PENGARUH SUHU PEMANASAN TERHADAP SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS MnS YANG DITUMBUHKAN DENGAN

METODE CHEMICAL BATH DEPOSITION

DHONI SAPUTRA

DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

INSTITUT PERTANIAN BOGOR 2006

PENGARUH SUHU PEMANASAN TERHADAP SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS MnS YANG DITUMBUHKAN DENGAN

METODE CHEMICAL BATH DEPOSITION

DHONI SAPUTRA

DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

INSTITUT PERTANIAN BOGOR 2006

One sighted

You'll never understand to be the followers of a truth that never come

in a flashing light seek the wrong from right

and stuck with one sight

close your eyes receive the lies

every little child

has a chance to live to hope and die and even if we die

we don’t know what we want and what to try

close your eyes and receive the lies

you will never understand

we are the eyes you will never understand

we are the eyes

Eyeliner, Trancesectional 2006

DHONI SAPUTRA. Pengaruh Suhu Pemanasan Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis MnS Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Chemical Bath Deposition. Pembimbing : Akhiruddin Maddu, M.Si

ABSTRAK

Mangan Sulfida (MnS) adalah bahan semikonduktor paduan yang telah lama dikenali dan diteliti. Bahan ini terutama digunakan dalam aplikasi optoelektronik. Dalam beberapa tahun terakhir, penelitian terhadap bahan MnS mendapat banyak perhatian, karena bahan ini dapat digunakan untuk pencampuran dengan Zn dan Cd untuk membentuk (Zn, Mn)S dan (Cd, Mn)S yang memiliki sifat magneto optik yang menonjol. MnS merupakan bahan semikonduktor senyawa VII-VI. MnS pada penggunaannya selain berguna untuk perangkat opto-elektronik, perangkat sel surya sebagai material buffer dan juga merupakan komponen terpenting dalam teknologi pembuatan baja.

Teknik Chemical Bath Deposition merupakan salah satu dari berbagai macam jenis teknik deposisi yang sudah lazim digunakan dan banyak dipakai untuk mendapatkan semikonduktor yang baik. CBD merupakan teknik dimana lapisan tipis semikonduktor dideposisikan pada substrat yang dicelupkan dalam larutan yang mengandung ion-ion logam dan sumber-sumber ion hidroksida, sulfida, atau selenida [10]. Metode CBD merupakan metode yang sederhana dan murah serta dilakukan pada suhu yang rendah (25°C - 90°C). Dengan metode ini juga berbagai lapisan tipis dapat dibuat. Pada tahun 1991 dilaporkan bahwa lebih dari 35 bahan senyawa yang dapat dibuat dengan metode ini [10].

Pengaruh suhu annealing lapisan ternyata sangat mempengaruhi beberapa sifat optik material seperti absorbansi, transmitansi, reflektansi dan indeks bias. Nilai energi celah yang di dapat adalah antara 2.5 – 2.7 eV sedangkan nilai energi celah bahan semikonduktor MnS adalah antara 2.6 – 3.9 eV [3].

Sampel A T (%) n Eg (eV) R (%) MnS-1 0.661 66.68 2.7 2.7 31.09 MnS-2 0.652 77.62 2.8 2.6 31.2 MnS-3 1.273 73.11 4.51 2.5 51.93

PENGARUH SUHU PEMANASAN TERHADAP SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS MnS YANG DITUMBUHKAN DENGAN

METODE CHEMICAL BATH DEPOSITION

DHONI SAPUTRA

Skripsi

sebagai salah satu syarat untuk memperoleh gelar Sarjana Sains

Pada Departemen Fisika

DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

INSTITUT PERTANIAN BOGOR 2006

Judul : Pengaruh Suhu Pemanasan Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis MnS Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Chemical Bath Deposition.

Nama : Dhoni Saputra NRP : G07400036

Menyetujui, Pembimbing

Akhiruddin Maddu, MSi NIP 132206239

Mengetahui, Dekan Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam

Institut Pertanian Bogor

Prof. Dr. Ir. Yonny Koesmaryono, MS NIP 131473999

Tanggal Lulus: ..............................

PRAKATA

Segala puji dan syukur penulis panjatkan kehadirat Allah SWT (SANG ASA), karena hanya berkat rahmat dan hidayah-Nya sehingga penulis dapat menyeleaikan penulisan laporan penenlitian ini. Laporan penelitian yang berjudul “Pengaruh Suhu pemanasan Terhadap Sifat optik Lapisan Tipis MnS Yang Ditumbuhkan dengan Metode Chemical Bath Deposition” ini disusun sebagai persembahan saya bagi SANG ASA, sebagai sedekah yang semoga bermanfaat bagi dunia dan sebagai pelengkap untuk meraih gelar Sarjana Sains di Departemen Fisika FMIPA IPB. Untuk semua dukungan, semangat dan bantuan, penulis ingin menyampaikan terimakasih sebesar-besarnya kepada: 1. Akhiruddin Maddu, MSi., sebagai pembimbing Tugas Akhir yang telah memberikan

bimbingan, saran dan kepercayaan dalam menyelesaikan Tugas Akhir ini. 2. Semua Staf di Departemen Fisika FMIPA IPB terutama Pak Yani, Bu Grace, Pak Maulana,

Pak Mus, Pak Firman, Pak Parman, Bu Grace, Pak Toni untuk semua ide , bantuan, arahan, saran dan informasinya. Pak Sulis dan Pak Bambang dari P3IB-BATAN, Serpong atas segala niat baiknya.

3. Ir. Hanedi Darmasetiawan, MS. Atas bimbingan dan bantuannya. Pak Nur Indro, Bang Umar, Pak Irmansyah, Ibu Mersi Kurniati atas dukungan moral dan masukannya.

4. Alm. Mama atas usahanya untuk membesarkan saya dan memberikan dukungan moral yang tiada batas sampai akhir hayatnya. Untuk Papa dan Mama di Batu Ampar atas nasehatnya selama saya kuliah. Keluarga Besar HM.Mansyur, keluarga Besar Alm.Hastimar, keluarga besar Palayu 53, keluarga besar Hasvarani, keluarga besar saya di Paninjauan, Solok.

5. Dhani, Destri, Dhandy, Dina dan Dela atas senyum dan kasih yang kalian berikan kepada kakak.

6. Mee atas sayang, harapan, kebahagiaan dan tawa yang selalu memberikan semangat bagiku. Ini untukmu.

7. MAFIA 37(Ami, Reza, Fahd, Kun, Sofyan, Izzu, Kristin, Ina, Apit, Ifa, Leli, Henny, Ias, Esti, Reni] Ex 37 Bambang dan keponakan-keponakanku dari Ifa n Reni, Schro Catz [Enkz, Cepy, Fati, Rey, Tongkang, Mance, Fuad, Iwan, Ewing, Iqin, Kun, yerri] atas waktu yang kita habiskan bersama dalam suka maupun duka. Ciwaluya 9 [wiwid, kaka, monique, rifky], Walet dan anak-anak Informatika 37 atas waktunya, MAFIA 34, 35, 36, 38

8. Keluarga besar Eyeliner [Subnet6, Fu Kocha and Levi] Blacksmith a.k.a ChePhe dan e|Org Management, all indie movement, britpop culture, dark wave. Semua orang besar yang menginspirasikan saya terutama Nabi Muhammad SAW, Jesús Christ, Siddharta Gautama, Yubal keturunan Adam AS [Bapak semua orang yang memainkan kecapi dan suling] dan Brian Molko.

9. Terima kasih atas semua dukungan dan harapan teman – teman yang tak tersebut kepada saya dan permohonan maaf sebesar-besarnya kepada SANG ASA.

Bogor, September 2006

ttd

Penyusun [Konstanta]

RIWAYAT HIDUP Penulis dilahirkan di Jakarta pada tanggal 22 Desember 1982 dari bapak Muhammad Ridho Suryadianil dan ibu Dharma Aini. Penulis merupakan putera pertama dari enam bersaudara. Tahun 2000 penulis lulus dari SMA Negeri 54 Jakarta Timur dan lulus seleksi masuk IPB melalui jalur Ujian Masuk perguruan Tinggi Negeri (UMPTN). Penulis diterima pada program studi Fisika, Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam.

Selama mengikuti perkuliahan, penulis pernah menjadi asisten praktikum mata kuliah Fisika Dasar I dan II serta Fisika Umum tahun 2002-2004. Selain itu penulis juga merupakan vocalist dari sebuah band indie terkenal di Bogor. Disamping itu penulis juga aktif di lembaga kemahasiswaan, diantaranya yaitu sebagai anggota HIMAFI dan Himpunan Mahasiswa Islam (HMI) komisariat FMIPA IPB Bogor.

DAFTAR ISI

Halaman

PRAKATA.........................................................................................................................................i DAFTAR ISI.................................................................................................................................... ii DAFTAR TABEL........................................................................................................................... iii DAFTAR GAMBAR .......................................................................................................................iv PENDAHULUAN Latar Belakang ...........................................................................................................................1

Tujuan Penelitian .......................................................................................................................1 TINJAUAN PUSTAKA

Teori Semikonduktor .................................................................................................................1 Material Mangan Sulfida (MnS) ................................................................................................1 Teknik Chemical Bath Deposition (CBD) .................................................................................2 Sifat Optik Bahan.......................................................................................................................3

Absorbansi ..........................................................................................................................3 Transmitansi .......................................................................................................................3 Indeks Bias..........................................................................................................................3 Reflektansi...........................................................................................................................4 Energi Gap..........................................................................................................................4

BAHAN DAN METODE Waktu dan Tempat Penelitian ....................................................................................................4 Alat dan Bahan...........................................................................................................................4 Metode Penelitian ......................................................................................................................4

Deposisi Lapisan MnS dengan Metode CBD .....................................................................4 Karakterisasi Lapisan MnS ........................................................................................................5

Karakterisasi XRD..............................................................................................................5 Karakterisasi Optik .............................................................................................................5

Diagram Alur Penelitian ............................................................................................................6 HASIL DAN PEMBAHASAN

Hasil Deposisi Lapisan MnS......................................................................................................6 Ketebalan Lapisan MnS.............................................................................................................6 Karakterisasi XRD .....................................................................................................................7 Sifat Optik..................................................................................................................................7

Absorbansi ..........................................................................................................................7 Pengaruh Suhu Annealing pada Absorbansi...........................................................7

Transmitansi .......................................................................................................................8 Pengaruh Suhu Annealing pada Transmitansi........................................................8

Absorbansi ..........................................................................................................................7 Pengaruh Suhu Annealing pada Absorbansi...........................................................7

Reflektansi...........................................................................................................................9 Pengaruh Suhu Annealing pada Reflektansi ...........................................................9

Indeks bias ........................................................................................................................10 Energi Gap (Eg) ................................................................................................................11

KESIMPULAN DAN SARAN Kesimpulan ..............................................................................................................................11 Saran ........................................................................................................................................12

DAFTAR PUSTAKA .....................................................................................................................12 LAMPIRAN....................................................................................................................................13

DAFTAR GAMBAR Halaman

1. Struktur Kristal MnS alabandite, zinc blend dan wurtzite .......................................................2 2. Skema Proses Deposisi ..............................................................................................................2 3. Pembiasan Berkas Cahaya .........................................................................................................3 4. Bagan pengaturan alat untuk uji sifat optik................................................................................5 5. Diagram Alur Kerja Penelitian...................................................................................................6 6. Kurva XRD MnS .......................................................................................................................7 7. Kurva Absorbansi vs panjang gelombang dari MnS-1...............................................................7 8. Kurva Absorbansi vs panjang gelombang dari MnS-2...............................................................8 9. Kurva Absorbansi vs panjang gelombang dari MnS-3...............................................................8 10. Kurva Transmitansi vs panjang gelombang dari MnS-1............................................................8 11. Kurva Transmitansi vs panjang gelombang dari MnS-2............................................................8 12. Kurva Transmitansi vs panjang gelombang dari MnS-3............................................................9 13. Kurva Reflektansi vs panjang gelombang dari MnS-1...............................................................9 14. Kurva Reflektansi vs panjang gelombang dari MnS-2...............................................................9 15. Kurva Reflektansi vs panjang gelombang dari MnS-3.............................................................10 16. Kurva indeks Bias vs panjang gelombang dari MnS-1 ............................................................10 17. Kurva indeks Bias vs panjang gelombang dari MnS-2 ............................................................10 18. Kurva indeks Bias vs panjang gelombang dari MnS-3 ............................................................10 19. Kurva Band Gap MnS-1 ..........................................................................................................11 20. Kurva Band Gap MnS-2 ..........................................................................................................11 21. Kurva Band Gap MnS-3 ..........................................................................................................11

