EXSEV Product Guidebook for Extreme Special …EXSEV Product Guidebook for Extreme Special...

EXSEV Product Guidebook for Extreme Special Environments

CAT.NO.BA012JA-0DS

特殊環境用　　　商品ガイド

18100311_EXSEV_Layout2018.indd 118100311_EXSEV_Layout2018.indd 1 2018/11/22 14:42:202018/11/22 14:42:20

EXSEV軸受の適応環境一覧………………… 　3クリーンクリーンプロPRZベアリング ………………… 　5高温クリーンプロベアリング ………………… 　5クリーンプロベアリング ………………… 　6DLベアリング ……………………………… 　6FAベアリング ……………………………… 　7耐　食高耐食セラミック軸受……………………… 　7耐食セラミック軸受………………………… 　8セラミック軸受……………………………… 　8コロガードプロベアリング………………… 　9耐食組合せセラミック軸受………………… 　9SKベアリング ………………………………　10高　温総玉形セラミック軸受………………………　10WSベアリング………………………………　11MGベアリング……………………………… 11PNベアリング ……………………………… 12MOベアリング……………………………… 12非磁性非磁性組合せセラミック軸受…………………… 13絶　縁組合せセラミック軸受……………………… 13衛　生食品機械用グリース封入ベアリング……… 14Kシリーズ総玉形組合せセラミック軸受……… 14リニア玉軸受………………………………… 15リニアウェイ………………………………… 15セラミックボール…………………………… 16KDLグリース ……………………………… 16

目次

EXSEV軸受シリーズ商品ガイドブック

軸受シリーズさまざまな特殊環境で使用できます

Koyo EXSEV軸受シリーズは、従来型の軸受では対応できない特殊な使用環境や使用条件に適応する高性能軸受です。

このガイドブックには、EXSEVシリーズの中からクリーンルーム、真空チャンバなど半導体産業に用いられる軸受を中心にご紹介しています。

これらの新しい価値をもった高性能軸受シリーズは、半導体産業にとどまらず様々な分野で多くの技術者のお役に立つものと確信しています。

クリーン

耐　食

高　温非磁性

絶　縁

衛　生

18100311_EXSEV_Layout2018.indd 2-318100311_EXSEV_Layout2018.indd 2-3 2018/11/22 14:42:242018/11/22 14:42:24

