Cマウントカメラ取付用コンパクト型ビームスプリッタ ...ウェッジ材質 BK7...

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最小測定スポットサイズ25μm 最大平均パワー400W(外部NDフィルタ装着時) レーザ出力変化における焦点距離ズレ測定 最小測定焦点距離50mm モジュール設計による優れた操作性 Cマウントカメラ取付用コンパクト型ビームスプリッタ/アッテネータ 高耐久出力密度の光学系採用 無歪み結像 可変式減衰フィルタによるダイナミックレンジ 最大減衰率1×10^ -10 (外部フィルタ未装着時) YAG-FSA(Focal Spot Analizer)はYAGレーザなどの高出力レーザの集光点でのビームプロファイル測定用に開発された システムで、YAGレーザの1W以下から最大400Wまでの平均パワーおよびビーム集光径φ25μmまでのレーザビームを高精度で 解析します。レーザパワーの変動による焦点距離ズレの計測にも最適です。 汎用的なレーザシステムは、集光レンズから集光点の集光距離が70mmから120mm程度となっています。 YAG-FSAは、CCDカメラにLBS-300ビームスプリッタと、ビームスプリッタに取り付け可能な負レンズを追加搭載するシステム 構成となっており、前述の様なアプリケーションにおいて、レーザビームを2分岐しながら拡大画像を生成します。あらゆるレーザ 解析に対応すべく、集光距離の異なった光学系をご用意しています。YAG-FSAシステム専用の光学部品には、固定焦点距離から 選択可能な負レンズ、ビームスプリッタ2枚、脱着可能なビームブロックが第2ビームスプリッタ、CCDカメラの直前に取り付ける 複数枚の減衰フィルタがあります。アプリケーションに適切な光学部品をご選択頂くことにより、高精度なレーザビーム解析が容易 に実現できます。 操作方法 レーザシステムの最終集光系(集光レンズ)の後に、適切な集光距離を保ってYAG-FSAアセンブリを設置し、レーザビームへ YAG-FSAを近づけたり遠ざけだりしながら、最小スポットサイズが確認できるまで調整します。正確な拡大率(通常は2~3倍) は、YAG-FSAを上下移動(ステージに対して水平方向)させながら、ソフトウェアにより画面表示される集光点のセントロイド の移動距離を確認することで算出されます。算出された係数はソフトウェアに反映されます。レーザ出力変化における焦点距離ズレ を確認するには、ある出力において集光点を画面で確認してから、レーザ出力を変更した場合の最小ビーム径が確認できるまで再び 調整します。調整のためにステージがどのくらい上下移動したか距離測定するだけ、レーザ出力変化における焦点距離ズレを確認 できます。 ビーム入射 負レンズ LBS-300 ビームスプリッタ カメラ 第1出力ビーム パワーメータまたは ビームダンパへ FSAで分岐されたビーム光路 可変減衰NDフィルタ 第2出力ビーム ビームブロックへ カメラマウント側から見たFSA CCDカメラに搭載されたYAG-FSA オフィール・スピリコン レーザ ビームプロファイラ YAG-FSA集光点測定用ビームアナライザ 最新情報はこちらから : www.ophiropt.com 2009年1月改訂 株式会社 オフィールジャパン

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Page 1: Cマウントカメラ取付用コンパクト型ビームスプリッタ ...ウェッジ材質 BK7 ウェエジコーティング反射率 AR ≤1% 有効口径 17.5mm ウェッジND値(各ウェッジ)

■ 最小測定スポットサイズ25μm■ 最大平均パワー400W(外部NDフィルタ装着時)■ レーザ出力変化における焦点距離ズレ測定 ■ 最小測定焦点距離50mm ■ モジュール設計による優れた操作性

Cマウントカメラ取付用コンパクト型ビームスプリッタ/アッテネータ■■■

高耐久出力密度の光学系採用

無歪み結像

可変式減衰フィルタによるダイナミックレンジ■ 最大減衰率1×10^-10(外部フィルタ未装着時)

