【最終提出版】20141030MATLAB EXPO2014講演 …...3.2制御パラメータの設定② 制御パラメータ設定 PIゲインを直接入力可能 理論式から求めるPIゲイン静的チューニング
適切なAFMパラメータ設定の目安 -...
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適切なAFMパラメータ設定の目安 イメージングスピード - 探針速度 PゲインとIゲイン 励振セットポイント (タッピング/AC モード) 低速 高速 低すぎる - 表面に追従しない 高すぎる - ノイズが多い ゲイン高 ゲイン低 セットポイント低 セットポイント高 retrace trace 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 0 50 100 150 200 250 300 350 400 40 20 0 -20 -40 -60 -80 -100 -120 -140 www.nanoandmore.com
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適切なAFMパラメータ設定の目安
イメージングスピード - 探針速度
PゲインとIゲイン
励振セットポイント (タッピング/AC モード)
低速 高速
低すぎる - 表面に追従しない高すぎる - ノイズが多い
ゲイン高 ゲイン低
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