색 표시식 디지털 플로스위치 - SMCKOREA · 2018-09-18 · 배관방향: 밑면...
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®
RoHS
PFM Series
2색 표시식 디지털 플로스위치
유량조정 밸브
이상 값을 한 눈에 알 수 있음
2색 표시식2색 표시식
건조공기,N2, Ar, CO2
유 체유 체
유량범위 : 10, 25, 50,100L/min.설정최소단위 : 0.01L/min.(유량범위 25, 50, 100L/min의 경우는 0.1L/min)
반복정도 : ±1%F.S.그리스 무도포
유량조정 밸브 일체화(배관절약, 공간절약)
응답시간 : 50msec·0.5sec·1sec·2sec에서 선택 가능
207
유량특성
0 니들 회전수
유량
전원·출력 접속용 커넥터
e-con 커넥터센서접속용 커넥터
원터치 피팅, 암나사, 스트레이트 배관, 밑면 배관의 선택이 가능.
배관공수 삭감, 공간 절약 설치가 가능.특수설계로 니들 회전수에 따른 원활한 유량조절이 가능.
유량에 따라서 점멸속도가 변합니다.또한, 정격유량을 넘으면 녹색에서 적색 점멸로 변합니다.간이 모니터로써 사용 가능.
배선 접속, 분리가 용이.
PFM7 Series
PFM5 Series
PFM3 Series
SET SET SET
OUT1 OUT2OUT1 OUT2OUT1 OUT2
34.5
패널 개구부
패널 개구부는 1개로 OK.패널 커트 공수 삭감 및 공간 절약 설치를 가능하게 하였습니다.
2색 표시식 디지털 플로 스위치2색 표시식 디지털 플로 스위치
풍부한 배관 구성
유량조정밸브를 일체화
인디케이터 기능
커넥터 종, 횡, 밀착 설치가 가능(패널마운트)
점멸속도
빠르다
느리다
유량
크다
적다
점멸
( )안은 유체 CO2의 경우
PFM710PFM725PFM750PFM711
PFM510PFM525PFM550PFM511
0.2~10(0.2~5)0.5~25(0.5~12.5)
1~50(1~25) 2~100(2~50)
PFM3
일체형
측정유량범위(L/min)
분리형
형식형식
센서부 모니터부
208
암나사:Rc 1/8, 1/4・NPT 1/8, 1/4・G 1/8, 1/4원터치 피팅:ø4, ø6, ø8, ø1/4밑면 방향
1 2S
IN
1
1 2S
IN
1
스트레이트 방향밑면 방향스트레이트 방향
1 2S
IN
1 2S
IN
1 2S
IN
1 2S
IN
1 2S
IN
1
1 2S
IN
1
116
1834
68
(PFM711)(PFM711)(PFM711)(원터치 피팅 부착, 유량조정 밸브 없음의 경우) 67
43
기존기종 PF2A711(10〜100L/min)과의 비교
직결배관부48
241.6
88
기존기종 PF2A711(10〜100L/min)에 ø6 원터치 피팅을 부착한 상태에서의 비교.
각 유량 범위(10, 25, 50, 100L/min)모두 같은 크기입니다.
기존 기종 PF2A711:290g
직결배관부 길이※가 불필요하기 때문에 좁은 장소에서 설치가 가능※기존 기종의 경우, 배관 지름 8배의 직결배관부를 마련할 필요가 있습니다.
PFM SeriesPFM SeriesPFM Series
소형소형
경량 : 55g경량 : 55g
배관 공간 삭감배관 공간 삭감
소형
경량 : 55g
배관 공간 삭감
설치방법
배관구성
유량조정없음
유량조정부착
패널 마운트
브라켓
DIN 레일
관통구멍설치
209
표시단위 기준의 선택 사용유체에 따라 ANR과 NL/min의 선택 가능.[ANR]표준상태 : 20°C, 1기압(대기압), 65%RH의 체적으로 환산한 유량표시[NL/min]기준상태 : 0°C, 1기압(대기압)의 체적으로 환산한 유량표시
외부 입력 기능 적산 값 외부 리셋, 오토 시프트, 오토 시프트 제로 중에서 선택 가능.
표시 분해능력 설정최소단위 : 1L/min, 0.1L/min, 0.01L/min의 선택 가능.기종에 따라 다릅니다. 상세한 내용은 사양(P.216,244)을 확인해 주십시오.
클립
원터치 피팅
유량조정밸브
암나사
교환 후에는 정도가 2~3% 변동할 가능성이 있습니다.(반복 정도는 변하지 않습니다.)
설치조건에 따라서 유량조정 밸브의 유무,피팅 종류 및 배관방향을 변경할 수 있습니다. 상세 ⇒ P.242 압축공기의 경우
IDFIDU
AF ARIR
AMDAFD
PFM
상세사항 및 기타 기능에 관해서는 P.248을 참조하십시오.
건조공기, 질소(N2), 아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2)를 누름 버튼 조작으로 선택 가능.
비밀번호를 입력하지 않으면 잠금 모드를 해제할 수 없습니다. 특정한 관리자 이외에는 조작할 수 없도록 기능합니다.
표시를 소등하여 소비전력을 절약합니다.
주요 기능
재조립 가능 추천 공기압 회로 예
사용 유체의 선택
비밀번호 설정기능
전력절약 모드
전력절약 모드 작동시에는 소수점이 점멸하고 있습니다.
점멸 점멸
드라이어 에어 필터 레귤레이터 마이크로
미스트
세퍼레이트
플로
스위치
금선의 텐션 관리
흡착확인
• 적산 표시에 의한 가스통(N2 등)의 사용유량 또는 질량의 확인.
검출카메라
• 리드 프레임 산화 방지용 N2 가스의 유량 관리.
• 카메라의 화면 흐려짐 방지용 N2 블로.
용접기 아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2) 혼합 가스 대응품도 구비하고 있습니다. 상
세는 P.251을 참조하십시오.
적용예
210
・・・・・・・・
・・・・・・・・
보는 각도에 따라읽는 값이 달라집니다.
설치 자세에 제한이 없습니다.
수직방향만 가능
옵션으로광전 스위치 등이 필요
불가하루의 에어 소비량 등 전체적으로 어느 정도 소비했는지 확인 가능.(최대 999999L) 적산펄스 출력도 내장
ON
OFF
ON
OFF
스위치 출력,아날로그 출력 부착
출력 기능 없음
스위치 출력, 아날로그 출력 부착디지털 표시
압력의 영향을 받지 않습니다.
자유로운 설치자세
적산 유량 표시
플로트식 유량계와의 비교
센서 출력에 의한 관리 눈으로 관리
어디에 설치해도 같은 값을 표시합니다.(환산할 필요 없음)
설치 장소에 따라 표시 값이 달라집니다.(환산할 필요 있음)
설정유량에 비해 많은지 적은지의 검출이 가능.유량 상태를 항상 관리할 수 있습니다.
유동자가 통과할 때만 검출 가능.설정 유량에 비해 많은지 적은지의 검출은 불가.
소 유량 소 유량대 대
211
212
특징 P.208~211
압력손실, 유량특성 P.240각부 명칭 P.241유체접촉부 구조도 P.241검출원리 P.241구성부품 P.242
형식표시방법 P.228사양 P.230배관사양/질량 P.231아날로그 출력 P.231내부회로와 배선 예 P.231외형치수도 P.232
PFM7 Series 표시 일체형
PFM5 Series 분리형 센서부
PFM3 Series 유량센서 플로 모니터
주문제작사양
PFM7, PFM5 Series 공통사양
IN측과 OUT측의 배관방향의 조합을 변경 P.249아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2) 혼합가스 대응 P.251
형식표시방법 P.243사양 P.244아날로그 출력 P.244내부회로와 배선 예 P.245외형치수도 P.246기능 해설 P.248
형식표시방법 P.214사양 P.216배관사양/질량 P.217아날로그 출력 P.217내부회로와 배선 예 P.218외형치수도 P.219
2색 표시식 디지털 플로 스위치
213
형식표시방법
PFM7 10 C4 A
단위사양
주1) 고정단위 순간유량 : L/min 적산유량 : L, m3, m3 x 103
주2) 신계량법상(일본에서는 SI단위), 일본외에서만 판매됩니다.
SI단위 고정 주1)
단위전환 기능 부착 주2)M
무기호
M타입
표시 일체형7
유량조정밸브
무기호
S없음
있음
교정 증명서교정 증명서 없음
교정 증명서 첨부무기호
A※또한 서식은 일어, 영어만 병기되어 있습니다. 일어·영어 이외의 언어는 특주가 됩니다.
취급설명서취급설명서 첨부(일어, 영어 병기)
취급설명서 없음
무기호
N
주3)적산 외부 리셋, 오토시프트, 오토시프트 제로 선택 가능.
