571 800

770

ホームページ http://www.kohzu.co.jp お問い合わせ先 E-mail：sale@kohzu.co.jp

ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に最適

このパンフレットに記載された内容、仕様は予告なく変更されることがあります。

神津精機株式会社本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 TEL.044-981-2131　FAX.044-981-2181

大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610　FAX.06-6398-6620

機械仕様 ソフトウェア仕様

DY-3000 コンソールラック

型　式XY 測定範囲

XY 最小分解能

真直度（Z 方向）

水平耐荷重電源電圧／

最大消費電力（※：マッピング補正実装時の真直度）

※オプション

仕 様

● ラインナップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、ご用途に応じてカスタマイズ対応可能です。　また、ワークに合わせた専用ホルダの製作も承っております。カスタマイズ

● 御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っております。● 弊社ショールームにお越しいただき、実際に測定を試していただくことも可能です。　 詳しくは弊社営業部までお問い合わせ下さい。

サンプル測定

20.03

機 能 解析（オプション）

マッピング補正

基準平面基板の表面高さデータを事前に測定し、補正データとして保存します。

そのデータを実際のワークの測定データから差し引くことにより、スキャンステージの持つ

微小な揺動も補正して、ワークの真値に近づけます。

特に反りの小さなワークの測定に有効です。

自重たわみ補正

ウエハの自重起因のたわみを補正することにより、ウエハ本来のたわみデータを算出します。

特に薄いウエハ・大口径ウエハに有効です。

理想モデル差分モード有限要素法により作成した自重たわみを含むウエハの理想モデルと測定データの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

■ 基準平面基板測定■ マッピング補正前

表面 裏面うらがえす

■ マッピング補正後

重力補正前SORI：42μm

重力補正後SORI：20μm

SORI：4μm SORI：0.3μm

両面差分モードウエハの裏表両面の表面形状を測定し、そのデータの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

幅奥　行

794mm654.5mm

高　さ重　量

1,111mm約 170kg

幅奥　行

571mm800mm

高　さ重　量

770mm約 70kg

※中心吸着した 4inch ウエハの測定例

※φ200ガラス平面基板（平面度:4/λ）の表面を測定しSORI算出した場合

1,11

1

654.5794

709

DY-3000300×300mm

1μm≦1μm/30mm（任意位置）

12μm/300mm （※≦1μm/300mm）5Kg

100V 50/60Hz 約 500W

各種単軸駆動、各種2軸補完駆動、各種指定座標駆動各制御パラメータ設定、各Scanタイプ選択、PointMaker、GridMaker断面表示、高さ・幅・角度・円弧計測、3D表示、SEMI規格値出力計測結果保存（kzv・csv）、測定条件パラメータ（読込・保存）、計測結果レポート出力、キャプチャ画像保存（2D・3D）

DY-3000RC• Cassette to Cassette

タイプ• ロードポート2基標準搭載• 回転スキャン方式で高速

測定• 形状と厚みを同時測定可能• 独自の自重たわみ補正を

装備

• 大型ガラス（Φ450mm）参照面測定タイプ

• 校正ガラス基板提供可能（Φ600mm）

• 1000 × 1000mm測定タイプ• ガントリXY駆動で小さなフットプリント （□1500mm）

データ入出力

解　析

計　測

駆　動

571 800

770

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ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に最適

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神津精機株式会社本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 TEL.044-981-2131　FAX.044-981-2181

大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610　FAX.06-6398-6620

機械仕様 ソフトウェア仕様

DY-3000 コンソールラック

型　式XY 測定範囲

XY 最小分解能

真直度（Z 方向）

水平耐荷重電源電圧／

最大消費電力（※：マッピング補正実装時の真直度）

※オプション

仕 様

● ラインナップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、ご用途に応じてカスタマイズ対応可能です。　また、ワークに合わせた専用ホルダの製作も承っております。カスタマイズ

● 御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っております。● 弊社ショールームにお越しいただき、実際に測定を試していただくことも可能です。　 詳しくは弊社営業部までお問い合わせ下さい。