1 　2

軸受

太陽電池

メガソーラー発電所

携帯電話

液晶パネル半導体

液晶パネル半導体 HD

LED

風力発電所

半導体 HD

パソコン液晶テレビ

ゲーム機

LED信号機

LED

LEDライト

住宅用ソーラーパネル

レントゲン装置（CTスキャン）

MRI

X線管MRI 超音波モーター

電食による損傷を防止し長期運転を支えます。

液晶パネル生産時の酸・アルカリなどの腐食環境に対応します。

ガスや塵（チリ）の発生を抑え、半導体を製造する環境を汚さないよう保ちます。

調心輪付耐食軸受ユニット

コロガードプロベアリング

セラミック軸受

組合せセラミック軸受

クリーンプロベアリング

MOベアリング MGベアリング

PNベアリング

ターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受

クリーンプロＰＲＺベアリング

製品そのものにEXSEV軸受が使われています

生産時にEXSEV軸受が使われています

太陽電池セル生産工程における表面処理の高温環境に対応します。

LED生産時の過酷な環境に対応します。

WSベアリング

PNベアリング

総玉形セラミック軸受

磁場の中でもスムースに回転します。

非磁性組合せセラミック軸受


X線を発生させるための過酷な環境に対応します。

X線管ユニット

WSベアリング

PNベアリング


絶縁

耐食

耐食組合せセラミック軸受

クリーン真空

高温

高温

非磁性高温

真空

高速


主な用途

クリーン

製品名

クリーンプロPRZベアリング

高温クリーンプロベアリング

クリーンプロベアリング

DLベアリング

FAベアリング

高耐食セラミック軸受

耐食セラミック軸受




SKベアリング


WSベアリング

MGベアリング

PNベアリング

MOベアリング


組合せセラミック軸受

食品機械用グリース封入ベアリング

許容回転速度

最大(min-1)dn値 2）許容ラジアル荷重

適応環境 1）

使用温度（℃）

～120 ～２００～260 ～300 ～350 ～800

真空度（Pa）クリーン度（クラス） 3）

大気10-5 10-10 1000 100 10

パフォーマンス（性能／機能）呼び番号 4）(保持器記号) 表示ページ

SE□□□□ZZSTPRZ (YS)

SE□□□□ZZSTPRB (YS)

SE□□□□ZZSTPR (YS)

SV□□□□ZZST (YS)

SE□□□□ZZST (FA)

NCZ□□□□ (FA)

NCT□□□□ (FA)

NC□□□□ (FA)

3NCT□□□□UN4 (PN)

3NC□□□□ZZMD4 (FA)

SK□□□□ZZST (YS)

NC□□□□V (－)

SE□□□□ZZST (WS)

SE□□□□ZZSTMG3 (YS)

SE□□□□ZZST (PN)

SE□□□□ZZSTMSA7 (YS)

3NC□□□□YH4 (FA)

3NC□□□□ZZ (FG)

□□□□ZZ (FG)

5ページ

5ページ

6ページ

6ページ

7ページ

7ページ

8ページ

8ページ

9ページ

9ページ

10ページ

10ページ

11ページ

11ページ

12ページ

12ページ

13ページ

13ページ

14ページ

1 000

1 000

1 000

ー

1 000

1 000

1 000

1 000

1 000

1 000

ー

1 000

500

500

1 000

1 000

1 000

ー

ー

＜10 000

＜10 000

＜10 000

＜40 000

＜10 000

＜10 000

＜10 000

＜10 000

＜10 000

＜10 000

＜4 000

＜4 000

＜10 000

＜10 000

＜10 000

＜10 000

一般軸受と同一

一般軸受と同一

一般軸受の1.2倍以上

Crの約5%以下

Crの約3%以下

Crの約3%以下

ー

Crの約1%以下

Crの約1%以下

Crの約1%以下

Crの約1%以下

Crの約3%以下

Crの約1%以下

ー

Crの約1%以下

Crの約5%以下

Crの約3%以下

Crの約3%以下

Crの約3%以下

Crの約1%以下

ー

ー

耐　食

高　温

非磁性

絶　縁

衛　生

1) 適応環境は主に固体潤滑材の性能になります。2) dn値：軸受内径（mm）×回転速度（min-1）3) クリーン性は使用条件や周囲の構造などにより異なる場合があります。4) □□□□は軸受の基本番号ですので3桁または4桁で形成されます。お問い合わせの際などにご利用ください。

軸受の適応環境一覧表

大気不可

汎用高温用

高

低

高

低

高

低

軸受

3 4


クリーンプロPRZベアリング高温クリーンプロベアリング

SE□□□□ZZSTPRZ　(YS)

長寿命が要求されるクリーン環境にゲル状のふっ素高分子被膜で、標準タイプに比べ10倍以上の長寿命を実現

SE□□□□ZZSTPRB　(YS)

260℃クリーン、真空対応軸受の転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティングすることで高温での使用を実現

呼び番号の例

特　長

呼び番号の例

特　長

マルテンサイト系ステンレス鋼　＊セラミックボールタイプ対応可

仕　様仕　様

性　能

用　途

性　能

用　途● 半導体製造装置 ● 搬送装置 ● 真空機器● 露光装置 ● 真空モータ

● 半導体製造装置 ● 搬送装置 ● スパッタ装置● 液晶製造装置 ● 真空機器

1) 適応する環境の目安を示します。軸受のクリーン性は、使用条件によって異なります。2) クリーン性を必要としない場合は、標準軸受と同じ回転速度までご使用いただけます。3) 軸受に負荷できる荷重の目安を示します。アキシアル荷重が負荷する場合は低下します。基本動定格荷重(Cr)はWEBサイトを参照ください。