출력사양
ABCDEFGH
NPN 2출력
PNP 2출력
NPN 1출력 + 아날로그(1 ~ 5V)NPN 1출력 + 아날로그(4 ~ 20mA)PNP 1출력 + 아날로그(1 ~ 5V)PNP 1출력 + 아날로그(4 ~ 20mA)NPN 1출력 + 외부입력 주3)
PNP 1출력 + 외부입력 주3)
배관 취출방향
무기호
L스트레이트
밑면
원터치 피팅 부착(C4, C6, C8, N7) 암나사(01, 02, N01, N02, F01, F02)스트레이트(무기호)
유량조정밸브없음
(무기호)
유량조정밸브부착(S)
밑면(L) 스트레이트(무기호) 밑면(L)
1 2S
IN
1 2S
IN
1
1 2S
IN
1 2S
IN
1
1 2S
IN
1 2S
IN
1 2S
IN
1
1 2S
IN
1
배관구성
관접속구경
기호 내용유량범위
10
25
50
11
0102
N01N02F01F02C4C6C8N7
ø4(5/32") 원터치 피팅
ø6 원터치 피팅
ø8(5/16") 원터치 피팅
ø1/4 원터치 피팅
Rc1/8Rc1/4
NPT1/8NPT1/4G1/8※
G1/4※
※ISO228-1준거
0.2 ~ 10(5)L/min0.5 ~ 25(12.5)L/min1 ~ 50(25)L/min2 ~ 100(50)L/min
10255011
※( )는 유체가 CO2인 경우
정격유량범위(유량범위)
표시일체형
옵션 1 (P.215를 참조하십시오.)
옵션 2 (P.215를 참조하십시오.)
주문제작품 (P.215,249를 참조 하십시오.)
※IN측·OUT측 배관방향의 조합은 주문제작 사양입니다. (P.249 참조)
PFM7 Series
®
RoHS2색 표시식
디지털 플로 스위치 표시 일체형
214
옵션 2
DIN 레일 설치금구(별도주문품)
ZS-33-JZS-33-M ZS-33-MS
ZS 33 R연수
1연
2연
3연
4연
5연
12345
무기호
없음
V패널 마운트 어댑터
(유량조정밸브 부착용)
R브라켓
(유량조정밸브 없음용)
S브라켓
(유량조정밸브 부착용)
배관방향: 밑면 배관타입에는 장착할 수 없습니다.
T패널 마운트 어댑터
(유량조정밸브 없음용)
ZS-33-JS
주문제작사양
X693X694
X731
배관 취출방향의 조합 변경
아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2)혼합가스 대응
사양/내용표시기호
상세한 것은 P.249〜251을 참조 하십시오.
장착금구
패널 마운트어댑터 B
패널 마운트어댑터 A
패널
패널 마운트어댑터 A
패널
패널 마운트어댑터 B
장착금구
장착나사(부속품)
장착나사(부속품)
·각 옵션은 제품에 조립되어 있지 않습니다. 동봉 출하 됩니다.
옵션 1무기호
커넥터 부착 리드선 부착(2m)Z
커넥터 부착 리드선 없음
ZS-33-D1 2
S
IN
리드선 길이 2m
W커넥터 부착 리드선 부착(2m) +
커넥터부용 고무커버(실리콘 고무)
ZS-33-F
ZS-33-D1 2
S
IN
리드선 길이 2m
• DIN레일은 고객님께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4는 DIN 레일을 설치는 할 수 없습니다.
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7 Series
215
PFM7 Series
사양
주1) 10L/min 타입에서 최소설정단위 0.01L/min을 선택한 경우는 표시 상한은 [9.99L/min]가 됩니다. 100L/min 타입에서 최소설정단위 0.1L/min을 선택한 경우는 표시 상한은 [99.9L/min]가 됩니다.주2) PFM710은 0.01L/min과 0.1L/min을, PFM711은 0.1L/min와 1L/을 선택할 수 있습니다. 표시단위에서 “CFM”을 선택한 경우는 설정최소단위를 변경 할 수 없습니다. 공장출하시 PFM710은 0.1L/min, PFM711은 1L/min으로 설정되어 있습니다.주3) 제품출하시는 <ANR>입니다. <ANR>이란 표준상태를 나타내며 20°C, 1atm, 65%R.H.를 기준으로 하고 있습니다. NL/min이란 기준상태를 나타내며 0°C, 1atm을 기준으로 하고 있습니다. 단위전환 기능부착의 경우(단위전환기능이 없는 타입에 관해서는 SI 단위(L/min 또는 L)로 고정됩니다. 주4) 전원 OFF시 클리어 됩니다. 유지기능을 선택할 수 있습니다.(2분 간격 또는 5분 간격으로 선택가능) 5분 간격을 선택한 경우, 기억소자(전자부품)의 수명 100만회(24시간 통전한 경우, 5분 x 100만회 = 500만분 = 9.5년)로 제한되므로, 유지기능을 사용하는 경우는 사용조건 에서 수명을 계산하여 수명 범위 내에서 사용하십시오.주5) 1.5s(90%)로 설정되어 있으며, 100ms의 선택도 가능합니다.주6) 출하시에는 히스테리시스 모드로 되어 있습니다. 누름버튼 조작으로 윈도우 분할모드를 선택할 수 있습니다.주7)배선 및 나사의 규격에 대해서는 당사 홈페이지(http://www.smckorea.co.kr)에서 취급설명서의 내용을 확인해 주십시오.주8)품질 향상에 노력하고 있습니다만, 성능에 지장이 없는 외관의 가벼운 긁힘, 오염, 표시색, 밝기 얼룩 등은 양품으로 하고 있습니다.
규격
형식 PFM710 PFM725 PFM750 PFM711
적용유체
압력특성
반복정도
사용압력범위
정격압력범위
내압력
적산유량범위
스위치 출력
적산펄스출력
외부입력
표시방식
동작표시등
전원전압
소비전류
내환경
표시단위 주3)
설정최소단위 주2)
적산 펄스의 유량 환산값
정격유량범위(유량범위)
건조공기, N2, ArCO2
최대부하전류
최대인가전압
내부강하전압
응답시간
출력보호
보호구조
사용유체온도
사용온도범위
사용습도범위
내전압
절연저항
히스테리시스 모드
윈도우 분할모드
응답시간
표시가능범위 주1)
설정가능범위 주1)
건조공기, N2, ArCO2
건조공기, N2, ArCO2
건조공기, N2, Ar, CO2
(공기의 품질등급은 JIS B8392-1 1.1.2 ~ 1.6.2, ISO8573-1 1.1.2 ~ 1.6.2.)0.2 ~ 10 L/min0.2 ~ 5 L/min0.2 ~ 10.5 L/min0.2 ~ 5.2 L/min 0 ~ 10.5 L/min 0 ~ 5.2 L/min
0.5 ~ 25 L/min0.5 ~ 12.5 L/min0.5 ~ 26.3 L/min0.5 ~ 13.1 L/min 0 ~ 26.3 L/min 0 ~ 13.1 L/min
±5%F.S.(0.35MPa 기준)
–100 kPa ~ 750 kPa–70 kPa ~ 750 kPa
1 MPa최대 999999L 주4)
NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력
80mADC28V(NPN 출력시)
NPN출력 : 1V 이하(80mA일 때) PNP출력 : 1.5V 이하(80mA일 때)1s(50ms, 0.5s, 2s를 선택 가능)
단락보호
NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력(스위치 출력과 동일)1.5 s 이하(90% 응답)
가변
가변
무전압 입력(유접점 또는 무접점) 입력 30ms 이상
3digit, 7세그먼트 표시기 2색표시(적색/녹색) 갱신주기 : 10회/1sOUT1 : ON시 점등(녹색), OUT2 : ON시 점등(적색)
DC24V ±10%55mA 이하
IP400 ~ 50°C(동결 및 결로 없어야 함)
동작시 : 0 ~ 50°C 보존시 : –10 ~ 60°C(동결 및 결로 없어야 함)동작시, 보존시 35 ~ 85%R.H.(결로 없어야 함)
AC1000V, 1분간 외부단자와 케이스사이
50MΩ 이상(DC500V mega계에서) 외부단자와 케이스사이
CE UL,CSA RoHS
순간유량 L/min, CFM x 10-2
적산유량 L, ft3 x 10-1
±2%F.S.(15 ~ 35°C)±5%F.S.(0 ~ 50°C)
출력전압 : 1 ~ 5V출력 임피던스 : 1kΩ출력전류 : 4 ~ 20mA
최대 부하 임피던스 : 600Ω, 최소 부하 임피던스 : 50Ω
정도
온도특성
아날로그 출력 주5)
응차 주6)
1 ~ 50 L/min1 ~ 25 L/min1 ~ 52.5 L/min1 ~ 26.2 L/min0 ~ 52.5 L/min0 ~ 26.2 L/min
2 ~ 100 L/min2 ~ 50 L/min2 ~ 105 L/min2 ~ 52 L/min0 ~ 105 L/min0 ~ 52 L/min
전압출력
전류출력
0.01 L/min0.1 L/pulse
0.1 L/min0.1 L/pulse
0.1 L/min0.1 L/pulse
0.1 L/min1 L/pulse
±1%F.S. (유체:건조공기에서)아날로그 출력:±3%F.S.
표시정도:±3%F.S. (유체:건조공기에서)아날로그 출력정도:±5%F.S.
플로스위치 공통주의사항에 대해서는 P.202,203을, 제품개별 주의사항에 대해서는 당사 홈페이지의 「취급 설명서」를 확인해 주십시오. 상세 내용은 여기를 클릭해 주십시오.
