壓縮空氣用流量感測器 FRL - ckdtaiwan.com.tw · 累計脈衝輸出裝備（選購品）...

C O N T E N T S

根據統計，工廠使用的能源，有

1/5是空氣。

因此，空氣的管理是節能政策中

不可或缺的環節。Fluerex是可方

便使用的流量感測器。

不需補正壓力、溫度

不需繁雜的補正作業。可從數位

螢幕直接判讀流量（L / m i n

（normal）顯示）

擁有高精度，實用精度高達±3％F.S.把累計功能列為標準裝備

可簡單測量、檢查裝置的空氣消

耗量。

累計脈衝輸出裝備（選購品）

可以利用電腦、程序記錄器進行

累計流量管理，也可透過網路管

理，非常方便。

大流量設計

即使沾到排水（水滴）也不會損

壞，可安心使用。

安裝方向自由

造型輕巧，也不需要直管部。

安裝方向不限，可垂直也可平

行。

概要

特色

產品介紹 1416

使用範例 1418

中流量（PF500F〜PF4000F） 1420 大流量（PF8000F・PF16000F） 1424 模組連接型（PFU500F〜PFU2000F） 1428

電氣配線 1431 顯示器的功能說明與操作說明 1434 使用注意事項 1436

■ 感測器・控制器裝置/流量感測器

壓縮空氣用流量感測器PF-F・PFU（顯示型一體型流量感測器）

F.R.L組件

空壓輔助裝置

模組化空氣組件

精密裝置

壓力感測器裝置

感測器、控制裝置

主管路組件

卷尾

小型流量感測器

小型流量控制器

氣體用流量感測器

水用流量感測器

1415

hojokiki_P1296-1508.indb 1415 2015/9/2 下午 04:15:04

　FLUEREX　PF系列

強力支援您的節能政策強力支援您的節能政策

一個動作就能切換累計流量與瞬間流量的顯示。

不需麻煩的壓力補正、溫度補正作業。

・不需壓力補正＝使用質量偵測方式，不會受壓力變　化影響，所以不需要壓力補正。　顯示的是以大氣壓(1atm)換算後的流量。・不需溫度補正＝採用白金薄膜溫度感測器，可檢測　流體溫度，且可以一直顯示以0℃換算後的流量。

・只要一個元件，就能同時負責空氣品質的管理與測量。・配管空間、配管工數也得以減少。

3/8（10）

1/2（15）

3/4（20）

1（25）

11/2（40）

連接口徑　Rc

模組型

標準型

PFU1000F

PFU2000F

PFU500F

PF16000F

PF8000F

PF4000F

PF2000F

PF1000F

PF500F

2（50） 0 10 100 1000 10000 100000

25 500

50 1000

100 2000

200 4000

400 8000

800 16000

25 500

50 1000

100 2000

流量範圍 L/min（normal）機種

系列

● 即使沾到排水(水滴)也不易損壞，可安心使用。　（與過去的機種相比，擁有2倍耐環境性）　・白金薄膜感測器有特殊被覆，因此耐水性提高。　・保護回路可防止感測器元件異常過熱。

可靠性容易使用

採用清晰的LED。以5位數顯示累計流量。

高性能

不需補正、數位螢幕直接判讀

顯示部與感測器部一體化的輕巧外型

豐富的輸出方式

模組設計，實現過濾器與調壓閥之元件化。（PFU500F、PFU1000F、PFU2000F）

不會因安裝方式而困擾大流量設計

保護結構相當於IP64

流量分布為固定

因為彎管的關係，流量分布會偏向外圍。

整流組件感測器

空氣

擁有高精度，實用精度高達±3％F.S.　

0.005MPa (一次壓力：0.7MPa)的目標※1

使用多層整流用過濾器，使壓力損失降低到0.005MPa。（※1：部分機種除外）

不需要直管部※2

因為設置了整流元件，所以感測器前方的彎管、Ｔ型插座即使有配管，也不會受到影響。（※2：PF8000/PF16000F除外）

在溫度0～40℃、壓力0.1～1.0MPa下，不需要補正就能達成實用精度±3％F.S.。

・垂直、水平，以及其他方向都能安裝。

・顯示部可270°任意旋轉。

・連接器配線順著配管延伸，不佔空間。

・因為連接器外殼可180°轉向，所以連接器的配線

可從IN端或OUT端取出。

OUT

TOTALHL

FLOW SENSOR PF SERIES

FLUEREXL/min（normal）

連接器外殼

FLUEREXL/min

PF SERIES

FLOW SENSOR

TOTAL

OUT

HL

類比輸出

脈衝輸出

DC4～20mA

DC0～5V

DC1～5V

DC0～10V

開關輸出標準

標準

選購品

選購品

選購品

選購品

● 測量目前的流量● 研擬對策

Plan掌握現狀 Do

執行對策

Action修正、繼續 Check

確認效果

● 以流量感測器量測● 由累計功能進行成本換算

● 使裝置、線消耗量標準化● 對其他線水平展開

● 非運轉時停止供給空壓● 縮短吹氣時間● 節能噴嘴的運用● 降低壓力

在把握能源消耗現狀與確認效果上，可發揮強大的功能

在充滿粉塵或是四周都有水滴飛濺的惡劣環境下也能安心使用。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1416


※進行作業時，請注意不要夾入引線。

　FLUEREX　PF系列

強力支援您的節能政策強力支援您的節能政策

一個動作就能切換累計流量與瞬間流量的顯示。

不需麻煩的壓力補正、溫度補正作業。

・不需壓力補正＝使用質量偵測方式，不會受壓力變　化影響，所以不需要壓力補正。　顯示的是以大氣壓(1atm)換算後的流量。・不需溫度補正＝採用白金薄膜溫度感測器，可檢測　流體溫度，且可以一直顯示以0℃換算後的流量。

・只要一個元件，就能同時負責空氣品質的管理與測量。・配管空間、配管工數也得以減少。

3/8（10）

1/2（15）

3/4（20）

1（25）

11/2（40）

連接口徑　Rc

模組型

標準型

PFU1000F

PFU2000F

PFU500F

PF16000F

PF8000F

PF4000F

PF2000F

PF1000F

PF500F

2（50） 0 10 100 1000 10000 100000

25 500

50 1000

100 2000

200 4000

400 8000

800 16000

25 500

50 1000

100 2000

流量範圍 L/min（normal）機種

系列

● 即使沾到排水(水滴)也不易損壞，可安心使用。　（與過去的機種相比，擁有2倍耐環境性）　・白金薄膜感測器有特殊被覆，因此耐水性提高。　・保護回路可防止感測器元件異常過熱。

可靠性容易使用

採用清晰的LED。以5位數顯示累計流量。

高性能

不需補正、數位螢幕直接判讀

顯示部與感測器部一體化的輕巧外型

豐富的輸出方式

模組設計，實現過濾器與調壓閥之元件化。（PFU500F、PFU1000F、PFU2000F）

不會因安裝方式而困擾大流量設計


流量分布為固定

因為彎管的關係，流量分布會偏向外圍。

整流組件感測器

空氣

擁有高精度，實用精度高達±3％F.S.　

0.005MPa (一次壓力：0.7MPa)的目標※1

使用多層整流用過濾器，使壓力損失降低到0.005MPa。（※1：部分機種除外）

不需要直管部※2

因為設置了整流元件，所以感測器前方的彎管、Ｔ型插座即使有配管，也不會受到影響。（※2：PF8000/PF16000F除外）

在溫度0～40℃、壓力0.1～1.0MPa下，不需要補正就能達成實用精度±3％F.S.。

・垂直、水平，以及其他方向都能安裝。

・顯示部可270°任意旋轉。

・連接器配線順著配管延伸，不佔空間。

・因為連接器外殼可180°轉向，所以連接器的配線

可從IN端或OUT端取出。

OUT

TOTALHL

FLOW SENSOR PF SERIES

FLUEREXL/min（normal）

連接器外殼

FLUEREXL/min

PF SERIES

FLOW SENSOR

TOTAL

OUT

HL

類比輸出

脈衝輸出

DC4～20mA

DC0～5V

DC1～5V

DC0～10V

開關輸出標準

標準

選購品

選購品

選購品

選購品

● 測量目前的流量● 研擬對策

Plan掌握現狀 Do

執行對策

Action修正、繼續 Check

確認效果

● 以流量感測器量測● 由累計功能進行成本換算

● 使裝置、線消耗量標準化● 對其他線水平展開

● 非運轉時停止供給空壓● 縮短吹氣時間● 節能噴嘴的運用● 降低壓力

在把握能源消耗現狀與確認效果上，可發揮強大的功能

在充滿粉塵或是四周都有水滴飛濺的惡劣環境下也能安心使用。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1417


使用範例

流量感測器的偵測器部分是由可讓壓縮空氣平均流動的整流元件，以及

可偵測流量的白金薄膜阻抗構成的。如果偵測器前裝有彎曲的管線時，

整流元件可使流量達到均一。由多個整流板構成，所以可以使壓力損失

降到最低，並且達到整流的效果。

壓縮空氣未流動時，偵測流量的白金薄膜感測器會從流體溫度加熱到一

定的溫度。壓縮空氣流動，與空氣質量呈等比的熱量會被奪去，這時電

流會流進偵測流量的白金薄膜感測器的回路中，使感測器保持在一定溫

度。顯示部會把此電流當成流量訊號，並且把瞬間流量與累計流量以實

用大氣壓、0℃換算後，再顯示出來。此外，偵測流體溫度的白金薄膜

感測器，會測量壓縮空氣的溫度，並進行溫度補正。

功能說明

使用於塗布線的流量管理汽車工廠線的流量管理 ● 可個別管理各線的流量！

● 以累計流量顯示進行成本換算

使用於半導體的製造裝置 ● 使用於昂貴的低露點氣體的流量管理！

此外，還可早期發現“過流量”等問題！

用於織機工廠的流量管理

使用於低壓鑄造裝置 ● 使用於模具的冷卻溫度管理！

PF-F Series

溶湯

壓縮空氣

去除氣缸型

模具

熱水供應管

坩堝

流道

流體方向整流組件

白金薄膜感測器

配管轉接頭

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1418

hojokiki_P1415-1440.indd 1418 2015/10/23 下午 04:48:47

M E M OM E M OF.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1419


壓縮空氣用流量感測器（Fluerex）中流量型

PF500F~PF4000F Series● 流量範圍：25〜500, 50〜1000, 100〜2000, 200〜4000L/min（normal）

註1：如果壓縮空氣裡有異物、水分、油分，那麼就無法偵測流量，並且成為「感測器錯誤」狀態。

請在流量感測器前，安裝過濾器、冷凍式乾燥機、油霧過濾器。

註2：如果低於最小流量範圍，顯示就會變成0。此外，流量範圍外的顯示值，不在精度保證之列。

註3：安裝了選購品「A1」（DC4〜20mA）、「A6」（累計脈衝）後，就無法使用開關輸出，請特別注意。

註4：脈衝輸出的詳細內容，請參閱1431頁的累計脈衝輸出項目。

註5：電源關閉後，累計流量值就會重置，請特別注意。

規格

項目PF500F-

10PF500F-

15PF1000F-

10PF1000F-

15PF2000F-

15PF2000F-

20PF4000F-

20PF4000F-

25

規格

流量範圍 L/min（normal） 25〜500 50〜1000 100〜2000 200〜4000

連接口徑 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/8 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1