● 半導体製造装置 ● 真空機器 ● スパッタ装置● 液晶製造装置 ● 露光装置 ● 真空モータ

用　途● 半導体製造装置 ● 搬送ロボット● 液晶製造装置 ● 真空ポンプ

用　途

性　能性　能

SE□□□□ZZSTPR　(YS)

クリーンルーム、真空機器などにふっ素高分子被膜による潤滑で低発じん･低放出ガスを実現

呼び番号の例

特　長

SV□□□□ZZST　(YS)

呼び番号の例

特　長

グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に真空環境用ふっ素系グリース（KDLグリース）で高い潤滑性と低発じんを実現

クリーンプロベアリング DLベアリング

仕　様仕　様

外輪、内輪、玉

オーステナイト系ステンレス鋼


クリーンプロPRZコーティング

シールド

潤滑

保持器





高温クリーンプロコーティング

シールド

潤滑

保持器





クリーンプロコーティング

シールド

潤滑

保持器





KDLグリース

シールド

潤滑

保持器

詳細は、EXSEV軸受・セラミック軸受シリーズカタログもしくはWEBサイトを参照するか、JTEKTにご相談ください。

【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/seprz/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/seprb/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepr/

備　考備　考


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sv/

備　考備　考

5 6

クリーン用軸受


高耐食セラミック軸受耐食セラミック軸受セラミック軸受FAベアリング

NCZ□□□□　(FA)

呼び番号の例

SE□□□□ZZST　(FA)

呼び番号の例

特　長

クリーン、真空対応の基本仕様ふっ素系高分子保持器による固体潤滑で低発じんを実現

仕　様仕　様

性　能

● アルミ箔コンデンサ製造装置

性　能

用　途● 半導体製造装置 ● 搬送装置● 液晶製造装置 ● 検査装置

用　途


極限の腐食環境に強酸にも腐食されにくい炭化けい素セラミックスを用いています。

特　長

NCT□□□□　(FA)

耐食性を高めた窒化けい素軸受の材料に耐食窒化けい素を用い、ふっ素高分子によって潤滑します。腐食性が強い溶液中などで使用できます。

呼び番号の例

特　長

仕　様

性　能

用　途

性　能

用　途● 液晶フィルム製造装置 ● 合成繊維製造装置● アルミ箔コンデンサ製造装置 ● 食品容器洗浄装置● めっき処理装置

● 半導体製造装置 ● 半導体検査装置 ● 製缶装置● 液晶製造装置 ● 合成繊維製造装置 ● 超音波モータ

特　長

仕　様

セラミックスを様々な用途に軸受の材料にセラミックス（窒化けい素）を用い、ふっ素高分子によって潤滑します。おもに真空・腐食性環境などに用います。

NC□□□□　(FA)

呼び番号の例



ふっ素樹脂


ふっ素高分子固体潤滑剤

シールド

潤滑

保持器

セラミックス(炭化けい素)外輪、内輪、玉

ふっ素樹脂

ふっ素高分子固体潤滑剤潤滑

保持器

セラミックス(耐食窒化けい素)外輪、内輪、玉

ふっ素樹脂


保持器

セラミックス(窒化けい素)外輪、内輪、玉

ふっ素樹脂


保持器


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sefa/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/nczfa/

備　考


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/nctfa/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/ncfa/

備　考備　考備　考

7 　8

クリーン用耐　食軸受



3NC□□□□ZZMD4　(FA)

SKベアリング

SK□□□□ZZST　(YS)