DAFTAR TABEL Halaman

1. Perlakuan Suhu Annealing Pada Sampel MnS.............................................................................6 2. Nilai Absorbansi Tertinggi Pada Sampel MnS .............................................................................8 3. Nilai Transmitansi (%) Tertinggi Pada Sampel MnS....................................................................9 4. Nilai Reflektansi (%) Tertinggi Pada Sampel MS.........................................................................9 5. Nilai Indeks Bias Tertinggi Pada Sampel MnS...........................................................................10 6. Nilai Band Gap (Ev) Tertinggi Pada Sampel MnS......................................................................11

DAFTAR LAMPIRAN Halaman

1. Data Pengukuran Nilai A dan Perhitungan Nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, Sampel MnS ...13 2. Data Pengukuran Ketebalan Lapisan Tipis MnS dengan Menggunakan Metode Gravimetri .....22 3. Spesifikasi Alat “Ocean Optic USB 2000 Fiber Optic Spectrometer”........................................22 4. Prosedur Pengambilan Data Nilai Absorbansi ............................................................................24 5. Foto Alat-alat yang Digunakan ...................................................................................................26 6. Data Intensitas dan 2θ XRD........................................................................................................26

1

PENDAHULUAN

Latar Belakang Dalam beberapa dekade terakhir ini, penelitian mengenai semikonduktor paduan menjadi semakin luas dan melibatkan berbagai disiplin ilmu. Penelitian ini terus berkembang karena adanya kemungkinan terbentuknya material baru yang bersifat optik, magnetik dan sifat lainnya yang baru. Pengkajian akan sifat-sifat ini akan membawa pada perkembangan aplikasi teknologinya. Mangan Sulfida (MnS) adalah bahan semikonduktor paduan yang telah lama dikenali dan diteliti. Bahan ini terutama digunakan dalam aplikasi optoelektronik. Dalam beberapa tahun terakhir, penelitian terhadap bahan MnS mendapat banyak perhatian, karena bahan ini dapat digunakan untuk pencampuran dengan Zn dan Cd untuk membentuk (Zn, Mn)S dan (Cd, Mn)S. Paduan ini memiliki sifat magneto optic yang menonjol. Telah banyak teknik yang dikembangkan dalam pendeposisian lapisan MnS seperti Chemical Bath Deposition (CBD), Chemical Vapour Deposition (CVD), Sputtering, Evaporasi Termal dan lain-lain [1]. Dalam penelitian ini, teknik deposisi lapisan MnS dilakukan dengan metode Chemical Bath Depositon (CBD), karena proses pembuatannya relatif mudah serta murah.

Tujuan Penelitian Menumbuhkan lapisan MnS pada substrat kaca dengan metode Chemical Bath Deposition dan menguji sifat optiknya.

TINJAUAN PUSTAKA

Teori Semikonduktor Semikonduktor merupakan bahan padat yang mempunyai pita valensi yang berenergi rendah dan pita konduksi yang berenergi lebih tinggi. Pada suhu nol mutlak, pita valensi terisi penuh oleh elektron dan pita konduksi tidak terisi dengan elektron (kosong), sehingga pada suhu nol mutlak material ini menjadi isolator sempurna. Terjadinya perpindahan elektron dari pita valensi ke pita konduksi diakibatkan

oleh pengaruh suhu dan penyinaran. Tetapi secara alami pada suhu di atas nol mutlak, sebagian elektron telah berada di pita konduksi. Elektron dapat berpindah bila energinya lebih besar atau sama dengan celah energi yang ada di atasnya. Elektron yang berpindah ke pita konduksi akan menjadi elektron bebas dan akan meninggalkan sejumlah kekosongan di pita valensi yang disebut sebagai lubang (hole) yang nantinya akan berekombinasi kembali dengan elektron. Elektron dan hole inilah yang menjadi penghantar arus listrik pada material semikonduktor. Berdasarkan asal muatan pembawa, semikonduktor dibedakan menjadi dua kelompok yaitu semikonduktor instrinsik dan semikonduktor ekstrinsik. Semikonduktor instrinsik hanya terdiri dari sebuah unsur atau senyawa, elektron ataupun hole berasal dari atom itu sendiri. Pada semikonduktor ekstrinsik, elektron maupun hole-nya tidak hanya dari bahan utamanya saja melainkan juga berasal dari atom-atom pengotornya. Pemberian pengotor pada bahan semikonduktor disebut sebagai doping. Dengan adanya doping, bahan semikonduktor mengalami perubahan jumlah pembawa muatan, konduktivitasnya bertambah dan resistansinya menurun. Berdasarkan mayoritas pembawa muatannya semikonduktor digolongkan menjadi semikonduktor tipe-p dan semikonduktor tipe-n. Pada semikonduktor tipe-n atom pengotornya kelebihan elektron (atom donor) sehingga semikonduktor ini bermuatan negatif, sedangkan pada semikonduktor tipe-p atom pengotornya kekurangan elektron (atom akseptor) sehingga semikonduktor ini bermuatan positif dengan pembawa mayoritas adalah hole. Jika disinari, bahan semikonduktor akan mengalami efek fotovoltaik, yaitu penyerapan cahaya sehingga menaikkan energi elektron sehingga tereksitasi ke level energi yang lebih tinggi dan menghasilkan arus listrik.

Material Mangan Sulfida (MnS) MnS merupakan bahan semikonduktor senyawa VII-VI. Mangan Sulfida pada penggunaannya selain berguna untuk perangkat opto-elektronik, perangkat sel surya sebagai material buffer dan juga

2

merupakan komponen terpenting dalam teknologi pembuatan baja. Selain dari keuntungannya sebagai material semikonduktor, MnS juga terkait dalam penelitian dari campuran logam campuran semimagnetik yang mengandung Mn dan S. Pada umumnya, MnS memiliki bentuk amorf dan kristal, pada bentuk amorf material ini tidak memiliki keteraturan pada susunan atom-atomnya. Dalam bentuk kristal, material ini memiliki tiga fase. Fase α-MnS (alabandite) oktahedral dengan struktur rock-salt, struktur tetragonal yaitu β-MnS (zinc-blend type) dan γ-MnS (wurtzite) dengan struktur hexagonal yang dapat dilihat pada Gambar 1. Fase γ-MnS dapat dibentuk pada suhu rendah tetapi akan berubah menjadi α-MnS di atas 200 0C. Fase α-MnS dapat bertahan pada semua suhu [2].

α-MnS

β-MnS

γ-MnS Gambar 1. Struktur Kristal MnS alabandite, Zinc

Blend dan wurtzite Lapisan MnS memiliki pita celah optik dengan rentang antara 2,6 - 3,9 eV [3] dan memiliki hambatan listrik yang berkisar antara 105 sampai 106 Ω.cm dengan konduktivitas listrik bertipe-p [4] yang berpotensial untuk diaplikasikan pada aplikasi optoelektronik seperti solar selective coatings, solar cells, sensors dan photoconductors. Pembuatan lapisan MnS dengan kualitas tinggi telah menjadi tugas

yang berat dan hasilnya sedikit jarang ditemui. Teknik CBD telah menghasilkan lapisan amorf dan nanokristalin (merupakan material yang memiliki ukuran dalam orde nanometer), sedangkan teknik Thermal Evaporation menghasilkan sampel polikristalin yang terdiri dari beberapa kristalit kecil; meskipun struktur tetrahedral atau oktahedral, bergantung pada temperatur substrat [2].

Teknik Chemical Bath Deposition (CBD)

CBD merupakan salah satu dari berbagai macam jenis teknik deposisi yang sudah lazim digunakan. CBD merupakan teknik dimana lapisan semikonduktor dideposisikan pada substrat yang dicelupkan dalam larutan yang mengandung ion-ion logam dan sumber-sumber ion hidroksida, dan sulfida [6]. Metode CBD merupakan metode yang sederhana dan murah serta dilakukan pada suhu yang rendah (25°C - 90°C). Dengan metode ini juga berbagai lapisan dapat dibuat. Pada tahun 1991 dilaporkan bahwa lebih dari 35 bahan senyawa yang dapat dibuat dengan metode ini [6]. CBD berasal dari klasifikasi yang sama dengan proses deposisi dari larutan dengan Electroless Deposition (ELD) yang secara luas digunakan untuk deposisi logam dalam artian proses kimia yang tidak melibatkan pertukaran elektron dengan bahan penghantar seperti dalam teknik elektrodeposisi [7]. Keuntungan utama dari penggunaan teknik CBD adalah dapat mendeposisi senyawa-senyawa yang sukar larut.

Stirrer

Substrat KacaLarutan Kompleks

Hot Plate

Gambar 2. Skema Proses Deposisi

Substrat kaca yang akan dideposisi, dicelupkan secara vertikal ke dalam larutan kompleks. Selama proses deposisi berlangsung, temperatur diatur pada nilai yang diinginkan dan pengaduk (stirrer) terus berputar hingga selesainya proses deposisi.

3

Skema instalasi teknik deposisi diperlihatkan pada Gambar di atas.

Sifat Optik Bahan

Bila suatu radiasi berinteraksi dengan bahan maka dapat diperoleh informasi tentang karakteristik bahan tersebut. Interaksi antara radiasi dan materi dapat berupa refleksi, refraksi dan difraksi. Selain itu, ketika radiasi berinteraksi dengan bahan maka akan terjadi proses absorbsi, pemendaran (luminenscence), emisi atau penghamburan (scattering), tergantung pada sifat materi. [8]

Absorbansi (A) Absorbsi meliputi transisi dari tingkat dasar ke tingkat yang lebih tinggi, yakni tingkat tereksitasi. Dengan menelaah frekuensi bahan yang tereksitasi maka dapat diidentifikasi dan dianalisis karakteristik dari sebuah bahan. [9] Pada bahan semikonduktor, kemampuan dalam menyerap radiasi disebut sebagai absorbsitivitas dimana masing-masing bahan semikonduktor memilki nilai absorbsitivitas dengan rentang panjang gelombang yang berbeda-beda. Absorbansi dapat didefinisikan sebagai [6],[10] :

IILogA 0= (1)

Karena untuk lapisan tipis berlaku :

deII α=0 (2)

maka :

dA303.2=α

(3) dengan : α = koefisien absorbsi d = ketebalan lapisan

I0 = intensitas cahaya yang menuju sampel (awal)

I = intensitas cahaya yang keluar dari sampel.

Transmitansi (T)

Didefinisikan sebagai rasio antara intensitas cahaya yang ditransmisikan dengan intensitas cahaya yang menuju sampel.[11],[12]

0IIT = (4)

Dengan melakukan substitusi persamaan (1) dan (4), didapatkan hubungan antara absorbansi dan transmitansi sebagai berikut : [13]

TA log−= (5)

Indeks Bias (n)

Ketika cahaya melewati medium yang, secara optik, “renggang” menuju medium “rapat”, cahaya akan dibiaskan dengan sudut bias r, (yaitu sudut yang dibentuk antara berkas sinar yang dibiaskan dengan garis yang tegak lurus permukaan) yang lebih kecil dibandingkan sudut datang i, seperti pada Gambar 3.

Gambar 3. Pembiasan berkas cahaya ketika datang

dari medium lebih renggang menuju medium lebih rapat. nvac mewakili indeks bias vakum (udara) dan nmed mewakili indeks bias medium. Sedangkan cvac mewakili cepat rambat cahaya di vakum (udara) dan nmed mewakili cepat rambat cahaya di medium

Fenomena ini digunakan untuk mendefinisikan kekuatan pembiasan suatu material dan dikenal sebagai hukum Snellius, [11],[12] sinsin

i imed

r r

c ni nr c n

= = = (6)

Indeks bias berhubungan dengan reflektansi, dengan hubungan sebagai berikut untuk cahaya yang tegak lurus dengan bidang batas[12], [6]

4

( )( )2

2

11

+−=

nnR (7)

Atau dapat dituliskan kembali sebagai berikut

RRn

−+=

11

(8)

Reflektansi (R)

Didefinisikan sebagai rasio antara intensitas cahaya yang dipantulkan, Ig, dengan intensitas cahaya awal, I0. [11], [12]

0II

R g= (9)

Reflektansi berhubungan dengan transmitansi dan koefisien absorbsi dengan hubungan sebagai berikut : [12]

( )TR

d

21ln1 −=α (10)

Atau dapat dituliskan kembali sebagai berikut

⎥⎦⎤

⎢⎣⎡= dTR α21exp (11)

Energi Gap (Eg)

Penentuan nilai energi gap (celah energi) semikonduktor dapat dilakukan dengan membuat grafik hubungan antara (αhυ)2 terhadap hυ berdasarkan persamaan : αhυ = C(hυ – Eg)n/2 (12) dengan : C = konstanta n = bilangan yang bergantung

sifat transisi

BAHAN DAN METODE

Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2005 sampai dengan Juli 2006, bertempat di Laboratorium Fisika Material, Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Pertanian Bogor.