使用條件

適用流體壓縮空氣、氮

使用空氣品質大氣壓露點 −17℃以下，無結露（註1）

最高使用壓力 MPa 1.0

最低使用壓力 MPa 0.1

保證耐壓力 MPa 1.5

環境溫度與環境濕度 0〜50℃、85％RH以下

流體溫度 ℃ 0〜40

精度

線性 ±1.5％FS（0.7MPa、20℃）

壓力特性 ±1.5％FS（0.1〜1.0MPa，但是以0.7MPa為基準）

溫度特性 ±2.0％FS（0〜40℃、20℃基準）

壓力損失 MPa 0.005 以下（最大流量、0.7MPa）

應答性 sec 2.5

顯示以5位數LED顯示顯示單位：L/min（normal）

最小顯示流量（註2） 10 20 30 50

顯示分辨率 1 10

累計流量最大9位數（但是H與L為分割顯示）

輸出

類比輸出標準：DC0〜5V 選購品：DC4〜20mA、1〜5V、0〜10V

開關輸出（註3） 1點（電晶體集極開路）運作時，綠色LED亮燈

脈衝輸出（選購品）（註4） 10L（normal）/pulse

電源電壓 V DC24（8W以下）

纜線附屬品（3m附連接器・蕊線0.5mm2）

設定值支撐功能（註5）以EEPROM達到半永久

安裝

安裝方向水平、垂直自由安裝

導入直管部不需要


質量 kg 0.85 1.4

托座質量 g 60g（包含螺絲） 84g（包含螺絲）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1420


PF500F~PF4000F Series型號標示方法

PF

托座

輸出

註1

連接口徑

流量範圍

型號標示方法

機種型號PF500F

PF1000F

PF2000F

PF4000F

記號內容

a 流量範圍

500F 25〜500 L/min（normal） ●

1000F 50〜1000 L/min（normal） ●

2000F 100〜2000 L/min（normal） ●

4000F 200〜4000 L/min（normal） ●

b 連接口徑

10 Rc3/8 ● ●

15 Rc1/2 ● ● ●

20 Rc3/4 ● ●

25 Rc1 ●

c 輸出

無記號類比輸出 DC0〜5V（標準） ● ● ● ●

A1 類比輸出 DC4〜20mA ● ● ● ●

A2 類比輸出 DC1〜5V ● ● ● ●

A3 類比輸出 DC0〜10V ● ● ● ●

A6 累計脈衝輸出 ● ● ● ●

d 托座

無記號無托座 ● ● ● ●

B 有托座（附螺絲） ● ● ● ●

托座單品型號機種型號托座型號

PF500F･PF1000F･PF2000F PF-FL307499

PF4000F PF-FL307500

註1

※表格以外的組合方式，請洽詢本公司。

〈型號標示範例〉

PF2000F-15-A1B機種名稱：PF2000F

● a 流量範圍：100〜2000 L/min（normal）● b 連接口徑：Rc1/2● c 輸出：類比輸出DC4〜20mA● d 托座：有（附M4螺絲）

記號標準（選購品）

A1 A2 A3 A6

類比輸出

無記號（0-5V） ● ●

A1（4-20mA） ●

A2（1-5V） ●

A3（0-10V） ●

A6（脈衝輸出） ●

開關輸出 ● ● ●

a

b

c

d

選擇型號時的注意事項

A1 B152000F

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1421


PF500F~PF4000F Series

內部結構及零件一覽表

● PF500F〜PF4000F

編號零件名稱材質1 配管轉接頭 A6063 鋁合金

2 主體 A6063 鋁合金

3 領圈 A5056 鋁合金

4 網眼 SUS304 不鏽鋼

5 墊片 NBR 丁腈橡膠

6 外殼A ABS ABS樹脂

7 顯示器基板

8 CPU基板

9 O型環 NBR 丁腈橡膠


11 感測器基板

12 連接器外殼 ABS ABS樹脂

13 感測器組 PPS 聚苯硫醚

14 墊圈 NBR 丁腈橡膠


16 白金溫度感測器

17 白金流量感測器

● PF2000F ● PF4000F

● PF1000F● PF500F

壓力損失

1 2 4 5 11 12 13 1410 15

1716

6 7 8 93

IN OUT

PF500F-10（at0.7MPa）PF500F-10（at0.3MPa）PF500F-15（at0.7MPa）PF500F-15（at0.3MPa）

流量［L/min（normal）］

500400300

壓力損失［

MP

a］

20010000.000

0.001

0.004

0.003

0.002

0.005



1000800600

壓力損失［

MP

a］

40020000.000

0.002

0.008

0.006

0.004

0.010



40003000

壓力損失［

MP

a］

2000100000.000

0.005

0.020

0.015

0.010

0.025



20001500

壓力損失［

MP

a］

100050000.000

0.005

0.020

0.015

0.010

0.025

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1422


PF500F~PF4000F Series外型尺寸圖

外型尺寸圖

● PF500F〜PF4000F

型號連接口徑

PF※00F-10 Rc3/8

PF※00F-15 Rc1/2

PF※00F-20 Rc3/4

PF※00F-25 Rc1

型號 A B C D E F G H I J K LPF500F/PF1000F 135 52 85 22 67.5 26 26 36 33 64 72 M4螺絲孔深度4.5