サンプル測定

20.03

機 能 解析（オプション）

マッピング補正

基準平面基板の表面高さデータを事前に測定し、補正データとして保存します。

そのデータを実際のワークの測定データから差し引くことにより、スキャンステージの持つ

微小な揺動も補正して、ワークの真値に近づけます。

特に反りの小さなワークの測定に有効です。

自重たわみ補正

ウエハの自重起因のたわみを補正することにより、ウエハ本来のたわみデータを算出します。

特に薄いウエハ・大口径ウエハに有効です。

理想モデル差分モード有限要素法により作成した自重たわみを含むウエハの理想モデルと測定データの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

■ 基準平面基板測定■ マッピング補正前

表面 裏面うらがえす

■ マッピング補正後

重力補正前SORI：42μm

重力補正後SORI：20μm

SORI：4μm SORI：0.3μm

両面差分モードウエハの裏表両面の表面形状を測定し、そのデータの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

幅奥　行

794mm654.5mm

高　さ重　量

1,111mm約 170kg

幅奥　行

571mm800mm

高　さ重　量

770mm約 70kg

※中心吸着した 4inch ウエハの測定例

※φ200ガラス平面基板（平面度:4/λ）の表面を測定しSORI算出した場合

1,11

1

654.5794

709

DY-3000300×300mm

1μm≦1μm/30mm（任意位置）

12μm/300mm （※≦1μm/300mm）5Kg

100V 50/60Hz 約 500W

各種単軸駆動、各種2軸補完駆動、各種指定座標駆動各制御パラメータ設定、各Scanタイプ選択、PointMaker、GridMaker断面表示、高さ・幅・角度・円弧計測、3D表示、SEMI規格値出力計測結果保存（kzv・csv）、測定条件パラメータ（読込・保存）、計測結果レポート出力、キャプチャ画像保存（2D・3D）

DY-3000RC• Cassette to Cassette

タイプ• ロードポート2基標準搭載• 回転スキャン方式で高速

測定• 形状と厚みを同時測定可能• 独自の自重たわみ補正を

装備

• 大型ガラス（Φ450mm）参照面測定タイプ

• 校正ガラス基板提供可能（Φ600mm）

• 1000 × 1000mm測定タイプ• ガントリXY駆動で小さなフットプリント （□1500mm）

データ入出力

解　析

計　測

駆　動

571 800

770

ホームページ http://www.kohzu.co.jp お問い合わせ先 E-mail：sale@kohzu.co.jp

ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に最適

このパンフレットに記載された内容、仕様は予告なく変更されることがあります。

神津精機株式会社本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 TEL.044-981-2131　FAX.044-981-2181

大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610　FAX.06-6398-6620

機械仕様 ソフトウェア仕様

DY-3000 コンソールラック

型　式XY 測定範囲

XY 最小分解能

真直度（Z 方向）

水平耐荷重電源電圧／

最大消費電力（※：マッピング補正実装時の真直度）

※オプション

仕 様

● ラインナップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、ご用途に応じてカスタマイズ対応可能です。　また、ワークに合わせた専用ホルダの製作も承っております。カスタマイズ

● 御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っております。● 弊社ショールームにお越しいただき、実際に測定を試していただくことも可能です。　 詳しくは弊社営業部までお問い合わせ下さい。

サンプル測定

20.03

機 能 解析（オプション）

マッピング補正

基準平面基板の表面高さデータを事前に測定し、補正データとして保存します。

そのデータを実際のワークの測定データから差し引くことにより、スキャンステージの持つ

微小な揺動も補正して、ワークの真値に近づけます。

特に反りの小さなワークの測定に有効です。

自重たわみ補正

ウエハの自重起因のたわみを補正することにより、ウエハ本来のたわみデータを算出します。

特に薄いウエハ・大口径ウエハに有効です。

理想モデル差分モード有限要素法により作成した自重たわみを含むウエハの理想モデルと測定データの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

■ 基準平面基板測定■ マッピング補正前

表面 裏面うらがえす

■ マッピング補正後

重力補正前SORI：42μm

重力補正後SORI：20μm

SORI：4μm SORI：0.3μm

両面差分モードウエハの裏表両面の表面形状を測定し、そのデータの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

