8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 1/33

TRƯƠNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA TPHCM

KHOA KỸ THUẬT HÓA HỌC

NGÀNH KỸ THUÂT HÓA HỌC

---oOo---

HỌC VIÊN: N! N"#$% P&'(% )"#

M*HV: +,.+/

GVH): PG*0T* N"#$% N12 H3%&

T40HCM5 %6# 7+ 8&9% , %; 7+<

Tiễu luận Hóa Nano

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 2/33

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 3/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

1. TENG =UÁT............................................................................................................................................"6

". FNG 3NG MÀNG NANO TRONG C(NG NGH PIN M@T TRI............................................................."9

KT 'UẬN........................................................................................................................................................65

TÀI 'I$U THAM KHO.....................................................................................................................................65

3

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 4/33

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 5/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

nan* -i&n hRnh '6 $h& nh; hơn 5n < OF" Oc 15 >ớ" nguyWn $L, và $%*ng $ vài $%ư]ng h.",

'6 $h& 'hc 043n < $ương -ương 1 >ớ" nguyWn $Le nWn /9 ày '(a àng nan* )h# gAn với

giới h?n 'ơ /7n '(a 'hF$ %fn4 VR $h, àng nan* -ư.' O" và* nh6 vE$ >iu nan* '6 'Fu

$%' 2D4 Với 'Fu $%' 2D, $K' /9 ày )hông -#ng )& * với /9 %ng, àng nan* '6 $h& >ơ

>Lng $%*ng )hông )h và $%*ng 'hn )hông4

M$ $Wn $hư]ng g+i '(a àng nan*: nan*=/%an=, nan*i>, u$%a<$hin i>,

a$*i' =/%an=, *n*>ay=% =/%an=, nan*'*a$ing, %==<$aning i>, %==<>*a$ing

i>,

2. PHÂN LOẠI MÀNG NANO

Màng nan* -ư.' 'hia %a >à 2 nh6 'hnh: àng vô 'ơ và àng h^u 'ơ4 6 ! "hn

'hia như $h này >à *: àng nan* vô 'ơ $hư]ng '6 - /9n và )h7 n@ng 'hu -i9u )in )hf'

nghi$ hơn * với '#' >*?i àng h^u 'ơ, 'hng h?n $%*ng ôi $%ư]ng nhi$ - 'a*, #" >!'

'a* hay @n n 'a* Hơn n^a, àng vô 'ơ $hR '6 'Fu $%' -ơn gi7n hơn nhi9u4 Hay n6i

'#'h )h#', àng nan* h^u 'ơ )h# nh?y với ôi $%ư]ng, ễ / "h# h(y [ nhi$ - 'a*, h6a

'hF$ và - /9n v9 'ơ $nh '`ng )h# $hF"4 Xng $h]i 'Fu $%' '(a àng h^u 'ơ >?i )h# "hK'

$?", g $ >ư.ng vE$ 'hF$ gAn như vô h?n và )h7 n@ng 'h* vi' 'hK' n@ng h6a >à vô

$En, '#' hRnh $hK' '(a ! ng ngun g' h^u 'ơ và nh^ng 'hK' n@ng '(a n6 >à v Q -i&n

hRnh

BC -6, vi' )$ h." 2 nh6 này với nhau -& hRnh $hành vô $En '#' >*?i àng nan*

'*"*i$ ới >à $ $%i&n v+ng -Ay hKa hjn4 Và vi' $En Qng '#' Gu# $%Rnh $R $hFy $%*ng

'Fu $%' inh h+' -& $C -6 $?* nWn '#' 'Fu $%' "h;ng inh h+' /Jng vi' 'hK' n@ng h6a

 /Jng 'ông ngh nan* '`ng >à $ -i9u '6 $h& $%*ng $ương >ai4

70+0 MÀNG V CƠ 

Md' k àng nan* vô 'ơ '6 'Fu $%' -ơn gi7n hơn %F$ nhi9u * với àng h^u 'ơ, nhưng

n6 >?i ới OuF$ hin gAn -y, au $ nhF$ $ $h )\ )& $C )hi àng nan* h^u 'ơ nhn $?* %a

2

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 6/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

-]i4 DT nhiWn, àng nan* inh h+', $K' àng h^u 'ơ $! nhiWn $hR -U %a -]i $C %F$ >u, hRnh

$hành nWn ! ng hin nay4

Màng vô 'ơ '6 nhi9u >*?i, -ơn gi7n nhF$ >à '#' àng nan* 'hKa nguyWn $ $inh )hi$, '6

$h& 'hia >à 3 nh6 "hQ: $hK nhF$ >à àng nan* )i >*?ie $hK hai >à àng nan* $%Wn n9n'a%/*n, à Guan $%+ng >à )i 'ương và '#' 'hF$ như )i 'ương ia*n*ibe $hK 3 >à '#'

nguyWn $ /#n ln, $%*ng -6 $iWu /i&u >à i>i'*n 'hi m0 $%*ng '#' h $hng 'ơ<Guang<

-inb4

 Ng*ài %a 'n '6 àng nan* vô 'ơ '(a '#' h." 'hF$ *Oi=, ni$%i=, 'a%/i=, g>a,

'=%ai'444 B%*ng '#' *Oi=, i>i'*n *Oi= >?i >à -ư.' kng nhi9u nhF$ $%*ng '#' h $hng 'ơ<

Guang<-in4

241414 Màng nano kim loại

Màng nan* )i >*?i -ư.' O= >à >*?i àng -ơn gi7n nhF$, vR n6 'hc 'hKa $ >*?i )i

>*?i4 Nh^ng )i >*?i $hư]ng kng, g '6 'h%*iu, ni)=>, a>uiu, ">a$inu, "a>>aiu,

vàng, /?'Ng*ài %a -ôi >' 'n '6 $i$aniu, $ung$=n, -ng, 'hR, $hi' Xd' -i& $hông

$hư]ng '(a nh^ng )i >*?i này >à 'ơ $nh '(a 'hng $hư]ng '6 $h& $$ hay )hông $$4 HAu

h$, 'hng $hư]ng kng $%*ng >Tnh v!' Guang<-in, $ vài $%*ng 'hng 'n -ư.' kng

>à O' $#'4 V9 $nh $%ơ, $hR 'hng )h# $$4

o'h L '(a àng nan* )i >*?i /f$ ngun $C àng nan* vàng với )'h $hướ' 80n

-ư.' 'h $?* -Au $iWn và* n@ 1m31 /[i pin'h /Jng "hương "h#" S"u$$=%4 Xn n@ 1m50,

$ )q $huE$ )h#' -ư.' "h#$ inh >à "hương "h#" /ay hơi ngưng $Q $?* àng )i >*?i $%Wn

>ớ" n9n /[i a"=n$=% và u%i'*4 Và au này, $ )q $huE$ $iWn $in hơn >à "hương "h#" /ay

hơi $%*ng /ung 'hn )hông iWu 'a* r$%a High Va''u ha/=%b /[i s%i$*v 1mm8b,t>*=% 200b Hin nay, 'n '6 $hW "hương "h#" 'h $?* àng nan* /Jng h $hng

i'%* 'h* )$ Gu7 $$ hơn, -ư.' "h#$ inh /[i S$%i==% và wau'h=$ và* n@ 200x4

3

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 7/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