PF2000F 135 55 96 27.5 67.5 26 26 36 33 64 72 M4螺絲孔深度4.5

PF4000F 176 65 109 34 88 46.5 28 40 42 74 84 M5螺絲孔深度5.5

HG

出口

纜線3m（添附零件）

托座（選購品）

入口

φ6

F

6.5

4.5

E

A

60

8

2-連接口徑

IJK

3

C41

47

D

B

4-L 24

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1423


壓縮空氣用流量感測器（Fluerex）大流量型

PF8000F・PF16000F Series● 流量範圍：400〜8000, 800〜16000 L/min（normal）


請在流量感測器前，安裝過濾器、冷凍式乾燥器、油霧過濾器。





規格

項目 PF8000F-40 PF16000F-50

規格

流量範圍 ℓ/min（normal） 400〜8000 800〜16000

連接口徑 Rc1 1/2 Rc2

使用條件







流體溫度 ℃ 0〜40

精度

線性 ±2.5％FS（0.7MPa、20℃）


溫度特性 ±2.0％FS（0〜40℃、20℃基準）


應答性 sec 2.5

顯示以5位數LED顯示顯示單位：m3/min（normal）

最小顯示流量（註2）m3/min（normal） 0.1 0.2

顯示分辨率 0.01 0.10


輸出





纜線附屬品（附3m連接器・蕊線0.5mm2）

設定值支撐功能（註5）以EEPROM達到半永久

安裝


導入直管部上流10D・下流5D


質量 kg 3.8 4.0

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1424


PF8000F・PF16000F Series型號標示方法

A1408000FPF

輸出

註1

連接口徑

流量範圍

型號標示方法

機種型號PF8000F

PF16000F

記號內容

a 流量範圍

8000F 400〜8000 L/min（normal） ●

16000F 800〜16000 L/min（normal） ●

b 連接口徑

40 Rc1 1/2 ●

50 Rc2 ●

c 輸出

無記號類比輸出 DC0〜5V（標準） ● ●

A1 類比輸出 DC4〜20mA ● ●

A2 類比輸出 DC1〜5V ● ●

A3 類比輸出 DC0〜10V ● ●

A6 累計脈衝輸出 ● ●


● PF16000F-50● PF8000F-40

壓力損失

a

b

c

註1


PF8000F-40-A1機種名稱：PF8000F

● a 流量範圍：400〜8000 L/min（normal）● b 連接口徑：Rc1 1/2● c 輸出：類比輸出DC4〜20mA


A1 A2 A3 A6

類比輸出

無記號（0-5V） ● ●

A1（4-20mA） ●

A2（1-5V） ●

A3（0-10V） ●




0 16000120008000 140001000060002000 4000


（0.7MPa）（0.4MPa）

壓力

損失［

MP

a］

0.000

0.001

0.004

0.003

0.002

0.005

0 800060004000 7000500030001000 2000

（0.7MPa）（0.4MPa）


壓力

損失［

MP

a］

0.000

0.008

0.006

0.004

0.002

0.010

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1425


PF8000F・PF16000F Series


● PF8000F･PF16000F

編號零件名稱材質編號零件名稱材質1 附件 A6063 鋁合金 14 墊圈 NBR 丁腈橡膠

2 主體 A6063 鋁合金 15 O型環 NBR 丁腈橡膠

3 領圈 A5056 鋁合金 16 白金薄膜溫度感測器

4 網眼 SUS304 不鏽鋼 17 白金薄膜流量感測器

5 墊片 NBR 丁腈橡膠 18 輔助附件 SCS13 不鏽鋼

6 外殼A ABS ABS樹脂 19 O型環 NBR 丁腈橡膠

7 顯示器基板 20 吸氣機 C3604 快削黃銅

8 CPU基板 21 主機體2 A6063 鋁合金

9 O型環 NBR 丁腈橡膠 22 孔口 C3604 快削黃銅

10 O型環 NBR 丁腈橡膠 23 O型環 NBR 丁腈橡膠

11 感測器基板 24 主機體1 A6063 鋁合金

12 連接器外殼 ABS ABS樹脂 25 O型環 NBR 丁腈橡膠

13 感測器組 PPS 聚苯硫醚

23

22

21

20

19

181724

25 16

151413121110987654321

OUTIN

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1426


PF8000F・PF16000F Series外型尺寸圖

外型尺寸圖

型號 A B C D 連接口徑

PF8000F−40 74 148 65 32.5 Rc1 1/2

PF16000F−50 79 158 75 37.5 Rc2

300

******

MADE IN JAPANPF16000F-50

０−４０ ℃

８００−1６０００ＮＬ／ｍｉｎＭＡＸ． 1．０ＭＰａ

FLUID TEMP.PRESSURE SERIALRANGE

WIRING

GNDWHITEBLUE

DC24VＡＮＡＬＯＧ０−５Ｖ（０−1６０００ＮＬ／ｍｉｎ）

ＯＵＴＮＰＮＭＡＸ．ＤＣ３０Ｖ５０ｍＡ

BROWN

BLACK

AB

CD

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1427


壓縮空氣用流量感測器（Fluerex）模組連接型

PFU500F~PFU2000F Series● 流量範圍：25〜500, 50〜1000, 100〜2000 L/min（normal）


請在流量感測器前，安裝過濾器、冷凍式乾燥機、油霧過濾器。





規格

項目 PFU500F-10 PFU1000F-10 PFU2000F-15

規格

流量範圍 L/min（normal） 25〜500 50〜1000 100〜2000

連接口徑 Rc3/8 Rc1/2

使用條件







流體溫度 ℃ 0〜40

精度

線性 ±1.5％FS（0.7MPa、20℃）


溫度特性 ±2.0％FS（0〜40℃、20℃基準）


應答性 sec 2.5

顯示以5位數LED顯示顯示單位：L/min（normal）

最小顯示流量（註2） 10 20 30

顯示分辨率 1 10


輸出





纜線附屬品（3m附連接器・蕊線0.5mm2）

設定值保持功能（註5）以EEPROM達到半永久

安裝


導入直管部不需要

連接模組 W3000-10 W4000-15


質量 kg 1.5 1.8

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1428


PFU Series型號標示方法

XA14W152000FPFU

選購品

註1

輸出

註2

連接模組

註1

連接口徑

流量範圍

型號標示方法

機種型號PFU500F

PFU1000F

PFU2000F記號內容

a 流量範圍

500F 25〜500 L/min（normal） ●

1000F 50〜1000 L/min（normal） ●

2000F 100〜2000 L/min（normal） ●

b 連接口徑

10 Rc3/8 ● ●

15 Rc1/2 ●

c 連接模組

3W W3000-10 ● ●

4W W4000-15 ●

d 輸出

無記號類比輸出 DC0〜5V（標準） ● ● ●

A1 類比輸出 DC4〜20mA ● ● ●

A2 類比輸出 DC1〜5V ● ● ●

A3 類比輸出 DC0〜10V ● ● ●

A6 累計脈衝輸出 ● ● ●

e 選購品

無記號無選購品

X IN、OUT的流動方向相反（由右到左） ● ● ●

N 無洩壓 ● ● ●


請參閱第1422頁。

a

b

c

d

e


PFU2000F-15-4W-A1X機種名稱：PFU2000F 模組連接型

● a 流量範圍：100〜2000 L/min（normal）● b 連接口徑：Rc1/2● c 連接模組：W4000-15● d 輸出：類比輸出DC4〜20mA● e 選購品：IN、OUT的流動方向相反（由右到左）


註1：下圖為與本公司F.R.L元件模組型中的過濾器、調

壓閥W※000系列之間的各項組合。若要與其他

F.R.L組合，請洽詢本公司。

註2


A1 A2 A3 A6

類比輸出

無記號（0-5V） ● ●

A1（4-20mA） ●

A2（1-5V） ●

A3（0-10V） ●




F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1429


PFU500F~PFU2000F Series

外型尺寸圖

● PFU500F〜PFU2000F

編號零件名稱備註

1 過濾器調壓閥 W3000-10/W4000-15

2 T型托座設定 B310/B410

3 流量計 PFU500F/PFU1000F/PFU2000F

型號 A B C D E F G HPFU500F/PFU1000F 189 113.5 104 147 63 45 34.5 Rc3/8

PFU2000F 206 123.5 110 172 80 55 42.5 Rc1/2

可變更顯示器方向

22A

7

7

排水口

纜線3m（添附零件）

φ7

φ6

D

E

C

PRESSTURN

2-H

F

5570

4560

G

68.5B

1

2 3

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1430


PF Series電氣配線

類比輸出的負載阻抗

型號最小值 L/min（normal） FS L/min（normal）PF500F/PFU500F 25 500PF1000F/PFU1000F 50 1000PF2000F/PFU2000F 100 2000

PF4000F 200 4000

PF8000F 400 8000

PF16000F 800 16000

L（normal）

使用<ex>PF8000F時的脈衝波形，如以下所示。

型號 PF500F PF1000F PF2000F PF4000F PF8000F PF16000F

每1脈衝的

累積流量10 100

PF系列電氣配線

類比輸出〔選購品記號：無記號，−A1，−A2，−A3〕1

● 流量與類比輸出的關係，如左方的圖

表。如低於最小值則無法正常輸出，請

多加注意。但是流量低於最小值時，監

視器也一樣會顯示流量。

● 請絕對不要讓類比輸出端子（ANO）與

其他端子短路，否則可能造成故障。

● 為了不讓配線受到噪聲影響，請縮短配

線長度，並遠離噪聲來源（例如高功

率電線等）。

● 延長纜線時，

品名：延長纜線

型號：PF-FL-280775

請使用（長度3m）。

此外，請使用全長10m以下的纜線。

2 累計脈衝輸出〔選購品記號：−A6〕

● 累計脈衝輸出功能，會在每次達到下列累計值時，就輸出脈衝。 ● 電力規格

◆ 輸出回路

此外，累計顯示會大約每間隔1sec更新一次。

項目類比輸出負載阻抗

DC0〜5V 50KΩ以上

DC4〜20mA 500Ω以下



時間

OFF

ON 25msec

25msec25msec

時間

OFF

ON

25msec累計顯示增加200L（normal）時累計顯示增加100L（normal）時

內部回路

電晶體輸出

GND共通

GND

PULSE OUT

電晶體輸出的額定最大額定電壓 DC30V 最大額定電流 50mA

DC 0～5V ［無記號］ DC 4～20mA ［-A1］

DC 1～5V ［-A2］ DC 0～10V ［-A3］

流量 L/min（normal）

流量 L/min（normal）流量 L/min（normal）

流量 L/min（normal）

類比輸出

（V）

類比輸出

類比輸出

（V）（V）

類比輸出

（mA）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1431


PF500F~PF16000F Series

配線方法電氣配線

・中流量型 PF500F/PF1000F/PF2000F/PF4000F・大流量型 PF8000F/PF16000F

● 標準/選購品 A2 A3 A6

1)與繼電器、負載阻抗、記錄器的連接範例

2)與可程式化控制器的連接範例

● 選購品 A1 4−20mA 輸出

4

32

1

盲栓（公）

連接器插銷No

連接器編號

內附的纜線（3m）

・・・連接於直流電源負極[−]：DC 0V

使用A6時的脈衝：MAX DC 30V、50mA・・・開關輸出

・・・類比輸出：輸出與流量成等比的電壓

GND（藍色）

ALARM（黑色）

ANO（白色）

＋V（棕色）

主回路

・・・連接於直流電源正極[＋]：DC 24V±10%

＋記錄器

DC 電源＋

＋

負載

GND（藍色）

ALARM（黑色）

ANO（白色）

＋V（棕色）

主回路

內部回路

PC24+

輸入

DC 電源＋

GND（藍色）

ALARM（黑色）

ANO（白色）

＋V（棕色）

主回路

・選擇4−20mA輸出時，無法使用開關輸出。

＋

接收器

・・・連接於直流電源負極[−]：DC 0V

・・・連接於4−20mA輸入裝置

GND（藍色）

ANO－（黑色）

ANO＋（白色）

＋V（棕色）

主回路

・・・連接於直流電源正極[＋]：DC 24V±10%

1

2

3

4

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1432



空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1433


PF-F・PFU Series

操作説明

・提供3種參數，可依照用途選擇。

● 開關輸出參數

註）

1）輸出開關ON顯示電晶體為導通狀態。

2）為了保持安全，請先停止上位裝置，再進行設定。

2）參數0,1的設定，請滿足以下條件。若未滿足條件，則無法保證會正常運作。

但是，L＝H＝h＝0（出廠值）時，輸出一直設定為OFF。

1）在右方的寫入模式中，以按鍵操作清除。

2）以關閉電源的方式清除。

● 清除累計流量

・當流量出現脈動，或是開關輸出出現震盪時，請進行

設定。

● 應差

註： PF500F〜PF4000F・PFU500F〜PFU2000F與PF8000F/PF16000F單位是不同的。上述是以PF500F〜PF4000F的機種為代表進行說明的。PF8000F/PF16000F請換算為別的單位。

PF500F〜PF4000F・PFU500F〜PFU2000F ：L/min（normal）PF8000F/PF16000F ：m3/min（normal）（為L/min（normal）的1000倍，並且會附加小數點。）

● 0＜L＜H● 0＜(L−h)≦L＜(H−h)

＜測量模式＞

・顯示累計流量時，會進行H與L的切

換。

＜輕量模式時＞

・使閃爍的數字增加。

● UP鍵

＜L＞・顯示累積流量的下位數。

（單位：L公升）

＜H＞

・顯示累積流量的上位數。

（單位：L公升）

● 單位顯示燈累計流量

＜測量模式＞

・連續按著2秒，就會切換為輕量模

式。


・移動到閃爍位數的右方。

● 轉換鍵

＜測量模式＞

・進行瞬間流量/累計流量的切換。


・要確定設定值時，需要使用此按鍵。

● 變更鍵

・顯示瞬間流量、累計流量。


・顯示輸出設定值等。

● 5位數數位顯示

・點亮時，5位數數位顯示功能會顯示

出目前的顯示瞬間流量。

● 單位顯示燈瞬間流量

顯示開關輸出的狀態。

＜L＞下位數…99999＜H＞上位數…09999累計流量最大9位數

● 輸出顯示燈

H(High)

h（應差）h（應差）

L(Low)

