ブルガリア科学アカデミー電子工学研究センター〔プロジェクト研究センター設置期間：平成２１年１０月～平成29年5月（予定）〕

センター長 田 中 　 武（たなか　たけし）／工学部　電子情報工学科・教授共同研究者

（学　内）山内　将行（やまうち　まさゆき）／工学部　電子情報工学科・准教授升井　義博（ますい　よしひろ）／工学部　電子情報工学科・助教谷岡　知美（たにおか　ともみ）／工学部　電子情報工学科・助教

センターの概要

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prehensive Research O

rganization Hiroshim

a Institute of Technology

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Ｐ-15Ｐ-14

【分　野】工学（電気電子工学）

【キーワード】電子、イオン、ｘ線、電子材料、電子デバイス、半導体プロセス、X線光電子分光法電子およびイオンを用いた材料の表面改質

（１）主たる研究分野

（２）研究概要　本学電子情報工学科は、1994年より、ブルガリア科学アカデミー電子工学研究所と共同研究を実施してきました。この共同研究を実施することにより、２5の共同研究論文を発表し、ブルガリアと日本の共同研究において、重要な位置を占めてきました。

　研究概要としては、薄膜堆積、電子およびイオンリソグラフィ、エッチング、イオン注入、滅菌などのプロセス、X線光電子分光法、分光、X線回折等の評価、およびシミュレーション、それらの技術の工業、医療、製薬、バイオ、歯学への応用をおこなってきました。

　ここでは、ブルガリア科学アカデミー電子工学研究所との共同研究が、今年度で20年を迎えることから、今までの主要な出来事をまとめてみる。

サボディノフ議長（右）、ブドヴァ教授（中央）、田中（左）2011年

EBT2014で学術業績賞を受賞

ブルガリア科学アカデミーからDIPLOMA Awardを受賞

故　鶴襄名誉総長（左）と固い握手を交わすブドヴァ教授（右）(1998年）

広島工業大学にて、ゼミ生と、ブドヴァ教授（中央）、田中（左）1998年

　ブトヴァ教授（当時講師）を招聘し、本学で、講演と学生指導をしていただきました。

研究成果

1）2014年バルナで開催されたEBT2014に食品生命科学科の角川教授と院生・学生4名と参加し、5件の論文発表を行った。

　今後は、この2国間の研究協力をベースに、多国間での共同研究に発展させるとともに、集積回路を例にあげると、電子機器設計、システム設計、電子回路設計、レイアウト設計、集積回路試作、評価、電子デバイス応用、システム応用、電子機器応用と、設計から試作、応用までの一貫教育の基本的な教育研究を付加し、学際的で、幅広く、そして、特徴のある研究を実施していきたいと思います。　また、2014年でブルガリア科学アカデミー電子工学研究所と、広島工業大学工学部電子情報工学科は、共同研究（最新の協定書（2015年7月13日より3年間））を開始して20周年を迎え、今後の発展が期待されている。

（2）今後の展開・応用分野等

（１）研究成果

共同研究論文は、25論文で、下記に近年の論文を紹介する。1）K.Vutova, G.Mladenov, T.Tanaka, “Photoelectron signal simulation at surface analysis”, Chapter in a special review book “Practical Aspects and

Applications of Electron Beam Irradiation”, еds.: M.Nemtanu, M.Brasoveanu, publ. Research Signpost/Transworld Research Network, 235-254,（2011）.

2）K. Shimono, N. Fujimura, H. Noguchi, H. Toyota, Y. Shirai, T. Tanaka, and K. Vutova, “Pulse width dependence of the self-ignited plasma using a plasma-based ion implantation“, Elektrotechnica & Elektronica, 5・6（2014）pp329-333.

3）H. Kozai, N. Fujimura, H. Noguchi, H.Toyota, Y. Shirai　, T .Tanaka, and K. Vutova, ”PRELIMINARY ESTIMATION OF INCIDENT ION ENERGY BY USING SIMULATION SOFTWARE PEGASUS”, Elektrotechnica & Elektronica, 5・6（2014）pp334-338.

（3）実績（論文・特許・共同研究・産学連携・補助金）等

EBT2014のレジストレーションディスクにおいて、広島工大参加者と、会議秘書との記念撮影

ブルガリア科学アカデミーにて、DIPLOMA Award受賞後の記念撮影（右から2番目（BAS議長, Acad. Stefan VODENICHAROV, D.Sc.））