Màng nan* )i >*?i 'h $?* hin nay $hư]ng '6 'ơ $nh yu, ễ gUy, gin4 Nhưng $nh

ln -in àng nan* $hR )h# $$ như )hi )i >*?i )'h $hướ' /an -Au4

241424 Màng nano composit-kim loại

Màng nan* '*"*i$<)i >*?i >à àng '6 $hành "hAn g $ hay nhi9u >*ai )i >*?i

'kng '#' $hành "hAn /Z ung )h#' nhau như '#' *Oi=, >i'*n, và '6 $h& -ư.' $?* nWn $C

'#' 'Fu $%' )h#' nhau như -ơn $inh $h&, -a $inh $h&, ?ng h?$ hay >à '#' .i $inh $h& -an O=n

nhau, Fu $%' àng '6 $h& ging hay )h#', nhưng '#' $hành "hAn $%*ng -6 $hR >uôn -ng

nhF$ [ )'h $hướ' "hn $L hay nguyWn $L, và $ nhF$ '6 )'h $hướ' nh; hơn /9 ày àng

nan*4 Nh^ng àng '*"*i$ này $hư]ng '6 - /9 và 'ơ $nh )h# 'a*, ln -in '`ng )h# $$4

Bnh 'hF$ Guang h+' $hR - $%uy9n Guang "hQ $hu' và* - ày: x<n $hR $%uy9n Gua)h*7ng 0, nhưng )hi - ày )h*7ng 20n $hR "h7n 'hiu gAn như >à gương4 o.i Qng

-d' -i& này à '6 $h& -i9u 'hcnh $h=* *ng un )hi Kng Qng4

241434 Màng nano nền carbon

 Nh^ng àng 'a%/*n vô -nh hRnh, g%a"h=n=, ?ng ia*n*i $hR '6 'Fu $%' )h#

 /9n, nhj, gAn như $%ơ và '6 - $%uy9n Guang -in 'a* nWn hin nay $hư]ng kng >à '#' >ớ"

 "h( /7* v, và '#' Kng Qng $%*ng vi ?'h, -in $L4

24144 Màng nano nguyên tố bán dẫn

Màng nan* >*?i này '6 $hành "hAn $hư]ng >à '#' nguyWn $ /#n ln như i>i' hay '#'

h." 'hF$ /#n ln như ga>iu ni$%i=, i>i'*n 'a%/i= h*d' >à )$ h." '(a '#' 'hF$ /#n

ln B%*ng -6, àng /#n ln n9n i>i'*n >à -ư.' Kng Qng )h# nhi9u4 Với 'ơ $nh )h# $$,

àng n9n i>i'*n >à n9n $7ng 'h* ! %a -]i '(a '#' =n*%, '#' i*=, hay '#' $%ani$*% 'h*

'ông ngh /#n ln4

241454 Màng nano oxide, nitride, carbide

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 8/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

B%*ng nh6 àng này, i>i'*n *Oi= >à nguyWn >iu $hư]ng kng nhF$4 Ng*ài %a 'n '6

'#' nguyWn >iu )h#' như Biz2, Ba2z3, {2z3, oa2z3, Hz2, |%z2 X#ng 'h Y, 'hng >à

'#' 'hF$ /#n ln '6 'ơ $nh $$, '6 $nh >ư}ng '!' và /anga" %ng4 B%*ng -6, i>i'*n *Oi=

'6 'ơ $nh yu nhF$ * n6 )h# gin, nhưng n6 >?i >à nguyWn >iu nZi $ing và -ư.' Kng Qng

nhi9u nhF$ $%*ng 'ông ngh vi -in $L4 Nhưng nhRn 'hung, -a àng *Oi=, $hư]ng >à h."

'hF$ *Oi= vô 'ơ -ơn gi7n $hương gin và ễ v}, nWn )h6 '6 $h& 'hu -ư.' >!' 'ơ h+' >ớn

2414x4 Màng nano glass, ceramic

Màng nan* g>a, '=%ai' $hư]ng -ư.' kng như vE$ >iu O", nWn '6 $h& Kng Qng như

>à %y "hn $L 'h* '#' Gu# $%Rnh $#'h "ha, >+' a'i hay )i9444 S*iu /*%*i>i'a$= g>a

$hương kng >à nguyWn >iu 'h* àng O" nan* '6 /9 ày )h*7ng 100n, và -ư]ng )nh>~ O" $hư]ng -ư.' -i9u 'hcnh $C 1n -n 120n4

7070 MÀNG HU CƠ 

Màng h^u 'ơ $hư]ng >à '#' àng nan* -?i "hn $L và '*"*i$= '(a n64 Nh6 này )h#

-a ?ng v9 'Fu $%' '`ng như $nh 'hF$ >Y, h6a, inh4 Nhưng 'hng -9u '6 'hung $ $nh

'hF$ vE$ >Y như: nh?y với - •, nhi$ -, ung ôi4 Phương "h#" L Qng hin nay 'h*

?ng àng này >à "hương "h#" oay=%<€y<oay=% o€ob4

II0 TDNH CHET MÀNG NANO

 Nu như [ àng $hông $hư]ng, 'hc $ $ nguyWn $L nJ $%Wn /9 d$, 'n >?i nJ

u /Wn $%*ng, / '#' >ớ" ng*ài 'h= 'hfn $hR $%*ng vE$ >iu àng nan*, hAu h$ '#' nguyWn $L

 / "hơi %a /9 d$ h*d' / 'h= 'hfn )hông -#ng )&4 D* vEy, [ àng '6 /9 ày )'h $hướ'

nan*, ~i nguyWn $L -ư.' $! * $h& hin $*àn / $nh 'hF$ '(a Rnh $%*ng $ương $#' với ôi

$%ư]ng Oung Guanh $h=* hướng /9 d$ àng nan*, >à OuF$ hin nhi9u -d' $nh nZi $%i

$h=* 'hi9u này như: Guang, -in, $C, 'ơ4 Và nh^ng $nh 'hF$ này / 7nh hư[ng /[i /a hiu

Kng au:

5

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 9/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

 Hiệu ứng lượng ! : -i với '#' vE$ >iu vT ô g %F$ nhi9u nguyWn $L 1µ '6

)h*7ng 1012 nguyWn $Lb, '#' hiu Kng >ư.ng $L -ư.' $%ung ha 'h* '#' nguyWn $L4 VR $h '6

$h& /; Gua nh^ng )h#' /i$ nglu nhiWn '(a $Cng nguyWn $L à 'hc O$ gi# $% $%ung /Rnh '(a

'hng4 Nhưng, -i với 'Fu $%' àng nan*, * )'h $hướ' /9 ày %F$ %F$ nh;, h '6 $

nguyWn $L nWn $nh 'hF$ >ư.ng $L '(a àng nan* $h& hin %_ hơn và )hông $h& /; Gua4 Hin

$ư.ng >ư.ng $L gy /[i àng nan* 'n '6 $Wn >à Guan$u ‚=>>ƒ hay 'n g+i >à h >ư.ng $L