幅奥　行

794mm654.5mm

高　さ重　量

1,111mm約 170kg

幅奥　行

571mm800mm

高　さ重　量

770mm約 70kg

※中心吸着した 4inch ウエハの測定例

※φ200ガラス平面基板（平面度:4/λ）の表面を測定しSORI算出した場合

1,11

1

654.5794

709

DY-3000300×300mm

1μm≦1μm/30mm（任意位置）

12μm/300mm （※≦1μm/300mm）5Kg

100V 50/60Hz 約 500W

各種単軸駆動、各種2軸補完駆動、各種指定座標駆動各制御パラメータ設定、各Scanタイプ選択、PointMaker、GridMaker断面表示、高さ・幅・角度・円弧計測、3D表示、SEMI規格値出力計測結果保存（kzv・csv）、測定条件パラメータ（読込・保存）、計測結果レポート出力、キャプチャ画像保存（2D・3D）

DY-3000RC• Cassette to Cassette

タイプ• ロードポート2基標準搭載• 回転スキャン方式で高速

測定• 形状と厚みを同時測定可能• 独自の自重たわみ補正を

装備

• 大型ガラス（Φ450mm）参照面測定タイプ

• 校正ガラス基板提供可能（Φ600mm）

• 1000 × 1000mm測定タイプ• ガントリXY駆動で小さなフットプリント （□1500mm）

データ入出力

解　析

計　測

駆　動

機 能 測 定 駆 動 機 能 解 析

豊富な測定駆動を有する制御駆動ソフト

DyvoceMeasure（ダイボスメジャー）

ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆

動・測定機能により、測定パターンを実現

させます。専用解析ソフト形式・CSV 形

式でのデータ保存が可能です。

間引き測定用の駆動パターンの設定を行

います。

クロスライン・インクライン・サークル上

の様々なスキャン測定やこれらの組み合

わせにより、近似的に表面形状を測定す

る機能です。

全面スキャンに対して圧倒的な測定時間

の短縮となります。

複数ワークの測定を一連のシーケンスと

して完了させます。

様々なワーク形状・測定パラメータ・配置

の組み合わせでも対応可能。設定したプ

ログラムごとの個々のデータを順次保存

していきます。

高精度形状測定システム

Dyvoce（ダイボス）シリーズは、

被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる

非接触形状測定システムです。

使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、

高精度ステージメーカならではの高い信頼性と

モーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

（※1）測定用センサはワークに合わせて最適なものを選定し組み込まれます。 　（※2）ワークにあわせたホルダの製作・組み込みも可能です。

取得データからの 2D/3D 断面形状プロファイルよりグラフ表示・各種計測と、様々な解析を

行います。CSVファイルへのエクスポートや報告書作成に便利なレポート出力も可能です。

測定データから、SEMI 規格の【SORI】【BOW】の値の自動算出を行います。

最大値・最小値ポイントもイメージ内に表示します。

幅・高さなどの 2D、SORI・BOWな

どの3Dデータからの形状計測結果を

レポート形式で出力を行います。

Dyvoce Series

DyvoceAnalyzer（解析ソフトウェア）

レポート作成

SORI・BOW（SEMI Stndard）

SpiderMeasure（間引き測定）　　

GridMaker（複数ワーク一括測定）

■ 傾き補正

3点補正

■ SORI ／ BOW ■ 形状計測

■スキャンモード

■セット画面

■スケジュール

■ フルクラム　（座標軸回転）

■ 形状計測

高さ計測

幅計測

角度計測（3点／2辺挟角）

曲率計測（3点／範囲）

ZOOM

ZOOM

DyvoceMeasure（形状測定ソフトウェア）　　

コントロールBOX変位センサ PC

変位センサ用コントローラ 装置本体（※2）

ウエハ フィルムガラス 電子基板

（※1）

構成図

アプリケーション

機 能 測 定 駆 動 機 能 解 析

豊富な測定駆動を有する制御駆動ソフト

DyvoceMeasure（ダイボスメジャー）

ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆

動・測定機能により、測定パターンを実現

させます。専用解析ソフト形式・CSV 形

式でのデータ保存が可能です。

間引き測定用の駆動パターンの設定を行

います。

クロスライン・インクライン・サークル上

の様々なスキャン測定やこれらの組み合

わせにより、近似的に表面形状を測定す

る機能です。

全面スキャンに対して圧倒的な測定時間

の短縮となります。

複数ワークの測定を一連のシーケンスと

して完了させます。

