超高強度鋼部材のホットスタンピング 高張力鋼板の …plast.me.tut.ac.jp/present/hotstamping11.pdfコイル材 ブランキング ロボット搬送 ローラー搬送
真空搬送ロボット/プラットフォーム...NCHシリーズ 単位: m 真 空 搬 送 ロ...
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真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。
真空搬送ロボット / プラットフォーム
多彩なアーム構成: ハンドの数や回転半径、ストロークなど装置仕様に応じたアームを選択できます。 高精度搬送:
剛性の高いアームと信頼性に優れたアクチュエータを採用し、安定した搬送が行えます。 高真空対応:
10-6Paまでの高真空に対応します。(ELEC-RZ/COVOT) 真空搬送プラットフォームも提供:
ロボットおよびコアチャンバー /ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームも各種ラインアップしています。
特 長
各種半導体向け製造装置でのウェーハ自動搬送 各種真空実験装置での基板搬送
用 途
ELEC-RZ
Vacuum Process Tools
VacuumProcess Tools
高真空対応ロボット ELEC-RZ(φ200mm/300mm ウェーハ対応)
高真空対応ロボット COVOT(φ200mm/300mm ウェーハ対応)
真空搬送ロボット / プラットフォーム
コンパクトで汎用性に優れた次世代ロボット
ダイレクトドライブ方式により高精度な基板搬送を実現
特 長
真空シールに磁性流体シールを採用し、高真空まで対応
マルチファンクションディスプレイ方式のティーチングペンダントを標準装備
コンパクト設計で設置が容易
特 長
360°エンドレス旋回のため、取付方向が自在
RS232CとDI/Oのコネクタを装備
コントローラ一体型でコンパクト
基板位置補正機能(AWS)をオプション設定
*1 アームは各種ストロークを取り揃えております。*2 ハンドは仕様に含まれておりません。
*1 アームは各種ストロークを取り揃えております。*2 ハンドは仕様に含まれておりません。
仕 様
仕 様
外 形 寸 法 図
外 形 寸 法 図
R軸 θ軸 Z軸
動作範囲 最大1050mm *1 ±210° 50mm
搬送速度 フルストローク/ 2.5sec 180°/ 3sec 1.5mm / 20sec
再現精度 ±0.1mm ±0.2mm ±0.2mm
R軸 θ軸 Z軸
動作範囲 最大1050mm *1 360°エンドレス 50mm
搬送速度 フルストローク / 1.4sec 180°/ 2.2sec フルストローク / 2.3sec
再現精度 ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm
85
65.820
349
351
172
162
260
245
φ296
φ198
1180
1050390
φ220φ29
6
*2
*1
25
Z Ax
isEx
tens
ion
50m
m
1958
035
93.5
φ274φ280
463166629
R320
φ200
*1
*2
単位:mm
単位:mm
ELEC-RZ
COVOT
高真空対応ロボット COVOT-LC(φ200mm/300mm ウェーハ対応)
中真空対応独立4本アームロボット COVOT-6(φ300mm ウェーハ対応)
ベーシックな2軸ロボット
高スループットを実現する独立4本アームの搬送ロボット
特 長
Z軸(昇降機構)を廃したシンプルな構造
コントローラ一体型でコンパクト
特 長
上下 2本ずつのアームで 2枚同時入替が可能
4本のアームそれぞれにティーチングが可能
基板位置補正機能(AWS)を標準装備
*1 アームは各種ストロークを取り揃えております。*2 ハンドは仕様に含まれておりません。
仕 様
仕 様
外 形 寸 法 図
外 形 寸 法 図
R軸 θ軸
動作範囲 最大880mm *1 360°搬送速度 フルストローク/ 2.5sec 180°/ 2.5sec
再現精度 ±0.2mm ±0.2mm
R軸 θ軸 Z軸
動作範囲 880mm 360°エンドレス 90mm
搬送速度 フルストローク/ 2.5sec 180°/ 3.0sec 20mm / 2.0sec
再現精度 ±0.5mm ±0.5mm ±0.5mm
(302) (439.9)(741.9)
R310
(166.5)
107 .
5
1954
3
φ280
φ300
*1
*2
1815
080
4
245
860
φ416
245
A-Arm
B-Arm
253.45
R490
φ300
単位:mm
単位:mm
COVOT-LC
COVOT-6
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
お問い合わせ
www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部
国内販売: アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011(代) ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281(代)海外販売: 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261
7805N/2012104000UYO
真空搬送ロボット / プラットフォーム
真空搬送プラットフォーム NCH シリーズ(φ200mm/300mm ウェーハ対応)
φ300mm対応モデルでは最も省スペース
特 長
デュアルエンドエフェクタでは最大 200mm
25段カセット昇降機付ロードロックを標準装備
仕 様
外 形 寸 法 図
標準仕様 オプション
基板サイズ 最大300mmウェーハ ガラス基板接続ポート数 4~ 8 -搭載ロボット ELEC COVOT
1100
(17
20)
4103801186
700
350
φ300
単位:mmNCHシリーズ
真 空 搬 送 ロ ボ ッ ト 仕 様
型式 ELEC-RZ COVOT COVOT-LC COVOT-6
使用圧力領域 大気圧~ 10-6Pa 大気圧~ 10-6Pa 大気圧~ 10-5Pa 大気圧~ 10-1Pa
ウェーハサイズ 200mm/300mm 200mm/300mm 200mm/300mm 200mm/300mm
ウェーハ保持枚数 1枚/2枚 1枚/2枚 1枚/2枚 4枚最大到達位置 *1 最大1050mm 最大1050mm 880mm 880mm
回転角度 ±210° 360°エンドレス -15°~ 375° 360°エンドレス昇降ストローク 50mm 50mm 無し 90mm
最小旋回直径 *1 最大944mm 最大944mm 最大802mm 980mm
可搬重量(ハンド含む) 1kg 1kg 1kg 1kg
動作速度 R軸(伸縮) 最大2.5sec /フルストローク 最大2.5sec /フルストローク 最大2.5sec /フルストローク 最大1.5sec /フルストロークθ軸(旋回) 最大3.0sec / 180° 最大2.5sec / 180° 最大2.5sec / 180° 最大2.0sec / 180°Z軸(昇降) 最大1.5sec / 20mm 最大1.5sec / 20mm - 最大1.5sec / 20mm
繰り返し位置精度 R軸(伸縮)±0.1mm ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm
θ軸(旋回) ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm ±0.2mm
Z軸(昇降) ±0.2mm ±0.2mm 無し ±0.2mm
真空シール 磁性流体シール 磁性流体シール 接触シール 接触シールティーチングペンダント 付属 付属 オプション 付属コントローラ 別置き 内蔵 内蔵 別置き
* 排気系、真空計については別途オプションになります。
*1 取付アームおよびハンドにより異なります。