Alat dan Bahan Bahan-bahan yang digunakan dalam penelitian ini adalah substrat kaca preparat, Larutan 20 ml 1 M MnCl2.4H2O, 20 ml 1 M NH4OH, 15 ml 1 M Thiourea dan 25 ml Akuades. Alat yang digunakan adalah neraca elektronik, gelas ukur, gelas erlenmayer, pengaduk, hot plate, gelas pyrex, penjepit, furnace, sumber cahaya polikromatis, seperangkat komputer, USB 2000 VIS-NIR Spectrophotometer dan Difraktometer Sinar-X (XRD) merk Shimadzu tipe XD-610.

Metode Penelitian Deposisi Lapisan MnS dengan metode CBD Pembersihan substrat memainkan peranan yang sangat penting dalam pendeposisian lapisan. Sebelum proses pendeposisian dilangsungkan, substrat dicelupkan ke dalam Ultrasonic Bath yang telah diisi dengan Ethanol 90% selama 30 menit lalu dicelupkan menggunakan akuades lalu dikeringkan Lapisan MnS (Mangan Sulfid) dibuat dengan metode CBD. Proses deposisi ini merupakan deposisi kimia larutan yang mengandung ion-ion Mn2+ dan ion-ion S2-. Sebagai sumber ion Mn2+ adalah larutan MnCl2.4H2O, sedangkan sumber ion S2- adalah Thiourea. Pada penelitian-penelitian yang dilakukan oleh peneliti sebelumnya , penumbuhan MnS dilakukan dengan menggunakan bahan Mn(CH3COO)2 sebagai sumber Mn2+

dan Thioacetamide sebagai sumber S2- Dalam penelitian ini, bahan pereaksi tersebut diganti dengan maksud melihat perbedaan hasil lapisan MnS yang didapatkan. Dengan tujuan untuk mendapatkan hasil yang optimum pada deposisi lapisan MnS. Pengaruh konsentrasi dari bahan pereaksi, suhu bath dan waktu deposisi dari penumbuhan dan kualitas lapisan MnS. Penelitian-penelitian sebelumnya telah menyimpulkan bahwa pengaruh konsentrasi ion Mn dan S (<5x10-1 M) menghasilkan bentuk lapisan yang tidak bagus. Maka dari itu, penelitian ini menggunakan konsentrasi 1 M untuk mendapatkan hasil lapisan MnS yang baik.

5

Pembuatan larutan ini dilakukan dengan mencampurkan 1 M MnCl2.4H2O, 1 M NH4OH, 1 M Thiourea (SC(NH2)2) dan Akuades dengan komposisi tertentu ke dalam gelas reaksi yang kemudian ditempatkan di atas Magnetic Stirrer. Setelah larutan berubah warna menjadi putih susu atau kurang lebih 20 menit lalu substrat yang telah dibersihkan dimasukkan secara vertikal ke dalam larutan dan didiamkan selama 12 jam dengan suhu kamar. Setelah itu substrat diangkat dan dikeringkan di udara selama 1 jam. Untuk mendapatkan hasil deposisi lapisan MnS yang maksimal, maka temperatur bath, konsentrasi bahan pereaksi dan suhu pemanasan (annealing) divariasikan. Dalam penelitian ini, konsentrasi bahan pereaksi dibuat tetap 1 M sedangkan yang divariasikan adalah suhu annealing-nya. Temperatur bath merupakan salah satu hal terpenting dalam metode CBD karena dapat mempengaruhi pelepasan ion sulfid dan penguraian ion logam dari complaxtant. Adapun reaksi kimia yang terjadi pada proses deposisi dapat dituliskan sebagai berikut: MLn

2+ + SC(NH2)2 + 2OH MS + 2H2O + nL + CN2H2

(13)

Karakterisasi Lapisan MnS Karakterisasi XRD

Karakterisasi X-Ray Diffraction (XRD) dilakukan untuk mengetahui karakteristik kristalografi dari lapisan MnS yang berhasil ditumbuhkan dengan metode CBD, dilakukan karakterisasi dengan menggunakan XRD (X-Ray Diffraction). Pola-pola difraksi berupa puncak-puncak karakteristik dari orientasi kristal MnS dapat dilihat dari rekaman intensitas difraksi sampel terhadap sudut 2θ. Pola-pola difraksi yang diperoleh menggambarkan orientasi penumbuhan kristal yang daripadanya dapat ditentukan struktur kristal dan karakteristik-karakteristik kristal lainnya seperti jarak kisi kristal dan lain sebagainya. Karakterisasi Optik

Penelitian sifat optik dilakukan dengan menggunakan alat USB VIS-NIR Spectrophotometer yang terhubung ke

seperangkat komputer. Bagan setting alat ditunjukkan pada Gambar 4.

Gambar 4. Bagan pengaturan alat untuk uji sifat

optik Prosedur pengambilan data untuk menentukan nilai absorbansi pada software yang digunakan, mengharuskan dilakukannya pengambilan data intensitas referensi (dalam hal ini intensitas cahaya dengan sampel kaca preparat) atau I0. Selain itu, juga mengharuskan pengambilan data intensitas gelap (ID) yaitu intensitas ketika jalur cahaya dari sumber cahaya ke monokromator ditutup dalam keadaan lampu sumber cahaya menyala. Setelah kedua data tersebut diambil, baru bisa dilakukan pengukuran absorbansi dengan meletakkan substrat hasil deposisi ke tempat sampel. Oleh karena itu, perumusan yang digunakan untuk menghitung nilai absorbansi pada persamaan (1) mengalami modifikasi sebagai berikut [14] :

⎟⎟⎠

⎞⎜⎜⎝

⎛−−=

D

D

IIIIA 0log (14)

6

Diagram Alur Penelitian Gambar 5. Diagram Alur Kerja Penelitian

HASIL DAN PEMBAHASAN

Hasil Deposisi Lapisan MnS

Dalam penelitian ini dibuat 1 sampel suhu bath nya sesuai dengan suhu kamar. Substrat yang digunakan adalah kaca preparat biasa dengan ukuran (2.4 x 2.4) cm yang kemudian dibersihkan dengan menggunakan Ultrasonic Bath yang kemudian dibersihkan dengan menggunakan akuades lalu dikeringkan. Setelah substrat kering maka proses pendeposisian dilakukan memakai metode CBD dengan suhu kamar selama 12 jam. Kemudian substrat di angkat dan dikeringkan selama 1 jam . Selanjutnya lapisan MnS dipanaskan didalam furnace pada temperatur ruang sampai dengan 1000C, 2000C dan 3000C untuk selanjutnya di ambil data optiknya tiap-tiap perlakuan suhu annealing. Sampel Suhu Bath Suhu

Annealing MnS-1 Suhu kamar 1000C MnS-2 Suhu kamar 2000C MnS-3 Suhu kamar 3000C

Tabel 1. Perlakuan Suhu Annealing pada Sampel MnS

Ketebalan Lapisan MnS

Pengukuran ketebalan lapisan tipis MnS ini bertujuan untuk menghitung nilai koefisien absorbsi dari bahan.

Ketebalan lapisan MnS yang terdeposisi pada substrat kaca diukur dengan metode gravimetri, yakni dengan cara menimbang substrat kaca yang belum dideposisikan dan dicatat angkanya kemudian ditimbang lagi setelah dideposisikan dengan lapisan. Selisih massanya merupakan massa dari film MnS.

Pengambilan data dimulai dari mengukur panjang dan lebar substrat yang akan dipakai, pengambilan data dilakukan dengan 5 kali ulangan dan diambil nilai rata-ratanya (p = 2.4142 cm dan l = 2.4175 cm), lalu ditimbang massanya (1.37 g), setelah substrat telah terdeposisi, dilakukan penimbangan ulang untuk mengetahui massa substrat + lapisan (1.3702 g), kemudian diambil selisihnya untuk mendapatkan massa dari lapisan yaitu 0.0002 g. dengan menggunakan persamaan (15), maka didapat ketebalan (dalam hal ini tinggi) dari lapisan

Persiapan Bahan

Pembuatan Larutan Deposisi

Deposisi Lapisan MnS dengan temperatur bath 250C

XRD

Annealing 1000C

Karakterisasi Optik

Annealing 2000C

Annealing 3000C

Karakterisasi Optik

Analisa Data

Karakterisasi Optik

7

dengan menggunakan persamaan (16) yaitu sebesar 700 nm. Data pengukuran ketebalan lapisan MnS dengan menggunakan metode gravimetri ditampilkan pada lampiran 2.

vmΔ=ρ (15)

( )lpmt×

Δ=ρ

(16)

dengan ; ρ = densitas MnS (4.00 g/cm3)

p = panjang (cm)

l = lebar (cm)

t = tinggi atau ketebalan lapisan (cm)

Δm = massa lapisan (g)

v = volume lapisan (cm3)

Karakterisasi XRD Hasil keluaran dari karakterisasi XRD dapat kita lihat pada Gambar 6. Di sini dapat dilihat bahwa belum ada puncak-puncak yang menonjol, ini mungkin disebabkan karena kristal belum terbentuk sempurna (amorf). Ini sesuai dengan hasil penelitian sebelumnya yang menyatakan bahwa proses deposisi lapisan MnS dengan suhu bath 25 – 30 0C, menghasilkan lapisan MnS amorf [17].

0

10

20

30

40

50

60

70

80

20 30 40 50 60 70

2 theta

Inte

nsita

s

Gambar 6. Kurva XRD MnS

Sifat Optik

Sifat optik suatu material semikonduktor dapat diamati dengan menggunakan USB VIS-NIR Spectrophotometer yang terhubung ke seperangkat komputer, yaitu nilai absorbansi. Dari data absorbansi dapat ditentukan nilai reflektansi dan indeks bias sebagai fungsi panjang gelombang yang selanjutnya dapat dipakai untuk menghitung energi gap lapisan semikonduktor..

Absorbansi (A) Nilai absorbansi setiap λ yang terukur ditampilkan pada tabel L1, L2 dan L3 pada lampiran 1. Dari nilai tersebut dapat ditampilkan bentuk kurva hubungan antara absorbansi terhadap panjang gelombang pada Gambar 7, 8, 9. Secara umum, nilai absorbansi menurun untuk panjang gelombang yang lebih besar. Hal ini merupakan karakteristik daerah penyerapan pada sampel. Pengaruh Suhu Annealing pada Absorbansi Untuk mengetahui pengaruh pemanasan pada sifat optik bahan, dilakukan proses annealing. Proses ini dilakukan dengan memvariasikan suhu annealing sebesar 100 0C, 200 0C dan 300 0C. Pengambilan data absorbansi dilakukan tiap kali proses annealing selesai dilakukan. Pada Gambar 7, 8 dan 9 menunjukkan bahwa daerah serapan tertinggi bahan terjadi di daerah panjang gelombang antara 370 – 470 nm yaitu pada spektrum UV, ini menunjukkan karakteristik bahan yang dapat mengabsorbsi panjang gelombang pada daerah tersebut. Pada suhu 100 0C dan 200 0C tidak terlihat perbedaan yang menonjol pada kurva serapannya, tetapi pada suhu 300 0C, terlihat perubahan yang menonjol yaitu pada nilai absorbansi yang tinggi dibandingkan dengan perlakuan suhu lainnya sebesar 1.273. Ini menunjukkan bahwa pada suhu ini, sampel menyerap spektrum sinar UV lebih tinggi.