216
2색 표시식/디지털 플로스위치 PFM7 Series
정격유량 범위내의 값으로 유량 설정을 하십시오.설정가능범위라는 것은 스위치로 설정 가능한 유량범위를 의미합니다.정격유량범위라는 것은 스위치의 제품사양(정도, 직선성 등)을 만족하는 유량범위를 의미합니다.정격유량범위를 초과한 값이라도 설정가능 범위 이내이면 설정이 가능하나 사양을 보증하는 것은 아닙니다.사용유체가 CO2인 경우는 ( )안의 유량범위가 됩니다.
정격유량범위
설정가능범위 표시가능범위
센서0.2L/min 0.5L/min 1L/min 2L/min 10L/min 25L/min 50L/min 100L/min
유량 범위
PFM710PFM510
PFM725PFM525
PFM750PFM550
PFM711PFM511
0.2L/min
0
0
0
0
100L/min(50L/min)
105L/min(52L/min)105L/min(52L/min)
50L/min (25L/min)52.5L/min (26.2L/min)52.5L/min (26.2L/min)
10L/min (5L/min)0.2L/min
10.5L/min (5.2L/min)
25L/min (12.5L/min)
26.3L/min (13.1L/min)
PFM5 시리즈의 경우는 플로모니터 PFM3 시리즈의 표시유량범위, 설정유량범위와 동일합니다.
1L/min1L/min
0.5L/min0.5L/min
2L/min2L/min
10.5L/min (5.2L/min)
26.3L/min (13.1L/min)
설정유량범위와 정격유량범위
배관사양/질량
아날로그 출력 주) CO2 선택 시의 최대정격유량 값에서의 아날로그 출력은 전압 출력 타입이 3[V], 전류출력 타입이 12 [mA] 입니다.
품번 01
관접속구경
질량
유체접촉부 재질
스트레이트 오리피스 없음 : 125g밑면 오리피스 없음 : 135g스트레이트 오리피스 부착 : 165g밑면 오리피스 부착 : 175g
스트레이트 오리피스 없음 : 55g밑면 오리피스 없음 : 65g스트레이트 오리피스 부착 : 95g밑면 오리피스 부착 : 105g
스트레이트 오리피스 없음 : 95g밑면 오리피스 없음 : 105g스트레이트 오리피스 부착 : 135g밑면 오리피스 부착 : 145g
LCP, PBT, 황동(무전해 니켈도금), HNBR (+ 불소 코팅), FKM (+ 불소 코팅), 실리콘, Au, SUS304
Rc1/8
02
Rc1/4
N01
NPT1/8
N02
NPT1/4
F01
G1/8 G1/4
C4F02ø4
(5/32")원터치피팅
C6ø6
원터치피팅
C6ø8
(5/16")원터치피팅
N71/4
원터치피팅
10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)
PFM710--C/EPFM725--C/EPFM750--C/EPFM711--C/E
아날로그 전압 출력(1 ~ 5V)
형식최대정격
유량[L/min]
10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)
PFM710--D/FPFM725--D/FPFM750--D/FPFM711--D/F
아날로그 전류 출력(4 ~ 20mA)
형식최대정격
유량[L/min]
최대정격 유량값0
4
20
아날로그
출력
[V]
아날로그
출력
[mA]
최대정격 유량값0
0 0
1
5
※( )안은 유체 CO2일 경우※( )안은 유체 CO2일 경우
217
ーB/E/F/H
ーA/C/D/G
적산 펄스 출력 배선 예
ーANPN(2출력)
ーBPNP(2출력)
ーGNPN(1출력)+외부 입력
ーE/FE:PNP(1출력)+아날로그 전압출력F:PNP(1출력)+아날로그 전류출력
ーC/DC:NPN(1출력)+아날로그 전압출력D:NPN(1출력)+아날로그 전류출력
ーHPNP(1출력)+외부 입력
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
DC24V메인회로
메인회로
메인회로
메인회로
메인회로
U
U
+−
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 外部入力
청색 DC(−)
DC24V
메인회로
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 아날로그 출력
청색 DC(−)
DC24VU +−
U
U
+−
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
DC24V
U U
+−
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 아날로그 출력
청색 DC(−)
DC24V
U
+−
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 외부 입력
청색 DC(−)
DC24V
U
U
+−
흑색 OUT1
백색 OUT2(PFM7--A-만 해당)
청색 DC(−)
Max.28V80mA
부하
부하
갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 OUT2(PFM7--B-만 해당)
Max.80mA부하
부하
또는0V
50msec 50msec
또는0V
50msec 50msec
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
내부회로와 배선 예
PFM7 Series
218
외형치수도
PFM7-C4/C6/C8/N7(mm)
원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
64.264.668 64.6
PFM7-C4L/C6L/C8L/N7L(mm)
원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
10.110.312 10.3
18
48
A
1 IN
OUT1
DC(−)
OUT2
DC(+)
2×원터치 피팅
1 IN
2×원터치 피팅
OUT1
DC(−)
OUT2
DC(+)
18
48
88
18
68
10.2
3(34
.2)
143
A
2×3.4 OUTIN
18
10.2
143
3
13
(34
.2)
2×3.4
IN OUT
28
8
2×2.5 깊이5
28
8
2×2.5 깊이5
22
14.8
9.4
커넥터부용 고무커버 부착
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7 Series
219
외형치수도
PFM7-(N)01/(N)02/F01
PFM7-(N)01L/(N)02L/F01L
48
70
육각대변
17
18
1 IN
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×3.4
18
143
13
10.2
3
(34.
2) IN OUT
88
48
18
1 IN
육각대변 17
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
68
3
(34.
2)
18
43
10.2
113
2×3.4IN OUT
28
8
2×2.5 깊이5
8
28
8
2×2.5 깊이5
PFM7 Series
220
외형치수도
PFM7-F02
PFM7-F02L
1 IN
18
OUT1
DC(−)
OUT2
DC(+)
2×관접속구경
G1/418
10.2
13
(34
.2)43
1
3
2×3.4
IN OUT
48
78
육각대변
21
1 IN
육각대변 21
DC(+)
OUT2
2×관접속구경
G1/4
OUT1
DC(−)
88
48
18
18
2×3.4
68
1743
1
3(34
.2)
10.2
IN OUT
2×2.5 깊이5
8
28
8
28
2×2.5 깊이5
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7 Series
221
외형치수도
PFM7S-C4/C6/C8/N7(mm)
원터치 피팅적용 튜브 외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
92.292.696 92.6
PFM7S-C4L/C6L/C8L/N8L(mm)
원터치 피팅적용 튜브 외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
10.110.312 10.3
18
4858
88
1 IN
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×원터치 피팅
10.2
3
(34
.2)
A43
1
18
68
51.5(
Max
.58.
5)
2×3.4IN OUT
1 IN
DC(−)
OUT1
DC(+)
OUT2
2×원터치 피팅
18
48
58
76
A
51.5(
Max
.58.
5)
13
(34
.2)
310.2
431
18
2×3.4
IN OUT
28 20
8
3×2.5 깊이5
2×2.5 깊이5
28
8
PFM7 Series
222
외형치수도
PFM7S-(N)01/(N)02/F01
PFM7S-(N)01L/(N)02L/F01L
1 IN
육각대변 17
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
48
58
88
18
10.2
3
(34.
2)
18
68
1343
1
51.5
(Max
.58.
5)
2×3.4IN OUT
1 IN
DC(−)
OUT1 OUT2
DC(+)
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
18
48
5876
98
육각대변
17
18
13
(34.
2)431
10.2
51.5
(Max
.58.
5)
3
2×3.4
IN OUT
28 20
8
3×2.5 깊이5
2×2.5 깊이5
28
8
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7 Series
223
외형치수도
PFM7S-F02
PFM7S-F02L
1 IN
육각대변 212×관접속구경
OUT2
DC(+)DC(−)
OUT1
G1/4
18
88
58
48
51.5(
Max
.58.
5)
68
2×3.4
181743
3(34
.2)
1
10.2
IN OUT
1 IN
2×관접속구경
G1/4
OUT2
DC(+)
OUT1
DC(−)
육각대변
21
106
76
58
48
18
2×3.4
51.5(
Max
.58.
5)
10.2
18
431
13
(34
.2)
3IN OUT
28 20
8
3×2.5 깊이5
28
8
2×2.5 깊이5
999
PFM7 Series
224
외형치수도
패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음/스트레이트 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착/스트레이트
패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착
(mm)원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
92.292.696 92.6
(mm)원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
64.264.668 64.6
A58
2829.9
OUT
패널
두께
1~
3.2
42.5
3
IN
78
2829.9
3
패널
두께
1~3.
2
51.5(
Max
.58.
5)
76
A42
.53
93
78
182829.9
42.5
3
패널
두께
1~3.
2
51.5(
Max
.58.
5)
29.9 28 18
88
58
342
.5
패널
두께
1~
3.2
주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고 려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.
패널 컷 치수
패널 두께 1~3.2mm주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고
려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.