< >à $E" h." '#' h?$ >ư.ng $L Guan$u *$b4 Hin $ư.ng này gy %a '#' $hay -Zi $%*ng $nh

'hF$ Guang OuF$ hiu Kng ">a*n và ">a*n /9 d$, - hF" $hu #nh #ng, $%uy9n Gua hay

 "h7n #nh #ngb, '`ng như $nh 'hF$ -in /#n ln, ln -inb '(a àng nan*4 V Q,

àng /*ng /6ng Oà "hng $h& hin #nh #ng d' } ưới #nh #ng nh] /9 ày %F$ nh;, $%*ng

)hi )hi nướ' Oà "hng )hông $h& '6

HRnh „„41: Bnh 'hF$ Guang gy /[i hiu Kng >ư.ng $L '(a àng nan* '*"*i$= 'hKa

h?$ nan* su…Siz2:

€Wn $%#ib<HRnh >ớ" àng nan* -a >ớ" 1<g>a, 2<"*>y'a$i*n, 3<h?$ nan*b4

€Wn "h7ib<HRnh 7nh v9 àu f' $%uy9n Gua $%Wnb và "h7n O? ướib '(a h?$ nan*

su…Siz2 $h=* - ày >ớ" v; Siz2

x

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 10/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

 Hiệu ứng "# $% : [ vE$ >iu nan*, nguyWn $L nJ $%Wn /9 d$ I 'hi $c > -#ng

)& * với $Zng nguyWn $L4 Mà '#' nguyWn $L $%Wn /9 d$ $hư]ng '6 $nh 'hF$ )h#' /i$ *

với '#' nguyWn $L /Wn $%*ng4 NWn '#' hiu Kng >iWn Guan -n /9 d$ như: )h7 n@ng hF" "hQ,

- h*?$ -ng /9 d$ '(a vE$ >iu àng nan* I >ớn hơn * với àng $hông $hư]ng4 Xi9u

này [ %a nh^ng Kng Qng )† iu $%*ng >Tnh v!' O' $#' và nhi9u >Tnh v!' )h#' à '#'

nhà )h*a h+' -ang Guan $ nghiWn 'Ku4

 Hiệu ứng &'() )ư*(: '#' vE$ >iu àng $%uy9n $hng $hư]ng -d' $%ưng /[i $

-?i >ư.ng vE$ >Y, h6a h+' )hông -Zi như: - ln -in, nhi$ - n6ng 'h7y, 'ơ $nh, - /9n

Buy nhiWn, '#' -?i >ư.ng này $hư]ng '6 giới h?n v9 )'h $hướ'4 ‡hi /9 ày '(a àng -(

nh; hơn )'h $hướ' này, $K' '6 $h& * #nh -ư.' với )'h $hướ' $ới h?n '(a '#' $nh 'hF$

'(a vE$ >iu, $hR $nh 'hF$ '(a àng I / $hay -Zi h*àn $*àn * với $nh 'hF$ vE$ >iu )hi4

Hin $ư.ng này g+i >à hiu Kng )'h $hướ'4 o' này '#' $nh 'hF$ '(a vE$ >iu I $un $h=*

'#' Guy $f' >ư.ng $L4

€7ng „„41: X ài $ới h?n '(a $ $nh 'hF$ '(a vE$ >iu

F%& 2 TJ%& 2&8 ĐL 6 8 &3% %;Q

TJ%& 2&8 S%

€ướ' 6ng -in $L 10<100

uUng -ư]ng $! * $%ung /Rnh )hông -ànhi

1<100

Hiu Kng -ư]ng ngA 1<10

TJ%& 2&8 8  X ày v#'h *ain 10<100

uUng -ư]ng $#n O? "in 1<100

TJ%& 2&8 "%H >ư.ng $L 1<100

X ài uy gi7 10<100

X u /9 d$ )i >*?i 10<100

TJ%& WX" Y% X ài >iWn )$ 'd" **"=%  0,1<100

X $h• $hFu M=in=%  1<100

TJ%& 2&8 2( Bương $#' /F$ -nh OK 1<1000

€iWn h?$ 1<10

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 11/33

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 12/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

Kng, /# nh Nhi$ oớ" ng@n4

oớ" $*7 nhi$

Với '#' $nh 'hF$ này, àng nan* -ư.' O= >à vE$ >iu )hông $h& $hiu $%*ng -]i ng

'ông ngh hin nay4

III0 CÁC PHƯƠNG PHÁP CHb TẠO VÀ KỸ THUẬT GIA CNG MÀNG NANO

1. +,+ PH-NG PH,P +H/ TẠO

+0+0 PHƯƠNG PHÁP BAc BdC NHI@T CHÂN KHNGPhương "h#" /ay /' nhi$ Bh=%a> =va"*%a$i*nb, 'n g+i >à "hương "h#" /ay /'

nhi$ $%*ng 'hn )hông, >à )q $huE$ $?* àng nan* /Jng '#'h /ay hơi '#' vE$ >iu 'An $?*

$%*ng ôi $%ư]ng 'hn )hông 'a* và ngưng $Q $%Wn - -ư.' -$ n6ng h*d' )hông -$

n6ngb4

 Ngu0n l (3a 4)ư5ng 4)64:

€ "hEn 'hnh '(a '#' $hi$ / /ay /' nhi$ >à $ /ung 'hn )hông -ư.' h$ 'hn

)hông 'a* '} 10<5 < 10<x B*%%b nh] '#' /ơ 'hn )hông  /ơ )hu'h $#n h*d' /ơ "hn 

$L444b4 Ngư]i $a kng $ $huy9n -in $%[  $hư]ng >à /Jng '#' vE$ >iu 'hu nhi$ và $

$ương $#' với vE$ >iu, v Q như v*n"h%a, $an$an, ">a$inu444b -$ n6ng 'h7y '#' vE$ >iu

ngun, và au -6 $i" $Q' -$ a* 'h* vE$ >iu /ay hơi4

VE$ >iu /ay hơi I ngưng -+ng >Wn '#' - -ư.' gfn và* gi# "ha $%Wn4 Xôi )hi - 'n

-ư.' -$ n6ng $ky $h=* Q' -'h $?* àng $inh $h& hay vô -nh hRnh444b -& -i9u )hi&n '#'

Gu# $%Rnh >fng -+ng '(a vE$ >iu $%Wn àng4 hi9u ày '(a àng $hư]ng -ư.' O#' -nh $%!'

$i" $%*ng Gu# $%Rnh 'h $?* /Jng /in $L $h?'h anh4 ‡hi àng /ay hơi I /# >Wn /in $L -d$

'?nh -, /in $hiWn $An a* -ng '(a /in $L I $c > với 'hi9u ày '(a àng /# và*

 /in $L4

m

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 13/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„41: Sơ - nguyWn >Y "hương "h#" /ay /' nhi$

-u n)ượ( 7i8$ (3a 4)ư5ng 4)649

Phương "h#" /ay /' nhi$ '6 ưu -i& >à -ơn gi7n, và ễ $?* àng h." 'hF$ vR )hi >à

 /ay hơi vE$ >iu $hR $*àn $h& h." 'hF$ h*d' h." )i I / /ay hơi * -6 àng $?* %a '6 h."