Absorbansi

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Abs

orba

nsi

Gambar 7. Kurva absorbansi vs panjang

gelombang dari MnS-1

8

Absorbansi

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Abs

orba

nsi

Gambar 8. Kurva absorbansi vs panjang

gelombang dari MnS-2

Absorbansi

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

abso

rban

si

Gambar 9. Kurva absorbansi vs panjang

gelombang dari MnS-3 Untuk perlakuan suhu 100 0C, nilai absorbansi tertinggi sampel adalah 0.661 pada panjang gelombang 378 nm, sedangkan pada perlakuan suhu 200 0C, nilai absorbansi tertingginya 0.652 pada panjang 387 nm.dan untuk perlakuan 300 0C, nilai absorbansi tertingginya 1.273 pada panjang gelombang 390 nm. Sampel Suhu

Bath Suhu

Annealing Nilai

Absorbansi Tertinggi

MnS-1 Suhu kamar

100 0C 0.661

MnS-2 Suhu kamar

200 0C 0.652

MnS-3 Suhu kamar

300 0C 1.273

Tabel 2. Nilai Absorbansi Tertinggi Pada Sampel MnS

Dari Gambar 7, 8 dan 9 dapat diamati bahwa semakin tinggi suhu annealing sampel, panjang gelombang yeng ditempati nilai absorbansi tertingginya berubah dari 378 nm untuk suhu 100 0C, 387 nm untuk suhu 200 0C dan 390 nm untuk suhu 300 0C. Fenomena ini disebabkan oleh semakin rapat dan teraturnya susunan atom-atom MnS yang mengakibatkan nilai absorbansi dari bahan semakin tinggi,

Transmitansi (T) Kurva transmitansi sebagai fungsi panjang gelombang (Gambar 10, 11, 12) menunjukkan panjang gelombang yang yang diteruskan oleh bahan semikonduktor. Dari kurva tersebut terlihat bahwa transmitansinya terus meningkat seiring meningkatnya panjang gelombang yang dikenai pada bahan semikonduktor.

Pengaruh Suhu Annealing pada Transmitansi Hubungan antara transmitansi terhadap panjang gelombang untuk suhu annealing berbeda diperlihatkan pada Gambar 10, 11 dan 12. Dari Gambar tersebut dapat diamati bahwa sampel yang diberikan suhu annealing akan mengubah nilai % transmitansinya .

Transmitansi

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Tran

smita

nsi (

%)

Gambar 10. Kurva transmitansi vs panjang

gelombang dari MnS-1

Transmitansi

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Tran

smita

nsi (

%)

Gambar 11. Kurva transmitansi vs panjang

gelombang dari MnS-2

9

Transmitansi

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Tran

smita

nsi (

%)

Gambar 12. Kurva transmitansi vs panjang

gelombang dari MnS-3 Sampel Suhu

Bath Suhu

Annealing Nilai

Transmitansi Tertinggi

MnS-1 Suhu kamar

100 0C 66.68

MnS-2 Suhu kamar

200 0C 77.62

MnS-3 Suhu kamar

300 0C 73.11

Tabel 3. Nilai Transmitansi (%) Tertinggi Pada Sampel MnS

Karakteristik ketiga perlakuan suhu annealing pada Gambar 10, 11 dan 12 memperlihatkan bahwa nilai transmitansi berbeda untuk panjang gelombang yang sama. Dari kurva transmitansi di atas juga terlihat bahwa sampel mentransmisikan cahaya tampak lebih besar dibandingkan spektrum UV. Di bawah 670 nm, terlihat bahwa ada penurunan % transmitansi sampel yang disebabkan karena pada daerah panjang gelombang ini, sampel mengabsorbsi energi yang mengenainya, fenomena ini konsisten dengan hubungan transmitansi terhadap absorbansi yang kurang lebih berbanding terbalik dengan nilai absorbansinya . Reflektansi (R) Nilai reflektansi diperoleh dengan menggunakan hubungan reflektansi, koefisien absorpsi, ketebalan film dan transmitansi pada persamaan (11). Nilai tersebut ditampilkan pada tabel L1, L2 dan L3 lampiran 1. Dengan menyatakan dalam persen, hubungan antara reflektansi terhadap panjang gelombang diperlihatkan pada Gambar 13, 14 dan 15. Secara umum, nilai reflektansi lebih besar untuk panjang gelombang kecil dan semakin menurun terhadap panjang gelombang yang besar. Hal ini merupakan karakteristik daerah pemantulan sampel.

Pengaruh Suhu Annealing pada Reflektansi Suhu annealing memberikan pengaruh kepada nilai reflektansi, sebagaimana diperlihatkan Gambar 13, 14 dan 15. Semakin tinggi suhu annealing yang diterima sampel, nilai reflektansi semakin meningkat. Data nilai reflektansi dapat dilihat pada tabel4 di bawah. Sampel Suhu

Bath Suhu

Annealing Nilai

Reflektansi Tertinggi

MnS-1 Suhu kamar

100 0C 31.09

MnS-2 Suhu kamar

200 0C 31.2

MnS-3 Suhu kamar

300 0C 51.93

Tabel 4. Nilai Reflektansi (%) Tertinggi Pada Sampel Mns

Reflektansi

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Ref

lekt

ansi

(%)

Gambar 13. Kurva reflektansi vs panjang

gelombang dari MnS-1

Reflektansi

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Ref

lekt

ansi

(%)

Gambar 14. Kurva reflektansi vs panjang

gelombang dari MnS-2

10

Reflektansi

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

370 470 570 670 770 870 970

λ nm

Ref

lekt

ansi

(%)

Gambar 15. Kurva reflektansi vs panjang

gelombang dari MnS-3 Karakteristik ketiga perlakuan suhu annealing pada Gambar 13, 14 dan 15 memperlihatkan bahwa nilai reflektansi berbeda untuk panjang gelombang yang sama. Dari kurva transmitansi di atas juga terlihat bahwa sampel merefleksikan daerah panjang gelombang 600 – 970 nm. Indeks Bias (n)

Nilai indeks bias bisa diperoleh dengan menerapkan hubungan antara reflektansi terhadap indeks bias pada persamaan (8). Hasil perhitungan ditampilkan pada tabel L1, L2 dan L3 lampiran 1. Hasil ini kemudian ditampilkan dalam bentuk kurva hubungan antara indeks bias terhadap panjang gelombang pada Gambar 16, 17 dan 18. Molekul MnS merupakan medium yang lebih rapat bagi cahaya jika dibandingkan dengan udara. Oleh karena itu selalu didapatkan nilai indeks bias yang lebih besar dari 1 yang merupakan konsekuensi hukum snellius. Hal ini bersesuaian dengan hasil yang didapatkan pada semua sampel (semua sampel menunjukkan nilai indeks bias yang lebih besar dari 1), sebagaimana diperlihatkan pada Gambar 16, 17 dan 18.

Indeks bias

0

1

2

3

4

5

6

450 500 550 600 650 700 750 800 850 900 950

λ nm

Inde

ks B

ias

Gambar 16. Kurva indeks bias vs panjang

gelombang dari MnS-1

Sampel Suhu Bath

Suhu Annealing

Nilai Indeks bias Tertinggi

MnS-1 Suhu kamar

100 0C 2.7

MnS-2 Suhu kamar

200 0C 2.8

MnS-3 Suhu kamar

300 0C 4.51

Tabel 5. Nilai Indeks Bias Tertinggi Pada Sampel MnS

Kurva indeks bias pada Gambar 16, untuk sampel MnS-1 berada pada rentang panjang gelombang 450 – 950 nm. Nilai indeks bias tertinggi ada pada panjang gelombang 450 nm dengan nilai 2.7.

Indeks bias

0

1

2

3

4

5

6

450 500 550 600 650 700 750 800 850 900 950

λ nm

Inde

ks B

ias

Gambar 17. Kurva indeks bias vs panjang

gelombang dari MnS-2 Kurva indeks bias pada Gambar 17, untuk sampel MnS-1 berada pada rentang panjang gelombang 450 – 950 nm. Nilai indeks bias tertinggi ada pada panjang gelombang 450 nm dengan nilai 2.8.

Indeks bias

0

1

2

3

4

5

6

450 500 550 600 650 700 750 800 850 900 950

λ (nm)

Inde

ks B

ias

Gambar 18. Kurva indeks bias vs panjang

gelombang dari MnS-3 Kurva indeks bias pada Gambar 18, untuk sampel MnS-1 berada pada rentang panjang gelombang 450 – 950 nm. Nilai indeks bias tertinggi ada pada panjang gelombang 450 nm dengan nilai 4.51.

11

Energi Gap (Eg) Penentuan nilai band gap (celah energi) semikonduktor dapat dilakukan dengan membuat grafik hubungan antara (αhυ)2 terhadap hυ berdasarkan persamaan : αhυ = C(hυ – Eg)n/2 (16) dengan : C = konstanta n = bilangan yang bergantung

sifat transisi Dalam hal ini, n bernilai 1 yang mengacu pada transisi langsung dari pita valensi ke pita konduksi, kemudian dibuat grafik (αhυ)2 terhadap hυ. Hasil penghitungan ditampilkan pada L1, L2 dan L3 dan dalam bentuk kurva hubungan (αhυ)2 terhadap hυ pada Gambar 19, 20 dan 21. Dengan menarik garis linear pada kurva sehingga berpotongan dengan garis sumbu x maka didapatkan nilai band gap pada titik perpotongan tersebut. Dari semua sampel didapatkan hasil nilai band gap sekitar 2.7 eV untuk sampel MnS-1, 2.6 eV untuk sampel MnS-3 dan 2.5 eV untuk sampel MnS-3. Ini bersesuaian dengan hasil penelitian-penelitian sebelumnya yang mendapatkan band gap MnS dengan rentang 2.6 – 3.9 eV [3]. Sampel Suhu

Bath Suhu

Annealing Nilai Band gap (eV)

MnS-1 Suhu kamar

100 0C 2.7

MnS-2 Suhu kamar

200 0C 2.6

MnS-3 Suhu kamar

300 0C 2.5

Tabel 6. Nilai Band Gap (eV) Tertinggi Pada Sampel MnS

Band gap

0

1E-11

2E-11

3E-11

4E-11

5E-11

1 1.5 2 2.5 3

hv (eV)

(ahv

)

Gambar 19. Kurva Band Gap MnS-1

Band gap

0

1E-11

2E-11

3E-11

4E-11

5E-11

1 1.5 2 2.5 3 Gambar 20. Kurva Band Gap MnS-2

Band gap

0

2E-11

4E-11

6E-11

8E-11

1E-10

1.2E-10

1.4E-10

1.6E-10

1.8E-10

2E-10

1 1.5 2 2.5 3

hv (eV)(α

hv)2

Gambar 21. Kurva Band Gap MnS-3

KESIMPULAN DAN SARAN

Kesimpulan Lapisan MnS dapat dibuat dari larutan Mn(Cl2).4H2O, thiourea dan ammonia dengan metode Chemical Bath Deposition (CBD). Dalam penelitian ini, lapisan MnS yang dihasilkan amorf, ini sesuai dengan penelitian-penelitian sebelumnya yang menyatakan bahwa penumbuhan lapisan tipis MnS dengan suhu bath 20-30 0C akan menghasilkan lapisan tipis yang berstruktur amorf. Pengaruh suhu annealing lapisan ternyata sangat mempengaruhi beberapa sifat optik material seperti absorbansi, transmitansi, reflektansi dan indeks bias. Dari hasil yang diperoleh, dapat disimpulkan bahwa semakin tinggi perlakuan suhu annealing yang diberikan kepada sampel maka nilai absorbansi sampel akan meningkat dan menurun pada nilai % transmitansinya.

Nilai energi celah yang di dapat adalah antara 2.5 – 2.7 eV sedangkan nilai energi celah bahan semikonduktor MnS adalah antara 2.6 – 3.9 eV [3].

Sampel A T (%) n Eg (eV)

R (%)

MnS-1 0.661 66.68 2.7 2.7 31.09 MnS-2 0.652 77.62 2.8 2.6 31.02 MnS-3 1.273 73.11 4.51 2.5 51.93

12

Saran Penelitian ini dapat terus dikembangkan atau dicoba lagi baik dengan metode yang sama maupun dengan metode yang berbeda dengan modifikasi yang lain, karena makin banyak metode yang digunakan makin banyak pula pilihan yang dapat diambil ketika akan dibuat lapisan semikonduktor. Selain itu dengan makin banyaknya metode yang dilakukan, kemungkinan akan didapat sifat-sifat lain yang diperlukan untuk aplikasinya. Untuk penumbuhan lapisan MnS dengan metode CBD, sebaiknya memvariasikan suhu bath pada proses deposisinya dengan maksud mendapatkan hasil lapisan yang baik dan kristal. Selain itu juga bisa digunakan dengan variasi konsentrasi larutan atau perbandingan larutan yang digunakan dan melakukan proses annealing untuk mendapatkan perbandingan data yang lebih baik.

DAFTAR PUSTAKA [1] Dong Bo Fan. et al. 2003. Direct

Fabrication Of oriented MnS Thin Films By Chemical Bath Deposition. Surface Review and Letters, Col. 11. No. 1 (2004) 27-31.

[2] Cullity, B. D. 1978. Element of X-Ray

Diffraction. 2nd edition. Addison-Wesley Publishing Company. Filipina.