패널 컷 치수
패널 두께 1~3.2mm
94 이상 주)
74 +0.5 0
34 이
상
24+
0.5
0
94 이상 주)
54 +0.5 0
34 이
상
24+
0.5
0
4×R3 이하
4×R3 이하4×R3 이하
4×R3 이하 4×R3 이하4×R3 이하
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7 Series
225
18×n개+34.418
48
11IN1 IN IN
4352
.4
34 26 18
24 28
76
4×3.4
36
431.
2
48
18
1.2
51.5(
Max
.58.
5)18
4348
483628
34 26 18
4×3.4
외형치수도
• DIN 레일은 고객께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4은 DIN레일 장착이 불가능합니다.
브라켓 장착/유량조정 밸브 없음 브라켓 장착/유량조정 밸브 부착
DIN 레일 장착
5±2
6.5
+21−
2020 +50 0
20 0−5
30±3
커넥터부착 리드선
ZS-33-D갈색
백색
흑색
청색 끝단 세미 스트립 처리
절연체
완성품 외경
공칭 단면적
외경
외경
색상
재질
도체
피복
AWG26약 0.50mm약 1.00mm
갈색, 백색, 흑색, 청색
내유성 PVCø3.5
커넥터 부착 리드선의 케이블 사양
PFM7 Series
226
227
형식표시방법
유량조정밸브없음
(무기호)
유량조정밸브부착(S)
밑면(L) 밑면(L)
배관구성
PFM5 10 C4 1타입
분리형 센서부5
유량조정밸브
무기호
S없음
있음
교정 증명서교정 증명서 없음
교정 증명서 첨부무기호
A※또한 서식은 일어, 영어만 병기된 것입니다. 일어·영어 이외의 언어는 특주가 됩니다.
취급설명서취급설명서 첨부(일어, 영어 병기)
취급설명서 없음
무기호
N
출력사양무기호
12
내용
아날로그 출력(1 ~ 5V)아날로그 출력(4 ~ 20mA)
적용 표시부
PFM30PFM31
배관 취출방향
무기호
L스트레이트
밑면
관접속구경
※IN측·OUT측 배관방향의 조합은 주문제작사양입니다. (P.249 참조)
0.2 ~ 10(5) L/min0.5 ~ 25(12.5) L/min1 ~ 50(25) L/min2 ~ 100(50) L/min
10255011
※( )는 유체가 CO2인 경우
정격유량범위(유량범위)
옵션 1 (P.229를 참조하십시오.)
옵션 2 (P.229를 참조하십시오.)
주문제작품(P.229, 249를 참조 하십시오.)
기호 내용유량범위
10
25
50
11
0102
N01N02F01F02C4C6C8N7
Rc1/8Rc1/4
NPT1/8NPT1/4G1/8※
G1/4※
※ISO228-1 준거
ø4(5/32") 원터치 피팅
ø6 원터치 피팅
ø8(5/16") 원터치 피팅
ø1/4 원터치 피팅
원터치 피팅 부착(C4, C6, C8, N7) 암나사(01, 02, N01, N02, F01, F02)스트레이트(무기호) 스트레이트(무기호)
분리형 센서부
PFM5 Series
®
RoHS2색 표시식
디지털 플로 스위치 분리형 센서부
228
DIN 레일 설치금구(별도주문품)
ZS-33-JZS-33-M ZS-33-MS
ZS 33 R연수
1연
2연
3연
4연
5연
12345
무기호
없음
V패널 마운트 어댑터
(유량조정밸브 부착용)
옵션 1무기호
커넥터 부착 리드선 부착(2m)
R브라켓
(유량조정밸브 없음용)
S브라켓
(유량조정밸브 부착용)
배관방향: 밑면 배관타입에는 장착할 수 없습니다.
T패널 마운트 어댑터
(유량조정밸브 없음용)
Z커넥터부착 리드선 없음
옵션 2
ZS-33-D
ZS-33-JS
장착금구
패널 마운트어댑터 B
패널 마운트어댑터 A
패널
패널 마운트어댑터 A
패널
패널 마운트어댑터 B
장착금구
장착나사(부속품)
장착나사(부속품)
리드선 길이 2m 리드선 길이 2m
· 각 옵션은 제품에 조립되어 있지 않습니다. 동봉 출하됩니다.
주문제작사양
X693X694
배관 취출방향의 조합 변경
사양/내용표시기호
상세한 것은 P.249, 250을 참조 하십시오.
W커넥터 부착 리드선 부착(2m) +
커넥터부용 고무커버(실리콘고무)
ZS-33-F
ZS-33-D
• DIN레일은 고객님께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4는 DIN 레일을 설치할 수 없습니다.
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM5 Series
229
사양
주1) 유량단위는 표준상태(20, 1atm, 65%R.H.)를 기준으로 하고 있습니다.주2)배선 및 나사의 규격에 대해서는 당사 홈페이지(http://www.smckorea.co.kr)에서 취급설명서의 내용을 확인해 주십시오.주3)품질 향상에 노력하고 있습니다만, 성능에 지장이 없는 외관의 가벼운 긁힘, 오염, 표시색, 밝기 얼룩 등은 양품으로 하고 있습니다.
형식 PFM510 PFM525 PFM550 PFM511
적용유체
압력특성
반복정도
사용압력범위
정격압력범위
내압력
동작표시등
전원전압
소비전류
내환경
규격
정격유량범위 주1)
(유량범위)건조공기,N2,ArCO2
응답시간
보호구조
사용유체온도
사용온도범위
사용습도범위
내전압
절연저항
전압출력
전류출력
건조공기,N2,Ar,CO2
(공기의 품질등급은 JIS B8392-1 1.1.2~1.6.2,ISO8573-1 1.1.2~1.6.2)0.2~10L/min0.2~5L/min
0.5~25L/min0.5~12.5L/min
±1%F.S.(유체: 건조공기에서)±5%F.S.(0.35MPa 기준)
−100kPa~750kPa−70kPa~750kPa
1MPa 50msec 또는 1s (응답시간 선택기능 부착: 무전압 입력시에 1s 입니다.)
±2%F.S.(15~35)±5%F.S.(0~50)
출력전압: 1 ~ 5 V출력 임피던스: 1 kΩ
출력전류: 4 ~ 20 mA최대부하 임피던스: 600Ω, 최소부하 임피던스: 50Ω
전원 ON 인디케이터 : 전원 투입 상태에서 점등(녹색)유량 인디케이터 : 유량 인가 상태에서 점멸(녹색)
정도
온도특성
아날로그 출력
±3%F.S.(유체: 건조공기에서)
1~50L/min1~25L/min
2~100L/min2~50L/min
DC24V±10%35mA 이하
IP400 ~ 50°C(동결 및 결로 없어야 함)
동작시 : 0 ~ 50°C 보존시 : –10 ~ 60°C(동결 및 결로 없어야 함)동작시, 보존시 35 ~ 85%R.H.(결로 없어야 함)
AC1000V, 1분간 외부단자와 케이스사이
50MΩ 이상(DC500V mega에서) 외부단자와 케이스사이
CE UL,CSA RoHS
PFM5 Series
플로스위치 공통주의사항에 대해서는 P.202,203을, 제품개별 주의사항에 대해서는 당사 홈페이지의 「취급 설명서」를 확인해 주십시오. 상세 내용은 여기를 클릭해 주십시오.
230
아날로그 출력
품번 01
관접속구경
질량
유체접촉부 재질
스트레이트 오리피스 없음 : 125g밑면 오리피스 없음 : 135g스트레이트 오리피스 부착 : 165g밑면 오리피스 부착 : 175g
스트레이트 오리피스 없음 : 55g밑면 오리피스 없음 : 65g스트레이트 오리피스 부착 : 95g밑면 오리피스 부착 : 105g
스트레이트 오리피스 없음 : 95g밑면 오리피스 없음 : 105g스트레이트 오리피스 부착 : 135g밑면 오리피스 부착 : 145g
LCP, PBT, 황동(무전해 니켈도금), HNBR (+ 불소 코팅), FKM (+ 불소 코팅), 실리콘, Au, SUS304
Rc1/8
02
Rc1/4
N01
NPT1/8
N02
NPT1/4
F01
G1/8 G1/4
C4F02ø4
(5/32")원터치피팅
C6
ø6원터치피팅
C6ø8
(5/16")원터치피팅
N7
1/4원터치피팅
10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)
PFM510--1PFM525--1PFM550--1PFM511--1
아날로그 전압 출력(1 ~ 5V)형식
최대정격유량값[L/min]
10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)
PFM510--2PFM525--2PFM550--2PFM511--2
아날로그 전류 출력(4 ~ 20mA)형식
최대정격유량값[L/min]
최대정격 유량값0
4
20
최대정격 유량값0
0
0
1
5
※( )안은 유체 CO2일 경우
※( )안은 유체 CO2일 경우
주) CO2 선택시의 최대정격유량 값에서의 아날로그 출력은, 전압 출력 타입이 4.57[V], 전류출력 타입이 18.28 [mA] 입니다.
