① BOX本体② エントリーポート③ アクリル操作窓④ 8″グローブ⑤ 制御BOX⑥ タッチパネル⑦ 圧力制御用圧力計⑧ 循環ブロワー⑨ 精製筒⑩ 溶剤吸着筒⑪ 循環出口フィルター⑫ 蛍光灯⑬ 2口コンセント用コネクター⑭ Arガス入口⑮ 計装ガス入口⑯ 再生ガス入口⑰ 再生ガス出口⑱ 酸素分析計ユニット

●仕様および外観は改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。

www.yamato-net.co.jp 0120-405-525 868不活性ガス循環精製装置およびグローブボックス一体型 ヤマト科学

グローブボックス不活性ガス循環精製装置およびグローブボックス一体型Glove Boxes

ガスの種類 窒素ガス、アルゴンガス、ヘリュウムガス等　標準循環流量（m3/h） 6、20、30、60循環ガス圧力バランス 装置入口；約-6kPa、出口；約0.3kPa不純物濃度　設計基準 水分　ppm.vol 酸素　ppm.vol装置入口 10　（露点－60℃） 1装置出口 1　（露点－76℃）以下 0.1　以下

精製方法 水分吸着剤による吸着 NiまたはCu触媒による化学吸着

再生方法；電気加熱、再生ガスによるパージ、真空置換

不活性ガスによるパージ 水素5%～100%ガスによるパージ

再生時間 24時間精製容量（上記条件にて）72時間操作方式 2筒式；2筒自動または手動切換連続精製

単筒式；精製を停止して再生（再生は自動）循環ブロワー ボルテックス式電源 AC200V/220V、三相、50/60Hz

置換用および圧力制御用真空ポンプ

油回転真空ポンプ（オプション；ドライ真空ポンプ）

接ガス部材質 SUS304循環ガス配管 配管径；20A（φ27.2）～40A（φ48.6）

接手；真空フランジまたはNWフランジ

計装用空気、供給ガス配管

配管径；1/4インチ～3/8インチ接手；くい込み継手

安全対策 非常停止、供給ガスおよび計装ガス圧力低下、吸着筒昇温異常、過熱、循環ブロワー過負荷、真空ポンプ過負荷、グローブボックス内圧力異常等

■不活性ガス循環精製装置（空冷式）仕様

外寸（mm） 幅1750×高さ1200×奥行800材質 SUS304　3t　内面＃400バフ研磨　電解研磨

圧力制御 自動 大気圧±1.5kPa内、ON-OFF制御手動 大気圧±1.5kPa内、フットスイッチによる

操作面 透明アクリル　10t蛍光灯 40Ｗ×１本グローブポート 8″用4ヵ所、材質：ブチル　0.4t　9- 3/4″リーク量 1×10－4 Pa m3/sec

安全対策 グローブボックス内圧低下：－800Paでエントリーポート用真空ポンプおよびガス循環精製装置真空ポンプ停止

■グローブボックス仕様

寸法図（mm）

フロー図

ＰＳ1

ＰIA1

ＰIC1

ＰIA2

ＰＩＣ11

ＰＩＣ12

Ｍ11

酸素センサー

TICA1

FI1

ＦＩ11

N₂ 循環精製装置

酸素分析計ユニット

グローブボックス

電磁弁マニホールド

ダイヤフラムポンプ1.5l/ｍｉｎBL1

循環ブロワー

吸着筒

計装ガス入口

ＧＦ1

ＧＦ4ＣＶ1

ＳＶ1

ＳＶ2

ＳＶ3

ＧＦ2 ＢＶ2

ＢＶ1

ＡＶ3 ＡＶ2ＧＦ3

ＢＶ4

ＢＶ3

ＢＶ12 ＢＶ11

ＳＶ5

ＢＶ5

AV4

ＳＶ4

ＮＯ

排気

真空ポンプ

ＡＶ1ＡＶ2

ＡＶ1

ＡＶ3 ＡＶ4

窒素ガス入口

再生ガス出口Ｎ₂ 3％以上

再生ガス入口Ｎ₂ 3％以上

分析・計測・試験機器

科学・産業機器恒温・乾燥器/恒温恒湿器

産業機器

プラズマ装置

恒温培養器

凍結乾燥・冷却トラップ

滅菌器

純水製造装置

恒温液槽

恒温水循環装置

濃縮器

減圧・加圧ポンプ乳化・撹拌・振とう器造粒乾燥装置

洗浄器

フィルター

天秤

pH計

表面観察装置内部観察装置分光・発光・蛍光装置

物性計測装置細胞関連装置遠心分離機冷凍庫・冷蔵庫

合成・前処理装置

試験機器

電池・半導体・LED関連装置

計測機器

環境制御・実験施設

システムエンジニアリング

実験台

保管・カート・実験台用付属器具

ダイジェスト

イントロダクション

送液ポンプ

研究施設

ヒュームフード粉体封じ込めシステム給排気システム

高温炉・パージガス

環境・プロセス関連装置

加熱器

液体／ガスクロマトグラフ