呼び番号の例

特　長

呼び番号の例

特　長

仕　様仕　様

性　能

用　途

性　能

用　途● 半導体製造装置 ● 食品機械● 薬品製造装置 ● 洗浄装置

● 化学装置● 搬送装置

1) 適応する環境の目安を示します。軸受のクリーン性は、使用条件によって異なります。2) 軸受に負荷できる荷重の目安を示します。アキシアル荷重が負荷する場合は低下します。基本動定格荷重(Cr)はWEBサイトを参照ください。


NC□□□□V　(－)

呼び番号の例

特　長

仕　様

性　能

用　途● 焼成炉内搬送装置● 炉内ファン


性　能

用　途● 高機能フィルム製造設備● 洗浄装置

特　長

仕　様

3NCT□□□□UN4　(PN)

呼び番号の例

高硬度高耐食ステンレス鋼外輪、内輪

セラミックス（耐食窒化けい素）

PEEK樹脂保持器

クリーン性： ―雰囲気圧力：大気圧～10‒5 Pa温　　　度：‒30～300℃許容ラジアル荷重：基本動定格荷重の約3％以下 2）　

許容回転速度：dn値＜10 000　　　　　　　最大1000min‒1

析出硬化系ステンレス鋼外輪、内輪

ふっ素樹脂

ふっ素高分子固体潤滑剤潤滑オーステナイト系ステンレス鋼

シールド

保持器セラミックス(窒化けい素)玉マルテンサイト系ステンレス鋼



KHDグリース潤滑

オーステナイト系ステンレス鋼シールド

保持器セラミックス(窒化けい素)


なし

なし潤滑

保持器玉


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/3nctun4pn/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/3ncmd4fa/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sk/

備　考備　考


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/ncv/

備　考備　考

高耐食鋼なのに高硬度高硬度高耐食ステンレス鋼を用いたことで、耐食性と耐荷重性を両立

塩水、薬液などの環境に耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応

ステンレス軸受のスタンダードステンレス鋼の軸受にリチウム系KHD グリースを封入し軽微な腐食環境に適応

超高温 800℃総セラミックによって高温対応だけでなく、耐食、非磁性・絶縁・真空へ適応

9 10

耐　食高　温軸受


MGベアリング

SE□□□□ZZSTMG3　(YS)

呼び番号の例

特　長

MOベアリング

SE□□□□ZZSTMSA7　(YS)

呼び番号の例

特　長

仕　様

性　能

仕　様

性　能

用　途用　途● 半導体製造装置 ● 真空蒸着装置 ● 回転炉● 液晶製造装置 ● ターボ分子ポンプ

● 半導体製造装置 ● 真空蒸着装置 ● 真空モータ● 液晶製造装置 ● 医療機器

1) 軸受に負荷できる荷重の目安を示します。アキシアル荷重が負荷する場合は低下します。基本動定格荷重(Cr)はWEBサイトを参照ください。

PNベアリング

SE□□□□ZZST　(PN)

呼び番号の例

特　長

仕　様

● 紙パック製造装置● 液晶洗浄装置

性　能

用　途

WSベアリング

SE□□□□ZZST　(WS)

呼び番号の例

特　長

仕　様

性　能

用　途● 半導体製造装置 ● 真空蒸着装置● 液晶製造装置 ● PDP製造装置



二硫化タングステン系自己潤滑複合材


二硫化タングステン系固体潤滑剤

シールド

潤滑

セパレータ



PEEK樹脂


二流化モリブデン系固体潤滑剤

シールド

潤滑

保持器

マルテンサイト系ステンレス鋼外輪、内輪、玉



銀イオンプレーティング

シールド

潤滑

保持器





二硫化モリブデンコーティング

シールド

潤滑

保持器

耐熱 350℃と耐荷重性を両立耐熱性・耐荷重性が要求される真空環境に適応

高温・超高真空対応銀イオンプレーティングにより高温・高真空の低放出ガスを実現

300℃対応の優れた耐熱性耐熱性の固体潤滑剤によって高温真空環境に適応

300℃対応の基本仕様二硫化モリブデンによる個体潤滑で高温環境に適応


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sews/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/semg3/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/sepn/

