「速さ」も「精度」も最高峰 頂点を極めた三次元測定機 - YKT...Pinnacle 250...

2
全サイズ共通 光学系 変倍方式 デュアル倍率光学系 低・高倍比 4倍 照明 輪郭照明 グリーンLED 落射照明 ホワイトLED リング照明 PRL ※PRL:赤・緑・青・白のLEDによるリングライト。照明の色と照射角度を設定可能 対物レンズ 倍率 低倍率視野 高倍率視野 作動距離 0.8× 0.8x/3.2x 8.34 ╳ 6.23 1.91 ╳ 1.43 116mm 1.0× 1.00x/4.0x 6.46 ╳ 4.82 1.59 ╳ 1.19 34mm 2.5× (標準) 2.5x/10.0x 2.78 ╳ 2.07 0.64 ╳ 0.48 34mm 5.0× 5.0x/20.0x 1.35 ╳ 1.01 0.31 ╳ 0.23 33.5mm 10.0× 10.0x/40.0x 0.69 ╳ 0.52 0.16 ╳ 0.12 20mm 環境 推奨温度 18~22℃ 温度変化 1℃/H 湿度 30%~80% 上記環境より著しく外れた場合、温度補正を用いた校正値の算出、もしくは校正作業を中止する場合があります。 機種 Pinnacle 250 Summit 600XP Summit 800XP 測定ストローク X×Y×Z 250 150 100mm 450 600 150mm 800 820 150mm 最大積載質量 25kg 50kg 50kg スケール分解能 X×Y× Z 0.0001mm 0.0001mm 0.0001mm 駆動方式 X×Y リニアモータ リニアモータ リニアモータ Z DCサーボ DCサーボ DCサーボ 駆動速度 X Y 400mm/s 400mm/s 300mm/s Z 100mm/s 100mm/s 100mm/s 精度 X Y E2=(1.0 + 5L /1000)um E2=(2.0 + 4L /1000)um E2=(2.0 + 5L /1000)um Z ※1 E1=(1.5 + 5L /1000)um E1=(1.8 + 5L /1000)um E1=(1.8 + 5L /1000)um Z ※2 E1=(1.0 + 5L /1000)um E1=(1.4 + 5L /1000)um E1=(1.5 + 5L /1000)um ※1:0.8×, 1.0×, 2.5× レンズ時 ※2:5.0×,10.0× レンズ使用時 Lは測定長さ(mm)を表します。上記測定精度はそれぞれ温度環境20℃ 測定機本体 サイズ(mm) L 805 D 880 H1,800 L1,100 D1,700 H 2,030 L1,500 D2,150 H 2,055 質量(kg) 635 1,000 2,570 電源(昇圧トランス付属) 100V AC±5% 仕様は予告なく変更する場合があります。予めご了承ください。 仕様 Benefit QVI view 非接触三次元測定機 ビュー 高速高精度全自動測定システム Pinnacle™ / Summit™XP 「速さ」も「精度」も最高峰 頂点を極めた三次元測定機 QVI社製の測定機群の中でも、「測定速度」と「測定精度」 における頂点を極めた非接触三次元測定機シリーズ。ハー ド・ソフトともにユニークな機能を満載し、高次元の全自動測 定を可能にします。 XY軸高速駆動 400 mm/sec. リニアモータによる 高い再現性 瞬時 倍率変更 「デュアル倍率光学系」 高速エッジ検出を サポートする 最先端測定 ソフトウェア Pinnacle 250

Transcript of 「速さ」も「精度」も最高峰 頂点を極めた三次元測定機 - YKT...Pinnacle 250...

Page 1: 「速さ」も「精度」も最高峰 頂点を極めた三次元測定機 - YKT...Pinnacle 250 Summit 600XP Summit 800XP リニアモータが実現する高速・高精度測定

全サイズ共通光学系 変倍方式 デュアル倍率光学系

低・高倍比 4倍照明 輪郭照明 グリーンLED

落射照明 ホワイトLEDリング照明 PRL

※PRL:赤・緑・青・白のLEDによるリングライト。照明の色と照射角度を設定可能対物レンズ 倍率 低倍率視野 高倍率視野 作動距離

0.8× 0.8x/3.2x 8.34 ╳ 6.23 1.91 ╳ 1.43 116mm1.0× 1.00x/4.0x 6.46 ╳ 4.82 1.59 ╳ 1.19 34mm2.5× (標準) 2.5x/10.0x 2.78 ╳ 2.07 0.64 ╳ 0.48 34mm5.0× 5.0x/20.0x 1.35 ╳ 1.01 0.31 ╳ 0.23 33.5mm10.0× 10.0x/40.0x 0.69 ╳ 0.52 0.16 ╳ 0.12 20mm

環境 推奨温度 18~22℃温度変化 1℃/H湿度 30%~80%

上記環境より著しく外れた場合、温度補正を用いた校正値の算出、もしくは校正作業を中止する場合があります。

機種 Pinnacle 250 Summit 600XP Summit 800XP測定ストローク X × Y × Z 250 ╳ 150 ╳ 100mm 450 ╳ 600 ╳ 150mm 800 ╳ 820 ╳ 150mm

