� ������

�� � �� ��� � � � ��� � � � � ����(

�)*)*) �������� � ������� �(�

&�� � ���� ������ �� ��� �� ����� �� �� ��8��

������� �� � � A�� � ����� �� �� �� �� � ���� �����( C �

A�� �� �� ���%�� � ������@

,

�� 11� �������� �����

1 �,

�� 11� ��������� �� �����

,

�� 1 �������� � ���� 617

- .,( 617* , ���� �� ��� �� ����� � ��� ���� � �* ����� ��

��� �� ��� � �� � ��* �� � ���� ��� �� .,( 6�7@

� � =�=� � 1��4

�6�7

����� � �� ��� ������ ��������(

-� �� �������� �� ��� � ������ �� � ���� ����

���� ��� � ������������ ������� �� � � A��( &�� ���

���� �� � ������� � � A�� �� � ������@

� � �=�-+�

.

� ��� 647

����� + ����� �� ��� ������������* - ��� ��������� ����*

� �� ��� �� � ��� � �������� ������ ���� � �+��(

&�� ������ �� � ������� � A�� �� � ������@

� � 4��9��/����� /�. 6"7

����� � �� ��� ��������� ����* � ���� ��� ��������* �

/ ���� ��� �����(

' ���� ����� �� � ���� ��� �� .,�( 657 � 6=7 253@

� � ��4�0

� ����

�1

��

� �657

� � ���

� � ��

6=7

����� � ��4���� �� ��� � ���� �����* � ���� ��� � ����

����* 0 ��4� ��� ������* �1 �&���� ��� ���� ��������

6�=� &��� � ���������7* �� �&���� ��� �+�� ��������* ���� ��������� ����* � �� ��4���� ��� � ���� �����

� ����(

&�� ��������� ����* � �� ���� ��� � �� � 1(1 ��� ���

�������� �� ������ 1 � �=� &���( &�� �� �� ������ ���

����� �� �� � ��� ��� ��� � �� �� �� ������%�� � ��� �����

� !��( �( &�� � ���� ����� � ��� ������%�� ����� ��

� ���� ��� �� ���� ��� .,�( 617:6=7(

&�� ������� �,� ��� �� ��� ��� �� ���� .,�( 6"7 �

657@

� � %.�

� ����

�1

��

� �6�7

����� % � ����"�����(

�)*)1) �23���(��� ��������� � � �� �33� 2�(��

�4��� � ������� �(�

�)*)1)*) ����� � ���5��� 66�77 ������� �(�( -

.,( 6�7* ��������* �* �� ��������� �� ���� �� � ����

�����( &� ������� �� ��� ���� � ��������* �* �

!��( 1( /���� ��� �� ��� � � ���� ������(

!��( �( /�������� ����� � � ���� ������ �� ��� �� ����� ��(

"1� �) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*>

Page 3: Production of shadow-mask-improved technology

�� �� ��� ����* � ���� �������� �� �� ����� ������� ��

� ����� � � ���� ��� ���� ���� � � ���� ��������(

)� ����� ����� �� ��� ����� ���� � ��� ����� �� ��

� ��� ������ ���� � ��� ��( &�� ������� �� ���� �

!��( 4(

D�� ��� �� �� ��� ���� �� 45 �* ��� ���� � �������� ��

1"� &��� � ��� ����� ���� � ��� ����� �� �� � 15 &��� �

��� ������ ���� � ��� ��( B ��� ����� � �* ��� ��

������ ��������* �* ��������� �� �� ����� � 11� &��� �

��� ����� ���� � ��� ����� �� �� � 5(5 &��� � ��� ������

���� � ��( &��� �� ,���� ��� � ���� ��������� ���� ���

���� ���� � �� ��( - � �� � ������� �* �� �� ��� �� �

��������� �� �����%� � ���� �������� �� ���� ��

���� � �� �� � ��� ����� ���� � ��� ����� �� ��( &�������*

�� � �� �������� �� � ��������* �* �� ��� � � ���� �

������� �� �� ��� ����(

�)*)1)1) ����� � ���� 66.77 �����( �(�( - .,( 6�7*

�����* .* �� ��������� � ����� � � ���� �� �������

�� �� ��� ����( !��( " ����� ��� ������� � � ���� ���������

������� �� ����� .( D�� ����� . �� ������� �� � �* �� ��

��� �� � � ���� �������� �� ���� ���(

�)1) ��3��� � �� ����� �� (��� �� 3�� �������

&) � ��� � ����������� ����� �� ��� ��� ������ �

�������� ������ �� �� ����� ��( &) �� �� �� � ���

� ��� ������ �� � �� ��� �� � ��� �����( E����� &)