 YAG-FSA(Focal Spot Analizer)はYAGレーザなどの高出力レーザの集光点でのビームプロファイル測定用に開発されたシステムで、YAGレーザの1W以下から最大400Wまでの平均パワーおよびビーム集光径φ25μmまでのレーザビームを高精度で解析します。レーザパワーの変動による焦点距離ズレの計測にも最適です。 汎用的なレーザシステムは、集光レンズから集光点の集光距離が70mmから120mm程度となっています。YAG-FSAは、CCDカメラにLBS-300ビームスプリッタと、ビームスプリッタに取り付け可能な負レンズを追加搭載するシステム構成となっており、前述の様なアプリケーションにおいて、レーザビームを2分岐しながら拡大画像を生成します。あらゆるレーザ解析に対応すべく、集光距離の異なった光学系をご用意しています。YAG-FSAシステム専用の光学部品には、固定焦点距離から選択可能な負レンズ、ビームスプリッタ2枚、脱着可能なビームブロックが第2ビームスプリッタ、CCDカメラの直前に取り付ける複数枚の減衰フィルタがあります。アプリケーションに適切な光学部品をご選択頂くことにより、高精度なレーザビーム解析が容易に実現できます。

 操作方法レーザシステムの最終集光系(集光レンズ)の後に、適切な集光距離を保ってYAG-FSAアセンブリを設置し、レーザビームへYAG-FSAを近づけたり遠ざけだりしながら、最小スポットサイズが確認できるまで調整します。正確な拡大率(通常は2~3倍)は、YAG-FSAを上下移動(ステージに対して水平方向)させながら、ソフトウェアにより画面表示される集光点のセントロイドの移動距離を確認することで算出されます。算出された係数はソフトウェアに反映されます。レーザ出力変化における焦点距離ズレを確認するには、ある出力において集光点を画面で確認してから、レーザ出力を変更した場合の最小ビーム径が確認できるまで再び調整します。調整のためにステージがどのくらい上下移動したか距離測定するだけ、レーザ出力変化における焦点距離ズレを確認できます。

ビーム入射

負レンズ

LBS-300ビームスプリッタ

カメラ

第1出力ビーム パワーメータまたはビームダンパへ

FSAで分岐されたビーム光路

 可変減衰NDフィルタ

第2出力ビーム ビームブロックへ カメラマウント側から見たFSA

CCDカメラに搭載されたYAG-FSA

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YAG集光点測定用アナライザ FSAシステム構成内容モデル:LBS-300-NIR ビームスプリッタと減衰NDフィルタの組み合わせ 測定波長帯域 1064nm ウェッジ材質 BK7 ウェエジコーティング反射率 AR ≤1% 有効口径 17.5mm ウェッジND値(各ウェッジ) ND ≥2 減衰NDフィルタ ND(バルク吸収型)  NDフィルタの減衰ステップ 0.3 0.7 1.0 2.0 3.0 4.0 (赤色フォルダのフィルタ) NDフィルタスライド 3 NDフィルタ最大出力密度(1) 50 W/cm 2

1J/cm 2 (パルス幅10nsにおいて)負レンズ

FSA-50Y - 50 mm YAGFSA-100Y - 100 mm YAGFSA-125Y - 125 mm YAGFSA-150Y - 150 mm YAGFSA-200Y - 200 mm YAG

アクセサリ 可変ウェッジ(NDフィルタキット) WVF-300 ビームダンパ BD-040-A ビームダンパ: 最大パワー40W (自然空冷)

BD-500-W   最大パワー500W (水冷却)

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製品情報モデル名 特徴 製品番号YAG集光点測定用ビームアナライザ LBS-300-NIR ビームスプリッタとアッテネータの組み合わせ(ビームを2段階で分岐) SP90185

FSA-50Y 負レンズ: - 50 mm YAG SP90187FSA-100Y 負レンズ: -100 mm YAG SP90188FSA-125Y 負レンズ: -125 mm YAG SP90189FSA-150Y 負レンズ: -150 mm YAG SP90190FSA-200Y 負レンズ: -200 mm YAG SP90191

アクセサリ WVF-300 NDフィルタ: 可変式ウェッジ(選択可能な固定減衰率スライド式フィルタの組み合わせ) SP90195BD-040-A ビームダンパ: 最大パワー40W (自然空冷) SP90192BD-500-W ビームダンパ:最大パワー500W (水冷却) SP90193

集光点φ65 レーザ出力レベルの変化における集光点でのプロファイル

測定例

YAG集光点測定アナライザにはLBS-300-NIR×1台とネガティブレンズ×1枚が必要です。

注釈(1) NDバルク吸収型フィルタの最大出力密度は50W/cm ですが、熱レンズ効果を避けるため5W/cm 以下でご使用ください。

μm

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