最大積載質量 25kg 50kg 50kgスケール分解能 X × Y × Z 0.0001mm 0.0001mm 0.0001mm駆動方式 X × Y リニアモータ リニアモータ リニアモータ

Z DCサーボ DCサーボ DCサーボ駆動速度 X Y 400mm/s 400mm/s 300mm/s

Z 100mm/s 100mm/s 100mm/s精度 X Y E2=(1.0 + 5L/1000)um E2=(2.0 + 4L/1000)um E2=(2.0 + 5L/1000)um

Z ※1 E1=(1.5 + 5L/1000)um E1=(1.8 + 5L/1000)um E1=(1.8 + 5L/1000)umZ ※2 E1=(1.0 + 5L/1000)um E1=(1.4 + 5L/1000)um E1=(1.5 + 5L/1000)um

※1:0.8×, 1.0×, 2.5× レンズ時 ※2:5.0×,10.0× レンズ使用時Lは測定長さ(mm)を表します。上記測定精度はそれぞれ温度環境20℃

測定機本体 サイズ(mm) L805 ╳ D880 ╳ H1,800 L1,100 ╳ D1,700 ╳ H2,030 L1,500 ╳ D2,150 ╳ H2,055質量(kg) 635 1,000 2,570

電源(昇圧トランス付属) 100V AC±5%

仕様は予告なく変更する場合があります。予めご了承ください。

仕様

Benefit

QVI view非接触三次元測定機

ビュー 高速高精度全自動測定システムPinnacle™ / Summit™XP

「速さ」も「精度」も最高峰頂点を極めた三次元測定機QVI社製の測定機群の中でも、「測定速度」と「測定精度」における頂点を極めた非接触三次元測定機シリーズ。ハード・ソフトともにユニークな機能を満載し、高次元の全自動測定を可能にします。

XY軸高速駆動

400mm/sec.リニアモータによる

高い再現性

瞬時の倍率変更

「デュアル倍率光学系」

高速エッジ検出をサポートする

最先端測定ソフトウェア

Pinnacle 250

Page 2: 「速さ」も「精度」も最高峰 頂点を極めた三次元測定機 - YKT...Pinnacle 250 Summit 600XP Summit 800XP リニアモータが実現する高速・高精度測定

デュアル倍率光学系高倍率用と低倍率用で独立した2つのカメラを持ち、比率4:1で任意に変更可能。電子切替のため、迅速に倍率を変更できます。豊富な対物レンズオプション から、対象物に最適な倍率と視野、作動距離を選択 可能。レンズ枚数も少なく抑え、明るく歪みのない像が得られます。

主な特長

Summit 600XP Summit 800XPPinnacle 250

リニアモータが実現する高速・高精度測定スムーズな加減速や真直性にも高い効果を発揮する リニアモータをXY軸に搭載。バックラッシュの無い高い位置決め精度を約束します。

高剛性「グラナイト」ベースPinnacle、Summit本体のベース・コラムにグラナイトを採用。振動減衰特性に優れ、熱変位を抑制する一方、 その剛性は高倍率レンズ使用時のブレの低減に働きます。

方向、角度、色の変更が可能なLEDリング照明「PRL」照明ユニットの上下動による照射角度の切替や、LEDの点灯位置による照射方向の変更、サンプルの特性に合わせた波長の色(赤、緑、青、及び合成による白)の選択が可能です。

検査の効率・精度をサポートするソフトウェア&機能

ノンストップ測定機能「CiC™(Continuous Image Capture)」※オプション/ELEMENTSとの併用推奨

一般的な画像測定機で必要とされる停止/画像処理/移動の繰り返し(Move & Measure)。CiC機能ではステージを停止することなく連続して画像を取得でき、より高速な測定に生まれ変わります。•M&Mとの測定時間比較で、形状数や密度により数倍もの 時短縮実績•有効視野範囲の設定可能 折り返し列数も視野サイ から自動計算•有査の進行や結果の確認、 統計や解析と広範な用途

電子部品業界向けに特化した自動測定ソフトウェア「ELEMENTS®」CADデータを利用した測定プログラム作成。各種マスク、ウェハ、リードフレームなど、測定形状が大量にあるサンプルの測定プログラム作成に最適。•DXF、Gerberのほか、形状の位置を示すTextやCSVファイルにも対応•測定する形状に合わせてファインダ、寸法演算、使用倍率、照明

条件などのアルゴリズムを 設定でき、ライブラリに登録可能•アライメントとアルゴリズムを選択し、測定対象(範囲)をCAD

データから指定後、検査を開始

検出の詳細設定と高速測定を可能にする標準測定ソフトウェア「VMS™」豊富な検出ファインダ、エッジ検出能力の高さとスピード、運用の自由度など、すべてにおいて最高峰の測定ソフトウェアです。•高解像度カメラによる1/50サブピクセル処理•検出アルゴリズムや照明条件などの変数登録により、編集や類似

製品への測定プログラム展開が容易•視野内複数形状(同一照明量)を同時検出する各種ファインダ•自由にレイアウト可能なユーザインターフェース•出力データ書式のカスタマイズに対応

Pinnacle™/Summit™XP SERIES