Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace...
Transcript of Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace...
![Page 1: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/1.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova MikroskopieSEM
Martin Hanicinec
26. listopadu 2012
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 2: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/2.jpg)
UvodPrace se SEM
Historie elektronove mikroskopie
I Prvnı TEM
I Ernst Ruska (1931)
I Nobelova cena za fyziku 1986
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 3: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/3.jpg)
UvodPrace se SEM
Historie elektronove mikroskopie
I Prvnı SEM
I Manfred von Ardenne (1937)
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 4: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/4.jpg)
UvodPrace se SEM
Historie elektronove mikroskopie
I Prvnı komercnı SEM
I Cambridge Scientific InstrumentCompany
I 1965
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 5: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/5.jpg)
UvodPrace se SEM
Prurez elektronovym tubusem
vzorek
vývěva
detektor zesilovač počítač
rastrovýgenerátor
ovládánízvětšení
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 6: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/6.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - Termoemise
I Nejnizsı rozlisenıI Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - Termoemise
I Vyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emise
I Nejvyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 7: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/7.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - TermoemiseI Nejnizsı rozlisenı
I Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - Termoemise
I Vyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emise
I Nejvyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 8: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/8.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - TermoemiseI Nejnizsı rozlisenıI Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - Termoemise
I Vyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emise
I Nejvyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 9: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/9.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - TermoemiseI Nejnizsı rozlisenıI Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - TermoemiseI Vyssı rozlisenı
I Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emise
I Nejvyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 10: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/10.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - TermoemiseI Nejnizsı rozlisenıI Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - TermoemiseI Vyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emise
I Nejvyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 11: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/11.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - TermoemiseI Nejnizsı rozlisenıI Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - TermoemiseI Vyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emiseI Nejvyssı rozlisenı
I Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 12: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/12.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
1. Wolfram - TermoemiseI Nejnizsı rozlisenıI Nenarocne na vakuum
2. LaB6 - TermoemiseI Vyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody iontovou vyvevou
3. Wolfram - Schottkyho emiseI Nejvyssı rozlisenıI Potreba cerpat prostor katody a tubusu 2 iontovymi vyvevami
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 13: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/13.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektronova tryska - typy emitoru
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 14: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/14.jpg)
UvodPrace se SEM
Schottkyho emise
I Ohmicky ohrev velmi ostreho hrotu
I Typicky wolfram
I Na povrchu hrotu vrstva ZrO
I Vysoka intenzita elektrickeho pole u povrchu hrotu
I Snızenı vystupnı prace elektronu z materialu katody
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 15: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/15.jpg)
UvodPrace se SEM
Schottkyho emise
I Ohmicky ohrev velmi ostreho hrotu
I Typicky wolfram
I Na povrchu hrotu vrstva ZrO
I Vysoka intenzita elektrickeho pole u povrchu hrotu
I Snızenı vystupnı prace elektronu z materialu katody
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 16: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/16.jpg)
UvodPrace se SEM
Schottkyho emise
I Ohmicky ohrev velmi ostreho hrotu
I Typicky wolfram
I Na povrchu hrotu vrstva ZrO
I Vysoka intenzita elektrickeho pole u povrchu hrotu
I Snızenı vystupnı prace elektronu z materialu katody
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 17: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/17.jpg)
UvodPrace se SEM
Schottkyho emitor
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 18: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/18.jpg)
UvodPrace se SEM
Schottkyho emitor
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 19: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/19.jpg)
UvodPrace se SEM
Elektromagneticka cocka
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 20: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/20.jpg)
UvodPrace se SEM
Interakce elektronu se vzorkem
Dos
ah e
lekt
ronů
RX - Ray
BSE BSE
SESE AE
PE
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 21: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/21.jpg)
UvodPrace se SEM
Signalnı elektrony - energiove spektrum
0 50 eV 2 keV E = eUEnergie elektronů
N (
E)
SEBSE
AE
LLE
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 22: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/22.jpg)
UvodPrace se SEM
Sekundarnı elektrony
I Nesou topograficky kontrast
I Intuitivnı iterpretace
I δ (θ) = δ0cosθ
I E < 50 eV
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 23: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/23.jpg)
UvodPrace se SEM
Sekundarnı elektrony - Everhard-Thornely detektor
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 24: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/24.jpg)
UvodPrace se SEM
Topgraficky kontrast - Obrazky
Obrazek: Zrnka pylu v signalu sekundarnıch elektronu.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 25: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/25.jpg)
UvodPrace se SEM
Topgraficky kontrast - Obrazky
Obrazek: Povrch ledvinoveho kamene v signalu sekundarnıch elektronu.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 26: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/26.jpg)
UvodPrace se SEM
Zpetne odrazene elektrony
I Nesou materialovy kontrast
I Cım vyssı Z, tım vyssı vytezek
I E > 50 eV
I Take kanalovacı kontrast
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 27: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/27.jpg)
UvodPrace se SEM
BSE detektor
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 28: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/28.jpg)
UvodPrace se SEM
Materialovy kontrast - Obrazky
Obrazek: Srovnanı topografickeho a materialoveho kontrastu.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 29: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/29.jpg)
UvodPrace se SEM
Kanalovacı kontrast (BSE)
I Naklanenı svazkem v incidencnımbodu
I BSE signal na dvojici uhlu
I Vytezek zavisı na uhlu svazku akrystalograficke roviny
Obrazek: Kanalovacı kontrast na c-Si.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 30: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/30.jpg)
UvodPrace se SEM
Kanalovacı kontrast - Obrazky
Obrazek: Kanalovacı kontrast - ruzna orientace krystalovych zrn (Al+Cu).