배관사양/질량
아날
로그
출력
[V]
아날
로그
출력
[mA]
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM5 Series
231
내부회로와 배선 예
ー1/21:아날로그 전압출력2:아날로그 전류출력
메
인
회
로
부하
갈색 DC(+)
흑색 아날로그 출력
백색 응답시간 선택 입력
청색 DC(-)
DC24VU
U
+-
외형치수도
PFM5-C4/C6/C8/N7(mm)
원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
64.264.668 64.6
PFM5-C4L/C6L/C8L/N7L(mm)
원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
10.110.312 10.3
1 IN
OUT1
DC(−)
OUT2
DC(+)
2×원터치 피팅
1 IN
2×원터치 피팅
OUT1
DC(−)
OUT2
DC(+)
18
68
10.2
3(34
.2)43
A
2×3.4 OUTIN
18
10.2
43
3
13
(34
.2)
2×3.4
IN OUT18
48
A
FLOW SENSORPOWER FLOW
18
48
88
FLOW SENSORPOWER FLOW
28
8
2×2.5 깊이5
28
8
2×2.5 깊이5
22
14.8
9.4
커넥터부용 고무커버 부착
PFM5 Series
232
외형치수도
PFM5-(N)01/(N)02/F01
PFM5-(N)01L/(N)02L/F01L
1 IN
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×3.4
18
43
13
10.2
3
(34.2) IN OUT
1 IN
육각대변 17
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
68
3
(34.2)
18
43
10.2
13
2×3.4IN OUT
48
70
육각대변
17
18
FLOW SENSORPOWER FLOW
88
48
18
FLOW SENSORPOWER FLOW
28
8
2×2.5 깊이5
28
8
2×2.5 깊이5
8
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM5 Series
233
외형치수도
PFM5-F02
PFM5-F02L
1 IN
18
OUT1
DC(−)
OUT2
DC(+)
2×관접속구경
G1/418
10.2
13
(34
.2)43
3
2×3.4
IN OUT
1 IN
육각대변 21
DC(+)
OUT2
2×관접속구경
G1/4
OUT1
DC(−)
18
2×3.4
68
1743
3(34
.2)
10.2
IN OUT
48
78
육각대변
21
FLOW SENSORPOWER FLOW
88
48
18
FLOW SENSORPOWER FLOW
2×2.5 깊이5
8
28
8
28
2×2.5 깊이5
PFM5 Series
234
외형치수도
PFM5S-C4/C6/C8/N7(mm)
원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
92.292.696 92.6
PFM5S-C4L/C6L/C8L/N8L(mm)
원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4"
A
10.110.312 10.3
1 IN
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2원터치 피팅
1 IN
DC(−)
OUT1
DC(+)
OUT2
2원터치 피팅
51.5(
Max
.58.
5)
13
(34
.2)
310.2
43
18
23.4
IN OUT
18
4858
76
A
FLOW SENSORPOWER FLOW
10.2
3
(34
.2)
A43
18
68
51.5(
Max
.58.
5)
23.4IN OUT
18
4858
88
FLOW SENSORPOWER FLOW
28 20
8
32.5 깊이5
22.5 깊이5
28
8
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM5 Series
235
외형치수도
PFM5S-(N)01/(N)02/F01
PFM5S-(N)01L/(N)02L/F01L
1 IN
육각대변 17
DC(+)DC(−)
OUT2OUT1
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
10.2
3
(34.
2)
18
68
1343
51.5
(Max
.58.
5)
2×3.4IN OUT
1 IN
DC(−)
OUT1 OUT2
DC(+)
2×관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4G1/8
18
13
(34.
2)43
10.2
51.5
(Max
.58.
5)
3
2×3.4
IN OUT
18
48
5876
98
육각대변
17
FLOW SENSORPOWER FLOW
48
58
88
18
FLOW SENSORPOWER FLOW
28 20
8
3×2.5 깊이5
2×2.5 깊이5
28
8
PFM5 Series
236
외형치수도
PFM5S-F02
PFM5S-F02L
1 IN
육각대변 212×관접속구경
OUT2
DC(+)DC(−)
OUT1
G1/4
51.5(
Max
.58.
5)
68
2×3.4
181743
3(34
.2)
10.2
IN OUT
1 IN
2×관접속구경
G1/4
OUT2
DC(+)
OUT1
DC(−)
2×3.4
51.5(
Max
.58.
5)
10.2
18
43
13
(34
.2)
3IN OUT
육각대변
21
106
76
58
48
18
FLOW SENSORPOWER FLOW
18
88
58
48
FLOW SENSORPOWER FLOW
28 20
8
3×2.5 깊이5
28
8
2×2.5 깊이5
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM5 Series
237
OUT
패널
두께
1~
3.2
42.5
3
IN
3
패널
두께
1~3.
2
51.5(
Max
.58.
5)
76
A42
.53
42.5
3
패널
두께
1~3.
2
51.5(
Max
.58.
5)
342
.5
패널
두께
1~
3.2
주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고 려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.
패널 컷 치수
패널 두께 1~3.2mm주) 배관취출방향 : 밑면인 경우의 최소값입니다. 스트레이트 배관인 경우는 배관재,튜브를 고
려한 다음 설계 하시기 바랍니다. 모서리부를 라운드 처리할 경우는 R3 이하로 하십시오.
패널 컷 치수
패널 두께 1~3.2mm
94 이상 주)
74 +0.5 0
34 이
상
24+
0.5
0
94 이상 주)
54 +0.5 0
34 이
상
24+
0.5
0
외형치수도
패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음/스트레이트 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착/스트레이트
패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 없음 패널 마운트 어댑터/유량조정 밸브 부착
(mm)원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
92.292.696 92.6
(mm)원터치 피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
64.264.668 64.6
78
2829.9 FLOW SENSOR
POWER FLOW
A58
2829.9 FLOW SENSOR
POWER FLOW
29.9 28 18
88
58
FLOW SENSORPOWER FLOW
93
78
182829.9 FLOW SENSOR
POWER FLOW
4×R3 이하
4×R3 이하
4×R3 이하 4×R3 이하
4×R3 이하
4×R3 이하
PFM5 Series
238
11IN1 IN IN
4352
.4
431.
2
48
18
1.2
51.5(
Max
.58.
5)18
4348
외형치수도
브라켓 장착/유량조정 밸브 없음 브라켓 장착/유량조정 밸브 부착
DIN레일 장착
5±2
6.5
+21−
2020 +50 0
20 0−5
30±3
커넥터부착 리드선ZS-33-D
483628
34 26 18
4×3.4
FLOW SENSORPOWER FLOW
34 26 18
24 28
76
4×3.4
36
FLOW SENSORPOWER FLOW
18×n개+34.418
48
FLO
W S
ENSO
RPO
WER
FLO
W
FLO
W S
ENSO
RPO
WER
FLO
W
FLO
W S
ENSO
RPO
WER
FLO
W
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM5 Series
갈색
백색
흑색
청색 끝단 세미 스트립 처리
※PFM3시리즈와 접속
AWG26약 0.50mm약 1.00mm
갈색, 백색, 흑색, 청색
내유성 PVCø3.5
절연체
완성품 외경
공칭 단면적
외경
외경
색상
재질
도체
피복
커넥터 부착 리드선의 케이블 사양
• DIN 레일은 고객께서 준비하시기 바랍니다.• 관접속구경 F02 : G1/4은 DIN레일 장착이 불가능합니다.
239
PFM7/PFM5 Series
공통사양
압력 손실(0.35[MPa] 압력일 때)
유량특성
PFM710, 510/10(L/min)용
압력손실
(kPa
)
0.35
0.30
0.25
0.20
0.15
0.10
0.05
유량(L/min)1 2 4 6 8 100
PFM750, 550/50(L/min)용
압력손실
(kPa
)
4
3
2
1
유량(L/min)5 10 20 30 40 500
PFM711, 511/100(L/min)용
PFM725, 525/25(L/min)용
압력손실
(kPa
)
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
유량(L/min)5 10 15 20 250
압력손실
(kPa
)14
12
10
8
6
4
2
유량(L/min)10 20 40 60 80 1000
PFM725, 525/25(L/min)용
PFM711, 511/100(L/min)용
PFM710, 510/10(L/min)용
PFM750, 550/50(L/min)용60
40
20
05 10 150
유량
(L/m
in)
니들 회전수
0.75MPa0.3MPa
0.1MPa
유량
(L/m
in)
니들 회전수
120
100
80
60
40
20
5 10 150
0.75MPa
0.3MPa
0.1MPa
유량
(L/m
in)
니들 회전수
30
20
10
5 10 150
0.75MPa 0.3MPa
0.1MPa유량
(L/m
in)
니들 회전수
15
10
5
05 10 15
0.75MPa 0.3MPa
0.1MPa
240
!1
!5 !2
!3
!6
!7
!4
q w
w
qoire uy!0 ot
유체접촉부 구조도
구성부품
배관 피팅
O-ringO-ring정류 모듈
몸체
센서 하우징
센서 칩오리피스
패킹
Mesh밑면 배관 어댑터
O-ring유량조정밸브 Ass'y몸체 B니들
O-ringO-ring
No. 명칭 비고
1234567891011121314151617
무전해 니켈도금
불소 코팅
불소 코팅
무전해 니켈도금
불소 코팅
불소 코팅
무전해 니켈도금
무전해 니켈도금
불소 코팅
불소 코팅
재질
황동
FKMHNBR
PBTLCP
실리콘
황동
FKM
PBTHNBRPBT황동
황동
HNBRHNBR
SUS304
SUS304
검출원리
멤브레인 상에 제작된 백금의 얇은 막으로 된 히터(Rh)를 중심으로 대칭으로 배치된 상류 측온 센서
(Ru) 및 하류 측온 센서(Rd) 및 기체의 온도 측온용으로써 주위온도 센서(Ra)로 본 MEMS 센서 칩은 구성됩니다.원리는 오른쪽 그림과 같이 (a)기체가 정지된 상태에서는 Rh를 중심으로 가열된 기체의 온도분포는 균일한 상태가 되고, Ru·Rd 모두 같은 저항 값을 나타냅니다.또한, (b)기체가 왼쪽에서부터 흐른 경우는 뜨거워진 기체의 온도 분포는 밸런스를 잃게 되고 Ru보다
도 Rd의 저항 값 쪽이 커집니다.Ru와 Rd의 저항 값 차는 흐르는 기체의 유속에 비례하므로, 그 저항 값을 측정하여 연산처리 함으로써 기체의 흐름방향과 유속을 알 수 있습니다.Ra는 기체 온도 또는 주위온도의 보상용으로 이용됩니다.