[3] Nnabuchi, M. N. “Optical and Solid

State Characterization of Optimized Manganese Sulphide Thin Films and Their Possible Applications in Solar Energy ”. The Pacific Journal of Science and Technology. Vol. 7. Number 1. May 2006.

[4] Dong Bo Fan. et al. 2003.

Photoluminescence of MnS thin film prepared by Chemical Bath Deposition. Physica B 337 (2003) 165-169.

[5] David, L. et al, J. Cryst. Growth 251,

591 (2003). [6] Nadeem, M.Y., dan Waqas Ahmed .

1999. “Optikal Properties of ZnS

Thin Films”. Turk J Phy 24(2000), 651 – 659.

[7] Khopkar, S. M. 1990. Konsep Dasar

Kimia Analitik. Universitas Indonesia Press, Indonesia.

[8] J. Lu. et al. 2001. J. Mater. Chem. 13,

2169. [9] Jergel, M. et al. 1997. Thin Solid Films

305 (1997) 157. [10] Nair, P.K. et al, 1983 Semiconductor

Thin Film by Chemical Bath Deposition for Solar Related Applications. Journal of Solar Energy Materials and Solar Cells 52 page 313-344

[11] Hecht, Eugene . 2002 . “Optics, Fourth

Edition” . Addison Wesley : San Francisco, Amerika Serikat.

[12] Hummel, Rolf E. 2001.”Electronic

Properties of Materials, Third Edition” . Springer Science+ Bussines Inc: Amerika Serikat.

[13] Willard, Hobart H. dkk. 1988.

“Instrumental Methods of Analysis, 7

th Edition”. Wadsworth Publshing

Company: Belmont, California, Amerika Serikat.

[14] ... 2003. “USB 2000 Fiber Optic

Spectrometer Operating Instructions” . Ocean Optic, Inc. : USA.

[15] Lincot, D. et al. Chemical Deposition

of Chalcogenide Thin Films from Solution. Jurnal. Perancis.

[16] Lokhande, C. D. et al. 1998a. Thin

Solid Films. 330.70. [17] Dong Bo Fan. et al. 2003. Preparation

of crystalline MnS thin films by chemical bath deposition. Materials and physics 80 (2003) 44-47.

LAMPIRAN

13

Lampiran 1. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n Tabel L1. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, sampel

MnS-1

λ nm A α (αhv)2 hv n R(%) 343.37 0.081 2.6649E-07 9.29699E-13 3.618181553 1.542659655 4.554897457