OFF

開啟

開關輸出

瞬間流量 L/min（normal）

H(High)L(Low)

OFF

開啟

輸出（警報）


參數1

設定值

OFF

開啟

輸出（警報）

累計流量 L（ normal）

・累計流量達到設定值時，就會輸出。

參數2

H(High)L(Low)

OFF

開啟

輸出（警報）


・使用於偵測流量異常等狀況。・使用於偵測斷線時的異常等狀況

參數0（零）

L

PF SERIESAIR FLOW SENSOR

TOTALH

L/min (nor)OUT

FLUEREXCKD

F.R.L組件

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主管路組件

卷尾





1434


PF-F・PFU Series顯示器的功能說明與操作說明

測量模式

註）累計流量不會顯示小數點以下的數字。

10秒後，閃爍會變為亮燈，並回到瞬間流

量。

長按2秒後，設定確定，燈號閃爍會變為亮

燈，而且會持續顯示累計值。關閉電源後，測

量模式會被記憶，無須重新設定。

若想回到瞬間流量，請再度長按2秒。暫時顯示累計流量瞬間流量顯示

● 測量瞬間流量/累計流量。（開啟電源時）

持續按壓2秒

寫入模式

前往測量模式

・同時按著Shift/Up鍵10秒，累計值就會清除。

・利用Shift/Up鍵設定h（應差）的數值。

・利用Shift/Up鍵設定H（High）的數值。

・利用Shift/UP鍵設定L（LOW）的數值。

・以Up鍵設定參數。

註）若選擇參數2，則不會顯示L,H,h。相關細節請參閱操作

說明書。

註）下列範例，是P（參數）設定為0、L（Low）設定為

100、H（High）設定為200、h（應差）設定為10 L/min（normal）時。

● 進行開關輸出設定。

清除累計值

應差設定

H（High）設定

L（LOW）設定

參數設定

LTOTAL

H

OUT2

OUT1

L/min (nor)

L/min (nor)

L/min (nor)

L/min (nor)

L/min (nor)

LTOTAL

H

OUT2

OUT1

LTOTAL

H

OUT2

OUT1

LTOTAL

H

OUT2

OUT1

LTOTAL

H

OUT2

OUT1

L


TOTALH

OUT

L/min (nor)FLUEREXCKD

閃爍

L


TOTALH

L/min (nor)FLUEREXCKD

OUT

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1435


危險

危險

警告

警告

注意

注意

個別注意事項：壓縮空氣用流量感測器 PF-F･PFU系列

空壓裝置（感測器）

產品安全使用守則使用前請務必詳閱本守則。

空壓裝置一般注意事項請參閱卷首第63頁，各產品系列之詳細注意事項，請確認

「使用注意事項」之相關說明。

設計/選擇時

1. 規格的確認

■ 請絕對不要使用易燃性的流體。

■ 使用本產品時，不得超出產品本身規格之範圍。

本型錄記載之產品係設計為限使用於壓縮空氣系統

中。請勿使用在規格範圍外之壓力或溫度，否則可

能造成破壞或動作不良。

■ 不可當作交易用的度量表。

由於本產品不適用於計量法，所以請勿使用於商業

交易。請當作工業用感測器來使用。

■ 本產品適用的流體為壓縮空氣與氮氣，若使用其他

氣體，則無法保證精度，因此請勿使用其他氣體。

2. 為安全之設計

■ 請採取必要的防護措施，以防本產品發生故障時，

對人或物造成不良影響。

■ 請瞭解壓縮空氣特性後再設計空壓回路。● 本產品有可能因為壓縮性、膨脹性等空氣特性，造成飛出

、噴出或漏洩等現象。

● 請設計在系統內之壓縮空氣能進行排氣之回路。

■ 為避免因漏電而造成錯誤動作，請確認漏電電流。● 當使用於可程式化控制器等時，可能受漏電之影響而造成

錯誤動作。

■ 流量感測器上沒有活動部，但由於電磁閥重複ON/OFF後，整流元件的網眼部或是固定部會有微幅移

動，因此可能產生微粒。如果不希望微粒產生，請

務必在流量感測器的二次側（下行）設置過濾器。

■ 本產品為壓縮空氣專用，因此可容許對性能無影響

之微量洩漏。若需不可洩漏之用途時，請洽詢本公

司。

■ 顯示器分離型PFD系列的監控器，無法與PF-F・PFU系列連接。若連接在一起，有可能造成破損。

■ 關於類比輸出“A1”的注意事項

如上面所述，若把2台以上的類比輸出4-20mA的感

測器，連接在同一個共通輸入回路（上位電腦、控制

器等），則訊號會互相干擾，導致無法正常運作。在

這樣的情況下，請使用電壓輸出型（標準、A2、A3）。

※A點的電壓與B點的電壓在輸入回路的內部相連，

因此電位相同，導致個別的類比輸出產生誤差。

若上位輸入回路的電源（DC24V）並未絕緣，則請

讓輸入回路與感測器的電源分離。

3. 依照用途設計

■ 請勿在充滿爆炸性氣體的環境中使用本裝置。本產

品並非採防爆構造，可能引起爆炸、火災。

■ 使用本產品適用的氮氣時，可能會產生缺氧的危險

性，因此請務必遵守下列規定，並小心操作。1 請使用於通風良好、可換氣的場所。2 使用氮氣的同時，請進行換氣。3 請定期檢查氮氣的配管是否有洩漏。

4. 使用環境

B

A

24-24+

V2+I2+

COM2

V1+I1+

COM1

-4-20mA

+4-20mA

-4-20mA

+4-20mA

DC +

電源

連接時請注意。

絕緣型

-15VAG+15V

DC/DC

上位輸入回路

ch2

ch1

250Ω

250Ω

內部回路240Ω

DC -

DC +感測器2

DC -

DC +感測器1

DC24V

內部回路240Ω

AG

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卷尾





1436


PF-F・PFU Series個別注意事項

警告注意

■ 設置產品時，請避免雨、水、陽光直接照射。

■ 產品請勿使用在可能受腐蝕之環境下。如使用在這種

環境下則可能造成損壞或動作不良。

■ 在供應空氣中如產生臭氧時，請洽詢本公司。

■ 請避免在產生臭氧的環境下使用。

■ 請把流體溫度控制在0〜40℃的範圍內。

除了必須使用於上述溫度範圍內，還必須避免使用於會

讓流體溫度劇烈變化場所，以及會結露的場所。

■ 如果使用時超過最高使用壓力，可能會導致故障，

因此請勿超過最高使用壓力。

■ 感測器部分採防塵、防滴構造，因此保養時與清掃時

讓感測器噴濺到水滴，也不會造成故障，請安心使

用。但是依然要避免一直會噴濺到水滴的場所，以及

水、油激烈噴濺的場所。

■ 請確認產品能夠耐受使用環境中的各項條件。● 無法在功能受阻之環境使用。例如：高溫、藥液環境、藥

品、振動、濕氣、水滴、切削水、氣體環境等存在之特殊環

境。臭氧發生環境。

■ 使用時，務必讓環境溫度維持在0〜50℃的範圍內。

■ 請勿在振動49m/s2以上、衝擊294m/s2以上環境中使

用。

■ 符合CE之使用條件

本產品係能對應 EMC 指令的 CE 規格產品。有關適

用於本產品之抗干擾性之匹配規格為 EN61000-6-2，但本規格必須符合下列條件。條件● 本產品之評估是使用電源線與訊號線成一對之纜線，作為

訊號線進行評估。● 由於對突波電磁抗擾性無耐性，因此請在裝置側實施對策。

■ 請在空壓機周圍，確保用來安裝、拆卸、配線、配

管作業之空間。

注意

5. 空間的確保

安裝/固定/調整時

危險

警告

注意1. 安裝孔

■ 電源電壓及輸出請使用規格電壓。

如果施加規格以上的電壓，可能會造成運作異常、

感測器破損，也可能引發觸電、火災。此外，請勿

使用超過輸出額定之負載，否則可能造成輸出破損

或火災。

■ 配線時請務必確認線材的顏色，以及端子的編號。

配線錯誤可能造成感測器損壞、故障、運作異常，

因此請先閱讀使用說明書，並確認配線的顏色、端

子編號後，再進行配線。

請放入噪聲濾波器。

■ 請確認配線之絕緣。

請避免與其他回路接觸、短路、端子間絕緣不良。

否則過電流會流入感測器，並造成損壞。

■ 請讓本產品遠離高壓電線、高壓電裝置，以及馬達

等動力設備。

■ 配線前，請先確認感測器的連接器有無切削粉或電

線的碎屑。

注意

2. 運轉前的確認

■ 配管連接完成後，供應壓縮空氣時，請務必確認配

管連接部之所有部有無空氣洩漏。● 在配管連接部用毛刷塗洩漏偵測液，用以檢查漏氣。請勿

讓洩漏偵測液附著在樹脂零件上，否則樹脂零件可能會破

損。

■ 請讓纜線遠離噪聲來源（例如高功率電線等）。噪

聲可能導致運作錯誤。

■ 請勿讓輸出電晶體短路。

負載如果短路，則過電流保護回路就會啟動，以防

止輸出電晶體破損，但如果長時間放置不管，還是

有可能破損。

過電流保護…約70mA

■ 在進行配管前，請勿拆下空壓機包裝袋或配管孔口

的防塵蓋。● 如在配管連接作業前拆下配管孔口之護蓋，則異物會從配

管孔口進入空壓機內部，可能造成故障、錯誤動作等。

■ 為安裝空壓機，請勿採用以配管支撐之安裝方法。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1437