RaRu Rh Rd
RaRu Rh Rd
Flow
(b) 기체가 왼쪽에서부터 흐른 상태
(a) 기체가 정지된 상태
2색 표시식/디지털 플로 스위치 PFM7/PFM5 Series
241
PFM7/PFM5 Series
q배관포트를 분리하거나 교환하면, 정도가 2~3%변동할 가능성이 있습니다.동일한 사이즈로 교환하는 경우에는 반복정도 ±1 % F.S. 이내의 변동이 있습니다만, 사이즈를 변경하거나 스트레이트에서 엘보, 엘보에서 스트레이트 등으로 교환하면 2~3 % 변동할 가능성이 있습니다.
주의
y i
o
i
o
u
qew
i
o
r
t
o
i
o
i
o
i
스트레이트 배관
밑면 배관
유량조정밸브부착스트레이트 배관
유량조정밸브부착밑면 배관
구성부품
본체
커넥터 부착 리드선 (2m)커넥터부용 고무 커버(실리콘 고무)IN측 밑면 배관 어댑터(핀 부착)OUT측 밑면 배관 어댑터(핀 부착)
부품명 품번No.
ZS-33-DZS-33-FZS-33-P1LZS-33-P2LZS-33-10NZS-33-25NZS-33-50NZS-33-11NZS-33-10NLZS-33-25NLZS-33-50NLZS-33-11NLZS-33-C4ZS-33-C6ZS-33-C8ZS-33-N7ZS-33-01ZS-33-N01ZS-33-F01ZS-33-02ZS-33-N02ZS-33-F02
10L/min용
25L/min용
50L/min용
100L/min용
10L/min용
25L/min용
50L/min용
100L/min용
ø4(5/32")ø6ø8(5/16")ø1/4"Rc1/8NPT1/8G1/8Rc1/4NPT1/4G1/4
12345
6
7
8
9
스트레이트 배관용유량조정밸브 A'ssy(핀 부착)
밑면 배관용유량조정밸브 A'ssy(핀 부착)
원터치 피팅
암나사 배관
242
PFM3 00 M
012345
M3×5L
M3×5L
E
B
D
L
형식표시방법
출력사양NPN 2출력 + 1 ~ 5V 출력
NPN 2출력 + 4 ~ 20mA 출력
NPN 2출력 + 외부입력 주)
PNP 2출력 + 1 ~ 5V 출력
PNP 2출력 + 4 ~ 20mA 출력
PNP 2출력 + 외부입력 주)교정 증명서
교정 증명서 없음
교정 증명서 첨부무기호
A※서식은 일어, 영어만 병기된 것 입니다. 일어·영어 이외의 언어는 특주가 됩니다.
취급설명서취급설명서 첨부(일어, 영어 병기)
취급설명서 없음
무기호
N
주) 적산 외부 리셋, 오토 시프트, 오토 시프트 제로 선택 가능.
3
단위전환기능 부착 주1)
SI 단위 고정 주2)무기호
M
단위사양
타입분리형 모니터
기호
01
내용
전압 입력
전류 입력
적용 분리형 센서부
PFM5(S)--1-PFM5(S)--2-
주1) 신계량법에 따라 일본 내에서 단위전환기능 부착을 사용할 수 없습니다.
주2) 고정단위 순간유량: L/min 적산유량: L
입력사양
옵션 1없음
전원·출력접속 케이블
무기호
L 전원·출력접속 케이블
ZS-28-A
주) 케이블은 접속되어 있지 않습니다. 동봉 포장됩니다.
옵션/부품품번
명칭 품번
ZS-28-AZS-28-B
ZS-28-C-1ZS-27-CZS-27-D
비고
M3 x 5L(2개) 부착
1개M3 x 8L(2개) 부착
M3 x 8L(2개) 부착
전원·출력 접속 케이블(2m)브라켓
센서 접속용 커넥터
패널 마운트 어댑터
패널 마운트 어댑터 + 앞면 보호 커버
옵션 2없음
브라켓
무기호
브라켓
패널
패널 마운트 어댑터
앞면 보호 커버
설치나사(M3 x 8L)
패널
패널 마운트 어댑터
설치나사(M3 x 8L)
옵션 3없음
센서 접속용 커넥터부착
무기호
F센서 접속용 커넥터
(e-con 커넥터)ZS-28-C-1
주) 커넥터는 접속되어 있지 않습니다. 동봉 포장됩니다.
주) 옵션품은 장착되어 있지 않습니다 . 동봉 포장됩니다.
패널 마운트 어댑터
패널 마운트 어댑터 + 앞면 보호 커버
PFM3 Series®
RoHS
유량센서 플로 모니터
243
주1) 접속할 센서는 초기 설정에서 선택합니다. 사용유체 CO2를 선택한 경우는 최대측이 1/2 입니다.주2) 접속센서 10L/min, 최소설정단위 0.01L/min를 선택한 경우, 표시상한은 [10.50L/min] 입니다.
접속센서 100L/min, 최소설정단위 0.1L/min를 선택한 경우, 표시상한은 [105.0L/min] 입니다.공장 출하시에는 접속센서 10L/min, 최소설정단위 0.1L/min로 설정되어 있습니다.
주3) 단위전환기능 부착의 경우(단위전환기능이 없는 타입에 관해서는 SI 단위(L/min 또는L)로 고정됩니다.)주4) 적산유량 값은 전원을 OFF하면 클리어 되고 0으로 복귀합니다. 클리어되지 않도록 적산값을 유지하는 기능을 선택할 수 있습니다.(2분 간격 혹은 5분간격으로 적산 값을 유지하는 것이 선택 가능합니다.) 5분
간격을 선택한 경우, 기억소자(전자부품) 수명인 기입 횟수가 100만회(24시간 통전의 경우, 5분×100만회=500만분=9.5년)이 한도가 되므로 유지기능을 사용하는 경우는 사용조건에서 수명을 계산하고 수명의 범위 내에서 사용 하십시오. 단위전환 기능부착의 경우(단위전환기능이 없는 타입에 관해서는 SI 단위(L/min 또는 L)로 고정 됩니다.
주5) 출하 시에는 히스테리시스 모드로 되어 있습니다. 누름 버튼 조작으로 윈도우 분할 모드를 선택할 수 있습니다. 주6) 출하 시에는 적산 외부 리셋 기능으로 되어 있습니다. 누름 버튼 조작으로 오토시프트, 오토시프트 제로 기능도 선택할 수 있습니다.주7) 배선 및 나사의 규격에 대해서는 당사 홈페이지(http://www.smckorea.co.kr)에서 취급설명서의 내용을 확인해 주십시오.주8)품질 향상에 노력하고 있습니다만, 성능에 지장이 없는 외관의 가벼운 긁힘, 오염, 표시색, 밝기 얼룩 등은 양품으로 하고 있습니다.
