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Milano, 21 Marzo 2006 2
La Microscopia AFM
• Appartiene alla famiglia delle microscopie a
scansione di sonda (SPM )
• La più diffusa
• In evoluzione costante
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Tratteremo:
• Principio di funzionamento e prestazioni
• Applicazioni rispetto alla Microscopia SEM
• Tipi di forze che possiamo misurare
• Evoluzione tecnologica
• Da sonda a manipolatore
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Il Funzionamento
• La leva
• La punta
• Il traslatore
• Il sistema di feedback e di scansione
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Codice Topometrix
#1520
#1660
Applicazione
CONTATTO
NON-CONTATTO
Geometria leva
Triangolare(due leve)
rettangolare
L- lunghezza del braccio (m)
100
225
W- Ampiezza del braccio (m)
22
30-45
TH- Spessore (m)
0.6
6-8
Costante di forza (N/m)
0.37
24-85
Frequenza di risonanza nominale
(KHz)
66
160-220
Materiale punta
Si3N4
Si
Geometria della punta
4m base, 4m altezza
3-6 m base, 10-20m altezza
Raggio della punta
< 50 nm
< 20 nm
La Sonda
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Contatto e Non Contatto • Contatto
• Contatto intermittente (tapping, DI)
• Non contatto
• Non contatto Phase Shift
• Non contatto Lift Off (DI)
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Effetto del Menisco
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Leve piezoresistive
Costante di Forza: 1 N/m
Frequenza Rison.: 38 KHz
Lunghezza: 300 um
Altezza Punta: 2 um
Resistenza: 2 KOhm
Sensibilità: 1x10-6 nm-1
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Misura dell’ Altezza
GaP depositato su Silicio per MBE
SEM: la barra indica 1 um
AFM: scansione 10um x 10um
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Accessibilità
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Profondità di Campo
Immagine di Fibre di polietilene (a)
Immagine di cristallo di Y2O3 (b)
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Ambiente di Misura
• In aria senza coating del campione
• In liquido con una cella apposita
Cubosomi in Liquido
C.Neto, et al. J.Phys.Chem.B 103,1999,3896
Cella liquidi Explorer Topometrix
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Milano, 21 Marzo 2006 13
Lenti a Contatto
Scansioni su lenti a contatto:
In alto 1 um x 1um
In basso 15 um x 15 um
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Milano, 21 Marzo 2006 14
Alta Risoluzione
18 nm scan di due molecole in soluzione fisiologica
Risoluzione di 0,1 nm. FEBS Letters 381,1996,161
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Milano, 21 Marzo 2006 15
DNA plasmidico, 4362 coppie di basi
C.Neto, Tesi di Laurea, [email protected]
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Milano, 21 Marzo 2006 16
Oltre la Struttura
• Il SEM permette di determinare la
composizione chimica locale dallo spettro
energetico della fluorescenza X
• L’AFM permette di determinare quantità
chimico fisiche locali
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Milano, 21 Marzo 2006 17
Adesione: phase shift
Scan 2 um, film polietilene Scan 3 um, polpa di legno
Scan 5 um, polimero in matrice
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Milano, 21 Marzo 2006 18
Forza Magnetica (MFM)
Immagine AFM e MFM di superficie di hard disk
Dimensioni 25 um
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Milano, 21 Marzo 2006 19
Forza Elettrica (EFM)
J.Hu et al. Science, 268,1995,476
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Milano, 21 Marzo 2006 20
Potenziale Superficiale (SPI)
10 um scan di bordo di grani di ZnO in un Varistor
Polarizzato a 0V, +4V e –4V
Copyright © 1996 Prof. Iain D. Baikie Robert Gordon University, Aberdeen, Scotland
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Milano, 21 Marzo 2006 21
Temperatura Superficiale (SThM)
90 um scan di celle di memoria
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Milano, 21 Marzo 2006 22
Da Sonda a Manipolatore della Superficie
• Misure di durezza superficiale
Indentazione di film di oro (3 um)
Film di carbonio: 23,34,45 uN (0,5 um)
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Milano, 21 Marzo 2006 23
Nanolitografia su Silicio
E.Dubois, J.-L.Bubbendorf,
Solid State Electronics, 43,1999,1085
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Milano, 21 Marzo 2006 24
Nanolitografia su Film di Titanio
E.Dubois, J.-L.Bubbendorf,
Solid State Electronics, 43,1999,1085
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Milano, 21 Marzo 2006 25
Nanolitografia su Oro
R.Piner et al, Science 283,1999,661
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Milano, 21 Marzo 2006 26
Sistemi micro-elettromeccanici (MEMS)
www.zurich.ibm.com/st/mems/
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Milano, 21 Marzo 2006 27
Applicazione
www.zurich.ibm.com/st/mems/
areal densities up to 200 Gb/in²
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Milano, 21 Marzo 2006 28
Conclusioni
• La Microscopia a Forza Atomica esemplifica bene la necessità di “toccare con mano” le proprietà della superficie.
• L’AFM è complementare con il SEM
• Tecnica ben collaudata per misure precise di struttura superficiale
• Applicabile per misure di un ampio spettro di proprietà chimico-fisiche superficiali
• In intenso sviluppo per la nano manipolazione di superfici