� ��� ���� ��� � ���� ���� �� ����� � ���� ������ ������

�������� ��� ���� � ���� � ��� ���������� �

��� �� ������� �� �����(

/� � ������ �� ������� ��� �� �������� ������

������ �����* ����� �� �� ���%�� ��� �������� �

������� � ������ � ��� ����� � ���� � !��( 5(

-������� � ��� &) � ��� � ���� � �����������

����� �� ��������( ���� ���� ������ ��� ��� ������

���� �� ���� � !��( =( !��( = ����� ��� �� � ������ �

����� ��� � �� � �������( !��( =6 7 ��������� ��� � �� �

����� &) � ��� ��� ��� ��� �� �� ����� ���� �� ��� ���

� ��� ���� � ��� �� ��� � ��( !��( =6�7 ��������� ��� � �� �

��� ��� &) � ��� ��� ��� �� �� ����� �� �� ���� ��

��� � ���� ���� ��� ������ �� � ������ ����� �+����(

!�� ���� �� ��* �������� � ��� &) � ��� � ������

������ ����� �� ����� �� ������ ������ �� �������� �

��� �� ����� ��(

!��( 4( ������� � � ���� �������� ������� �� ��������* �(

!��( "( ������� � � ���� �������� ������� �� �����* .(

�) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*> "11

Page 4: Production of shadow-mask-improved technology

� ����������� �� ������ ������ ��� �� �������� ������ ����

&�������* �* ����� �� �� � ��� � � ����� �� �������

� ���� ���� � � ��� �� ��� �� �� ���� � ������� �� ����

�+��� �� ��� � ��( - ���� �����* �����*.* �� �� �� �� ������

� ������( - ����� �� ���� �� ��� ����� � ������ ������

���� ��� ��� �� ��� � ��� �� �� ������ ��� ����� �� �� �

��� ��� � �� ��* ������ �� ����� � ����� ����� ������� ��

�� ������ ��� �����* .( C��� ��� ��� ���* �� �������

� � ���� �������� �� ��� ���� �������� � ������ �

�� �� ��� ��� � ���� ������ 2=3( /� � ���� �������� � �

�� ����� �� ��� � ���� ������ � ��� � �� � �������(

$� ���� � !��( �* ��� ����� � ����� ��� � ����

�������� �� �� ����� �� ��� ����� ���� � ��� ����� �� ��*

��� ��� � ���� � ����� �� ��* � ��� ����� ���� � ���

����� �� ��(

������� � � ���� ��������� � ������� �� ���� �

!��( ;( D�� � ���� ���� �� ���� 45 �* �� �� ��� �� �

��������� �� ���� ���� � �� 4��* 5�� � ��� &��� �� ���

����� ���� � ��� ����� �� ��* � � ���� � ��� ����� �� ��

� � ��� ����� �� ��* ������������(

)���������� �������� �� �������� �� ������� ��� �

��� �� � ������ � � � �� ����� ��( !��( 9 �����

������� �� � ��� �������������� � ����� � ����� � � �

�� ����� ��( - ��� ������� �� � ��� �������������� �

� � �� ����� ��* ��� ����������� ������ � ��� ���� �

�� �� �����* ��� ��8� � �����* � ��� �� ����� � �����

�� ��������� � ��� ���� � ��� � ��� �� ����� ��* �����

� � ����� ��� ������� ���� �� � ������ � ��� �������(

<)*) �23���(�� � � �� �����( ����( &��

� (3��� ������

' ���� �������� �� �������� �� ��� ���� � ����

��� �� � � �� �����( &�� ����� � ��� � ���� ������

� � �� ��� ���� � ���� ��� �� � ��� � ���� �������� � �

�� �����( !��( 1� ����� ��� ������� � ��� � ���� ��������

���� ���� �� ��� ������ � ��� ������ � � ���� ��� ����

����� � �� � �������( -� �� ��� �� � �� ��� � ��� � ����

!��( 5( )���������� �+ �� ��� � �� � ������ @ 6 7 �������� ��������� 6�7 ������� � ���������(