PF-F・PFU Series

型號 D尺寸

PF8000F 40mm

PF16000F 50mm


■ 請勿使用會產生突波電壓的負載。

直接驅動繼電器、電磁閥等會產生突波的負載時，請使

用內置突波吸收元件的產品。此外，若同樣的電源線上

也有突波的產生源，請採取相同的處理方式。

■ 沒有雷突波的耐性。

本產品是適用於CE認證的產品，但沒有雷突波的耐

性。請在裝置側採取雷突波的防護措施。

■ 請勿重複彎曲引線，或施加拉力，否則可能造成斷

線。

■ 請使用內附的纜線（3m）。如果要延長纜線，請洽

詢本公司。

■ 連接配管時，密封膠帶的纏繞方法是由距離配管螺

牙前面2mm以上的內側位置開始，朝螺牙的方向及

相反方向進行纏繞。● 倘密封膠帶從配管螺牙前面露出，螺牙有可能會讓密封膠

帶斷裂，斷裂的部分將進入內部，並因而造成產品故障。

● 當使用液狀密封劑時，請注意不要附著在樹脂零件上。否

則樹脂零件可能會破損。

■ 與空壓機連接之配管不得因振動、鬆弛、張力現象而

脫離。● 配管的脫離會產生危險狀態。

■ 配管材質使用尼龍軟管或空氣感測器用軟管時，請

注意下列事項。● 在焊渣飛散之環境，請使用耐燃性軟管或金屬鋼管。

● 螺旋軟管使用於標準快速接頭時，請用束線帶固定軟管根

部。軟管一旦轉動，維持能力將因此減弱。

■ 配管連接部之結合部配管請避免因裝置運轉、振

動、外力等而移動。

■ 配管時，請在連接空壓裝置前進行吹除異物作業。● 重要的是配管時，管內部之異物不得進入空壓機內部。

■ 連接配管時，請使用適當的轉矩來固定。● 目的在於防止空氣洩漏或螺牙損壞。

● 請勿讓螺紋受到損傷。固定時，請先用手旋轉螺牙，再使

用工具。

■ 以節流閥（圓形閥、球形閥等）調整流量時，請把

節流閥安裝在感應器的二次側（下行）。否則會發

生偏流（流量的不穩定），並可能產生誤差。

■ 請勿在感測器前設置減壓閥（調壓閥）。否則會發

生偏流，並可能產生誤差。● 若想要在一次側設置減壓閥時，請安裝10D以上的直管

部。

※這裡的「D」指的是配管的內徑。

● 選擇減壓閥時，請選擇流量特性高於感測器最大流量的產

品。

■ 配管時，請依照流體的方向與感測器指示的方向。

若接反了，會顯示較多。

■ 配管時如果要使用彎管與軸套，我們建議在一次側

設置10D以上的直管部，在二次側設置5D以上的直

管部。● 至於PF8000F/PF16000F系列，請務必設置直管部。

● 若有需要因為軸套而變更口徑，請勿變更超過1個尺寸。

3. 配管

注意

注意

［建議值］

連接螺牙固定轉矩 N・mRc3/8 22〜24

Rc1/2 28〜30

Rc3/4 31〜33

Rc1 36〜38

Rc1 1/2 48〜50

Rc2 54〜56

使用軸套時

5D10D

使用彎管時

5D10D

固態液狀密封劑


F.R.L組件

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主管路組件

卷尾





1438


PF-F・PFU Series個別注意事項

注意

注意

注意

■ 使用空壓裝置的回路前應設置空氣過濾器。

■ 配管連接完成後供應壓縮空氣時，請勿施加急劇較高

壓力方式供應。● 如配管連接脫落，配管軟管會彈出，可能發生事故。

■ 空氣品質● 請依據用途使用本公司之無塵空氣系統裝置。

● 請勿使用含有空壓機氧化油、焦油或碳的壓縮空氣。

● 所使用的壓縮空氣不得含有固態異物。

● 請在感測器的一次側（上行），設置過濾器、空氣乾燥機、

油霧過濾器後再使用。此外，感測器的整流元件（金

網），是為了對配管中流動進行整流而設置的，並非過濾

異物的過濾器，因此請務必另外安裝過濾器。

使用/維護時

1. 使用時 2. 保養・檢查

■ 請勿對顯示部施加過大的旋轉力。

顯示部可以270度旋轉，使用時請旋轉至您容易觀看

的位置。如果以過大的力量旋轉，可能會使止動器

破損，請多加注意。

■ 進行保養時，請事前將電源關閉，停止供應壓縮空

氣，並確認無殘壓後再進行維護。● 此為確保安全之必要條件。

■ 請每年進行一次以上的定期檢查，以確保運作正

常。

■ 請勿拆解、改造，否則會造成故障。

■ 如果突然把與感測器相連的閥打開，則會產生額定

的數十倍流量，可能會造成白金薄膜感測器與整流

元件破損，可能會流至二次側。把與感測器相連的

閥打開時，請慢慢打開閥以避免超過額定流量。

■ 運作中如果發生異常請立即切斷電源、停止使用，並

與經銷商聯絡。

顯示部分會稍微發熱（約40℃），並非異常。

■ 打開電源後的10秒內，會進行硬體檢查等內部設

定。在這段時間內，顯示、輸出都不會正常運作。

特別是以開關輸出連接控制類裝置的聯鎖回路時，

可能造成異常停止，因此在這段時間中，請將輸出

遮蓋。

■ 當想變更輸出設定值時，控制系統裝置可能出現突

發的動作，因此請停止裝置後再進行變更。

■ 使用聯鎖回路時，請設置多重聯鎖回路，並定期檢

查確保運作正常，以防故障發生。

■ 配管時，請勿對樹脂部施力。

4. 空壓源

・需要超清淨空氣時

警告

流量感測器PFDseries

油霧過濾器閥空氣乾燥機過濾器


油霧過濾器

閥空氣乾燥機精密過濾過濾器

過濾器

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1439


1440


C O N T E N T S

產品介紹 1442

使用範例 1444

流量感測器（PFD）顯示器分離型 1446 測試組（PFK） 1452

電氣配線 1456監視器部的功能說明・操作說明 1458　使用注意事項 1460

■ 感測器・控制裝置/流量感測器

壓縮空氣用流量感測器PFD・PFK（顯示器分離型流量感測器）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1441


CKD Green Technology利用節能管理

友愛地球環境利用節能管理友愛地球環境。

FLUEREX壓縮空氣流量感測器PFD系列

能有效掌握能源耗用量，

並確認執行效果。

壓縮空氣流量感測器

Do■非運轉狀態時

　停止供應空壓

■縮短吹氣時間

■善用節能噴嘴

■調低壓力

執行對策

Plan■測量目前流量

■檢測改善對策

掌握現狀

Check

■裝置、生產線

耗電量標準化

■在其他生產線同步推動

Action

■利用流量感測器測量

■利用累計功能換算成本

確認效果

備有11種機型，涵蓋多種流量範圍

10　　　．　100　　．　1,000　　． 10,000　　． 100,000

PFD-163（Rc2）

PFD-102（Rc1/2）PFK-102（Rc1/2）

PFD-501（Rc3/8）PFK-501（Rc1/2）

PFD-402（Rc1） PFK-402（Rc1）

PFD-802（Rc1 1/2）PFK-802（Rc1 1/2）

PFD-202（Rc3/4）PFK-202（Rc1）

流　量　範　圍 [ L /min（normal）]套件（連接口徑）標準（連接口徑）

※PFK系列需加裝聯結器。

25　　　　　 500

100 　　 2000

400 　　 8000

50 　　　　 1000

200 　　 4000

800　　　　 16000

產品系列豐富，備有多種輸出類型

輸出功能

數位顯示瞬間流量

累計流量

※1

※1

開關輸出 NPN電晶體※2

PNP電晶體※2

累計脈衝輸出電晶體輸出※3

DC0-5V（標準）

DC4-20mA（選購品）

DC1-5V（選購品）


※1…只要單觸按鍵，即可切換瞬間流量及累計流量。

※2…備有NPN/PNP等開關輸出類型可供選擇。

輸出為2點（PFK系列為1點）

※3…僅需選擇其中一種開關輸出，即可變更為

累計脈衝輸出模式，操作更簡便。

（註）所謂「綜合精度」就是因溫度變化與壓力變化所產生的誤差與直線性等所

有誤差之總和，此數值僅為參考值。

因應RoHS指令本品材料一律不使用鉛或六價鉻等

有害地球環境的物質。

通過ISO14001認證更輕而易舉

不需補正，可直接判讀數位數值

不需壓力補正

採用質量及流量檢測方式

不需溫度校正

內置自動溫度補正功能

0.1MPa

壓力範圍

P

1.5MPa

溫度範圍

40°

0°

產品系列中備有大流量型，可協助整個工廠實現節能管理目

標。要取得環境管理系統的國際化標準規範：ISO 14001，本

產品是絕對不可或缺的一項裝置。

除此之外，亦可當作一般工業裝置的流量管理感測器之用。

在溫度10～30°C、壓力0.2～0.7MPa條件下，

不需補正，即可達到±4％F.S.的綜合精度。

不需繁複的壓力補正、溫度補正，直接即可讀取數位顯示器上

的數值。

精度高，綜合精度高達±4％F.S.