343.75 1.239 4.07631E-06 2.17047E-10 3.614181818 5.994380008 50.98761747

346 1.199 3.94471E-06 2.00624E-10 3.590679191 5.803143979 49.84618051

347.88 1.025 3.37225E-06 1.45039E-10 3.571274577 5.016098444 44.56345264

349.01 0.628 2.06612E-06 5.4093E-11 3.559711756 3.4518871 30.33281059

349.38 0.54 1.7766E-06 3.99106E-11 3.555941954 3.1395053 26.71344184

349.76 0.456 1.50024E-06 2.83979E-11 3.552078568 2.849492664 23.08331794

350.13 0.57 1.8753E-06 4.4278E-11 3.548324908 3.244909946 27.96796616

350.89 0.453 1.49037E-06 2.78453E-11 3.540639517 2.839255911 22.95039676

351.26 0.699 2.29971E-06 6.61598E-11 3.536909981 3.711642213 33.12227541

351.64 1.013 3.33277E-06 1.3865E-10 3.533087817 4.964358753 44.17925434

352.01 0.482 1.58578E-06 3.13243E-11 3.529374166 2.938531256 24.22573838

352.39 0.889 2.92481E-06 1.06329E-10 3.525568262 4.447361204 40.04988126

352.76 0.99 3.2571E-06 1.31586E-10 3.521870393 4.866057482 43.435416

353.14 0.702 2.30958E-06 6.60203E-11 3.518080648 3.722784593 33.2376487

353.51 0.446 1.46734E-06 2.65928E-11 3.514398461 2.815398031 22.63935334

353.89 0.689 2.26681E-06 6.33285E-11 3.51062477 3.674601694 32.73625586

354.26 0.473 1.55617E-06 2.97835E-11 3.506958166 2.90764309 23.83221826

354.64 0.653 2.14837E-06 5.66432E-11 3.503200429 3.54250819 31.32804422

355.01 0.739 2.43131E-06 7.23944E-11 3.499549308 3.861381568 34.64432711

355.39 1.24 4.0796E-06 2.0339E-10 3.495807423 5.999212869 51.01581807

355.76 0.703 2.31287E-06 6.52369E-11 3.492171689 3.72650184 33.27606222

356.14 0.452 1.48708E-06 2.69112E-11 3.488445555 2.835845271 22.90603867

356.51 0.639 2.10231E-06 5.3673E-11 3.48482511 3.491651367 30.77247811

356.88 0.643 2.11547E-06 5.42344E-11 3.481212172 3.506153323 30.93166833

357.26 0.642 2.11218E-06 5.39509E-11 3.477509377 3.502525705 30.89190513

357.63 0.638 2.09902E-06 5.31705E-11 3.473911585 3.488029417 30.73262325

358.01 0.64 2.1056E-06 5.33909E-11 3.470224295 3.495274729 30.81231003

358.38 0.649 2.13521E-06 5.47897E-11 3.466641554 3.527949006 31.16976757

358.76 0.648 2.13192E-06 5.45054E-11 3.462969673 3.524312811 31.13014144

359.13 0.657 2.16153E-06 5.59145E-11 3.459401888 3.55709054 31.48595691

359.51 0.651 2.14179E-06 5.47819E-11 3.45574532 3.535225712 31.24895144

359.88 0.649 2.13521E-06 5.43339E-11 3.452192397 3.527949006 31.16976757

360.25 0.648 2.13192E-06 5.40554E-11 3.448646773 3.524312811 31.13014144

360.63 0.648 2.13192E-06 5.39416E-11 3.445012894 3.524312811 31.13014144

361 0.65 2.1385E-06 5.41638E-11 3.441481994 3.531586638 31.2093709

361.38 0.654 2.15166E-06 5.47173E-11 3.437863191 3.546151599 31.36755648

361.75 0.656 2.15824E-06 5.49399E-11 3.434346925 3.553442772 31.44651281

362.13 0.655 2.15495E-06 5.46576E-11 3.430743103 3.549796459 31.407046

362.5 0.654 2.15166E-06 5.43797E-11 3.427241379 3.546151599 31.36755648

362.87 0.657 2.16153E-06 5.47679E-11 3.423746796 3.55709054 31.48595691

363.25 0.655 2.15495E-06 5.43211E-11 3.420165175 3.549796459 31.407046

363.62 0.658 2.16482E-06 5.47083E-11 3.416685001 3.560739765 31.52537831

363.99 0.658 2.16482E-06 5.45972E-11 3.413211901 3.560739765 31.52537831

364.37 0.659 2.16811E-06 5.46491E-11 3.409652277 3.564390451 31.56477703

14

364.74 0.654 2.15166E-06 5.37138E-11 3.406193453 3.546151599 31.36755648

365.12 0.661 2.17469E-06 5.47556E-11 3.402648444 3.571696211 31.64350647

365.49 0.656 2.15824E-06 5.38213E-11 3.399203809 3.553442772 31.44651281

365.86 0.66 2.1714E-06 5.43695E-11 3.39576614 3.568042599 31.60415308

366.24 0.66 2.1714E-06 5.42567E-11 3.392242792 3.568042599 31.60415308

366.61 0.663 2.18127E-06 5.46406E-11 3.388819181 3.579007841 31.72214534

366.98 0.66 2.1714E-06 5.40381E-11 3.385402474 3.568042599 31.60415308

367.36 0.658 2.16482E-06 5.36001E-11 3.381900588 3.560739765 31.52537831

367.73 0.659 2.16811E-06 5.3655E-11 3.378497811 3.564390451 31.56477703

368.1 0.658 2.16482E-06 5.33848E-11 3.375101874 3.560739765 31.52537831

368.48 0.663 2.18127E-06 5.40874E-11 3.371621255 3.579007841 31.72214534

368.85 0.664 2.18456E-06 5.41419E-11 3.368239122 3.582665862 31.76143085

369.22 0.664 2.18456E-06 5.40335E-11 3.364863767 3.582665862 31.76143085

369.6 0.664 2.18456E-06 5.39224E-11 3.361404221 3.582665862 31.76143085

369.97 0.662 2.17798E-06 5.34909E-11 3.358042544 3.575351291 31.68283722

370.34 0.66 2.1714E-06 5.3062E-11 3.354687584 3.568042599 31.60415308

370.72 0.658 2.16482E-06 5.26329E-11 3.351248921 3.560739765 31.52537831

371.09 0.661 2.17469E-06 5.3008E-11 3.347907516 3.571696211 31.64350647

371.46 0.659 2.16811E-06 5.25828E-11 3.344572767 3.564390451 31.56477703

371.84 0.663 2.18127E-06 5.31144E-11 3.341154798 3.579007841 31.72214534

372.21 0.664 2.18456E-06 5.31689E-11 3.337833481 3.582665862 31.76143085

372.58 0.666 2.19114E-06 5.33834E-11 3.334518761 3.58998633 31.83993406

372.95 0.665 2.18785E-06 5.31177E-11 3.331210618 3.586325358 31.80069375

373.33 0.666 2.19114E-06 5.31692E-11 3.327819891 3.58998633 31.83993406

373.7 0.664 2.18456E-06 5.27457E-11 3.32452502 3.582665862 31.76143085

374.07 0.664 2.18456E-06 5.26414E-11 3.321236667 3.582665862 31.76143085

374.45 0.665 2.18785E-06 5.2693E-11 3.317866204 3.586325358 31.80069375

374.82 0.664 2.18456E-06 5.2431E-11 3.314591004 3.582665862 31.76143085

375.19 0.664 2.18456E-06 5.23276E-11 3.311322263 3.582665862 31.76143085

375.56 0.661 2.17469E-06 5.17537E-11 3.308059964 3.571696211 31.64350647

375.94 0.658 2.16482E-06 5.11814E-11 3.304716178 3.560739765 31.52537831

376.31 0.657 2.16153E-06 5.09256E-11 3.301466876 3.55709054 31.48595691

376.68 0.66 2.1714E-06 5.12909E-11 3.298223957 3.568042599 31.60415308

377.05 0.662 2.17798E-06 5.1501E-11 3.294987402 3.575351291 31.68283722

377.43 0.662 2.17798E-06 5.13973E-11 3.291669979 3.575351291 31.68283722

377.8 0.661 2.17469E-06 5.11418E-11 3.288446268 3.571696211 31.64350647

378.17 0.661 2.17469E-06 5.10418E-11 3.285228865 3.571696211 31.64350647

378.54 0.66 2.1714E-06 5.0788E-11 3.282017752 3.568042599 31.60415308

378.91 0.661 2.17469E-06 5.08426E-11 3.278812911 3.571696211 31.64350647

379.29 0.662 2.17798E-06 5.08944E-11 3.27552796 3.575351291 31.68283722

379.66 0.661 2.17469E-06 5.0642E-11 3.272335774 3.571696211 31.64350647

380.03 0.66 2.1714E-06 5.03906E-11 3.269149804 3.568042599 31.60415308

380.4 0.659 2.16811E-06 5.01403E-11 3.265970032 3.564390451 31.56477703

380.77 0.658 2.16482E-06 4.98912E-11 3.262796439 3.560739765 31.52537831

381.15 0.658 2.16482E-06 4.97917E-11 3.259543487 3.560739765 31.52537831

381.52 0.659 2.16811E-06 4.98464E-11 3.256382365 3.564390451 31.56477703

381.89 0.657 2.16153E-06 4.94483E-11 3.253227369 3.55709054 31.48595691

382.26 0.66 2.1714E-06 4.98044E-11 3.250078481 3.568042599 31.60415308

382.63 0.659 2.16811E-06 4.95576E-11 3.246935682 3.564390451 31.56477703

383.01 0.659 2.16811E-06 4.94593E-11 3.243714263 3.564390451 31.56477703

15

383.38 0.656 2.15824E-06 4.89154E-11 3.240583755 3.553442772 31.44651281

383.75 0.655 2.15495E-06 4.86724E-11 3.237459283 3.549796459 31.407046

384.12 0.653 2.14837E-06 4.82825E-11 3.234340831 3.54250819 31.32804422

384.49 0.65 2.1385E-06 4.77478E-11 3.23122838 3.531586638 31.2093709

384.86 0.651 2.14179E-06 4.78028E-11 3.228121914 3.535225712 31.24895144

385.23 0.651 2.14179E-06 4.77111E-11 3.225021416 3.535225712 31.24895144

385.61 0.649 2.13521E-06 4.73249E-11 3.221843313 3.527949006 31.16976757

385.98 0.647 2.12863E-06 4.69436E-11 3.218754858 3.520678052 31.0904925

386.35 0.647 2.12863E-06 4.68537E-11 3.215672318 3.520678052 31.0904925

386.72 0.645 2.12205E-06 4.64754E-11 3.212595676 3.513412831 31.01112612

387.09 0.643 2.11547E-06 4.60994E-11 3.209524917 3.506153323 30.93166833

387.46 0.643 2.11547E-06 4.60114E-11 3.206460022 3.506153323 30.93166833

387.83 0.639 2.10231E-06 4.53541E-11 3.203400975 3.491651367 30.77247811

388.21 0.638 2.09902E-06 4.51237E-11 3.20026532 3.488029417 30.73262325

388.58 0.637 2.09573E-06 4.48968E-11 3.197218076 3.484408878 30.69274546

388.95 0.635 2.08915E-06 4.45305E-11 3.194176629 3.477172023 30.61292098

389.32 0.633 2.08257E-06 4.41663E-11 3.191140964 3.469940781 30.53300456

389.69 0.631 2.07599E-06 4.38044E-11 3.188111063 3.462715132 30.4529961

390.06 0.63 2.0727E-06 4.35828E-11 3.18508691 3.459104398 30.41295731

390.43 0.63 2.0727E-06 4.35003E-11 3.182068489 3.459104398 30.41295731

390.8 0.629 2.06941E-06 4.32802E-11 3.179055783 3.455495055 30.37289548

391.17 0.626 2.05954E-06 4.27873E-11 3.176048777 3.444675343 30.25257155

391.54 0.625 2.05625E-06 4.25701E-11 3.173047454 3.441071536 30.21241739

391.91 0.623 2.04967E-06 4.22183E-11 3.170051798 3.433868054 30.13203969

392.28 0.621 2.04309E-06 4.18686E-11 3.167061793 3.426670061 30.05156942

392.66 0.621 2.04309E-06 4.17876E-11 3.163996842 3.426670061 30.05156942

393.03 0.618 2.03322E-06 4.13069E-11 3.161018243 3.415883322 29.9306902

393.4 0.616 2.02664E-06 4.09628E-11 3.158045247 3.408698963 29.84998802

393.77 0.615 2.02335E-06 4.07532E-11 3.155077837 3.405108817 29.80960208

394.14 0.614 2.02006E-06 4.05446E-11 3.152115999 3.401520022 29.76919289

394.51 0.612 2.01348E-06 4.02054E-11 3.149159717 3.394346477 29.68830471

394.88 0.61 2.0069E-06 3.98682E-11 3.146208975 3.387178307 29.60732337

395.25 0.608 2.00032E-06 3.95331E-11 3.143263757 3.380015489 29.52624876

395.62 0.607 1.99703E-06 3.93295E-11 3.140324048 3.376436081 29.48567644

395.99 0.606 1.99374E-06 3.91268E-11 3.137389833 3.372858004 29.44508076

396.36 0.605 1.99045E-06 3.8925E-11 3.134461096 3.369281254 29.40446172

396.73 0.603 1.98387E-06 3.8596E-11 3.131537822 3.362131726 29.32315346

397.1 0.601 1.97729E-06 3.82689E-11 3.128619995 3.354987476 29.24175155

397.47 0.599 1.97071E-06 3.79439E-11 3.125707601 3.347848482 29.16025589

397.84 0.597 1.96413E-06 3.76209E-11 3.122800623 3.340714722 29.07866637

398.21 0.597 1.96413E-06 3.7551E-11 3.119899048 3.340714722 29.07866637

398.58 0.596 1.96084E-06 3.73559E-11 3.11700286 3.337149798 29.03783638

398.95 0.594 1.95426E-06 3.70368E-11 3.114112044 3.330023848 28.95610586

399.32 0.591 1.94439E-06 3.65957E-11 3.111226585 3.319344627 28.83333355

399.69 0.59 1.9411E-06 3.64045E-11 3.108346469 3.315787463 28.79236231

400.06 0.588 1.93452E-06 3.60912E-11 3.105471679 3.308676983 28.71034907

400.43 0.586 1.92794E-06 3.57799E-11 3.102602203 3.301571614 28.62824137

400.8 0.584 1.92136E-06 3.54705E-11 3.099738024 3.294471335 28.5460391

16

Tabel L2. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, sampel MnS-2

λ nm A α (αhv)^2 hv n R(%) 340.74 0.131 4.3099E-07 2.46941E-12 3.64610847 1.7378066 7.26238956