備　考備　考


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/semsa7/

備　考備　考

11 12

高　温軸受


組合せセラミック軸受食品機械用グリース封入ベアリング

3NC□□□□ZZ　(FG)

呼び番号の例

Kシリーズ総玉形組合せセラミック軸受

3NC□□□□VST-1

呼び番号の例

特　長特　長

仕　様

性　能

仕　様

性　能

● 高速撚線機ガイドロール ● 発電機● モータ

用　途

□□□□ZZ　(FG)

呼び番号の例

特　長

仕　様

性　能

● 食品機械● 薬品製造装置

用　途● ウェハ搬送ロボット　　　　　● 液晶製造装置● 半導体製造装置

用　途

非磁性


3NC□□□□YH4　(FA)

呼び番号の例

特　長

仕　様

性　能

用　途● 半導体製造装置 ● 製缶装置 ● 溶接機● 半導体検査装置 ● 超電導関連装置

非磁性ステンレス鋼外輪、内輪

ふっ素樹脂


セラミックス（窒化けい素）

保持器

玉

高炭素クロム軸受鋼外輪、内輪

強化ポリアミド樹脂

炭素鋼シールド

潤滑

高炭素クロム軸受鋼

保持器

玉マルテンサイト系ステンレス鋼

外輪、内輪、セパレータ

なし

KDLグリース潤滑

セラミックス（窒化けい素）保持器

玉

高炭素クロム軸受鋼外輪、内輪

強化ポリアミド樹脂

シールド

潤滑

保持器

セラミックス（窒化けい素）　＊酸化物系セラミックス対応可のサイズあり

玉

グリースまたは油

炭素鋼


食品機械用グリース

ステンレスの非磁性対応非磁性性能を持ちながら、低発じん、低アウトガスを実現

絶縁、高速用途に組合せセラミック軸受の標準タイプ

国際規格NSFに登録されたグリースを封入したベアリング国際規格で推奨された食品機械用グリースを封入し、高い安全衛生性が求められる食品加工現場に対応

超薄肉形軸受のクリーン仕様超薄肉形玉軸受がクリーン、真空用途に適応


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/3ncyh4fa/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/3nc/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/environment/sanitation/

備　考備　考


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/3ncvst-1/

備　考備　考

13

絶緑軸受

衛　生

14


リニア玉軸受

呼び番号の例

仕　様

性　能

特　長

リニアウェイ

呼び番号の例

仕　様

性　能

特　長

○○SDM□□ST△△ 1） ○○LW□□□□△△ 1）

コンパクトな無限直線運動ベアリングEXSEVシリーズの素材の構成で様々な特殊環境に対応した軸方向に直線運動する高精度な軸受

容易に高精度な直線運動が可能EXSEVシリーズの素材の構成で様々な特殊環境に対応したスライドユニットがトラックレール上を無限直線運動する軸受ユニット

幅広い特殊環境で実績あり窒化けい素の特性を活かし、通常の軸受鋼に比べ、軽量・高剛性など性能向上を実現。

潤滑仕様性　能

クリーン性温　度雰囲気圧力

KDL

クリーンプロクラス10

クラス100 -30～200℃

-100～200℃大気圧～10-5Pa

潤滑仕様性　能

クリーン性温　度雰囲気圧力

KDL

クリーンプロクラス10

-30～200℃

-100～200℃大気圧～10-5Pa

クラス100

備　考備　考

マルテンサイト系ステンレス鋼外筒


析出硬化系ステンレス鋼

KDLグリース(標準仕様)クリーンプロ被膜(クリーン仕様)

側板

潤滑

マルテンサイト系ステンレス鋼もしくはセラミックス（窒化けい素）

保持器

玉マルテンサイト系ステンレス鋼

ケーシング、トラックレール


KDLグリース(標準仕様)クリーンプロ被膜(クリーン仕様)

