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ICD “ For the better life, Everyday “

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2. Introduce

拥有 PLASMA , 高真空技术 --> LCD / AMOLED / OTFT 设备制造企业

I C D (Innovation for Creative Devices)

Plasma 生成技术

制程 技术

System 控制技术

ESC 技术

HDP source

HW设计，运用控制SW

DCCP source

检查性能，检测可信性

自主开发 核心技术

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HDP Etcher

Plasma Asher

AMOLED 前工艺用刻蚀设备 我公司的主力产品 为了量产高分辨了的产品必不可少的设备 Application - Gate, Source/Drain Metal Line Etch 工艺 - Contact Hole/Octa 工艺 - Dopped PR Ashing 工艺 - Active 工艺 2006. 在国内首次供应(国内) 2009. 首次开发、供应5.5代设备 2014. 6G 供货 2015. 6G 中国市场供货

蒸镀器 (Evaporator) Flexible 新设备

AMOLED 有机物 进行蒸镀前，处理玻璃表面的设备 2010. 在国内开始供应 主要客户:TOKKI(日)

AMOLED 制造用 蒸镀设备 - Metal 膜 - Organic 膜 供应研究开发设备 主要客户:SDC

Flexible Display 在评价工艺

设备事业 AMOLED领域

5. 事业领域 - 设备 AMOLED

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5. 事业领域 – Vacuum Transfer system

Cluster Transfer system

OLED B/P Cluster 真空物流系统设备

(SPT,DRY,CVD )

Application

- Transfer, Load lock

2G~8G

主要客户: SDC,LGD, CSOT, Tianma, BOE

In – line Transfer system

In-line 真空物流系统设备

-OLED EV In-line真空物流系统设备

-OLED EN In-line真空物流系统设备

Application

- Transfer, Turn , Flip ,Rotation , Passage,

Load lock, Buffer, Mask stock 供应 2G~6G 超真空 In line 物流设备

主要客户 : Canon Tokki, Hitachi high –tech, SDC

Vacuum Transfer system

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1. 사업분야 소개 (장비)

Dry Etcher

TFT-LCD前工艺专用蚀刻设备 ICD的主力产品

Application

- a-Si Etch

- n+ a-Si Etch

- Source/Drain Multi Etch

2008. 在国内首次出口

4代(730×920mm)~8代(2,200×2,500mm)

量产供应业绩

主要客户 : LGD, BOE 等

Plasma Asher

TFT-LCD前工艺专用设备 ICD的主力出口产品

TFT-LCD工艺中清除残次基板上的有机膜，使此极板可以重新使用

Application

- Pi rework (TFT, CF Glass)

2002. 在国内首次出口

有量产供应4代(730×920mm)~8代(2,200×2,500mm) 的业绩

主要客户 : LGD, AUO, CMO, InnoLux , BOE, IVO, Century 等

设备事业 TFT-LCD领域

5. 事业领域 – 设备 (TFT-LCD)

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ESC (Electrostatic Chuck)

Dimple 改善型 ESC Trench型 ESC 高温工艺用 ESC

配件事业 ESC (静电吸盘)

在FPD(AMOLED, LCD) Dry-Etch工艺固定大面积的玻璃基板并控制温度的核心配件 Application - Gate Mo, S/D Process Chamber - Contact Hole / OCTA Process Chamber - Dopped PR Ashing / Active Process Chamber 2009. 自主生产化及新产品开发/供应（国内） 2011.在国内首次开发及供应Dimple 改善型 ESC 主要客户 : SDC, LGD, DW-FC, HTS, CPT 等

能把Scratch的发生降到 最低的ESC 确保平面炼魔技术 成功国产化 主要客户:LGD

该ESC能把基板背面细微的损伤和静电的发生率降到最低 自主开发覆膜材料 2011. 国内首次供应 主要客户:SDC 等

120℃以上的高温工艺专用ESC 自主开发母材和高品质ESC 在评价工艺

5. 事业领域 – 核心配件(ESC)

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ICD_ ICPLT CVD system for Thin film encapsulation

ICD is a key supplier of PE CVD systems for Thin Film Encapsulation (TFE)

HfLT PE CVD system deposit silicon nitride, silicon oxide and silicon oxynitride

HfLT PE CVD system is auto aligner, low charge storage structure, metal mask damage free

in- situ cleaning functionality that is included

HfLT PE CVD Product line # PD 400 PD 750

Development 1/’12 10/’13 Standard 370x470 ㎟ 650x750 ㎟

Available generations

2G G3/G3.5

G5.5 (Quarter)

Status R&D / Mass Production Qualify R&D / Mass Production Qualify

Application Thin Film Encapsulation(TFE) Thin Film Encapsulation(TFE)

PD 750 Hf L T PECVD(750x650㎜ ) P rocess Pe r fo rmance

Material Deposition Method

Structure Total

thickness WVTR

[g/m2day] Journal

Corresponding author

Volume

SiNx Hf LT PECVD Single layer 800 nm ≤3x10-5 Customer's measurement

ICD Manufacturing 2013.

App. ICD HFCVD Process Result

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4. 应用制程 ( OLED )

“OLED 主要 LINE中， 应用在TFT Backplane / EV & EN / TSP 阶段”

TFT Array

Electrode

Organic Multi-Layer

Electrode

Encapsulation Encapsulation

OLED

Active Matrix TFT

Substrate Glass

<OLED Panel structure >

ㅣ TFT Backplane Line Evaporation Line Encapsulation Line

LTPS TFT (Etch) Process Evaporator Ashing CVD

• Deposition Process

- CVD : Thin film Encapsulation Process

• Vacuum Transfer system

- EV & EN Vacuum Transfer

E

N

Vacuum Transfer Etch (SiO2)

TSP Line

TSP

TSP

• OCTA (On Cell TSP OELD)

- SiO2 Etching

• Evaporator : Metal & Organic Layer

- Material Development ( R&D )

• Plasma Treatment system: Ashing Process

E

V

TFT

• Dry Etching Process

- Gate, Active, S/D, Ashing, ILD (CNT)

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< S社 market share of G5.5 ICP Dry etcher > < S社 market share of G6 ICP Dry Etcher >

✓ Korea S社 G5.5 ICP Dry etcher market share : 86% (138 Chamber)

✓ Korea S社 G6 ICP Dry etcher market share : 70% (228 Chamber)

✓ China C社 G6 & T 社 G6 ICP Dry etcher market share : 41% (12 Sys, 39CH)

< C社/ T社G6 market share of G6 ICP Dry Etcher>

AMOLED ICP Dry Etch Market share world No. 1

7. MARKET SHARE

ICD 86%

TEL 0% YAC 9%

ADP 0% IPS 5%

ICD 70%

ICD 41%

IPS 27% YAC 21%

TEL 38%

TEL 3%