備有可攜式便利套件

輕輕一碰，

即可完成配管及配線作業。

綜和精度= ± （直線性）2 +（溫度特性）2 +（壓力特性）2

感測器、監視器及配管等皆可置於手提箱中，

就連測試儀器套件亦備有5種機型可供選擇。

類比輸出

修正・繼續

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1442


PFD・PFK Series

CKD Green Technology利用節能管理

友愛地球環境利用節能管理友愛地球環境。

FLUEREX壓縮空氣流量感測器PFD系列

能有效掌握能源耗用量，

並確認執行效果。

壓縮空氣流量感測器

Do■非運轉狀態時

　停止供應空壓

■縮短吹氣時間

■善用節能噴嘴

■調低壓力

執行對策

Plan■測量目前流量

■檢測改善對策

掌握現狀

Check

■裝置、生產線

耗電量標準化

■在其他生產線同步推動

Action

■利用流量感測器測量

■利用累計功能換算成本

確認效果

備有11種機型，涵蓋多種流量範圍

10　　　．　100　　．　1,000　　． 10,000　　． 100,000

PFD-163（Rc2）

PFD-102（Rc1/2）PFK-102（Rc1/2）

PFD-501（Rc3/8）PFK-501（Rc1/2）

PFD-402（Rc1） PFK-402（Rc1）

PFD-802（Rc1 1/2）PFK-802（Rc1 1/2）

PFD-202（Rc3/4）PFK-202（Rc1）

流　量　範　圍 [ L /min（normal）]套件（連接口徑）標準（連接口徑）

※PFK系列需加裝聯結器。

25　　　　　 500

100 　　 2000

400 　　 8000

50 　　　　 1000

200 　　 4000

800　　　　 16000

產品系列豐富，備有多種輸出類型

輸出功能

數位顯示瞬間流量

累計流量

※1

※1

開關輸出 NPN電晶體※2

PNP電晶體※2

累計脈衝輸出電晶體輸出※3

DC0-5V（標準）

DC4-20mA（選購品）



※1…只要單觸按鍵，即可切換瞬間流量及累計流量。

※2…備有NPN/PNP等開關輸出類型可供選擇。

輸出為2點（PFK系列為1點）

※3…僅需選擇其中一種開關輸出，即可變更為

累計脈衝輸出模式，操作更簡便。

（註）所謂「綜合精度」就是因溫度變化與壓力變化所產生的誤差與直線性等所

有誤差之總和，此數值僅為參考值。

因應RoHS指令本品材料一律不使用鉛或六價鉻等

有害地球環境的物質。

通過ISO14001認證更輕而易舉

不需補正，可直接判讀數位數值

不需壓力補正

採用質量及流量檢測方式

不需溫度校正

內置自動溫度補正功能

0.1MPa

壓力範圍

P

1.5MPa

溫度範圍

40°

0°

產品系列中備有大流量型，可協助整個工廠實現節能管理目

標。要取得環境管理系統的國際化標準規範：ISO 14001，本

產品是絕對不可或缺的一項裝置。

除此之外，亦可當作一般工業裝置的流量管理感測器之用。

在溫度10～30°C、壓力0.2～0.7MPa條件下，

不需補正，即可達到±4％F.S.的綜合精度。

不需繁複的壓力補正、溫度補正，直接即可讀取數位顯示器上

的數值。

精度高，綜合精度高達±4％F.S.

備有可攜式便利套件

輕輕一碰，

即可完成配管及配線作業。

綜和精度= ± （直線性）2 +（溫度特性）2 +（壓力特性）2

感測器、監視器及配管等皆可置於手提箱中，

就連測試儀器套件亦備有5種機型可供選擇。

類比輸出

修正・繼續

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1443


壓縮空氣用流量感測器的使用範例

汽車製造動線的流量管理

■ 塗布線機器人■ 自動車線控制

■ 風刀■ 離子化器

使用於FPD製造裝置的流量管理

流量感測器的偵測器部是由可讓壓縮空氣平均流動的整流元件，以及

可偵測流量的白金薄膜阻抗構成的。如果偵測器前裝有彎曲的管線

時，整流元件可使流量達到均一。由多個整流板構成，所以可以使壓

力損失降到最低，並且達到整流的效果。

壓縮空氣未流動時，偵測流量的白金薄膜感測器會從流體溫度加熱到

一定的溫度。壓縮空氣流動，與空氣質量呈等比的熱量會被奪去，這

是電流會流進偵測流量的白金薄膜感測器的回路中，使感測器保持在

一定溫度。顯示部會把此電流當成流量訊號，並且把瞬間流量與累計

流量以實用大氣壓、0℃換算後，再顯示出來。此外，偵測流體溫度的

白金薄膜感測器，會測量壓縮空氣的溫度，並進行溫度補正。

功能說明

PFD Series

流道

流體方向整流組件

白金薄膜感測器

配管轉接頭

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1444



空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1445


流量感測器

PFD Series● 流量範圍： 25〜500、50〜1000、100〜2000、200〜4000

400〜8000、800〜16000L/min（normal）

註1：使用時，若環境溫度比流體溫度低，則可能會結露，請特別注意。

透過的油分如果累積到一定程度，可能會導致偵測不良，請特別注意。

本裝置非無塵規格，因此二次側可能會出現微粒。

如需要超清淨空氣，建議把精密過濾過濾器設置在末端。

註2：脈衝輸出與開關輸出是共用的。請在切換功能後再使用。

註3：為了排除配管條件的影響，我們推薦設置直管部（D為配管內徑）。

註4：請定期備份累計流量值。另外，也可用操作進行備份。

詳情請參閱1458頁的「功能說明、操作說明」。

規格項目 PFD-501-10 PFD-102-15 PFD-202-20 PFD-402-25 PFD-802-40 PFD-163-50

規格

流量範圍 L/min（normal) 25〜500 50〜1000 100〜2000 200〜4000 400〜8000 800〜16000

連接口徑 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/2 Rc2

使用條件

適用流體壓縮清淨空氣・氮氣

使用空氣品質 JIS B8392-1：2003/1.1.1〜1.6.1（註1）




環境溫濕度 0〜50℃、85% R.H.以下（避免結露）

流體溫度 ℃ 0〜40

精度

線性 ±3.0% F.S.（在0.5 MPa、20℃時）

壓力特性 ±2.0% F.S.（0.5 MPa基準、在0.2〜0.7 MPa時）

溫度特性 ±2.0% F.S.（20℃基準、在10〜30℃時）

壓力損失 MPa 0.015以下（最大流量、在0.5 MPa時）

應答性 sec 2.5以下

輸

出

顯示以4位數LED顯示瞬間/累計流量

分辨率 L/min（normal) 1 5 5 10 20 50

最小顯示流量 L/min（normal) 10 20 40 80 160 320

累計流量最大到9位數（但必須以變更按鍵切換顯示）（註4）

類比輸出標準：DC 0〜5 V　/　選購品：DC 4〜20 mA、1〜5 V、0〜10 V

開關輸出 2點（NPN/PNP電晶體輸出：選擇式）

脈衝輸出（註2） 10 L（normal）/ pulse 100 L（normal）/ pulse

電源電壓 V DC 24 V（6 W以下/開關輸出的負載電流除外）

纜線內附（3 m、4蕊心、完成外徑φ6、蕊線0.5 mm2、絕緣體外徑1.72 mm、附連接器）

安裝

安裝方向水平、垂直，自由安裝

導入直管部 IN側：10D、OUT側：推薦使用5D（註3）

保護結構相當於IP64（僅限感測器部）

質量 kg 1.1 1.1 1.3 1.4 1.7 4.5

托座質量 g 61（包含螺絲） 92（包含螺絲）－

主要特色● 綜合精度±4% F.S檢測流量。

● 不需要因為壓力變動、溫度變動而進行補正。

● 把流量以基準狀態（0℃、101.3 kPa）換算後顯示出來。

● 可顯示累計、累計值脈衝輸出。

● 擁有多樣化的功能、機型，例如各種流量量程、各種電力輸出方式等。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1446


PFD Series型號標示方法

托座（註1）e

類比輸出d

開關輸出c

連接口徑b

流量範圍

501 0N B10PFD● 顯示器分離型

型號標示方法

a

記號内容

a 流量範圍

501 25〜500 L /min（normal）

102 50〜1000 L /min（normal）

202 100〜2000 L /min（normal）

402 200〜4000 L /min（normal）

802 400〜8000 L /min（normal）

163 0.80〜16.00 m3/min（normal）

b 連接口徑

流量範圍 501 102 202 402 802 163

10 Rc3/8 ●

15 Rc1/2 ●

20 Rc3/4 ●

25 Rc1 ●

40 Rc1 1/2 ●

50 Rc2 ●

c 開關輸出

N NPN電晶體輸出×2

P PNP電晶體輸出×2

d 類比輸出

0 DC0〜5 V 標準

1 DC4〜20 mA 選購品

2 DC1〜5 V 選購品

3 DC0〜10 V 選購品

e 托座

無記號無標準

B 添附托座選購品

PFD-C3

● 選購品單品型號

註1： PFD-163沒有托座選購品。註2：本產品由感測器部、顯示器部、纜線所組成。

銘板的標記如下。此外，纜線上並沒有標示型號。

產品：PFD−（a）−（b）（c）（d）−（e）感測器部：PFD−（a）−（b）顯示器部：PFD−（a）−（c）（d）

記號内容

C3 標準纜線

CW 延長纜線（PFK用纜線）

B 托座（501/102/202/402 用）

B1 托座（802 用）


PFD-501-10N0-B機種名稱：PFD

● a 流量範圍：25〜500 L /min（normal）● b 連接口徑：Rc3/8● c 開關輸出：NPN電晶體輸出

● d 類比輸出：DC 0〜5 V● e 托座：添附托座


F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1447


PFD Series


● PFD-501〜PFD-802

編號零件名稱材質編號零件名稱材質1 白金薄膜感測器1 氧化鋁/白金 7 O型環 NBR 丁腈橡膠

2 白金薄膜感測器2 氧化鋁/白金 8 O型環 NBR 丁腈橡膠

3 主體 A6063S 鋁合金 9 感測器底座基板玻璃環氧樹脂

4 轉接頭 A6063S 鋁合金 10 感測器底座 PBT 聚對苯二甲酸丁二酯

5 整流板 SUS304 不鏽鋼 11 感測器基板玻璃環氧樹脂

6 網眼 SUS304 不鏽鋼 12 護蓋 ABS ABS樹脂

13 托座 SUS304 不鏽鋼

● PFD-163

編號零件名稱材質編號零件名稱材質1 白金薄膜感測器1 氧化鋁/白金 11 感測器基板玻璃環氧樹脂

2 白金薄膜感測器2 氧化鋁/白金 12 護蓋 ABS ABS樹脂

3 主體 A6063S 鋁合金 13 流道1 A6063S 鋁合金

4 分流轉接頭 A6063S 鋁合金 14 流道2 A6063S 鋁合金

5 整流板 SUS304 不鏽鋼 15 流孔 C3604BD 黃銅

6 網眼 SUS304 不鏽鋼 16 O型環 NBR 丁腈橡膠

7 O型環 NBR 丁腈橡膠 17 O型環 NBR 丁腈橡膠

8 O型環 NBR 丁腈橡膠 18 輔助附件 SCS13 不鏽鋼

9 感測器底座基板玻璃環氧樹脂 19 O型環 NBR 丁腈橡膠

10 感測器底座 PBT 聚對苯二甲酸丁二酯

48

1210119

73131265

101211 8731926

1716 14151913184

5

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1448


PFD Series外型尺寸圖

外型尺寸圖

● PFD-501〜802

型號連接口徑

PFD-501-10 Rc3/8

PFD-102-15 Rc1/2

PFD-202-20 Rc3/4

PFD-402-25 Rc1

PFD-802-40 Rc1 1/2

型號 A B C D （E） F G H I J K L MPFD-501/102 140 52 76.2 22 54.2 52 36 26 72 64 6.5 4.5 M4螺絲孔深度6

PFD-202 150 55 87.2 27.5 59.7 57 36 26 72 64 6.5 4.5 M4螺絲孔深度6

PFD-402 175 55 90.7 27.5 63.2 69.5 36 26 72 64 6.5 4.5 M4螺絲孔深度6

PFD-802 190 65 103.7 34 69.7 75 40 26 94 80 8 6 M5螺絲孔深度8

● 顯示器部

標準纜線（3 m）（註）添附於產品內

L

K

FG

H

IJ

φ6

A

（E）

D

M

3

8C

B

48

48

M3×L8

６

1211

101

９８７

５４３２

7.4

88

□45

10

自攻螺絲

2-3×10 ℓ

2562

48

50

〈面板安裝器具〉

※面板厚度（t 0.5〜9.5）

+0.6 045

75

〈面板切割尺寸〉

+0.