$hK' )h# gAn với $hành "hAn '(a vE$ >iu ngun -d' /i$ >à '#' h." )ib4

 Như.' -i& Guan $%+ng >à )hông $h& $?* '#' àng Gu# ;ng, )h7 n@ng )hng 'h

'hi9u ày '(a "hương "h#" này %F$ ) * $' - /ay /' )h6 -i9u )hi&n4 Xng $h]i, vi''h $?* '#' àng -a >ớ" >à %F$ )h6 )h@n với "hương "h#" này4

tAn -y ngư]i $a '7i $in "hương "h#" này như L Qng 'hk -in $L -& /ay /', '7i

$in $ư]ng /a* Guanh ngun -$ "hương "h#" $ư]ng n6ngb444 Buy nhiWn $c > L Qng

 "hương "h#" /ay /' nhi$ $%*ng )q $huE$ àng ;ng -ang ngày 'àng $4

+070 PHƯƠNG PHÁP PHeN ZẠ CATHO)f

Phn O? Sputtering b hay Phn O? 'a$h*=  at!ode Sputtering b >à )q $huE$ 'h $?*

àng ;ng !a $%Wn nguyWn >Y $%uy9n -ng n@ng /Jng '#'h kng '#' i*n )h hi như s%,

Š=, H=-ư.' $@ng $' ưới -in $%ư]ng, nhJ /fn "h# /9 d$ vE$ >iu $C /ia vE$ >iu,

10

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 14/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

$%uy9n -ng n@ng 'h* '#' nguyWn $L này /ay v9 "ha - và >fng -+ng $%Wn -4 Phương "h#"

 "hn O? 'a$h*= -ư.' O= >à "hương "h#" $hư]ng kng nhF$ -& 'h $?* àng nan*4

 Ngu0n l :u6 ;<n) 4)=n >? 

Phương "h#" này !a $%Wn Gu# $%Rnh $%uy9n -ng n@ng4 VE$ >iu ngun -ư.' $?* $hành

?ng '#' $F /ia $a%g=$b và -ư.' -d$ $?i -in '!' $hư]ng >à 'a$h*=b, $%*ng /ung -ư.'

h$ 'hn )hông 'a* và n?" )h hi với #" uF$ $hF" '} 10‹2 /a%b4 Dưới $#' Qng '(a -in

$%ư]ng, '#' nguyWn $L )h hi / i*n h6a, $@ng $' và 'huy&n -ng v9 "ha /ia với $' - 

>ớn và /fn "h# /9 d$ /ia, $%uy9n -ng n@ng 'h* '#' nguyWn $L vE$ >iu $?i /9 d$ /ia4 #'

nguyWn $L -ư.' $%uy9n -ng n@ng I /ay v9 "ha - và >fng -+ng $%Wn -4 #' nguyWn $L

này -ư.' g+i >à '#' nguyWn $L / "hn O?4 Như vEy, 'ơ 'h '(a Gu# $%Rnh "hn O? >à va'h? và $%a* -Zi Oung >ư.ng4 Bhông $hư]ng, '#' nguyWn $L / "hn O? )hi -n - lu '6

n@ng >ư.ng 'n )h*7ng 1<2=V, n@ng >ư.ng này -( >ớn -& '#' nguyWn $L >@ng -+ng I $!

-ng f" O" và /# và* - lu 'hf' hơn * với "hương "h#" /ay /' nhi$4 €9 ày '(a

>ớ" àng "hQ $hu' và* $h]i gian "hn O?4

HRnh „„„42: NguyWn >Y '(a Gu# $%Rnh "hn O?

11

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 15/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

+6( &@ )uậ 4)=n >?:

142414 "# t!u$t p!%n xạ p!&ng 'i(n p!át sáng :

‡q $huE$ này '6 3 >*?i:

a) *!%n xạ p!&ng 'i(n p!át sáng m+t c!iều disc!arge sputtering.

oà )q $huE$ "hn O? L Qng hiu -in $h $ 'hi9u -& gia $' 'h* '#' i*n )h hi4

€ia vE$ >iu -ư.' -d$ $%Wn -in '!' 'a$h*=b $%*ng 'huông 'hn )hông -ư.' h$ 'hn

)hông 'a*, au -6 n?" -Ay /[i )h hi $hư]ng >à s%g*nb với #" uF$ $hF" '} 10‹2 /a%b4

 Ngư]i $a L Qng $ hiu -in $h $ 'hi9u 'a* $h -d$ gi^a /ia -in '!' b và - lu

-in '!' ươngb4 u# $%Rnh này >à Gu# $%Rnh "h6ng -in '6 )Œ $h=* "h#$ #ng ">a*n ! "h#$ Guang * i*n h6ab4 VR ng -in >à ng -in $ 'hi9u nWn '#' -in '!' "h7i ln -in

-& uy $%R ng -in, * -6 )q $huE$ này $hư]ng 'hc kng 'h* '#' /ia ln -in /ia )i >*?i,

h." )i444b4

12

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 16/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„43: Sơ - )q $huE$ "hn O? 'a$h*= $ 'hi9u

b) *!%n xạ p!&ng 'i(n p!át sáng xoay c!iều /0 disc!arge sputtering.

oà )q $huE$ L Qng hiu -in $h O*ay 'hi9u -& gia $' 'h* i*n )h hi4 N6 vln '6

'Fu $?* 'hung '(a '#' h "hn O?, $uy nhiWn #y "h#$ >à $ #y "h#$ 'a* $An L Qng

ng -in $An  6ng vô $uyn $hư]ng >à 13,5x MHb4 VR ng -in >à O*ay 'hi9u, nWn n6

'6 $h& L Qng 'h* '#' /ia vE$ >iu )hông ln -in4 M#y "h#$ 'a* $An I $?* %a '#' hiu -in 

$h O*ay 'hi9u ?ng Oung vuông4 VR h L Qng ng -in O*ay 'hi9u nWn "h7i -i Gua $

 / "hi h." $%[ )h#ng và h $Q -in '6 $#' Qng $@ng 'ông uF$ "h6ng -in và /7* v #y

 "h#$4 u# $%Rnh "hn O? '6 hơi )h#' * với "hn O? $ 'hi9u [ 'h~ /ia vCa / /fn "h# /[i

'#' i*n '6 n@ng >ư.ng 'a* [ nLa 'hu )† '(a hiu -in $h và / /fn "h# /[i '#' =>='$%*n 

[ nLa 'hu )† ương4

13

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 17/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„4: Sơ - nguyWn >Y )q $huE$ "hn O? 'a$h*= O*ay 'hi9u

c) *!%n xạ magnetron

oà )q $huE$ "hn O? L Qng '7 với O*ay 'hi9u và $ 'hi9ub '7i $in $C '#' h "hn O?

