Metal Organic Chemical Vapor Deposition - MOCVD | …²¿革 経営理念 会社概要...

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川崎大師 多摩運河 大陽日酸㈱京浜事業所 多摩川 羽田空港 産業道路 小島新田駅 京急大師線 バス停 小島町 バス停 小島町 浮島橋 京急川崎駅 ・京急本線 ・京急大師線 JR川崎駅 ・東海道線 ・京浜東北線 ・南武線 首都高速 (神奈川6号川崎線) 東京湾 アクアライン 国道409号 (大師道) 横羽線 浅田 国道132号(富士見通り) TNCSE タクシー5分 徒歩20分 お車の場合 湾岸線 浮島ジャンクションより5分 横羽線 大師ランプより10分 川崎駅(東口)よりバス 16番ターミナル「川03」系統 浮島バスターミナル行き(臨港バス)乗車 「小島町」下車、徒歩5分 ※バス所要時間約30分 15 ( ) ( 1 ) 港町 鈴木町 川崎大師 東門前 産業道路 Metal Organic Chemical Vapor Deposition 大陽日酸CSE株式会社 〒210-0861 神奈川県川崎市川崎区小島町6-2 大陽日酸京浜事業所内 Tel Fax:044-270-5567 :044-288-5791

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Page 1: Metal Organic Chemical Vapor Deposition - MOCVD | …²¿革 経営理念 会社概要 製品ラインナップ 大陽日酸CSEの位置づけ 1980年 日本イー・エム・シー設立、MOCVD製造装置製造販売開始

川崎大師多摩運河

大陽日酸㈱京浜事業所

多摩川

羽田空港

産業

道路

小島新田駅京急大師線

バス停 小島町

バス停 小島町

浮島橋

京急川崎駅  ・京急本線  ・京急大師線

JR川崎駅  ・東海道線  ・京浜東北線  ・南武線

首都高速

(神奈川6号川崎線)

至 東京湾

   アクアライン

国道409号 (大師道)

至 

横羽

線 

浅田

国道132号(富士見通り)

TNCSE

タクシー5分徒歩20分

お車の場合湾岸線 浮島ジャンクションより5分横羽線 大師ランプより10分

川崎駅(東口)よりバス16番ターミナル「川03」系統浮島バスターミナル行き(臨港バス)乗車「小島町」下車、徒歩5分※バス所要時間約30分

国道15号(

第一京浜)

至 

横浜

至 

横浜

至 

品川

至 

品川 首

都高速(

神奈川1号横羽線)

港町鈴木町

川崎大師

東門前

産業道路

Metal Organic Chemical Vapor Deposition

大陽日酸CSE株式会社〒210-0861 神奈川県川崎市川崎区小島町6-2大陽日酸京浜事業所内TelFax:044-270-5567

:044-288-5791

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沿革

経営理念

会社概要

製品ラインナップ

大陽日酸CSEの位置づけ

1980年 ㈱日本イー・エム・シー設立、MOCVD製造装置製造販売開始1983年 日本酸素㈱でMOCVD装置事業開始1996年 ㈱アセック設立2004年 日本酸素㈱と大陽東洋酸素㈱が合併し、大陽日酸㈱に商号変更2007年 ㈱日本イー・エム・シーから大陽日酸イー・エム・シー㈱へMOCVD装置事業を譲渡2008年 大陽日酸㈱の完全子会社として大陽日酸イー・エム・シー㈱創業2012年 大陽日酸イー・エム・シー㈱と㈱アセックのMOCVD装置事業が合流2014年 大陽日酸㈱化合物事業部の設計製作部門と統合し、      社名を大陽日酸イー・エム・シー㈱から大陽日酸CSE㈱に変更、本社を移転 

1980年

1983年1996年 2007年2004年

2014年1990年 2000年 2010年

(現在)

大陽日酸CSE

日本酸素

大陽日酸EMC 大陽日酸CSE

大陽日酸

日本EMC

アセック

0 92012年

設計・製造

営業権譲渡

 合流

量産用MOCVD装置

GaAs系.InP系:HR、PR、BMCシリーズGaN系:SR、UR、GMCシリーズ

MOCVD装置関連製品特殊CVD装置(SiC等)、不純物拡散装置、等々

ドライ洗浄装置

GaN系:DEXシリーズ

HVPE装置GaAs系.InP系、GaN系

研究用MOCVD装置GaAs系.InP系:VR、HR、BRCシリーズGaN系:SR、GRCシリーズ

大陽日酸グループは、量産用大型機から研究開発用小型機までのあらゆるニーズに対応できるMOCVD装置をラインナップしています。また、研究開発用小型機においては、お客様の研究開発目的に応じた特殊仕様のMOCVD装置についても対応させていただいております。さらに、ハイドライド気相成長(HVPE)装置やドライ洗浄装置。特殊なCVD関連装置についても提供させていただいております。

日本のMOCVD装置メーカー主要三社が統合して大陽日酸CSEが生まれました。

UR25K UR26K クリーンルーム大陽日酸京浜事業所 大陽日酸つくば研究所

・ 大陽日酸化合物事業グループの中で 装置エンジニアリングを担います。

・ 大陽日酸化合物事業部つくば研究所と協力し、 より先進で高度な化合物半導体製造装置を 実現します。

・ 大陽日酸化合物事業部営業部門と協力し、 より良い化合物半導体製造ソリューションを お客様に提供いたします。

お客様

協力会社エンジニア

リング大陽日酸CSE

開発営業大陽日酸

化合物事業部

商 号 : 大陽日酸CSE株式会社

本 社 : 神奈川県川崎市川崎区小島町6番地2(大陽日酸京浜事業所内)

代 表 者 : 取締役社長 山﨑 利明

創 業 : 2008年2月1日

資 本 金 : 1,000万円

株 主 : 大陽日酸株式会社(100%出資子会社)

事 業 内 容 : 化合物半導体製造装置および関連装置の設計製造、エンジニアリング業務、メンテナンス業務

販 売 先 : 大陽日酸株式会社

認 証 取 得 : ISO9001 

MOCVD装置のパイオニアとして最高の技術で産業と社会に貢献する。MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, 有機金属気相成長法)は化合物半導体の薄膜の結晶を成長させる方法です。 化合物半導体は発光ダイオード、半導体レーザのように光を発する固体光源 及び 超高速トランジスタに用いられています。

ISO9001

12QR-1638

CM007