6

045

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1449


PFD Series

外型尺寸圖

● PFD-163

標準纜線（3 m）（註）添附於產品內

φ6

（11

1.2）

37.5

300

產品銘板

連接口徑 Rc2

148.

7

75

79

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1450



空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1451


測試器套件

PFK Series將空氣流量之測量裝置套件化，能在現場測量即時流量。● 流量範圍：25〜500、50〜1000、100〜2000、

200〜4000、400〜8000 L/min（normal）

註1：使用時，若環境溫度比流體溫度低，則可能會結露，請多加注意。透過的油分如果累積到一定程度，可能會導致偵測不良，請多加注意。本機器非無塵規格，因此二次側可能會出現微粒。如需要超清淨空氣，建議把精密過濾過濾器設置在末端。

註2：脈衝輸出與開關輸出是共用的。請在切換功能後再使用。註3：為了排除配管條件的影響，我們推薦在聯結器（母）的前段，設置直管部（D為配管內徑）。註4：請定期備份累計流量值。另外，也可用操作進行備份。詳情請參閱1458頁的「功能說明、操作說明」。註5：只有OUT2可使用。OUT1是可設定的，但並沒有輸出端子。

規格項目 PFK-501-15NO PFK-102-15NO PFK-202-25NO PFK-402-25NO PFK-802-40NO

規格

流量範圍 L/min(normal) 25〜500 50〜1000 100〜2000 200〜4000 400〜8000

連接口徑 Rc1/2 Rc1 Rc1 1/2

使用條件

適用流體壓縮清淨空氣・氮氣

使用空氣品質 JIS B8392-1：2003 / 1.1.1〜1.6.1（註1）




環境溫濕度 0〜50℃、85% R.H.以下（避免結露）

流體溫度 ℃ 0〜40

精度

線性 ±3.0％ F.S.（在0.5 MPa、20℃時）

壓力特性 ±2.0％ F.S.（0.5 MPa基準、在0.2〜0.7 MPa時）

溫度特性 ±2.0％ F.S.（20℃基準、在10〜30℃時）

壓力損失 MPa 0.015以下（最大流量、在0.5 MPa時）

應答性 sec 2.5以下

輸出

顯示以4位數LED顯示瞬間/累計流量

分辨率 L/min(normal) 1 5 5 10 20

最小顯示流量 L/min(normal) 10 20 40 80 160

累計流量最大到9位數（但必須以變更鍵切換顯示）（註4）

類比輸出 DC 0〜5 V

開關輸出 1點（NPN電晶體輸出）（註5）

脈衝輸出（註2） 10 L（normal）/ pulse 100 L（normal）/ pulse

電源電壓 V AC 100 V（6 W以下/開關輸出的負載電流除外）

纜線內附（感測器、顯示器間專用：3 m /電源線：2.5 m）

安裝

安裝方向水平、垂直，任意

導入直管部 IN側：10D、OUT側：推薦使用5D（註3）

保護結構相當於IP64（僅限感測器部）

質量 kg 6.0 7.5 9.5

產品結構

電源纜線（2.5 m）纜線（3 m）

聯結器（2個）感測器

外殼（顯示器）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1452


PFK Series型號標示方法

類比輸出d

開關輸出c

連接口徑b

流量範圍

402 0N25PFK● 測試器套件

型號標示方法

a

註1：只有OUT2可使用。OUT1是可設定的，但並沒有輸出端子。

註2：本產品的感測器部、顯示器部、纜線以及聯結器，都放在專

用的可攜式外殼中。

產品：PFK−（a）−（b）N0

A B CPFK-501〜102專用感測器 228 264 Rc1/2

PFK-202專用感測器 285 331 Rc1

PFK-402專用感測器 300 346 Rc1

PFK-802專用感測器 350 402 Rc1 1/2

記號内容

a 流量範圍

501 25〜500 L /min（normal）

102 50〜1000 L /min（normal）

202 100〜2000 L /min（normal）

402 200〜4000 L /min（normal）

802 400〜8000 L /min（normal）

b 連接口徑

流量範圍 501 102 202 402 802

15 15 A專用聯結器 ● ●

25 25 A專用聯結器 ● ●

40 40 A專用聯結器 ●

c 開關輸出

N NPN電晶體輸出註1

d 類比輸出

0 DC 0〜5 V


PFK-402-25N0● a 流量範圍：200〜4000 L /min（normal）● b 連接口徑：25 A專用聯結器

● c 開關輸出：NPN電晶體輸出

● d 類比輸出：DC 0〜5 V


外型尺寸圖

● PFK 感測器部

外殼

AB

C

聯結器

245

開關輸出端子（OUT2）

類比輸出端子

把手

389 220

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1453


壓力損失特性

● PFD-501-10 ● PFD-102-15

● PFD-202-20 ● PFD-402-25

● PFD-802-40 ● PFD-163-50

PFD Series

［MPa］

壓力損失

0.7 MPa

0.5 MPa

0.2 MPa

500400300


20000.000

0.001

0.002

0.005

0.004

0.003

0.006

100


0.7 MPa

0.5 MPa

0.2 MPa

100080060040000.000

0.005

0.010

0.020

0.015

200


0.7 MPa

0.5 MPa

0.2 MPa

20001500100000.000

0.005

0.010

0.015

500


0.2 MPa

0.7 MPa

0.5 MPa

3500300025002000 40001500100000.000

0.005

0.010

0.015

500


0.2 MPa

0.7 MPa

0.5 MPa

7000600050004000 80003000200000.000

0.005

0.010

0.015

1000


0.2 MPa

0.7 MPa

0.5 MPa

1400012000100008000 160006000400000.000

0.001

0.002

0.003

0.005

0.004

0.006

2000

［MPa］

壓力損失

［MPa］

壓力損失

［MPa］

壓力損失

［MPa］

壓力損失

［MPa］

壓力損失

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1454



空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1455


類比輸出的負載阻抗項目

類比輸出負載抵抗

DC 0〜5 V 50 kΩ以上

DC 4〜20 mA 300 Ω以下



型號最小値L/min（normal） FS L/min（normal）PFD-501-10 25 500

PFD-102-15 50 1000

PFD-202-20 100 2000

PFD-402-25 200 4000

PFD-802-40 400 8000

PFD-163-50 800 16000

型號PFD-501

PFK-501

PFD-102

PFK-102

PFD-202

PFK-202

PFD-402

PFK-402

PFD-802

PFK-802PFD-163

每1脈衝的

累積流量10 100

使用<ex>PFD-802時的脈衝波形，如下所示。

L（normal）

PFD Series

● 流量與類比輸出的關係，如左方的圖

表。如低於最小值則無法正常輸出，請

多加注意。

● 請絕對不要讓類比輸出端子與其他端子

短路，否則可能造成故障。

● 為了不讓配線受到噪聲影響，請縮短配

線長度，並遠離噪聲來源（例如高功率

電線等）。

● 累計脈衝輸出功能，會在每次達到下列累計值時，就輸出脈衝。

PFD系列電氣配線

1

2

類比輸出〔選購品記號：−0（標準），−1，−2，−3〕

累計脈衝輸出〔與開關輸出之間的切換。僅限OUT2可使用〕

此外，累計顯示會大約每間隔1 sec更新一次。

● 輸出回路

◆ NPN輸出時

◆ PNP輸出時

類

比

輸

出

類

比

輸

出

類

比

輸

出

類

比

輸

出

時間

OFF

ON 40msec

40msec40msec

時間

OFF

ON

40msec

累計顯示增加200 L（normal）時累計顯示增加100 L（normal）時

内部回路

NPN電晶體輸出

GND共通

9 GND

7 OUT2

最大額定電壓 DC 30 V 最大額定電流 50 mA

PNP電晶體輸出

9 GND

7 OUT2

10 DC24V

最大額定電流 50 mA

内

部

回

路

流量 L/min（normal）　流量 L/min（normal）　

流量 L/min（normal）　流量 L/min（normal）　

DC 0〜10 V ［-3］DC 1〜5 V ［-2］

DC 4〜20 mA ［-1］DC 0〜5 V ［-0］

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1456


PFD Series電氣配線

No. 功能

1 累計重置把本端子與 9 GND端子連接，就可以清除累計流量。

2 感測器訊號2 連接於內附的纜線［BLACK］

3 感測器訊號1 連接於內附的纜線［WHITE］

4 感測器GND 連接於內附的纜線［BLUE］

5 感測器電源連接於內附的纜線［BROWN］

6 OUT1 NPN/PNP電晶體輸出

7 OUT2 NPN/PNP電晶體輸出