$hông Qng /Jng '#'h -d$ /Wn ưới /ia '#' na 'h4 BC $%ư]ng '(a na 'h '6 $#'

Qng /ly '#' -in $L và* $%*ng vkng gAn /ia4 Nh] -6 >à $@ng hiu Kng i*n h6a, * >à

$@ng $An va 'h? gi^a '#' -in $L với '#' nguyWn $L )h [ gAn /9 d$ /ia4 D* -6, >à

$@ng $' - >fng -+ng -ng $h]i gi7 ! /fn "h# '(a -in $L và i*n $%Wn /9 d$ àng, gi7

nhi$ - - và '6 $h& $?* %a ! "h6ng -in [ #" uF$ $hF" hơn4 " uF$ "h6ng -in 'àng $hF"

$hR 'àng gi7 -ư.' nng - '#' $?" 'hF$ $%*ng àng và $@ng -ng n@ng '(a '#' nguyWn $L

-n >fng -+ng $%Wn àng * Gu7ng -ư]ng $! * $%ung /Rnh =an %== "a$hb '(a '#'nguyWn $L )h 'àng $@ng, và * -6 $Fn va 'h? với '#' nguyWn $L >fng -ng 'àng gi7,

)hi #" uF$ 'àng $hF"b4

1

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 18/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„45: Sơ - )q $huE$ "hn O? 'a$h*= agn=$%*n

142424 "# t!u$t p!%n xạ b1ng c!2m electron !ay c!2m ion:

6 nguyWn $f' ging với "hn O? "h#$ #ng, nhưng ngư]i $a L Qng ng "h6ng i*n

hay 'hk =>='$%*n %iWng /i$ và /fn $%!' $i" và* /ia4 D* -6, )q $huE$ này -i9u )hi&n -ư.'

'#' $hông '(a Gu# $%Rnh, $?* àng hiu Gu7 hơn4

-u n)ượ( 7i8$ (3a 4)ư5ng 4)64 4)=n >? (a)oB

6 $h& Kng Qng 'h* %F$ nhi9u >*?i vE$ >iu /ia )h#' nhau: vE$ >iu ln -in hay )hông

ln -in, vE$ >iu '6 nhi$ - n6ng 'h7y 'a* hay '6 #" uF$ hơi /U* ha $hF"

Dễ àng 'h $?* '#' àng -a >ớ" nh] $?* %a nhi9u /ia %iWng /i$4 Xng $h]i, -y >à

 "hương "h#" %Ž $i9n, và ễ $h!' hin nWn ễ àng $%i&n )hai [ Guy ô 'ông nghi"4

15

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 19/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

X /# nh '(a àng $%Wn - %F$ 'a* * '#' nguyWn $L -n >fng -+ng $%Wn àng '6

-ng n@ng )h# 'a* '_ vài =Vb * với "hương "h#" /ay /' nhi$4

Màng $?* %a '6 - nh# /9 d$ $hF" và '6 'Fu $?* gAn với '(a /ia, '6 - ày 'hnh O#'

hơn nhi9u * với "hương "h#" /ay /' nhi$ $%*ng 'hn )hông4

D* '#' 'hF$ '6 hiu uF$ "hn O? )h#' nhau nWn vi' )hng 'h $hành "hAn với /ia $Z

h." $%[ nWn "hK' $?"4 ‡h7 n@ng $?* %a '#' àng %F$ ;ng với - 'hnh O#' 'a* '(a "hương

 "h#" "hn O? >à )hông 'a*4 Hơn n^a, )hông $h& $?* %a àng -ơn $inh $h&4

Hiu uF$ n@ng >ư.ng '(a Gu# $%Rnh "hn O? $hF": "hAn >ớn n@ng >ư.ng /fn "h# '(a '#'

i*n /in $hành nhi$ n@ng nung n6ng /ia vR $h /ia 'An "h7i -ư.' >à #$ $$b4

+0,0 PHƯƠNG PHÁP NUI CEc CHgM PHÂN Th 

Phương "h#" nuôi 'Fy 'hk "hn $L M*>='u>a% /=a ="i$aOy, vi$ $f$ >à M€b >à $

)q $huE$ 'h $?* àng nan* /Jng '#'h L Qng '#' 'hk "hn $L >fng -+ng $%Wn - -ơn $inh

$h& $%*ng 'hn )hông iWu 'a*, -& $hu -ư.' '#' àng ;ng -ơn $inh $h& '6 'Fu $%' $inh $h& 

gAn với 'Fu $%' '(a >ớ" -4 ‡q $huE$ này -ư.' "h#$ inh và* nh^ng n@ x0 '(a $h )\ 20 

$?i Phng $h nghi €=>> €=>> B=>="h*n= oa/*%a$*%i=b /[i 4‘4 s%$hu%  và s>%= {4 h*4

‡q $huE$ M€ 'hc '6 $h& $h!' hin -ư.' $%*ng ôi $%ư]ng 'hn )hông iWu 'a* #" uF$ 

$hF" hơn 10‹m B*%%b, * -6 'h* "h" $?* %a '#' àng ;ng vE$ >iu '6 - $inh )hi$ %F$ 'a*4

Xi& )h#' /i$ 'ơ /7n nhF$ '(a M€ * với '#' )q $huE$ àng ;ng )h#' v Q như "hn 

O?, /' /ay nhi$444b >à '#' àng ;ng -ơn $inh $h& -ư.' +' >Wn $C >ớ" - -ơn $inh $h& với

$' - '!' $hF" và '6 - h*àn h7* %F$ 'a*4 VR $h, )q $huE$ M€ 'h* "h" $?* %a '#' iWu

;ng, $hE 'h 'hc vài >ớ" nguyWn $L với 'hF$ >ư.ng %F$ 'a*4 Buy nhiWn, 'hF$ >ư.ng àng

'`ng như $' - $?* àng "hQ $hu' nhi9u và* - h*àn h7* '(a ôi $%ư]ng 'hn )hông4

oớ" - /Wn ưới >à -ơn $inh $h&, '6 $#' Qng như $ A -& >ớ" àng "h#$ $%i&n >Wn $%*ng

Gu# $%Rnh ngưng -+ng4

1x

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 20/33

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 21/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

Bi" $h=*, ng 'hF$ n9n -U -ư.' "h( >ớ" "*>y'a$i*n và $%*ng ung 'h 'hKa "*>yani*n

hay '#' h?$ nan* $'h -in 4 Sau )hi hRnh $hành >ớ" -ơn "*>yani*n hay >ớ" -ơn h?$ nan*,

>?i $i" $Q' Fy )hô4 o' này $a -ư.' >ớ" /i>ay=% "*>y'a$i*n<"*>yani*n hay >ớ" "*>y'a$i*n<

>ớ" h?$ nan*b4 u# $%Rnh này >?i 'K $i" $Q' 'h* -n )hi -?$ -ư.' àng nan* '6 /9 ày *ng

un4 Phương "h#" này $ $n ) hơn * với "hương "h#" 'hk "hn $L M€4

HRnh „„„4x: ‡q $huE$ $?* àng nan* $h=* "hương "h#" oay=%</y<oay=% 

+0.0 PHƯƠNG PHÁP PHi jUAc

Phương "h#" "h( Guay S"in<'*a$ingb >à "hương "h#" -ư.' L Qng -& $?* àng ;ng

-ng nhF$ $%Wn 'hF$ n9n /Jng "hng4 Bhông $hư]ng, $ >ư.ng nh; 'hF$ >ớ" "h( -ư.' 'h*

và* $%ung $ '(a 'hF$ n9n -ang Guay [ $' - $hF" h*d' -ng yWn4 hF$ n9n au -6 -ư.'

