40

��

=NK ��

�� !W=o~Çáñ=^åÖÉäáÅ~É=páåÉåëáë

�� W=��

�� !"W=a~åÖÖìá

=OK ��

�� !"#$%&'=^åÖÉäáÅ~=ëáåÉåëáë=EläáîKF=aáÉäë=�� !"#$%& O�� !"#$%&'()*+),-./0%123456�%789:%�� !"#$$%&'

=PK ��

�� !"#$%&'()*(+)$,-./012&34�567=? �� ?=�� !=? �� ?=�� !=? �� ?=�� !=? �� ?=�� =E��F=��NR � QM=ãã�� !�"#$%�&'()*+(,-./0,12345�� !"#$%&'()�!*($+,(#-./'01234(567�� !"#�$%&'()#�*+$,-&�.!(/01234$56�� !"#$%&'()*+,-./01%23456789:9;<%E� NPF

=QK ��

QKN �� !=E��=fffF

�� �� ! R � NS�� !"� Q � NM�� !"#$%&'()*+,�� !"#$%&'() *+NS�QSM=µã�� !"�#$%&��� !"# R � OO�� !"#$ R � NM�� !"#$#%!&'�� !"#$% P� NM�� !"#$%&'( O� R�� !"#$�� ! =E�NQF

41

��

���� !"#$%&��!'()*+,-./'0123"45-67�� !"�#$NS�QSM=µã�� !"#$%#&'()*+,-.�� �!"�#$%&'()*+,-.�)/0�1234*567�� !"#$%&'()*+,-./0120#345#6789:�� !"#$ =E�NRF

QKO �� !

�� !�� !" MKO=Ö�� !"�# TMB �� O=ãi�� !" SM�� !�� !"#$%&'()*+%,�-./=EORQ=åãF=�� !"#$�� !"

QKP �� !"#=x��=fsE^Fz

QKPKN �� !"#$%&'(

�� !"wJ�� !"#$%&� wJ�� ! NKM=ãÖ�� ! N=ãi�� !

�� �� !" J�� !=ERWNI=îLîF=�� !"#

�� �� NM=ãi��� ! VM=ãi�� !

�� !"�� !" NKM=Ö �� RMJãi�� !"#$% NM=ãi�� !"O�� !"#$%&' NM��=E� NOMM=ñ=ÖF=�� !"#$%&�� !"#$% RM=�� !"#$%&'()*+ N=ãi�� �� !"#

��

42

� NQ===�� !"#$%&'

^K=��===_K=�� !===`K=�� !===aK=�� !

NK=�� ===OK=��===PK=��===QK=��===RK=�� ===SK=�� !===TK=�� UK=�� !"===VK=��

A

C

D B

123

456

7

89

1

2

3

4

5

6

7

8

920 µm

50 µm 100 µm

��

43

� NR===�� !"#$%&

NK=�� !===OK=�� !"===PK=��===QK=�� !"#===RK=�� !"#SK=�� !"#===TK=�� !"#$%&===UK=�� !"

~K=�� !"#$%===ÄK=�� !"#$%

3a2a1a

6a5a4a

8b8a7a

100 µm

44

��

�� !�� !"#=x��fsE^Fz=�� !"#$wJ�� !"#$%&�� !"#$Q=µi�� !"#$%&c

ORQ�� !"#!$%

�� !"#!"$=U=Åã�� !"#$%&'!()�*+,�� !"#$NNM=�� !=NM=�� !"#$=EPSS=åãF=�� !�� o

��

�� !"#$%&wJ�� !"#$%&o�� !"#$%&

��

QKPKO �� !"#$%&'(

�� !"�� !"#$%�� ! MKR=ãÖ�� ! N=ãi�� !

�� �� ! J�� ! J ��=ENMWRWMKRI=îLîF=�� !"#

�� �� NM=ãi��� ! VM=ãi�� !

�� !"�� !" OKM=Ö �� RMJãi�� !"#$% OM=ãi�� !"�� PM�� !" NM ��=E� NOMM=ñ=ÖF=�� !"#$%&'�� !"#$%&'()%*+,-./OM=ãi�� !"#$�� O�� �OM=ãi�� !"#$%&$' O=j�� ée�� O�� !"# P�� � NM=ãi�� !"#$%&'()*�� !"#$%&'()*+ MKR=ãi�� !"#

�� !�� !"#=x��fsE^Fz=�� !"#$%&'()*+,-.�� !"Q=µi�� !"#$%&c

ORQ�� !"#!$%&'

�� !� "=UKR=Åã�� !"#$%&'!()�*+,-.�� !" NNM=�� ! NM�� !"#$=EPSS=åãF=�� !"�� o

��

45

��

�� !"#$%&'()!*+,- o�� !"#$%&'