PFM3 Series
형식 PFM3
응차 주5)
스위치 출력
아날로그 출력
표시정도
표시방식
동작표시등
외부입력 주6)
보호구조
사용온도범위
사용습도범위
내전압
절연저항
규격
온도특성
접속방식
재질
질량
적산 펄스 출력
응답시간
반복정도
순간유량 L/min, CFM x 10-2
적산유량 L, ft3 x 10-1
1999999LDC 24V±10% 이하 (역접 보호 부착)
50mA 이하
히스테리시스 모드: 가변, 윈도우 분할 모드: 가변
NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력 (스위치 출력과 동일)1s (50ms, 0.5s, 2s도 선택 가능)
±0.1%F.S., 아날로그 출력은 ±0.3%F.S. 이하
±0.5%F.S. ± 1 digit3+1/2-digit, 7세그먼트 표시기, 2색 표시(적색/녹색) 샘플링 주기: 10회/sec
OUT1: ON시 점등(녹색). OUT2: ON시 점등(적색).무전압 입력(유접점 또는 무접점), LOW 레벨 입력 30msec 이상, LOW 레벨 0.4V 이하
IP40동작시: 0 ~ 50°C 보존시: –10 ~ 60°C (단, 동결 및 결로 없어야 함)
동작시, 보존시: 35 ~ 85%R.H. (단, 동로 없어야 함)AC 1000V 1분간 충전부와 케이스 사이
50MΩ 이상 (DC 500V mega에서), 충전부와 케이스 사이
±0.5%F.S.(25°C 기준)CE UL,CSA RoHS
전원, 출력접속: 5P 커넥터, 센서접속: 4P 커넥터
앞면 케이스, 뒷면 케이스: PBT30g (케이블 포함하지 않음) 85g (케이블 포함)
PFM30: 전압입력 DC 1 ~ 5V (입력 임피던스: 1MΩ)PFM31: 전류입력 DC 4 ~ 20mA (입력 임피던스: 250Ω)
NPN 또는 PNP 오픈 콜렉터 출력: 2출력최대부하전류: 80mA, 최대부하전압 DC 30V (NPN 출력시),
잔류전압 1V 이하 (부하전류 80mA일 때), 단락보호 부착
전압출력: DC 1 ~ 5V (0L/min ~ 정격유량의 최대값)출력 임피던스 약 1kΩ, 정도: ±1%F.S.(대표 표시값)
전류출력: DC 4 ~ 20mA (0L/min ~ 정격유량의 최대값)최대 부하 임피던스: 600Ω (DC 24V), 최소 부하 임피던스: 50Ω
정도: ±1%F.S.(대표 표시값)
0.01 L/min0.1 L/pulse
0.1 L/min0.1 L/pulse
0.1 L/min0.1 L/pulse
0.1 L/min1 L/pulse
설정최소단위 주2)
적산 펄스의 유량 환산값
표시단위 주3)
적산유량범위 주4)
전원전압
소비전류
센서 입력
입력수: 1
정격유량범위(유량범위)
건조공기, N2, ArCO2
표시가능범위 주1)
설정유량범위 주1)
건조공기, N2, ArCO2
건조공기, N2, ArCO2
0.2 ~ 10 L/min0.2 ~ 5 L/min0.2 ~ 10.5 L/min0.2 ~ 5.2 L/min 0 ~ 10.5 L/min 0 ~ 5.2 L/min
0.5 ~ 25 L/min0.5 ~ 12.5 L/min0.5 ~ 26.3 L/min0.5 ~ 13.1 L/min 0 ~ 26.3 L/min 0 ~ 13.1 L/min
1 ~ 50 L/min1 ~ 25 L/min1 ~ 52.5 L/min1 ~ 26.2 L/min0 ~ 52.5 L/min0 ~ 26.2 L/min
2 ~ 100 L/min2 ~ 50 L/min2 ~ 105 L/min2 ~ 52 L/min0 ~ 105 L/min0 ~ 52 L/min
사양
아날로그 출력 주의: CO2 선택시의 최대정격유량 값에서의 아날로그 출력은 전압 출력 타입이 3[V], 전류출력 타입이 12 [mA] 입니다.
1
0최대정격 유량값 최대정격 유량값
5
DC 1 ~ 5V
0
4
0
20
DC 4 ~ 20mA
0
0.2 ~ 10 L/min0.5 ~ 25 L/min 1 ~ 50 L/min 2 ~ 100L/min
정격유량범위최대정격유량값
[L/min] 10 (5) 25 (12.5) 50 (25)100 (50)
※( )안은 유체 CO2일 경우아날
로그
출력
[V]
아날
로그
출력
[mA]
플로스위치 공통주의사항에 대해서는 P.202,203을, 제품개별 주의사항에 대해서는 당사 홈페이지의 「취급 설명서」를 확인해 주십시오. 상세 내용은 여기를 클릭해 주십시오.
244
적산 펄스 출력 배선 예
U
U
갈색 DC(+)
회색 아날로그 출력
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
+−
DC24V
U
U
갈색 DC(+)
회색 아날로그 출력
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
+−
DC24V
U
U
갈색 DC(+)
회색 외부 입력
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
+−
DC24V
U
U
갈색 DC(+)
회색 아날로그 출력
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
+−
DC24V
U
U
갈색 DC(+)
회색 아날로그 출력
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
+−
DC24V
U
U
갈색 DC(+)
회색 외부 입력
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
+−
DC24V
흑색 OUT1
백색 OUT2
청색 DC(−)
Max.30V80mA
부하
부하 갈색 DC(+)
흑색 OUT1
백색 OUT2
Max.80mA부하
부하
또는0V
50msec 50msec
또는0V
50msec 50msec
메인회로
메인회로
메인회로
메인회로
메인회로
메인회로
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
부하
ー0NPN(2출력)+아날로그 전압출력
ー3PNP(2출력)+아날로그 전압출력
ー1NPN(2출력)+아날로그 전류출력
ー4PNP(2출력)+아날로그 전류출력
ー2NPN(2출력)+외부 입력
ー0/1/2 ー3/4/5
ー5PNP(2출력)+외부 입력
내부회로와 배선 예
유량 센서 플로 모니터 PFM3 Series
245
외형치수도
1.5
나사 깊이42×M3×0.5
20±0.1
8.2
3.21.5
331
전원·출력 접속용 커넥터
센서 접속용 커넥터
1.6
40
브라켓
26.5
30
20
31.5
A
41A표시부
4.2
10
15
46
22
35
7.2
브라켓 장착
패널 마운트 어댑터 부착 패널 마운트 어댑터 부착 + 앞면 보호 커버
센서 접속용 커넥터(ZS-28-C-1)
42.4
패널 마운트 어댑터 + 앞면 보호 커버
34.5 2411
패널 마운트 어댑터
34.5 23.87.2
8.5패널 두께 치수 0.5~6
PIN번호
1234
단자명
DC(+)N.C.
DC(ー)IN※
30
10
※1~5V 또는 4~20mA
PFM3 Series
246
외형치수도
패널 컷 치수
1개 장착
2개 이상 n개 밀착 장착(수평)
2개 이상 n개 밀착 장착(수직)
31 0−0.4 31×n개+3.5×(n개−1)
24 이
상
31 0 −0.4
31 0 −0.4
31×n
개+
3.5×(
n개−1)
24 이상31 0−0.4
202020
4×R2 이하 4×R2 이하
4×R2 이하
주) 모서리부R을 라운딩 처리할 경우는 R2 이하로 하십시오.
DC (+) 갈색 5OUT1 흑색 4OUT2 백색 3
아날로그 출력 또는 오토시프트 입력 회색 2DC (–) 청색 1
전원·출력접속 케이블(ZS-28-A) 케이블 사양
도체
시스
완성품 외경
공칭 단면적
외경
외경
색상
재질
0.2mm2
0.58mm약 1.12mm
갈색, 흑색, 백색, 회색, 청색
내유성 PVCø4.1
절연체
유량 센서 플로 모니터 PFM3 Series
247
PFM Series
기능해설
표시색출력상태에 따라 표시색을 설정할 수 있습 니다.표시색을 설정함으로서 이상값 등을 시각적 으로 식별할 수 있게 됩니다.(표시색은 OUT1 설정에 의존합니다.)
사용유체 선택사용유체를 선택할 수 있습니다.아르곤(Ar), 이산화탄소(CO2)를 사용하는 경우, 설정변경이 필요합니다.주) CO2를 선택한 경우는 측정유량범위의 상한값이 다른
유체의 1/2이 됩니다.
표시모드순간유량을 표시하거나 적산유량을 표 시하거나 선택할 수 있습니다.
순간 유량표시
적산 유량표시
건조공기, N2
아르곤
CO2
ON시 녹색, OFF시 적색
ON시 적색, OFF시 녹색
항상 적색
항상 녹색
0.05초
0.5초
1초
2초
응답시간 설정밸브의 ON - OFF(열림 - 닫힘)에 의해 순간 과도하게 유량이 변화하는 경우가 있습니다. 그 순간의 변동을 검출할 수 없도록 하는 것 입니다.<원리>설정된 시간분만큼 ON 영역이 접속했을 때에 출력 ON이 되도록 처리 하고 있습니다.(OFF일 때도 동일)
표준상태 : 20°C, 1기압(대기압)의 체적으로 환산한 유량표시
기준상태 : 0°C, 1기압(대기압)의 체적으로 환산한 유량표시
위 조치방법대로 해도 복귀되지 않는 경우는 당사에서의 조사가 필요합니다.
에러 명칭 내용 조치 방법
유량 에러
유량표시범위의 상한을 넘는 유량이 흐르고 있습니다.
유량을 줄여 주십시오.
–5% 상당 이상의 역류가 흐르고 있습니다.
유량을 올바른 방향으로 흐르게 하십시오.
과전류 에러
시스템 에러
제로 클리어에러
유량 에러
스위치 출력(OUT1)에 부하전류 80mA 이상이 흐르고 있습니다.
공장 조정 전의 상태, 내부회로 파손의 가능성이 있습니다.
즉시 사용을 정지하고, 당사 담당영업에게 연락하십시오.
시스템 에러입니다.데이터 기억 실패 또는 내부회로파손의 가능성이 있습니다.
리셋 조작하여, 다시 각종 설정을 하십시오.
스위치 출력(OUT2)에 부하전류 80mA 이상이 흐르고 있습니다.