!��( =( B�������� � �� � 6 7 ���� � 6�7 ������� ����� �� � &) � ���(

!��( �( ������� �� � �� � ������� � ���� ������ � �� ����� �����

� � ���� ��������(

"1� �) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*>

Page 5: Production of shadow-mask-improved technology

!��( ;( �������� � �� � ������� � ���� ������(

!��( 9( )������������� � ��� �� ����� �� �� �� � ������� � ���� ������ 6�1��7(

!��( 1�( ' ���� �������� � � ���� ������ ���� �� ���(

�) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*> "14

Page 6: Production of shadow-mask-improved technology

������ �� ���� ������ � ���� � ������� �� �� ���

����(

<)1) �23���(�� � � �� �����( ����( &�� �� �� ��

�� �33�� �����

$ ����� ��� �� ��� � ��� ����� �� �� ���� ������ ��

���� � !��( 11( &�� � ���� �������� � ��� ������ ����

������ 1� �� ���� � �(1 �� ����� � � �� �����( &��

��� ��� � ������ �� � ��� �� � ����� ������ ���� ��

� � �� ��� ����� �� ��( F���� � ������ �� ����� ��

���� � ��� ����� �� �� �� �� � �� � ��� ������ �� ��� ���

������ ��� �� ��� ������ � ��( - �� � ��� ������

�� ��� ��� ������ ��� �� ��� ������ � ��* ��� ������

���� �� � �� �� �� ��� �� � � ���� ������ �����

���� �� �������� �� �� ��� ��� ��� �� ��( &�� ������

!��( 11( /���� ��� �� ��� � ����� �� �� ���� ������(

!��( 1�( �������� � � ���� ������ ���� ������ � ����� �� ��(

"1" �) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*>

Page 7: Production of shadow-mask-improved technology

� � ���� �������� �� ��� ������ ���� ��� ������ �� ����

� !��( 1�(

0� ����� ������ � ��� ����� �� ��* ��� ����� �

��������� �� �� �� ��� � ��� �� ���� ��� ��� ��� ��

��� � ��� � ���� ���� � � ������� ��� ������� �� ���

���� � ��� ������ �� � ������� � ������� . � .,( 6�7( $

���� ���� � ���� �������� � ������� ���� �� � � ���

� ���� ������ ���� ��� ������ ���� ��� �� � �������� �

��� &��� � ��� ����� �� ��* "�� &��� � ��� � ���� � ���

����� �� ��* � 15� &��� � ��� ����� �� �� � � �������(

!����������* ��� �� � �� �� ���* ��� � ���� �������� �

��� �������� ������ � � ��� �� �������� �� ��� �����

� ��(

-� �� �������� �� � � ���� �������� � � ���� ��������

��� �� �� ����� �� �� ����� ��� ���� � ������ ��8� � ���

���������� � � ���� ��������( - ����� �� ������� �� ���

���� � ������ ��8� � ���������� � � ���� ��������

� ������ � ������ ������ ����� �� �� � ��� �� ��*

����� ��� � ��� � ���� ������ ������� �� ������ ��8�

� � �������� ���� �������� � !.�����* $G/H/( &��

��� ��� � ��� ������* � ���������� �������* �� � �����

�� ��� � ���� � �������� ������� ��� ������� � � ��� ���

� ����(

$ ����� �� �� � ������� � � ��8�� � ���� �

!��( 14( !��( 1" ����� ������ � ����� �� ��� ����� �� ��

���� ������ 1� �� ���� � 4(�5 �� ����� �(�( � � ���

�������� � ��� �� ��( &���� %����� ���� ��� ����������� �

��A����� � ? ��������(

0�� ��� ��A����� ���� ��� ��� ������ � ������

������ ��� ����� �� �� � ��� �� ��* �� �� ���� ������ �

���� � ��� � ���� ������( - �������* ��� � +����

��A����� �� ��(9 �� � ���� � !��( 1"( - � �� � ���

������ ���� ������ 1� �� ���� � 1 �� �����* ���

��A����� � ��� ����� �� �� �� ��(91� ��( - ��� � ��

1� �� ���� � 4(�5 �� �����* ��� ��A����� ��

��(9=" ��( - ��� � �� � �� �� ����� � 4(�5 ��

��������* ��A����� �� �4(�19 ��( -� �� ��� �� � ��A���

��� � ��� ����� �� �� ���� ��� ������ ������ �� � ���� ��

�� � � �������* ����� ���� ��� �� � ��� ����� �� �� � ���

��� � �� �� ������ ������(

<)�) �23���(�� � � �� �����( ����( &�� �� �� ��

�� �33�� �����

$ �� � ���� ������ � � ������� �� ���� ��� ������

������ � ��� �� ������ �� ���( !��( 15 �����

!��( 14( ����������� � �������� �� ��� ����� �� �� � �� � �������(

�) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*> "15

Page 8: Production of shadow-mask-improved technology

����� ��� �� ��� � ��� � ���� ������ ���� ��� � +����

��8� � ������ � ��� �� �� ���( &�� ����� �� �� � � ���

� ������ �� � �� � � � � ��� ������ � � �� ���� �� ���

���� � ��� ����� �� ��(

!��( 1= ����� �� ����� � ���� �������� � � ����

������ ���� � +���� ��8� � ������ � �� ���( )�����

������ �������� �� �� ����� �� ������� �� � ����

������ ���� � +���� ������ � � �������� � ������

��������� �� ����� � ����� � �� ����� �� �� ���� �

!��( 1�( - !��( 1�* �����������* �� �����* � ��� ��8�

� ���� �� ���� �������� � ������ ��� !��( 9 �� �

����� � � �� ����� ��(

&) ���� ��� ��� ����� ������ � �����* ����� �� ���

� ��� � ����� �� ������ �� ����� �� ���� � ���� �

.,( 6;7@

&) � +���

+�

6;7

!��( 1"( ����������� � �������� �� ��� ����� �� �� ���� ������ 1� �� ���� � 4(�5 �� �����(

& ��� 1

���� ���� � ������� �� &) � ��� � ���� �������

' ������ ���� )� ����� �����

����� ���� F�� ��� �� ���� ����� ��� �� ���� F�� ���� �� ���� ����� ���� �� ���� �������

�� �

/������ � �� � ������� 1�(�; 1�(�= 1=(�" 1�(�; 1�("; �(�"

/������ ���� ������ 1�(�; 1�(�� 1=(9; 1�(�9 1�(55 �(5�

�5 �

/������ � �� � ������� 1�("4 1�(1� 1=(�; 1�(4� 1�(== �(;;

/������ ���� ������ 1�(4= 1�(�= 1�(�� 1�("� 1�(=4 �(=1

45 �

/������ � �� � ������� 1�(5" 1�(45 1=(9= 1�(4" 1�(�9 �(;4

/������ ���� ������ 1�(5� 1�("4 1�(�4 1�("" 1�(;1 �(5;

"1= �) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*>

Page 9: Production of shadow-mask-improved technology

����� +��� �� ��� ��������� ����� �� * � +� ��� �������

����� �� (

F ���� &) � ���� �� �� � ��� ����� �� �� � ���

��� � �� �� ������� ������ � ��� �� ����� � ���

����� ������� ��� � ��� ��� ��� ������ �������( &��

&) � ��� � ���� ����� ���� ��� ��� �� � ��� � 1�

�� ����� ��( &�� �� ����� ����� �� ��� �����* ���

��� ��* ����� ��� ��* ��� ���� �� � ����� ���� ��

����� � ��� �� ����� ��( �������� �� ��� ���� �

& ��� 1(

$� ���� � & ��� 1* ����� ��� � ���� � &) ���� ���

� ��� � ���� ������ ���� ��� ������ � �������� � &)

