INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL
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INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL PRODUCTOS Y SERVICIOS CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANOTECNOLOGÍAS Sistema de alineación de mascarillas (EVG620) Descripción Aplicacione s Resultados Beneficios Contacto CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANNOTECNOLOGÍAS [email protected] El sistema EVG620 es una herramienta de doble uso diseñada para realizar procesos de fotolitografía de doble cara, así como procesos de litografía por nanoimpresión NIL (Nanoimprint Litography). • Transferencia de patrones a escala micrométrica con una resolución de 1 a 5 mm (fotolitografía). • Transferencia de patrones a escala nanométrica con una resolución menor a 50 nm (NIL). • Alineación litográfica por ambas caras. • Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos. • Desarrollo de micro y nano estructuras, microcanales, sensores de presión, etc. • Fabricar dispositivos a escala manométrica. Dr. Jacobo Esteban Munguía Cervantes [email protected] Tel. 57296000 Ext. 57513
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INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL
PRODUCTOS Y SERVICIOS
CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANOTECNOLOGÍAS
Sistema de alineación de mascarillas (EVG620)
Descripción
Aplicaciones
Resultados
Beneficios
Contacto
CENTRO DE NANOCIENCIAS Y MICRO Y NANNOTECNOLOGÍ[email protected]
El sistema EVG620 es una herramienta de doble uso diseñada para realizar procesos de fotolitografía de doble cara, así como procesos de litografía por nanoimpresión NIL (Nanoimprint Litography).
• Transferencia de patrones a escala micrométrica con una resolución de 1 a 5 mm (fotolitografía).
• Transferencia de patrones a escala nanométrica con una resolución menor a 50 nm (NIL).
• Alineación litográfica por ambas caras.
• Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos.
• Desarrollo de micro y nano estructuras, microcanales, sensores de presión, etc.
• Fabricar dispositivos a escala manométrica.
Dr. Jacobo Esteban Munguía [email protected]. 57296000 Ext. 57513