��

QKQ �� !"#$%&#'(=E��=uffF

�� !"wJ�� !"#$%& píÇJcm=EQMM=ãÖLiF� wJ�� ! NMKM=ãÖ�� ! OR=ãi�� !"#$ JNM=�� !"#��

�� !"�� !" MKR=Ö �� RMJãi�� !"#$%&' J�� !"#=EVRWRI=îLîF=OR=ãi�� !"#$%&' NMM�� !"# $%&'()*�� !"#$%&'()*+,- R��=E� RQM=ñ=ÖF=�� MKOJµã����=EmqcbF=�� !"#

�� !�� !"#$%& OUM=åã�QKS=ñ=ORM=ãã�� !"#$%=ER=µãF=��� �! PM=�� !" NKM=ãiL�� !"#$%&'(

�� � J ��EVVWNI=îLîF ��E��F EBI=îLîF EBI=îLîF

��

M� NU UN NV ��NU� SM UN ➔ M NV ➔ NMM �� !

�� !"#$��wJ�� !"#$%&píÇJcm=NM=µi�� !"#$%�&'() R�� !"#$%&'()*+,wJ�� !"#$%&'()*+,-� PKMB�wJ�� !"#$%&'()*+,-./0 PKMB�� !"�� wJ�� !"#$%&'( PMMIMMM �

�� !�" wJ�� !"#$% P ��=E� NSF=�� !"#$%&'OKM �

�� !�� ! wJ�� !"#$%& píÇJcm�� !"#$ NM=µi�� !�� !"#$%� &'()*+,-. píÇJcm�� ! wJ�� !

��

��

46

��

�� !"#$%&'()*+,-. Q�� !=E� NSF=�� !"#�� !�"#$%&'(�)*+,-! píÇJcm�� ! wJ�� !�� !"#$%&'()*+,-./ wJ�� !"#$%&'( wJ�� !"#$%&'()*+, PKMB�� ! uff�� !"#$%�� !"#$

�� !"# Q�� !"#$%&'()*+,-./ S �

� S=�� !" Q�� !"#$%&'()*+,-�� �� !"# �� !

N=E�� F MKPO � MKMPO MKUS � MKMPP MKVT � MKMPQ=E�� !"# wJ�� !F NKMM J

� NS=�� !"#$%&'(

�� !"#$%&'()*+#"=E�NSF=�� !"#$%&'()Q�� !"

47

��

=RK ��

RKN �� =E�� sF=�=�� !"#$%

RKO �� !=E�� sfF=�=�� !"#$%

RKP �� !=E�� sffF=�=�� !"#$%

RKQ ��=E�� sfffF=�=�� NKMB �

RKR ��=E�� fuF

�� !"#$ SKMB ��� !"#$�%& NKRB �

RKS ��=E�� uF=�=�� NPKMB �

=SK �� =E�� ufF

�� !"#=E�� F=�� ! QUKMB ��� !"#=E�� F=�� ! RRKMB �

=TK==�� !

�� =fsE_F=��

�� !"wJ�� !"#$%&'=píÇJpíçÅâ=ENMMM=ãÖLiF�� ! wJ�� ! ORKM=ãÖ�� ! OR=ãi�� !"#$ JNM=�� !"�� wJ�� !"#$%&=píÇJ^p�� ! wJ�� !"#$%&'()*+,�-./01 wJ�� !"#� NM � NRM � ORM � PRM � RMM=ãÖLi�� !"#$%&

��

��

48

��

�� !"�� !"#$% MKR= Ö �� RMJãi�� !"#$%&' OR=ãi�� !�� !"#NMM�� !"# $%&'()*+,-.#/012 34R ��=E� RQM=ñ=ÖF=�� MKOJµã�� !=EmqcbF=�� !"#

�� !�� !"#$%&=PRM=åã�QKS=ñ=NRM=ãã=�� !"#$%= ER=µãF=���� !" NKM=ãiL�� !"#$%J �=ESWQI=îLîF=�� !"#

�� !"#$� wJ�� !"#$%& píÇJ^p=EORM=ãÖLiF=NM=µi�� !"#$%�&'��=R=�� !"#$%&'()*+,wJ�� !"#$%&'()*+,�� PKMB�wJ�� !"#$%&'()*+,-./0 PKMB�� !"#� wJ�� !"#$%&'( RIMMM �

�� !�" wJ�� !"#$%"&'()*+,-./ NKR �

�� !� wJ�� !"#$%&'( píÇJ^p �� NM=µi�� !"#$%�&'(�� !"=wJ�� !"#$%&'()*+,-./012*+=R=�� �� !"#$%&'()*+,

�� !�� !"#NM=µi�� !"#$%�&'(#$)*+wJ�� !"#$�� píÇJ^p�� !"#$%&'()*+,-./�� ! wJ�� !�� !"#$ wJ�� !"#$%&'(")#*+, RKMB�� !"�� !"=fsE_F=�� !"#$%&' wJ�� !"#$=EãÖLiF�� !�� wJ�� !"#$%&'

���� !"#$%!& wJ�� !=E`

NOe

NQl

OF=�� MKSMB �

��