側板

潤滑

マルテンサイト系ステンレス鋼もしくはセラミックス（窒化けい素）

玉

セラミックボール

特　長

寸法・質量表

呼び番号の表し方 5/32 G5 NCR材料記号：セラミックス（窒化けい素）等級記号呼び

5と10

呼　びmm inch

呼び直径mm

等級2 ) 質量3 )

（1個あたり）

0.81.01.2

2.0

3.5

1/16

3/327/641/8

5/323/167/3215/641/417/649/325/1611/323/813/327/1615/321/217/32

0.800 001.000 001.200 001.587 502.000 002.381 252.778 123.175 003.500 003.968 754.762 505.556 255.953 126.350 006.746 887.143 757.937 508.731 259.525 0010.318 7511.112 7511.906 2512.700 0013.493 75

3と5

5

0.866 mg1.691 mg2.922 mg6.766 mg13.530 mg22.836 mg36.262 mg54.129 mg72.511 mg 0.105 7g 0.182 7g 0.290 1g 0.356 8g 0.433 0g 0.519 4g0.616 6g 0.845 8g1.125 7g1.461 5g1.858 2g2.320 8g2.854 5g3.46 g4.2g

1) ○、□、△の部分には形式やサイズ、材質などで決まる記号が入ります。 2) 等級はJIS B 1501を適用します。3) 質量は、密度3.23ｇ/ｃｍ3で算出。


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/lmbb/


【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/lwbu/

備　考詳細は、EXSEV軸受・セラミック軸受シリーズカタログもしくはWEBサイトを参照するか、JTEKTにご相談ください。

【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/lineup/ncr/

KDLグリース

●KDLグリースは転がり軸受、直動軸受、ボールねじ用に高性能を発揮します。

●グリースのみのご要望にもお応えしますのでお問い合わせください。●雰囲気圧力10-5Paまで使用できますが、高温高真空の組合わせ条件でのご使用についてはJTEKTにご相談ください。

発じん量の少ない真空環境用ふっ素グリースです。

特　長

転がり軸受の潤滑に用いた場合の発じん特性（2.83×10 - 3m 3 （0.1ft3）当たりの個数）

（粒子径0.1µm以上）

市販グリース KDLグリース

20 000

15 000

5 000

10 000

平均発じん量

個

増ちょう剤基油滴点

蒸発量（200℃×22ｈ）離油度（100℃×24ｈ）

使用温度範囲大気中

真空中

0.1wt％以下無し

－30 ～ 200℃

ふっ素油ふっ素樹脂

2wt％以下

－30 ～ 100℃

性　能

性状

15 16

軸受


CAT.NO.BA012JA-0DSPrinted in Japan ’18.12（’13.11）

☆本カタログの記載内容は、改良等のため予告なしに変更する場合があります。なお、内容の正確さには万全の注意を払っておりますが、万が一誤記・脱漏・製本上の落丁等による損害は責任を負いかねます。無断転載を禁ず

＜産業機器用関連商品＞

商品についてのお問い合わせは下記の各支社、営業所へ

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名古屋本社 Tel: 052-527-1900 Fax: 052-527-1911 〒450-8515 名古屋市中村区名駅4丁目7番1号（ミッドランドスクエア15階）大阪本社 Tel: 06-6271-8451 Fax: 06-6245-3712 〒542-8502 大阪市中央区南船場 3 丁目 5 番 8 号営業本部 Tel: 06-6245-6087 Fax: 06-6244-9007 〒542-8502 大阪市中央区南船場 3 丁目 5 番 8 号

詳細は、EXSEV軸受・セラミック軸受シリーズカタログもしくはWEBサイトを参照するか、JTEKTにご相談ください。【 WEBサイト】https://koyo.jtekt.co.jp/products/exsev/

18100311_EXSEV_Layout2018.indd 2018100311_EXSEV_Layout2018.indd 20 2018/11/22 14:42:462018/11/22 14:42:46

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