341.11 0.331 1.08899E-06 1.57313E-11 3.64215356 2.42749184 17.345803

341.87 0.698 2.29642E-06 6.96444E-11 3.63405681 3.7079312 33.0837734

342.62 0.16 5.264E-07 3.64344E-12 3.6261018 1.84334918 8.79740245

344.5 0.061 2.0069E-07 5.23816E-13 3.6063135 1.45621473 3.44989555

344.88 0.158 5.1982E-07 3.50651E-12 3.60233994 1.83618783 8.69236006

345.63 0.116 3.8164E-07 1.88187E-12 3.59452304 1.68143959 6.45830707

348.63 1.457 4.79353E-06 2.91801E-10 3.56359177 7.11157011 56.7669739

349.01 1.191 3.91839E-06 1.94556E-10 3.55971176 5.76537785 49.6147228

349.38 0.154 5.0666E-07 3.24596E-12 3.55594195 1.82181863 8.48191218

349.76 0.341 1.12189E-06 1.58806E-11 3.55207857 2.46104088 17.8201468

350.13 0.202 6.6458E-07 5.56085E-12 3.54832491 1.9908523 10.9755909

350.51 0.634 2.08586E-06 5.46607E-11 3.54447805 3.4735557 30.5729743

350.89 0.425 1.39825E-06 2.45094E-11 3.54063952 2.74404439 21.6986688

351.26 0.457 1.50353E-06 2.82795E-11 3.53690998 2.85290654 23.127574

351.64 0.254 8.3566E-07 8.71702E-12 3.53308782 2.16850748 13.6004576

352.01 0.166 5.4614E-07 3.71538E-12 3.52937417 1.86474535 9.11180514

352.39 0.892 2.93468E-06 1.07048E-10 3.52556826 4.45950383 40.1533035

352.76 0.306 1.00674E-06 1.25713E-11 3.52187039 2.34361427 16.1479307

353.14 0.404 1.32916E-06 2.18658E-11 3.51808065 2.67298506 20.7465459

353.51 0.82 2.6978E-06 8.98921E-11 3.51439846 4.17278821 37.621211

353.89 0.335 1.10215E-06 1.4971E-11 3.51062477 2.44091054 17.5358682

354.26 0.453 1.49037E-06 2.7318E-11 3.50695817 2.83925591 22.9503968

354.64 0.562 1.84898E-06 4.1956E-11 3.50320043 3.21669754 27.6355414

355.01 0.65 2.1385E-06 5.60071E-11 3.49954931 3.53158664 31.2093709

355.39 0.57 1.8753E-06 4.2977E-11 3.49580742 3.24490995 27.9679662

355.76 0.208 6.8432E-07 5.71097E-12 3.49217169 2.01156789 11.2824847

356.14 0.633 2.08257E-06 5.27792E-11 3.48844556 3.46994078 30.5330046

356.51 0.678 2.23062E-06 6.04245E-11 3.48482511 3.63403405 32.3090604

356.88 0.56 1.8424E-06 4.11366E-11 3.48121217 3.20965652 27.5521958

357.26 0.564 1.85556E-06 4.16377E-11 3.47750938 3.22374337 27.7187912

357.63 0.568 1.86872E-06 4.21431E-11 3.47391158 3.23784955 27.8850034

358.01 0.568 1.86872E-06 4.20536E-11 3.4702243 3.23784955 27.8850034

358.38 0.572 1.88188E-06 4.256E-11 3.46664155 3.25197525 28.0508335

358.76 0.569 1.87201E-06 4.20256E-11 3.46296967 3.24137914 27.9264967

359.13 0.565 1.85885E-06 4.13514E-11 3.45940189 3.2272681 27.7603801

359.51 0.564 1.85556E-06 4.11181E-11 3.45574532 3.22374337 27.7187912

359.88 0.565 1.85885E-06 4.11793E-11 3.4521924 3.2272681 27.7603801

360.25 0.566 1.86214E-06 4.12403E-11 3.44864677 3.23079403 27.8019451

360.63 0.564 1.85556E-06 4.08631E-11 3.44501289 3.22374337 27.7187912

361 0.576 1.89504E-06 4.25332E-11 3.44148199 3.26612065 28.2162822

361.38 0.579 1.90491E-06 4.2887E-11 3.43786319 3.27674275 28.340119

361.75 0.59 1.9411E-06 4.4441E-11 3.43434692 3.31578746 28.7923623

362.13 0.589 1.93781E-06 4.41976E-11 3.4307431 3.31223158 28.7513675

362.5 0.588 1.93452E-06 4.39578E-11 3.42724138 3.30867698 28.7103491

362.87 0.588 1.93452E-06 4.38682E-11 3.4237468 3.30867698 28.7103491

363.25 0.597 1.96413E-06 4.51268E-11 3.42016518 3.34071472 29.0786664

17

363.62 0.604 1.98716E-06 4.60973E-11 3.416685 3.36570583 29.3638193

363.99 0.603 1.98387E-06 4.58514E-11 3.4132119 3.36213173 29.3231535

364.37 0.603 1.98387E-06 4.57558E-11 3.40965228 3.36213173 29.3231535

364.74 0.604 1.98716E-06 4.58146E-11 3.40619345 3.36570583 29.3638193

365.12 0.605 1.99045E-06 4.58708E-11 3.40264844 3.36928125 29.4044617

365.49 0.611 2.01019E-06 4.66905E-11 3.39920381 3.39076172 29.6478257

365.86 0.61 2.0069E-06 4.64437E-11 3.39576614 3.38717831 29.6073234

366.24 0.615 2.02335E-06 4.71103E-11 3.39224279 3.40510882 29.8096021

366.61 0.616 2.02664E-06 4.71683E-11 3.38881918 3.40869896 29.849988

366.98 0.615 2.02335E-06 4.69205E-11 3.38540247 3.40510882 29.8096021

367.36 0.627 2.06283E-06 4.86686E-11 3.38190059 3.44828053 30.2927026

367.73 0.626 2.05954E-06 4.84159E-11 3.37849781 3.44467534 30.2525716

368.1 0.628 2.06612E-06 4.86278E-11 3.37510187 3.4518871 30.3328106

368.48 0.627 2.06283E-06 4.83732E-11 3.37162125 3.44828053 30.2927026

368.85 0.628 2.06612E-06 4.84303E-11 3.36823912 3.4518871 30.3328106

369.22 0.628 2.06612E-06 4.83333E-11 3.36486377 3.4518871 30.3328106

369.6 0.627 2.06283E-06 4.80804E-11 3.36140422 3.44828053 30.2927026

369.97 0.627 2.06283E-06 4.79843E-11 3.35804254 3.44828053 30.2927026

370.34 0.632 2.07928E-06 4.86553E-11 3.35468758 3.46632726 30.4930118

370.72 0.631 2.07599E-06 4.84021E-11 3.35124892 3.46271513 30.4529961

371.09 0.636 2.09244E-06 4.90742E-11 3.34790752 3.48078975 30.6528447

371.46 0.64 2.1056E-06 4.95944E-11 3.34457277 3.49527473 30.81231

371.84 0.644 2.11876E-06 5.01137E-11 3.3411548 3.50978236 30.9714087

372.21 0.645 2.12205E-06 5.01696E-11 3.33783348 3.51341283 31.0111261

372.58 0.646 2.12534E-06 5.02254E-11 3.33451876 3.51704473 31.0508207

372.95 0.649 2.13521E-06 5.05924E-11 3.33121062 3.52794901 31.1697676

373.33 0.649 2.13521E-06 5.04895E-11 3.32781989 3.52794901 31.1697676

373.7 0.648 2.13192E-06 5.02344E-11 3.32452502 3.52431281 31.1301414

374.07 0.648 2.13192E-06 5.01351E-11 3.32123667 3.52431281 31.1301414

374.45 0.646 2.12534E-06 4.9725E-11 3.3178662 3.51704473 31.0508207

374.82 0.642 2.11218E-06 4.90142E-11 3.314591 3.50252571 30.8919051

375.19 0.645 2.12205E-06 4.93758E-11 3.31132226 3.51341283 31.0111261

375.56 0.646 2.12534E-06 4.94315E-11 3.30805996 3.51704473 31.0508207

375.94 0.652 2.14508E-06 5.02522E-11 3.30471618 3.53886623 31.2885092

376.31 0.651 2.14179E-06 4.99997E-11 3.30146688 3.53522571 31.2489514

376.68 0.65 2.1385E-06 4.97484E-11 3.29822396 3.53158664 31.2093709

377.05 0.651 2.14179E-06 4.98037E-11 3.2949874 3.53522571 31.2489514

377.43 0.653 2.14837E-06 5.00093E-11 3.29166998 3.54250819 31.3280442

377.8 0.652 2.14508E-06 4.97586E-11 3.28844627 3.53886623 31.2885092

378.17 0.652 2.14508E-06 4.96613E-11 3.28522887 3.53886623 31.2885092

378.54 0.653 2.14837E-06 4.97164E-11 3.28201775 3.54250819 31.3280442

378.91 0.65 2.1385E-06 4.91645E-11 3.27881291 3.53158664 31.2093709

379.29 0.655 2.15495E-06 4.98238E-11 3.27552796 3.54979646 31.407046

379.66 0.651 2.14179E-06 4.91213E-11 3.27233577 3.53522571 31.2489514

380.03 0.651 2.14179E-06 4.90257E-11 3.2691498 3.53522571 31.2489514

380.4 0.649 2.13521E-06 4.86301E-11 3.26597003 3.52794901 31.1697676

380.77 0.649 2.13521E-06 4.85357E-11 3.26279644 3.52794901 31.1697676

381.15 0.648 2.13192E-06 4.82898E-11 3.25954349 3.52431281 31.1301414

381.52 0.651 2.14179E-06 4.86435E-11 3.25638237 3.53522571 31.2489514

381.89 0.653 2.14837E-06 4.8848E-11 3.25322737 3.54250819 31.3280442

18

382.26 0.654 2.15166E-06 4.89029E-11 3.25007848 3.5461516 31.3675565

382.63 0.654 2.15166E-06 4.88084E-11 3.24693568 3.5461516 31.3675565

383.01 0.655 2.15495E-06 4.88607E-11 3.24371426 3.54979646 31.407046

383.38 0.656 2.15824E-06 4.89154E-11 3.24058376 3.55344277 31.4465128

383.75 0.655 2.15495E-06 4.86724E-11 3.23745928 3.54979646 31.407046

384.12 0.655 2.15495E-06 4.85787E-11 3.23434083 3.54979646 31.407046

384.49 0.654 2.15166E-06 4.83373E-11 3.23122838 3.5461516 31.3675565

384.86 0.653 2.14837E-06 4.8097E-11 3.22812191 3.54250819 31.3280442

385.23 0.653 2.14837E-06 4.80047E-11 3.22502142 3.54250819 31.3280442

385.61 0.653 2.14837E-06 4.79101E-11 3.22184331 3.54250819 31.3280442

385.98 0.652 2.14508E-06 4.76719E-11 3.21875486 3.53886623 31.2885092

386.35 0.652 2.14508E-06 4.75807E-11 3.21567232 3.53886623 31.2885092

386.72 0.652 2.14508E-06 4.74897E-11 3.21259568 3.53886623 31.2885092

387.09 0.653 2.14837E-06 4.75444E-11 3.20952492 3.54250819 31.3280442

387.46 0.652 2.14508E-06 4.73084E-11 3.20646002 3.53886623 31.2885092

387.83 0.651 2.14179E-06 4.70735E-11 3.20340097 3.53522571 31.2489514

388.21 0.649 2.13521E-06 4.66931E-11 3.20026532 3.52794901 31.1697676

388.58 0.65 2.1385E-06 4.6748E-11 3.19721808 3.53158664 31.2093709

388.95 0.648 2.13192E-06 4.63724E-11 3.19417663 3.52431281 31.1301414

389.32 0.646 2.12534E-06 4.5999E-11 3.19114096 3.51704473 31.0508207

389.69 0.645 2.12205E-06 4.57697E-11 3.18811106 3.51341283 31.0111261

390.06 0.641 2.10889E-06 4.51181E-11 3.18508691 3.49889951 30.852119

390.43 0.642 2.11218E-06 4.51732E-11 3.18206849 3.50252571 30.8919051

390.8 0.641 2.10889E-06 4.49474E-11 3.17905578 3.49889951 30.852119

391.17 0.641 2.10889E-06 4.48624E-11 3.17604878 3.49889951 30.852119

391.54 0.641 2.10889E-06 4.47776E-11 3.17304745 3.49889951 30.852119

391.91 0.639 2.10231E-06 4.44146E-11 3.1700518 3.49165137 30.7724781

392.28 0.638 2.09902E-06 4.41923E-11 3.16706179 3.48802942 30.7326233

392.66 0.637 2.09573E-06 4.39686E-11 3.16399684 3.48440888 30.6927455

393.03 0.635 2.08915E-06 4.36107E-11 3.16101824 3.47717202 30.612921

393.4 0.635 2.08915E-06 4.35287E-11 3.15804525 3.47717202 30.612921

393.77 0.633 2.08257E-06 4.31737E-11 3.15507784 3.46994078 30.5330046

394.14 0.631 2.07599E-06 4.28208E-11 3.152116 3.46271513 30.4529961

394.51 0.631 2.07599E-06 4.27405E-11 3.14915972 3.46271513 30.4529961

394.88 0.63 2.0727E-06 4.25254E-11 3.14620897 3.4591044 30.4129573

395.25 0.629 2.06941E-06 4.23111E-11 3.14326376 3.45549505 30.3728955

395.62 0.626 2.05954E-06 4.18301E-11 3.14032405 3.44467534 30.2525716

395.99 0.624 2.05296E-06 4.14857E-11 3.13738983 3.43746911 30.1722401

396.36 0.623 2.04967E-06 4.12756E-11 3.1344611 3.43386805 30.1320397

396.73 0.622 2.04638E-06 4.10665E-11 3.13153782 3.43026837 30.0918161

397.1 0.622 2.04638E-06 4.099E-11 3.12861999 3.43026837 30.0918161

397.47 0.621 2.04309E-06 4.07823E-11 3.1257076 3.42667006 30.0515694

397.84 0.619 2.03651E-06 4.04447E-11 3.12280062 3.41947754 29.9710065

398.21 0.618 2.03322E-06 4.02392E-11 3.11989905 3.41588332 29.9306902

398.58 0.615 2.02335E-06 3.97756E-11 3.11700286 3.40510882 29.8096021

398.95 0.614 2.02006E-06 3.95728E-11 3.11411204 3.40152002 29.7691929

399.32 0.613 2.01677E-06 3.9371E-11 3.11122659 3.39793258 29.7287604

399.69 0.614 2.02006E-06 3.94264E-11 3.10834647 3.40152002 29.7691929

400.06 0.613 2.01677E-06 3.92254E-11 3.10547168 3.39793258 29.7287604

400.8 0.61 2.0069E-06 3.86992E-11 3.09973802 3.38717831 29.6073234

19

Tabel L3. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, sampel MnS-3

λ nm A α (αhv)^2 hv n R(%) 340.74 0.596 1.96084E-06 5.11144E-11 3.64610847 3.337149798 35.0567848