전원을 OFF해서 과전류가 발생한 요인을 제거하고, 다시 전원을 투입하십시오.
유량이 멈춰있는 상태에서 제로 클리어 조작을 하십시오.
유량이 흐르고 있는 상태에서 제로 클리어( 와 버튼을 동시에 누르고 1초 이상)를 하 면 “Er4”를 1초간 표시합니다.
적산유량 범위를 넘고 있습니다.적산유량을 클리어 하십시오.(적산유량을 사용하지 않는 경우는 특히 문제는 없습니다.)
표시단위 기준의 선택표시단위를 표준상태나 기준상태로 선택할 수 있습니다.
외부 입력기능외부 입력기능을 적산값 외부리셋, 오토시프트, 오토시프트 제로 중에 서 어느 것이든 선택할 수 있습니다.(입력신호 : 입력선을 30ms 이상의 GND에 접속한다.)외부리셋 : 입력신호를 가하면 적산 값이 “0”으로 리셋하는 기능입니다.오토시프트 : 신호입력시의 순간유량을 기준으로 상대적인 변화량에 대
해 출력동작을 하는 기능입니다.오토시프트 제로 : 위의 오토시프트 기능 플러스 신호 입력 시의 순간유량 을 제로로 표시하는 기능.상대적으로 마이너스측 유량표시 및 설정값은 가장 좌측의 소수점을 점 등해서 표현하고 있습니다.
표시 분해능PFM710, 711 시리즈는 표시분해능을 변경하여 보다 세밀한 간격으로 표시할 수 있습니다.
100 분할PFM710 0.1 L/min 단위로PFM711 1 L/min 단위로
1000 분할PFM710 0.01 L/min 단위로PFM711 0.1 L/min 단위로
출력동작순간유량에 대한 출력(히스테리시스 모드, 윈도우 분할모드)적산유량에 대한 출력, 적산출력 펄스출력어느 것이든 선택할 수 있습니다.출하시에는 히스테리시스 모드, Normal 출력으로 설정되어 있습니다.
에러 표시기능이상이나 에러가 발생했을 때에 오류 장소나 종류를 표시합니다.
상한값/하한값 표시기능전원 투입시부터 현재까지의 최고(최저) 유량을 검지하여 갱신하고 있습 니다. 상한값(하한값) 표시모드에서는 그 유량을 표시합 니다.
Key Lock 기능잘못해서 설정값을 바꾸어 버리는 등의 오조작을 방지하는 것이 가능합 니다.공장 출하 상태에서 ±7%F.S. 범위내에서 보정 가능합니다.
제로 클리어 기능측정 유량의 표시를 제로로 조정하는 것이 가능합니다.공장 출하 상태에서 ±10%F.S. 범위내에서 보정 가능합니다.
비밀번호 입력 설정Key Lock시에는 비밀번호 입력의 유무를 선택할 수 있습니다.비밀번호가 불필요한 상태로 설정되어 있습니다.
전력절약 모드의 선택전력절약 모드를 선택 할 수 있습니다.30초간 버튼조작을 하지 않으면 전력절약 모드로 이행하는 기능입니다.통상 모드(전력절약 모드 OFF)로 설정되어 있습니다.(작동 시에는 소수점이 점멸하는 상태가 됩니다.)
아날로그 출력 필터의 선택아날로그 출력 부착의 제품을 사용하는 경우는 사용 가능합니다.아날로그 출력 필터를 OFF 함으로써 응답이 빠른 신호를 출력하는 것 이 가능하게 되었습니다.
적산값 유지기능전원을 OFF해도 적산값이 클리어 되지 않도록 할 수 있습니다.측정 중에 2분 또는 5분 간격으로 기억시키고, 전원투입 후에는 기억하 고 있는 값에서부터 적산을 계속합니다.기억소자 수명은 기입횟수 100만회이므로 이것을 감안하여 사용 하십 시오.
외부입력의 배선예
PFM32외부입력부착 NPN 오픈콜렉터 출력:2출력
PFM35외부입력부착PNP 오픈콜렉터 출력:2출력
−+
부하
부하
청색 DC(−)
DC24 V백색 OUT2
흑색 OUT1
회색 외부입력
갈색 DC(+)
플로스위치−
+부하
부하
청색 DC(−)
DC24 V백색 OUT2
흑색 OUT1
회색 외부입력
플로스위치
갈색 DC(+)
248
PFM7/PFM5 Series
주문제작사양q상세 사양이나 납기, 가격에 대해서는 당사로 확인 하십시오.
OrderMade
외형치수도
PFM -C4/C6/C8/N7--X694
PFM -01/02--X693 PFM -01/02--X694
PFM 7 X693
X693X6945
7
IN
2×3.4
13
A43
1(
34.2)
3
OUT
B184820
10.2
IN
OUT2×3.4
10.2
143
(34
.2)
133
B 48 2018
A
IN
OUT
2×3.4
C
A
204818
B
313(
34.2)43
1
10.2
OUT
2×3.4
B4818
20IN
13
3A43
(34
.2)
1
10.2
C
원터치피팅적용튜브외경
C4C6C8N7
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
10.110.312 10.3
B
8.1 8.310 8.3
관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4
G1/8G1/4
A
13
17
B
11
15
C(육각대변)
17
21
PFM -C4/C6/C8/N7--X69375
75
75
75
X693, X6941 IN측과 OUT측 배관방향의 조합을 변경
배관 취출방향주) 무기호입니다.
IN측 : 스트레이트/OUT측 : 밑면
IN측 : 밑면/OUT측 : 스트레이트
배관 취출방향 조합변경
분리형 센서부
표시 일체형
타입
형식표시방법의 상세한 것은P.214,228을 참조하십시오.
표시기호
249
외형치수도
PFM S-C4/C6/C8/N7--X693 PFM S-C4/C6/C8/N7--X694
PFM S-01/02--X693 PFM S-01/02--X694
OUT
IN
2×3.4
51.5(
Max
58.5)
13
B4820
18
3(
34.2)43
1A
10.2
OUT
IN
2×3.4
A51
.5(M
ax58
.5)
2048
18
B
313(
34.2)43
1
10.2
원터치피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
10.110.312 10.3
B
8.1 8.310 8.3
원터치피팅적용튜브외경
ø4(5/32")ø6
ø8(5/16")ø1/4
A
10.110.312 10.3
B
36.136.337 36.3
관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4
G1/8G1/4
A
13
17
B
11
15
C(육각대변)
17
21
관접속구경
Rc1/8・1/4NPT1/8・1/4
G1/8G1/4
A
13
17
B
39
43
C(육각대변)
17
21
IN
OUT
2×3.4
51.5(
Max
58.5)
13
B4820
18
3(
34.2)43
1A
10.2
COUT
IN
2×3.4
A51
.5(M
ax58
.5)
2048B18
313(
34.2)43
1
10.2
C
75
75
75
75
PFM7/PFM5 Series
주문제작사양w상세 사양이나 납기, 가격에 대해서는 당사로 확인 하십시오.
OrderMade
250
PFM7/PFM5 Series
주문제작사양e상세 사양이나 납기, 가격에 대해서는 당사로 확인 하십시오.
OrderMade
아르곤(Ar) , 이산화탄소(CO2) 혼합가스 대응2
PFM 7 X731
표시 일체형7
X731표시기호
가스의 혼합비는 Ar:CO2=92:8, 90:10, 80:20, 70:30, 60:40을 버튼 조작으로 선택할 수 있습니다. 외형치수는 표준품과 동일합니다.
혼합비형식 정격유량범위 표시가능범위 설정가능범위
아날로그 최대출력
전압(Vmax) 전류(Imax)
PFM710
Ar92%90%80%70%60%92%90%80%70%60%92%90%80%70%60%92%90%80%70%60%
8%10%20%30%40%8%
10%20%30%40%8%
10%20%30%40%8%
10%20%30%40%
0.2~7.0L/min
0.5~25.0L/min
0.5~20.0L/min
1.0~50.0L/min
1.0~40.0L/min
2~100L/min
2~90L/min
2~80L/min
0.2~7.4L/min
0.5~26.3L/min
0.5~21.0L/min
1.0~52.5L/min
1.0~42.0L/min
2~105L/min
2~95L/min
2~84L/min
PFM725
PFM750
PFM711
CO2
0~7.4L/min
0~26.3L/min
0~21.0L/min
0~52.5L/min
0~42.0L/min
0~105L/min
0~95L/min
0~84L/min
3.80V
5.00V
4.20V
5.00V
4.20V
5.00V
4.60V
4.20V
15.2mA
20.0mA
16.8mA
20.0mA
16.8mA
20.0mA
18.4mA
16.8mA
5
Vmax
1
00 0
20
Imax
4
0
형식표시방법의 상세한 것은P.214,228을 참조하십시오.
아날로그 전압출력(1 ~ 5V)
건조공기 선택시최대정격 유량값
혼합가스 선택시최대정격 유량값
아날로그 전류출력(4 ~ 20mA)
건조공기 선택시최대정격 유량값
혼합가스 선택시최대정격 유량값
혼합 가스 선택시의 출력특성
아날로그
출력
[V]
아날로그
출력
[mA]
251
252