!��( 15( /���� ��� �� ��� � � ���� ������ ���� � +���� ��8� �

������ � �� ���(

!��( 1=( �������� � � ���� ������ ���� � +���� ��8� � ������ � �� ���(

!��( 1�( )������������� � ��� �� ����� �� �� � ���� ������ ���� ������ � ��� ����� �� �� 6�1��7(

�) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*> "1�

Page 10: Production of shadow-mask-improved technology

� ���� �� �� ��� �� ����� ����� � � ��� ���� �� ����

�� �� ��� � ���� ������ � �������( &������� ��� ,� ����

� ��� �� ����� �� � � �������� ��� �� ��� � ���� ������

���� ��� ������(

� ���!�����

&�� �+������ ������� � ��� � ���� ������ �� ���

�� ����� �� � � ��8�� � ����� � ������� ���� ����

����� �� ������� �� � ������ � ������ �� �� ���

���� ��� ��� �� ��� � ���� �������� ��,�����( I��� ���

�������� �������* �+�������� ���� ��������( &�� ���

������� ��� ���� ����� �� � ������@

1( $��� �������� �+�������� �� ��� � � ����� �

������� ���� �� �� ��� ����* �� � � ��� �� � ���

�� �� ��� ���� � � ������� ���� ���� �� � � �

������ ��� ����� �� �� � ��� ��� ��� � �� �� �

����� �� � ����� .(

�( $��� ����� � ������� �� ������ �� �� ��� ����* ���

������ � � � ��� ���� � ��� ������ ������ ���

����� �� �� � ��� �� ��* �� �� � �� �� ��� ���� � �

������� ��� �������( &������ ��� ������ � $G/H/

����� ���* �� �� ��� �� � ��� � ���� ��8� � ������ �

����� �� �� �������� ��� �� �� ��� �����( ' ����

�+�������� �� ��� ������ ���� ������ � ��8� � ���

� �� �� � ���� �� � � �� ��� � ���� ���� ��������

� ������ � ������� � ���� ���� � � ��� ���(

4( )���������� �������� � � �������� �� ���� ���

� ���� ������ � ������� � ��� �������� � ����

������ ���� ��� ������( -� � � ��� �� � �����������*

��8�* � �� ������ � ����� �� ���� �������� ��

��� � ���� ������ ���� ��� ������(

"( )��� ����� &) � ���� ���� ��� �� �� �� �����

����� � ��� � ���� ������ ���� ��� ������* � ���

������ ,� ���� � �� ����� �� � � ��� ��� ��� �� ���

����� &) � ����(

B ��� � ��� � ��� �������* ����� ������ �� �������� ��

������ ����� � ���� �������� � ���� �� �� ��� ����

�� �������� ������������ � ��� �� ����� �� � �����(

������!� "������

&��� ���� � � ��������� �� ��� ���� ��� -������� �

)��� �� �&��������6�-)&7 ���� G ��� �I��������(

#���������

213 C(F( / �� � ����* )������ � !��� � ������+ ' ���� /������*

C���� � 0�� ��* F���* 19;;(

2�3 $( 0��� * &�� � �������� )� �������� � ' ���� &��������*

$� ����� �����* G�� H���(

243 #(�( ����* 0()( ���* E(H( ���* �( ���* $ ���� �� � �� ���� �

�$� ������ �� �� ��� �� ������� � ������� ���� ��� ����� ��� �

�������� � �� ��� � ����� � ���* -�( #( ) ��( &���� ) �( 4;

6199;7 941:9=4(

2"3 #(�( ����* 0()( ���* E(H( ���* �( ���* #(E( ���* $ ����� ��� �$�

������ �� ��� �� ��� � ������� ���� ��� ����� ��� � ��������* #(

) ���( �������( &�����( ;4 6199;7 ;":9�(

253 .�� ��� ' ���� ��������* 19;9(

2=3 )( /��� ��* .������ ������� ' ���� � C ����� ������� E>�*

D����* G�� H���* 199=(

"1; �) %�( 8 9 ���� � �������� �� ������ ���� � �� *1# :1 1; < "=<*>