Guay [ $' - 'a* -& $%7i vE$ >iu "h( /[i >!' >y $ 'h* -n )hi àng -?$ - ày *ng

un4 Dung ôi -ư.' kng $hư]ng ễ /ay hơi và /' hơi ngay4 VR vEy, gia $' g6' 'àng

'a*, àng 'àng ;ng4 X ày '(a àng '`ng "hQ $hu' và* - nhớ$ và nng - ung 'h

và ung ôi4

Phương "h#" này -ư.' L Qng %ng %Ui $%*ng vi' 'h $?* '(a àng i'%* *Oi$ L

Qng $i9n 'hF$ *><g=>4 Xng $h]i '`ng '6 $h& -ư.' L Qng -& $?* %a àng '6 - ày nan*4

18

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 22/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„4: B?* àng nan* -a >ớ" /Jng "hương "h#" "h( Guay

2. +,+ EF THT GIA TNG JK+ TNH MÀNG 

hK' n@ng h6a àng nan* >à >à $ /ướ' Guang $%+ng nhJ [ %ng Kng Qng '(a

'hng, $K' >à $hW và* '#' 'hK' n@ng, $nh 'hF$ *ng un như - /9n 'ơ, -in, Guang,

$C

70+0 KỸ THUẬT *h )kNG CÁC CHET ĐlN

Xy >à $ )q $huE$ gi" gia $@ng $nh 'hF$ àng /Jng '#'h -ưa 'hF$ -n và* /Wn $%*ng

'Fu $%' àng4 V Q như h?$ nan* '6 $nh 'hF$ *ng un, vR $h $?* nWn vE$ >iu'*"*i$= '6 $nh /9n 'a*4 S! hin in '(a '#' 'hF$ -n $$ $%*ng 'Fu $%' àng 'h( yu

nhJ >à "h*ng "h $hW '#' $nh 'hF$ 'ơ h+' và - /9n '(a àng4 Nu như '#' 'hF$ -n

$; %a $hQ -ng, $hR '6 $h& $hay /Jng '#' h?$ nan* [ h^u nhưng -d' $nh *ng un như O'

$#' P$, sg, ‘hb, Guang h+' Biz2b, "h#$ #ng Si, |nS=b, hay '#' h?$ nan* $C, nan*

'=%ai' >ư}ng '!' hay #" -in h*d' '#' 'hF$ '6 h*?$ $nh h6a h+'Nh^ng 'hF$ -n này '6

$h& >à '#' h?$ nan* hay nhưng 'Fu $%' -a 'hK' n@ng như u>>=%=n= '(a ng nan* ‡hi -ưa

và* 'Fu $%' àng nan*, $hR 'hF$ -n )hông -ư.' >à 7nh hư[ng '#' -d' $nh 'ơ h+' hin'6 '(a àng4 #' 'hF$ -n nan* '6 $h& $hW và* $%*ng Gu# $%Rnh $Zng h." àng4

1m

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 23/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„48: M$ ?ng 'hF$ -n nan*:

ab ?ng 'Au sg, Siz2, S=b, /b ang )hi >E" "hương sg, |nzb,

'b ?ng vô -nh P$, su, sgb, b ?ng $a gi#' sub, =b ?ng vng |nzb,

7070 KỸ THUẬT CÁN MmNG

‡q $huE$ '#n ;ng >à )q $huE$ -ơn gi7n nhF$ -& $@ng $nh n@ng 'h* àng nan* >à $?*'Fu $%' nan* '*"*i$= ?ng an‚i'h $C hai hay nhi9u >ớ" àng nan* ;ng4 M~i >ớ" I

ang -d' $nh %iWng -& $?* nWn 'Fu $%' nan*'*"*i$ ang -d' $nh vư.$ $%i4 V Q, >ớ"

này '6 $h& $$ v9 -in, >ớ" )ia $hR $hiWn v9 'ơ $nh 6 $h& n6i, ! )$ h." này )h# -a ?ng,

gAn như >à vô h?n và $%*ng -6, ! giới h?n 'ơ /7n >à ! )$ nh và ! "h7n Kng gi^a '#'

>ớ"4 M$ -i9u Guan $%+ng '(a )q $huE$ '#n ;ng này >à "h7i OL >Y ! *Oy h6a, 'hng gc, 'An

$hi$ 'h* nh^ng /9 d$ ) Zn -nh và nh?y '7 với 'ơ h+', '6 $h& / *Oy h6a4 ŠL >Y này

kng 'h* '#' 'hF$ như )i 'ương, "*>y=%, )i >*?i, 'hF$ /#n ln và nh^ng h." 'hF$ '(a

'hng Vi' OL >Y I -ư.' $h!' hin /Jng nh^ng 'hF$ h*?$ -ng /9 d$4

20

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 24/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „„„4m: $ vài )i&u )$ h." 'ơ /7n '(a "hương "h#" '#n ;ng

70,0 KỸ THUẬTN THAc ĐnI CEU TReC MÀNG

M$ )q $huE$ 'hK' n@ng h6a >à !a $%Wn ! / $% 'Fu $%' àng nan*4 V Q, $a '6 $h&

$?* %a '#' >~ nan* hay )h= h[ $%Wn 'Fu $%' 2D '(a àng /Jng vi' )i&u *#$ hRnh h+' '(a

àng4

HRnh „„„410: Bhay -Zi 'Fu $%' àng /Jng vi' hRnh $hành >~, )h= h[ 

‡q $huE$ hRnh $?* >~ $%*ng àng -ư.' $h& hin [ hRnh „„„4114 Màng nan* i>i'*n -ư.'

)j" gi^a 2 >ớ" i>i'a $?* h i>i'a<i>i'*n<i>i'a và -d$ >Wn $F n9n Si4 Sau )hi $ôi >uyn,

21

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 25/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

$%*ng 'Fu $%' àng i>i'*n hRnh $hành '#' >~4 ‡'h $hướ' >~ I $c > $huEn với nhi$ - $ôi

>uyn4

HRnh „„„411: Gu# $%Rnh $?* >~ 'h* àng Si: ab $F n9n Si, /b '#' >ớ" i>i'a, i>i'*n,

i>i'a -ư.' -d$ >Wn $F n9n Si, 'b au )hi $ôi >uyn, >~ hRnh $hành $%*ng àng Si, b $F

n9n Si -ư.' $#'h %a

70<0 KỸ THUẬT THAc ĐnI B MT MÀNG

‡q $huE$ $hay -Zi 'Fu $%' I $?* %a nhi9u 7n "h• )h# "h*ng "h v9 $nh n@ng, và '6$h& g '6 '#' >*?i au:

S! gfn hay $?* )huôn lu '#' 'Fu $%' 3D hay d$ "hng >Wn /9 d$ àng4 Xi9u này

I '6 $h& >à $hay -Zi $nh 'hF$ Guang hay -in $C '(a /9 d$, gia $@ng hay h?n 'h $Rnh

$%?ng • 'Q' /, $@ng )h7 n@ng h$ hay -•y '#' $#' nhn inh h+'