341.11 0.75 2.4675E-06 8.07664E-11 3.64215356 3.903014725 13.5009471

341.87 0.252 8.2908E-07 9.07771E-12 3.63405681 2.161737163 -23.946194

342.24 -0.373 -1.22717E-06 1.98451E-11 3.63012798 #NUM! 1.99424545

342.62 0.035 1.1515E-07 1.74344E-13 3.6261018 1.328879076 -6.7812166

342.99 -0.114 -3.7506E-07 1.84563E-12 3.62219015 #NUM! 27.8434862

344.88 0.567 1.86543E-06 4.51572E-11 3.60233994 3.234321182 -37.317276

345.25 -0.551 -1.81279E-06 4.25533E-11 3.59847936 #NUM! -14.746443

347.13 -0.239 -7.8631E-07 7.9197E-12 3.57899058 #NUM! 12.146284

349.38 0.225 7.4025E-07 6.92893E-12 3.55594195 2.069910426 31.4465128

350.13 0.656 2.15824E-06 5.86471E-11 3.54832491 3.553442772 38.6184006

350.89 0.848 2.78992E-06 9.75769E-11 3.54063952 4.283137175 23.6127136

351.26 0.468 1.53972E-06 2.96573E-11 3.53690998 2.89051429 20.700919

351.64 0.403 1.32587E-06 2.19437E-11 3.53308782 2.669607787 91.1957941

352.39 4.222 1.38904E-05 2.39821E-09 3.52556826 43.40979468 55.8110255

352.76 1.419 4.66851E-06 2.70336E-10 3.52187039 6.907256462 32.9681341

353.14 0.695 2.28655E-06 6.47102E-11 3.51808065 3.696807468 39.8078672

353.51 0.882 2.90178E-06 1.03999E-10 3.51439846 4.419096096 23.7005913

353.89 0.47 1.5463E-06 2.94684E-11 3.51062477 2.897363177 39.1110014

354.26 0.862 2.83598E-06 9.89162E-11 3.50695817 4.338855719 41.3130264

354.64 0.926 3.04654E-06 1.13905E-10 3.50320043 4.598353432 27.510487

355.39 0.559 1.83911E-06 4.13343E-11 3.49580742 3.206137805 27.1759511

355.76 0.551 1.81279E-06 4.00762E-11 3.49217169 3.178030762 41.9846902

356.14 0.946 3.11234E-06 1.17879E-10 3.48844556 4.681107103 44.4996037

356.88 1.023 3.36567E-06 1.37279E-10 3.48121217 5.007453441 44.6272281

357.26 1.027 3.37883E-06 1.3806E-10 3.47750938 5.024752169 44.2755528

357.63 1.016 3.34264E-06 1.34839E-10 3.47391158 4.977264407 44.8815972

358.01 1.035 3.40515E-06 1.39633E-10 3.4702243 5.059454567 43.7600342

358.38 1 0.00000329 1.3008E-10 3.46664155 4.908658197 44.5634526

358.76 1.025 3.37225E-06 1.36376E-10 3.46296967 5.016098444 44.5634526

359.13 1.025 3.37225E-06 1.36095E-10 3.45940189 5.016098444 44.7227538

359.51 1.03 3.3887E-06 1.37135E-10 3.45574532 5.03774914 44.6590883

359.88 1.028 3.38212E-06 1.36323E-10 3.4521924 5.029082306 44.6272281

360.25 1.027 3.37883E-06 1.35778E-10 3.44864677 5.024752169 44.3076154

360.63 1.017 3.34593E-06 1.32866E-10 3.44501289 4.981570619 45.3868351

361 1.051 3.45779E-06 1.41608E-10 3.44148199 5.129282285 45.1979159

361.38 1.045 3.43805E-06 1.39702E-10 3.43786319 5.103030492 45.7002543

361.75 1.061 3.49069E-06 1.43718E-10 3.43434692 5.173213556 45.6377147

362.13 1.059 3.48411E-06 1.42876E-10 3.4307431 5.164409408 45.5437702

362.5 1.056 3.47424E-06 1.41778E-10 3.42724138 5.151219983 45.7939288

362.87 1.064 3.50056E-06 1.43641E-10 3.4237468 5.18643661 46.568292

363.25 1.089 3.58281E-06 1.50156E-10 3.42016518 5.297420407 46.2598831

363.62 1.079 3.54991E-06 1.47111E-10 3.416685 5.252856454 46.4759556

363.99 1.086 3.57294E-06 1.48723E-10 3.4132119 5.284027225 46.1050118

364.37 1.074 3.53346E-06 1.45151E-10 3.40965228 5.230659914 46.3834597

364.74 1.083 3.56307E-06 1.47295E-10 3.40619345 5.270654632 46.1360217

365.12 1.075 3.53675E-06 1.44825E-10 3.40264844 5.235094682 46.7524871

20

365.49 1.095 3.60255E-06 1.4996E-10 3.39920381 5.324268728 46.966579

365.86 1.102 3.62558E-06 1.51576E-10 3.39576614 5.355696605 47.0275899

366.24 1.104 3.63216E-06 1.51811E-10 3.39224279 5.364696814 47.0275899

366.61 1.104 3.63216E-06 1.51505E-10 3.38881918 5.364696814 47.3921839

366.98 1.116 3.67164E-06 1.54504E-10 3.38540247 5.418893379 48.113861

367.36 1.14 3.7506E-06 1.60888E-10 3.38190059 5.528300584 48.1437151

367.73 1.141 3.75389E-06 1.60846E-10 3.37849781 5.532888831 48.2331743

368.1 1.144 3.76376E-06 1.61368E-10 3.37510187 5.546667885 48.0541013

368.48 1.138 3.74402E-06 1.59351E-10 3.37162125 5.519131236 47.6338514

368.85 1.124 3.69796E-06 1.55142E-10 3.36823912 5.455211465 47.6940946

369.22 1.126 3.70454E-06 1.55383E-10 3.36486377 5.464314495 48.2033718

369.6 1.143 3.76047E-06 1.59781E-10 3.36140422 5.54207248 47.9643326

369.97 1.135 3.73415E-06 1.57237E-10 3.35804254 5.505395053 48.2331743

370.34 1.144 3.76376E-06 1.59422E-10 3.35468758 5.546667885 47.9942727

370.72 1.136 3.73744E-06 1.56878E-10 3.35124892 5.509971405 48.0839897

371.09 1.139 3.74731E-06 1.57393E-10 3.34790752 5.52371472 48.2927281

371.46 1.146 3.77034E-06 1.59017E-10 3.34457277 5.555865865 48.6190511

371.84 1.157 3.80653E-06 1.61753E-10 3.3411548 5.606626244 49.0607207

372.21 1.172 3.85588E-06 1.65644E-10 3.33783348 5.676315834 49.4985937

372.58 1.187 3.90523E-06 1.69574E-10 3.33451876 5.746554185 49.7016444

372.95 1.194 3.92826E-06 1.7124E-10 3.33121062 5.779521557 49.7595087

373.33 1.196 3.93484E-06 1.71464E-10 3.32781989 5.78896308 49.7016444

373.7 1.194 3.92826E-06 1.70553E-10 3.32452502 5.779521557 49.7016444

374.07 1.194 3.92826E-06 1.70216E-10 3.32123667 5.779521557 50.076575

374.45 1.207 3.97103E-06 1.7359E-10 3.3178662 5.841069254 49.9327028

374.82 1.202 3.95458E-06 1.71815E-10 3.314591 5.817347259 49.6437133

375.19 1.192 3.92168E-06 1.68635E-10 3.31132226 5.770089945 49.9038786

375.56 1.201 3.95129E-06 1.70854E-10 3.30805996 5.812610343 50.3630802

375.94 1.217 4.00393E-06 1.75082E-10 3.30471618 5.888701033 50.0190758

376.31 1.205 3.96445E-06 1.71309E-10 3.30146688 5.831572966 50.134008

376.68 1.209 3.97761E-06 1.72109E-10 3.29822396 5.850575546 50.0478336

377.05 1.206 3.96774E-06 1.7092E-10 3.2949874 5.836319861 50.2773017

377.43 1.214 3.99406E-06 1.72847E-10 3.29166998 5.874385135 50.305911

377.8 1.215 3.99735E-06 1.72793E-10 3.28844627 5.879154585 50.2773017

378.17 1.214 3.99406E-06 1.72171E-10 3.28522887 5.874385135 50.248676

378.54 1.213 3.99077E-06 1.71552E-10 3.28201775 5.869618198 50.5057157

378.91 1.222 4.02038E-06 1.73767E-10 3.27881291 5.91261126 50.7897582

379.29 1.232 4.05328E-06 1.76269E-10 3.27552796 5.960621499 50.9876175

379.66 1.239 4.07631E-06 1.7793E-10 3.27233577 5.994380008 51.1846812

380.03 1.246 4.09934E-06 1.79596E-10 3.2691498 6.02826385 51.2127684

380.4 1.247 4.10263E-06 1.79535E-10 3.26597003 6.033114666 50.9594006

380.77 1.238 4.07302E-06 1.76609E-10 3.26279644 5.989549705 51.5764349

381.15 1.26 4.1454E-06 1.82577E-10 3.25954349 6.096409986 51.5485571

381.52 1.259 4.14211E-06 1.81934E-10 3.25638237 6.091525593 51.798881

381.89 1.268 4.17172E-06 1.84187E-10 3.25322737 6.135578715 52.0203052

382.26 1.276 4.19804E-06 1.86158E-10 3.25007848 6.174914468 52.1581785

382.63 1.281 4.21449E-06 1.87257E-10 3.24693568 6.199584541 52.1306356

383.01 1.28 4.2112E-06 1.86594E-10 3.24371426 6.194645268 51.9097205

383.38 1.272 4.18488E-06 1.83913E-10 3.24058376 6.155225656 51.798881

383.75 1.268 4.17172E-06 1.82406E-10 3.23745928 6.135578715 51.9373906

21

384.12 1.273 4.18817E-06 1.83493E-10 3.23434083 6.160143929 51.8543326

384.49 1.27 4.1783E-06 1.82278E-10 3.23122838 6.145396958 51.798881

384.86 1.268 4.17172E-06 1.81355E-10 3.22812191 6.135578715 52.0755021

385.23 1.278 4.20462E-06 1.83873E-10 3.22502142 6.184774613 52.0479116

385.61 1.277 4.20133E-06 1.83224E-10 3.22184331 6.179843228 52.0479116

385.98 1.277 4.20133E-06 1.82873E-10 3.21875486 6.179843228 52.1857056

386.35 1.282 4.21778E-06 1.83955E-10 3.21567232 6.204526448 52.1306356

386.72 1.28 4.2112E-06 1.83031E-10 3.21259568 6.194645268 52.5694258

387.09 1.296 4.26384E-06 1.87277E-10 3.20952492 6.273990637 52.5147978

387.46 1.294 4.25726E-06 1.86343E-10 3.20646002 6.264035374 52.623991

387.83 1.298 4.27042E-06 1.87139E-10 3.20340097 6.283956542 52.4874601

388.21 1.293 4.25397E-06 1.85336E-10 3.20026532 6.259061729 52.4053528

388.58 1.29 4.2441E-06 1.84126E-10 3.19721808 6.244156714 52.3505358

388.95 1.288 4.23752E-06 1.83207E-10 3.19417663 6.234233287 52.0479116

389.32 1.277 4.20133E-06 1.79749E-10 3.19114096 6.179843228 51.9373906

389.69 1.273 4.18817E-06 1.78285E-10 3.18811106 6.160143929 51.6321425

390.06 1.262 4.15198E-06 1.74885E-10 3.18508691 6.10618656 51.6321425

390.43 1.262 4.15198E-06 1.74554E-10 3.18206849 6.10618656 51.5206632

390.8 1.258 4.13882E-06 1.73121E-10 3.17905578 6.086643793 51.5206632

391.17 1.258 4.13882E-06 1.72794E-10 3.17604878 6.086643793 51.5485571

391.54 1.259 4.14211E-06 1.72741E-10 3.17304745 6.091525593 51.6599722

391.91 1.263 4.15527E-06 1.73513E-10 3.1700518 6.111078744 51.5206632

392.28 1.258 4.13882E-06 1.71817E-10 3.16706179 6.086643793 51.5206632

392.66 1.258 4.13882E-06 1.71485E-10 3.16399684 6.086643793 51.5206632

393.03 1.258 4.13882E-06 1.71162E-10 3.16101824 6.086643793 51.6321425

393.4 1.262 4.15198E-06 1.71928E-10 3.15804525 6.10618656 51.5764349

393.77 1.26 4.1454E-06 1.71062E-10 3.15507784 6.096409986 51.5764349

394.14 1.26 4.1454E-06 1.70741E-10 3.152116 6.096409986 51.6321425

394.51 1.262 4.15198E-06 1.70962E-10 3.14915972 6.10618656 51.3249558

394.88 1.251 4.11579E-06 1.6768E-10 3.14620897 6.052543668 51.1284583

395.25 1.244 4.09276E-06 1.65499E-10 3.14326376 6.018569927 51.0158181

395.62 1.24 4.0796E-06 1.64129E-10 3.14032405 5.999212869 50.8463708

395.99 1.234 4.05986E-06 1.6224E-10 3.13738983 5.970254034 50.8746526

396.36 1.235 4.06315E-06 1.622E-10 3.1344611 5.975074124 50.8463708

396.73 1.234 4.05986E-06 1.61636E-10 3.13153782 5.970254034 50.6763373

397.1 1.228 4.04012E-06 1.5977E-10 3.12861999 5.941386959 50.5911002

397.47 1.225 4.03025E-06 1.58694E-10 3.1257076 5.926987711 50.5057157

397.84 1.222 4.02038E-06 1.57624E-10 3.12280062 5.91261126 50.3345039

398.21 1.216 4.00064E-06 1.5579E-10 3.11989905 5.883926551 50.1626997

398.58 1.21 3.9809E-06 1.5397E-10 3.11700286 5.855332448 50.076575

398.95 1.207 3.97103E-06 1.52924E-10 3.11411204 5.841069254 50.0190758

399.32 1.205 3.96445E-06 1.52135E-10 3.11122659 5.831572966 50.076575

399.69 1.207 3.97103E-06 1.52358E-10 3.10834647 5.841069254 50.0478336

400.06 1.206 3.96774E-06 1.51824E-10 3.10547168 5.836319861 49.9038786

400.43 1.201 3.95129E-06 1.5029E-10 3.1026022 5.812610343 49.8461805

400.8 1.199 3.94471E-06 1.49513E-10 3.09973802 5.803143979 49.788416

22

Lampiran 2. Data pengukuran ketebalan lapisan MnS dengan menggunakan metode gravimetri

P(cm) L(cm)

2.43 2.425

2.4 2.4

2.425 2.41

2.4 2.42

2.42 2.44

2.41 2.41

rataan 2.414166667 2.4175

P(rata-rata) Substrat [cm]

L(rata-rata) Substrat [cm]

Massa Substrat [g]

Massa Substrat+Film [g] Massa Film [g]

Densitas [g/cm3]

Volum Sampel [cm3]

Tinggi sampel [cm] ketebalan mikro

2.414166667 2.4175 1.37 1.3702 0.0002 4 4.16667E-

05 7.13929E-06 0.713929005

Lampiran 3. Spesifikasi Alat “Ocean Optic USB 2000 Fiber Optic Spectrometer”

23

24

Lampiran 4. Prosedur pengambilan data nilai absorbansi

25

26

Lampiran 5. Foto alat-alat yang digunakan

Lampiran 6. Data Intensitas dan 2θ XRD

2θ Intensitas 2θ Intensitas 2θ Intensitas 20 36 21.327 32 22.682 43

20.027 35 21.354 51 22.709 38 20.054 26 21.381 32 22.736 46 20.081 39 21.409 27 22.763 45 20.108 32 21.436 29 22.79 38 20.135 28 21.463 40 22.817 43 20.163 43 21.49 46 22.844 43

20.19 38 21.517 48 22.871 34 20.217 30 21.544 45 22.898 41 20.244 34 21.571 40 22.926 53 20.271 30 21.598 48 22.953 50 20.298 48.7 21.625 30 22.98 35 20.325 29 21.652 42 23.007 43 20.352 29 21.679 33 23.034 51

27

20.379 34 21.707 46 23.061 48 20.406 23 21.734 44 23.088 47 20.433 38 21.761 40 23.115 44

20.46 44 21.788 49 23.142 38 20.488 35 21.815 46 23.169 33 20.515 31 21.842 50 23.196 43 20.542 38 21.869 45 23.223 38 20.569 35 21.896 52 23.251 40 20.596 38 21.923 37 23.278 47 20.623 40 21.95 36 23.305 49

20.65 39 21.977 52 23.332 43 20.677 43 22.005 50 23.359 45 20.704 33 22.032 53 23.386 49 20.731 34 22.059 39 23.413 49 20.758 34 22.086 49 23.44 51 20.786 46.5 22.113 38 23.467 45 20.813 39 22.14 41 23.494 53.6

20.84 51 22.167 38 23.521 50 20.867 50 22.194 49 23.549 47 20.894 38 22.221 43 23.576 56 20.921 26 22.248 41 23.603 47 20.948 46 22.275 37 23.63 55 20.975 30 22.302 42 23.657 36 21.002 39 22.33 38 23.684 45 21.029 48 22.357 42 23.711 50 21.056 42 22.384 52 23.738 55 21.084 35 22.411 37 23.765 45 21.111 25 22.438 46 23.792 43 21.138 40 22.465 41 23.819 46 21.165 44 22.492 50 23.847 53 21.192 37 22.519 46 23.874 44 21.219 42 22.546 50 23.901 51 21.246 39 22.573 43 23.928 40 21.273 30 22.6 44 23.955 35

21.3 45 22.628 44 23.982 49