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 31: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/31.jpg)
UvodPrace se SEM
X-Ray mikroanalyza
I Vyrazenı elektronu z atomu terce
I Charakteristicke rentgenove zarenı
I Prvkova analyza
I Pomerne velky informacnı objem
I Detektory EDX a WDX
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 32: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/32.jpg)
UvodPrace se SEM
EDX spektrum
Obrazek: Typicky prıklad zaznamenaneho EDX spektra.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 33: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/33.jpg)
UvodPrace se SEM
Kontaminace
Obrazek: Kontaminace vzorku.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 34: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/34.jpg)
UvodPrace se SEM
Kontaminace
I Kontaminace je organicka vrstva deponovana podelektronovym svazkem
I Kontaminaci se da predchazetI Maximalnı cistota prace uvnitr vakuove komoryI Plazmove dekontaminatory
I Pro vyssı urychlovacı napetı kontaminace pruhledna
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 35: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/35.jpg)
UvodPrace se SEM
Nabıjenı vzorku
I Nevodive vzorky se v elektronovem mikroskopu zpravidla nabıjı
Obrazek: Pozorovanı nabite kovove mikrotecky svazkem na 2keV.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 36: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/36.jpg)
UvodPrace se SEM
Nabıjenı vzorku - resenı
I Pokovenı vzorku
I Ztrata jemne topograficke informace
I Nepohodlne
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 37: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/37.jpg)
UvodPrace se SEM
Nabıjenı vzorku - resenı
I Prace v nızkem vakuu
I Ionizovany plyn odvadı naboj ze vzorku
I Potreba prıvodu cisteho dusıku nebo vodnıch par
I Potreba specialnıho detektoru SE
I Nizsı rozlisenı kvuli ”skirt efektu”
I Casove a psychicky narocnejsı
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 38: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/38.jpg)
UvodPrace se SEM
Nabıjenı vzorku - resenı
I Vyladenı urychlovacıho napetı
I Na nızkych HV prestava byt nabıjenı vzorku problem
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 39: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/39.jpg)
UvodPrace se SEM
Nabıjenı vzorku - resenı
Obrazek: Nabıjenı fotorezistu je eliminovano zvolenım spravnehourychlovacıho napetı.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 40: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/40.jpg)
UvodPrace se SEM
Typicke promenne pri praci se SEM
I Urychlovacı napetı (HV - high voltage)
I Pracovnı vzdalenost (WD - working distance)
I Proud svazkem (BI - beam intensity)
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 41: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/41.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny HV
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 42: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/42.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny HV
Proc je na vyssım HV vyssı rozlisenı?
Chromaticka vada:
dc = Ccα(
∆EE0
)
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 43: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/43.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny HV
Obrazek: Efekt zmeny HV na dvou vzorcıch (zlato na uhlıku a papır).
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 44: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/44.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny HV
Obrazek: Efekt zmeny HV na obrazcıch toneru.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 45: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/45.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny WD
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 46: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/46.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny WD
Obrazek: Mala WD, mala apertura, vysokahloubka ostrosti.
Obrazek: Velka WD, velka apertura, nızkahloubka ostrosti.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 47: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/47.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny BI
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 48: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/48.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny BI
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 49: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/49.jpg)
UvodPrace se SEM
Efekt zmeny BI
Obrazek: Proud svazkem 10 pA. Obrazek: Proud svazkem 1 nA.
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie
![Page 50: Elektronov a Mikroskopie SEM - physics.muni.czphysics.muni.cz/~dorian/Hanicinec.pdf · Uvod Pr ace se SEM Historie elektronov e mikroskopie I Prvn TEM I Ernst Ruska (1931) I Nobelova](https://reader031.fdocument.pub/reader031/viewer/2022021903/5ba0883709d3f2c2598ceb26/html5/thumbnails/50.jpg)
UvodPrace se SEM
DEKUJI ZA POZORNOST
Martin Hanicinec Rastrovacı Elektronova Mikroskopie