 Nh^ng h*?$ $nh inh h+', inh h6a, hay h6a h+' '6 $h& -ư.' $?* nWn $hông Gua ! -nh

'#' >igan hay O' $#'

Vi' OL >Y ! $hQ -ng h6a /9 d$ 'h* '#' àng nan* nh?y '7 với 'ơ h+', h6a h+'

22

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 26/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

M$ vài ! $hay -Zi /9 d$ '6 $h& $hông Gua Kng Qng in nan* như hRnh4 S! $hay -Zi '6

$h& $h!' hin $%Wn àng nan* hay $hông Gua ! gfn '#' ?ng hRnh h+' )h#' nhau >Wn àng

như hRnh $%Q, ?ng +'

HRnh „„„412 : #' )i&u $hay -Zi /9 d$ àng nan*

IV0 pNG )kNG CiA MÀNG NANO

1. TNG ,T 

BC )hi àng nan* %a -]i, n6 -ư.' Kng Qng )h# %ng %Ui $%*ng 'ông ngh '`ng như

$%*ng -]i ng4

B%*ng '#' $nh 'hF$ '(a àng nan*, $c > gi^a /9 ày với $Zng $h& $'h /9 d$ >à -i9u

-#ng Guan $4 ’ hRnh „V41, 'h* $hFy 'kng $ $h& $'h như nhau, nhưng ! hF" "hQ $%Wn

àng nan* $; %a vư.$ $%i hơn * với àng $hông $hư]ng4 D* )hi 'kng $h& $'h, nhưng )hi [

)'h $hướ' nh; v9 /9 ày $hR in $'h /9 d$ $%Wn àng nan* $@ng >Wn -#ng )&, >à gia $@ng

$c > in $'h /9 d$ * với $h& $'h, $C -6 >à $@ng )h7 n@ng hF" "hQ4 Xi9u này )h# Guan

23

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 27/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

$%+ng 'h* Kng Qng và* '#' Gu# $%Rnh O' $#', gi" gia $@ng hiu uF$ 'huy&n h6a, -ng $h]i

$i$ )i -ư.' $ >ư.ng -#ng )& '#' )i >*?i GuY<-f$ $i9n như ">a$inu, "a>>aiu

$%*ng '#' h $hng O' $#' như i'%*%=a'$*%, i'%*'*nv=%$*%

HRnh „V41: S* #nh )h7 n@ng hF" "hQ gi^a àng $hông $hư]ng ab và àng nan* /b )hi

'kng $h& $'h4

 Nh^ng $hi$ / L Qng -d' $nh O' $#' '(a àng nan* 'n >à '#' h $hng "in i'%*,

h $hng >à ?'h<'huy&n h6a nhiWn >iu -d' /i$, àng nan* 'n '6 $h& O= >à vE$ >iu

$hay $h àng Nai*n $%uy9n $hng $%*ng "in nhiWn >iu $%a* -Zi "%*$*n PM nhJ nng 'a*

hiu n@ng '(a "in4 Màng Nai*n >à >*?i àng Su>*na$= $=$%a>u*%*=h$y>=n= $%Wn n9n

>u*%*"*>y=%<'*"*>y=% -ư.' %a -]i $C nh^ng n@ 1mx0, * 'ông $y h6a 'hF$ DuP*n$

Mqb4

“ng Qng )h# %ng >ớn )h#' '(a àng nan* >à 'h* '#' Gu# $%Rnh "hn %iWng, -6ng vai

$% như %y "hn $L hay >+' '#' $i&u "hn – $C "hn $#'h 'hF$ >;ng, )h 'h* -n >à ?'h

nướ' )h;i '#' 'hF$ ô nhiễ hay vi )hu•n, vi%u, hay )hL ui $C nướ' /i&n4 €[i vR, $%*ng

àng nan* $hR $c > gi^a )'h $hướ' >~ O" $hư]ng >à )'h $hướ' =* hay i'%*b với /9

ày $hR nh; hơn nhi9u * với àng $hông $hư]ng, và ày hơn )h*7ng 1000<10000 >An * với

'#' $i&u "hn 'An "hn $#'h4 D* $c > nh; hơn này, '#' $i&u "hn )hi -i Gua àng nan* I

'hc "h7i -i Gua >~ O" '6 - ài )Wnh ngfn hơn nhi9u và )$ Gu7 >à $' - $%uy9n vEn Gua

2

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 28/33

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 29/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

• ông ngh inh h+': "hn $#'h<"hn $'h và nghiWn 'Ku '#' h g=n,

DNs, $ /à*, "%*$=in, nghiWn 'Ku "hn $'h vi%u và "hương "h#" K' 'h, 'h $?*

'#' 'Fu $%' nan* "h;ng inh h+', hay nh^ng 'hF$ nh?y inh<h6a

• ‡q $huE$ h6a h+': '#' Gu# $%Rnh 'h* $h!' "h•, hay '#' Gu# $%Rnh >+'như: >+' nan*, >+' $h• $hFu ngư.', iWu >+', >+' i'%*, nhJ 7n uF$ h6a 'hF$

'6 - $inh )hi$ 'a*, )hL ui $C nướ' /i&n, "hn $#'h '#' )h -a 'Fu $L, >*?i

nướ'

• €7* v ôi $%ư]ng: $hu hi '#' h." 'hF$ h^u 'ơ ễ /ay hơi $C )hông

)h hay '#' 'hF$ '6 gi# $%, OL >Y nướ' $h7i, )i& *#$ ô nhiễ )hông )h, $#i inh

và >à $inh )hi$ nướ' ung, 'h $?* '#' =n*% inh<h6a

• €#n ln, -in $C và Guang h+': 'h $?* '#' =$='$*% v9 nhi$, ">a*n,

nhEn /i$ '#' $i&u "hn hay g' $! *, '#' 'Fu $%' nan*"h*$*n, '#' vE$ >iu

Guang h+'<-in $C, àn hRnh -in $L, '#' iWu $Q -in hay nh^ng Kng Qng 'h*

$hi$ / rV hay Š<%ay

• X]i ng: nh^ng $F àng $hay -Zi àu f', "h7n Guang, 'hng 'h6i<

'hng nfng 'h* >Tnh v!' $%ang $%, hay nh^ng 'hi' gương $ 'hi9u $hư]ngkng $%*ng nghiWn 'Ku, -i9u $%a

2. NG QNG MÀNG NANO TRONG +SNG NGH PIN MKT TRUI 

Với $nh 'hF$ >ư.ng $L Guan$ub nZi $%i $?* nWn -d' $nh Guang – -in -d' /i$ )hi [

)'h $hướ' nan*, àng nan* >à -i $ư.ng -ư.' nghiWn 'Ku và Kng Qng >ớn $%*ng "in d$

$%]i n6i %iWng và h $hng Guang<-in</#n ln n6i 'hung4

Màng nan* hin nay -ư.' kng $%*ng "in d$ $%]i nhJ $@ng )h7 n@ng hF" $hQ #nh

#ng, gi" gi7 hin $ư.ng "h7n #nh #ng, $hF$ $h*#$ %a ng*ài ôi $%ư]ng )hin gi7 )h7

n@ng hF" $hQ #nh #ng gy /[i '#' >inh )in '6 $%*ng "in, -ng $h]i gi" >à gi7 )'h

2x

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 30/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