様々なワーク形状・測定パラメータ・配置

の組み合わせでも対応可能。設定したプ

ログラムごとの個々のデータを順次保存

していきます。

高精度形状測定システム

Dyvoce（ダイボス）シリーズは、

被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる

非接触形状測定システムです。

使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、

高精度ステージメーカならではの高い信頼性と

モーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

（※1）測定用センサはワークに合わせて最適なものを選定し組み込まれます。 　（※2）ワークにあわせたホルダの製作・組み込みも可能です。

取得データからの 2D/3D 断面形状プロファイルよりグラフ表示・各種計測と、様々な解析を

行います。CSVファイルへのエクスポートや報告書作成に便利なレポート出力も可能です。

測定データから、SEMI 規格の【SORI】【BOW】の値の自動算出を行います。

最大値・最小値ポイントもイメージ内に表示します。

幅・高さなどの 2D、SORI・BOWな

どの3Dデータからの形状計測結果を

レポート形式で出力を行います。

Dyvoce Series

DyvoceAnalyzer（解析ソフトウェア）

レポート作成

SORI・BOW（SEMI Stndard）

SpiderMeasure（間引き測定）　　

GridMaker（複数ワーク一括測定）

■ 傾き補正

3点補正

■ SORI ／ BOW ■ 形状計測

■スキャンモード

■セット画面

■スケジュール

■ フルクラム　（座標軸回転）

■ 形状計測

高さ計測

幅計測

角度計測（3点／2辺挟角）

曲率計測（3点／範囲）

ZOOM

ZOOM

DyvoceMeasure（形状測定ソフトウェア）　　

コントロールBOX変位センサ PC

変位センサ用コントローラ 装置本体（※2）

ウエハ フィルムガラス 電子基板

（※1）

構成図

アプリケーション

機 能 測 定 駆 動 機 能 解 析

豊富な測定駆動を有する制御駆動ソフト

DyvoceMeasure（ダイボスメジャー）

ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆

動・測定機能により、測定パターンを実現

させます。専用解析ソフト形式・CSV 形

式でのデータ保存が可能です。

間引き測定用の駆動パターンの設定を行

います。

クロスライン・インクライン・サークル上

の様々なスキャン測定やこれらの組み合

わせにより、近似的に表面形状を測定す

る機能です。

全面スキャンに対して圧倒的な測定時間

の短縮となります。

複数ワークの測定を一連のシーケンスと

して完了させます。

様々なワーク形状・測定パラメータ・配置

の組み合わせでも対応可能。設定したプ

ログラムごとの個々のデータを順次保存

していきます。

高精度形状測定システム

Dyvoce（ダイボス）シリーズは、

被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる

非接触形状測定システムです。

使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、

高精度ステージメーカならではの高い信頼性と

モーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

（※1）測定用センサはワークに合わせて最適なものを選定し組み込まれます。 　（※2）ワークにあわせたホルダの製作・組み込みも可能です。

取得データからの 2D/3D 断面形状プロファイルよりグラフ表示・各種計測と、様々な解析を

行います。CSVファイルへのエクスポートや報告書作成に便利なレポート出力も可能です。

測定データから、SEMI 規格の【SORI】【BOW】の値の自動算出を行います。

最大値・最小値ポイントもイメージ内に表示します。

幅・高さなどの 2D、SORI・BOWな

どの3Dデータからの形状計測結果を

レポート形式で出力を行います。

Dyvoce Series

DyvoceAnalyzer（解析ソフトウェア）

レポート作成

SORI・BOW（SEMI Stndard）

SpiderMeasure（間引き測定）　　

GridMaker（複数ワーク一括測定）

■ 傾き補正

3点補正

■ SORI ／ BOW ■ 形状計測

■スキャンモード

■セット画面

■スケジュール

■ フルクラム　（座標軸回転）

■ 形状計測

高さ計測

幅計測

角度計測（3点／2辺挟角）

曲率計測（3点／範囲）

ZOOM

ZOOM

■ SORI ／ BOW ■ 形状計測

DyvoceMeasure（形状測定ソフトウェア）　　

コントロールBOX変位センサ PC

変位センサ用コントローラ 装置本体（※2）

ウエハ フィルムガラス 電子基板

（※1）

構成図

アプリケーション