$hướ' "in, '`ng như gi7 gi# $hành, -ng $h]i $@ng '7 Guan v9 àu f', và "h? vi L

Qng4

B#' Qng '(a àng nan* $%*ng "in d$ $%]i $%Rnh /ày như au:

D!a và* $nh 'hF$ ">a*n /9 d$ hay $nh 'hF$ Guan$ub '(a h?$ nan*, nWn ! hF" $hu

#nh #ng I "hQ $hu' và* $Cng >*?i h?$ nan* và )'h $hướ' h?$, h?$ 'àng nh; $hR /anga" I

'àng $in v9 vkng $L ng*?i, 'àng >ớn $in v9 vkng hng ng*?i hRnh „V43b4 D* -6, àng

nan* )i >*?i hay '*"*i$=<)i >*?i I $hay $h '#' >ớ" àng $%uy9n $hng, '6 $h& $

hay vài >ớ" với /9 ày )h#' nhau, '6 $h& 'kng $ >*?i )i >*?i hay )h#' >*?i4 BC -6, gi"

>à $@ng vkng /anga" $%*ng Uy Guang "hZ '(a d$ $%]i, $@ng -#ng )& )h7 n@ng hF" $hQ

#nh #ng4

HRnh „V43: €anga" $h=* )'h $hướ' h?$ Guan$u

Bh=* $huy$ v9 ! gia* $h*a àng ;ng, )hi 6ng #nh #ng $%uy9n Gua vE$ >iu àng

;ng, I -ng $h]i "h7n O? [ d$ $%Wn và $%uy9n Oung d$ ưới4 ‡hi $i" O' với d$

2

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 31/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

ưới, #nh #ng >?i $i" $Q' $%uy9n Gua h*d' / "h7n O?4 nh #ng "h7n O? $C d$ $%Wn và d$

ưới I gia* $h*a với nhau4 X gia* $h*a I $@ng 'ư]ng hay $%i$ $iWu "hQ $hu' và* ! )h#'

 /i$ - ;ng, h )h' O? '(a >ớ" àng, và g6' $ới '(a $ia #ng /an -Au >Wn >ớ" àng4

Mà $a /i$ %Jng, "in d$ $%]i hay "in Guang -in g nhi9u >ớ" àng ;ng O" 'hng >Wn

nhau nhJ $@ng ! hF" $hu #nh #ng và* >ớ" /#n ln

 /Wn $%*ng4 NWn #nh #ng $hư]ng $hF$ $h*#$ gi^a '#' >ớ"

àng nơi hin $ư.ng gia* $h*a O7y %a4

VR $h, ng*ài )h7 n@ng $@ng hF" $hQ #nh #ng, àng

nan* 'n '6 $#' Qng 'hng ! "h7n O? #nh #ng, gy

$hF$ $h*#$ %a ôi $%ư]ng4 Xi9u này >à *, ưới $#' -ng

'(a '#' "h*$*n #nh #ng, '#' =>=$%*n $%Wn /9 d$ h?$

nan* '6 $%*ng àng nan* / )'h $h'h hRnh $hành hiu

Kng ">a*n $%Wn /9 d$ h?$ nan*, >à 'h'h hướng '#'

 "h*$*n #nh #ng, )hin 'hng /E$ >?i và -i $i" v9 "ha

 "in4 hnh -i9u này >à $@ng ! hF" $hu nh^ng $ia #ng '6 /ướ' 6ng ài hơn, gi" 'huy&n

h6a n@ng >ư.ng $$ hơn và gi7 $hF$ $h*#$ #nh #ng $$ hơn4

Pin d$ $%]i kng 'ông ngh này 'n g+i >à "in d$ $%]i ">a*n hay "in d$ $%]iGuan$u *$4

28

HRnh „V43 : S! $hF$ $h*#$ #nh #ng* "h7n O? '(a "in d$ $%]i àng;ng $hông $hư]ng4

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 32/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

HRnh „V4: B#' Qng 'hng "h7n #nh #ng '(a '#' h?$ nan* 'hKa

$%*ng àng nan* 'h* "in d$ $%]i ">a*n

2m

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM

WWW.FACEBOOK.COM/DAYKEM.QUYNHONWWW.DAYKEMQUYNHON.UCOZ.COM 

8/11/2019 Công nghệ màng nano, tính chất, chế tạo và ứng dụng

http://slidepdf.com/reader/full/cong-nghe-mang-nano-tinh-chat-che-tao-va-ung-dung 33/33

 Ngô Nguyễn Phương Duy – MSHV: 13050180

KbT FUẬN

6 $h& n6i, àng nan* %a -]i như $ /ướ' ng*d' ới $%*ng 'ông ngh àng4 Với '#'

$nh 'hF$ nZi /E$ v9 Guang<'ơ<-in * /[i '#' hiu Kng -d' /i$ '(a vE$ >iu nan* gy nWn4

à n6 ngày 'àng -ư.' Kng Qng %ng %Ui, gi7i Guy$ -ư.' nh^ng vFn -9 à 'ông ngh

àng i'%* vln 'hưa >à -ư.'4

Hin nay, 'ông ngh àng nan* >à $ $%*ng nh^ng >Tnh v!' -ang -ư.' nghiWn 'Ku

?nh I '(a )h*a h+' vE$ >iu, vE$ >Y 'hF$ %fn, -in $L, /#n ln '`ng như $%*ng '#' Kng

Qng 'h* -]i ng4

TÀI FI@U THAM KHqO

”14*van Ma$*vi' an |*%an a)i— 200mb4 Nan*=/%an=: s N=‚ MMS‰NMS€ui>ing €>*'), Micro 3lectronic and Mec!anical Systems, ‡=ni'hi Ba)aha$a 4b, „S€N:m8<m53<30<02<8, „nB='h, svai>a/>= %*:h$$":‰‰‚‚‚4in$='h*"=n4'*‰/**)‰i'%*=>='$%*ni'<an<='hani'a><y$=‰nan*=/%an=<a<n=‚=<n=</ui>ing</>*') 

”24oui M4oi<Maan 200b, Nan*=$a> *%a$i*n an '*>*%,  Materials today,„S€N:13xm<0214

”34Mi>$*n zh%ing 1mm2b, Materials Science o4 5!in 0ilms, s'a=i' P%=, o*n*n, 1$

=i$i*n, „S€N:m8<0<12<52mm0<Š4

”4Mi>$*n zh%ing 2001b, Materials Science o4 5!in 0ilms, s'a=i' P%=, o*n*n, 2n

=i$i*n, „S€N:m8<0<12<52m5<14

”54h$$":‰‰‚‚‚4)h*ah*'4'*4vn‰'*ngngh=*i‰'*ng<ngh=<*i‰2m8m˜"in<a$<$%*i< ">a*ni'<ngh=<$hua$</a$<giu<anh<ang4a"O

”x4h$$":‰‰vi4‚i)i"=ia4*%g‰‚i)i‰ ”4h$$":‰‰=n4‚i)i"=ia4*%g‰‚i)i‰ 

”84#' $hông $in $C in$=%n=$4

WWW.DAYKEMQUYNHON.COM