8 類比輸出電壓/電流輸出

9 電源GND 連接於電源DC 0 V

10 電源DC 24 V 連接於電源DC 24 V

11 NC 請勿連接任何物品。

12 NC 請勿連接任何物品。

◆ PNP輸出時

● 開關輸出回路 ◆ NPN輸出時

◆ 電流輸出時

● 類比輸出回路 ◆ 電壓輸出時

● 進行配線時，請使用產品內附的纜線。

【規格】

附DC專用的4蕊芯連接器

完成外型　　φ6

蕊線尺寸　　0.5 mm2

絕緣體外徑　φ1.72

● 如果要延長纜線，請洽詢本公司。

● 進行配線時，請務必參閱使用注意事項。

3 感測器部與顯示器部的配線方法

累計重置

感測器訊號

2

感測器訊號

1

感測器

GN

D

感測器電源

NC

NC電源

DC

24

V

電源

GN

D

類比輸出

OU

T2

OU

T1

6

5

7

4

8

3

9

2

10

11

12

1

PNP電晶體輸出

9 GND（共通）

6 OUT17 OUT2

10 DC 24 V

最大額定電流 50 mA

NPN電晶體輸出

9 GND（共通）

6 OUT17 OUT2

　最大額定電壓　DC 30 V　最大額定電流　50 mA

8 類比輸出

9 GND（共通）

記錄器（電流計）負載阻抗 300 Ω以下

8 類比輸出

9 GND（共通）

記錄器（電壓計）負載阻抗 150 kΩ以上

内

部

回

路

内

部

回

路

内

部

回

路

内

部

回

路

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1457


PFD・PFK Series

1 0

內秒

■ 顯示器部的功能說明與操作說明

■ 開關參數

・亮燈…開關ON・閃爍…過電流保護動作中

開關輸出顯示燈

・亮燈…流量顯示中

・閃爍…累計停止中

・燈熄滅…設定（確認）中

運轉顯示燈

・呼叫出設定值

［READ］鍵

・讓閃爍的部分向右移

［SHIFT］鍵

・使閃爍的數字增加

［UP］鍵

〈測量模式〉

・瞬間/累積流量的顯示

・錯誤顯示

〈讀出/寫入模式〉

・設定值的顯示

4位數數位顯示

・顯示瞬間流量時會點亮

瞬間流量單位顯示

・顯示累計流量時會點亮

累計流量單位顯示

・確定設定值

・單位的變更/確定

［CHANGE］鍵

L/min（nor）

READ

RUN

OUT1/HI

OUT2/Lo TOTAL

km 3 m3 L

提供4種設定，可依據用途選擇。

OFFLow

瞬間流量

參數0

High

ON

OFF

時間

※詳細內容請參閱1456頁（累計脈衝輸出）。

參數3

（僅限OUT2）

累計脈衝輸出ON

OFFLow

瞬間流量

參數1

High

ON

OFF設定值

積算流量

參數2

ON

測量模式

OU

T2設

定

OU

T2設

定

Low顯示（OUT1/OUT2）

High顯示（OUT1/OUT2）

hysteresis顯示（OUT1/OUT2）

高峰值顯示（單位顯示燈會閃爍）

※同時按著［SHIFT］［UP］ 10秒後，就會執行　高峰值/累計流量清除。

顯示累計流量值

READ

READ讀出模式

參數顯示（OUT1/OUT2）

Low設定（OUT1/OUT2）

High設定（OUT1/OUT2）

hysteresis設定（OUT1/OUT2）

清除高峰值（單位顯示燈會閃爍）

清除

寫入模式

參數設定（OUT1/OUT2）

【顯示累計流量】【瞬間流量顯示】

【顯示累計流量】


■ 應差

■ 累計脈衝輸出如果在OUT2中把參數設定為［3］，那麼開關輸出功能就會變更為累計脈衝輸出功能。此外，OUT1沒有累計脈衝輸出功能，請多加注意。

■ 關於累計流量值/高峰值的備份

・本產品的累計流量值/高峰值會自動備份於內部記憶體，備份的資料在關掉電源後也不會消失。

・備份的時間點如下。1 ）距離上次備份已經過5分鐘以上，且

累計流量值、峰值產生變化時。2 ）停止累計流量時。3 ）清除累計值時。（高峰值為當時的值，

備份的值為累計值清除後之值）4 ）清除高峰值時。（備份的高峰值為清

除後的值，備份的累計值為當時的值）・在以下的情況下不會進行備份，請多加注

意。1 ）距離上次備份不到5分鐘。2 ）距離上次備份已經過5分鐘以上，但

數值並沒有變化。此外，把電源打開至ON時，會顯示上次備份的數值。

應差

LowOFF

ON

High

hysteresis・累計開關無法設定應差。

・顯示累計流量時，可執行｛暫時停止/數值的清除｝。想進行清除時，與引線模式一樣，必須長按10秒。

・讓累計流量顯示暫時停止後，累計流量值會備份到內部記憶體。

・每按一次［CHANGE］鍵，顯示就會切換。

・在想要顯示的狀態下，按［CHANGE］鍵 5 秒鐘後，狀態就會確定。

瞬間流量

累計量測暫時停止

10秒後累計會被清除

※在參數 2 的情況時，以（集成開關設定）代替（L）（H）（h）。※參數3時因無設定條件，讀出模式會跳至（高峰值顯示）寫入模式。※累計流量設定/確認後按　　（Shift鍵）會依照累計流量顯示單位而改變。

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

與

同時按著

秒2

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1458


PFD・PFK Series功能說明・操作說明

1 0

內秒

■ 顯示器部的功能說明與操作說明

■ 開關參數

・亮燈…開關ON・閃爍…過電流保護動作中

開關輸出顯示燈

・亮燈…流量顯示中

・閃爍…累計停止中

・燈熄滅…設定（確認）中

運轉顯示燈

・呼叫出設定值

［READ］鍵

・讓閃爍的部分向右移

［SHIFT］鍵

・使閃爍的數字增加

［UP］鍵

〈測量模式〉

・瞬間/累積流量的顯示

・錯誤顯示

〈讀出/寫入模式〉

・設定值的顯示

4位數數位顯示

・顯示瞬間流量時會點亮

瞬間流量單位顯示

・顯示累計流量時會點亮

累計流量單位顯示

・確定設定值

・單位的變更/確定

［CHANGE］鍵

L/min（nor）

READ

RUN

OUT1/HI

OUT2/Lo TOTAL

km 3 m3 L

提供4種設定，可依據用途選擇。

OFFLow

瞬間流量

參數0

High

ON

OFF

時間

※詳細內容請參閱1456頁（累計脈衝輸出）。

參數3

（僅限OUT2）

累計脈衝輸出ON

OFFLow

瞬間流量

參數1

High

ON

OFF設定值

積算流量

參數2

ON

測量模式

OU

T2設

定

OU

T2設

定

Low顯示（OUT1/OUT2）

High顯示（OUT1/OUT2）

hysteresis顯示（OUT1/OUT2）

高峰值顯示（單位顯示燈會閃爍）

※同時按著［SHIFT］［UP］ 10秒後，就會執行　高峰值/累計流量清除。

顯示累計流量值

READ

READ讀出模式

參數顯示（OUT1/OUT2）

Low設定（OUT1/OUT2）

High設定（OUT1/OUT2）

hysteresis設定（OUT1/OUT2）

清除高峰值（單位顯示燈會閃爍）

清除

寫入模式

參數設定（OUT1/OUT2）

【顯示累計流量】【瞬間流量顯示】



■ 應差

■ 累計脈衝輸出如果在OUT2中把參數設定為［3］，那麼開關輸出功能就會變更為累計脈衝輸出功能。此外，OUT1沒有累計脈衝輸出功能，請多加注意。

■ 關於累計流量值/高峰值的備份

・本產品的累計流量值/高峰值會自動備份於內部記憶體，備份的資料在關掉電源後也不會消失。

・備份的時間點如下。1 ）距離上次備份已經過5分鐘以上，且

累計流量值、峰值產生變化時。2 ）停止累計流量時。3 ）清除累計值時。（高峰值為當時的值，

備份的值為累計值清除後之值）4 ）清除高峰值時。（備份的高峰值為清

除後的值，備份的累計值為當時的值）・在以下的情況下不會進行備份，請多加注

意。1 ）距離上次備份不到5分鐘。2 ）距離上次備份已經過5分鐘以上，但

數值並沒有變化。此外，把電源打開至ON時，會顯示上次備份的數值。

應差

LowOFF

ON

High

hysteresis・累計開關無法設定

應差。

・顯示累計流量時，可執行｛暫時停止/數值的清除｝。想進行清除時，與引線模式一樣，必須長按10秒。

・讓累計流量顯示暫時停止後，累計流量值會備份到內部記憶體。

・每按一次［CHANGE］鍵，顯示就會切換。

・在想要顯示的狀態下，按［CHANGE］鍵 5 秒鐘後，狀態就會確定。

瞬間流量

累計量測暫時停止

10秒後累計會被清除

※在參數 2 的情況時，以（集成開關設定）代替（L）（H）（h）。※參數3時因無設定條件，讀出模式會跳至（高峰值顯示）寫入模式。※累計流量設定/確認後按　　（Shift鍵）會依照累計流量顯示單位而改變。

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

L/min（nor）TOTAL

km 3 m3 L

與

同時按著

秒2

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1459


空壓裝置（感測器裝置）

產品安全使用守則使用前請務必詳閱本守則。

空壓裝置一般注意事項請參閱卷首第63頁，各產品系列之詳細注意事項，請確認

「使用注意事項」之相關說明。

■ 嚴禁使用易燃性的流體。

■ 本產品為壓縮空氣專用，因此可容許對性能無影響

之微量洩漏。使用於不可洩漏之用途時，請洽詢本

公司。

■ 請勿在含有爆炸性氣體的環境中使用本裝置。本產

品並非採防爆結構，可能引起爆炸、火災。

■ 使用本產品支援的氮氣時，可能會產生缺氧的狀

況，因此請務必遵守下列規定，並小心操作。1 請使用於通風良好、可換氣的場所。2 使用氮氣的同時，請進行換氣。3 請定期檢查氮氣的配管是否有洩漏。

■ 請採取必要的防護措施，以防本產品發生故障時，對人或物造成不良影響。

■ 請避免將產品設置於雨、水、陽光直射的場所。

■ 產品請勿在可能受腐蝕之環境使用。如果用於此類

環境，可能造成損壞或動作不良。

■ 在供應空氣中產生臭氧時，請洽詢本公司。

■ 請避免在產生臭氧的環境下使用。

■ 請把流體溫度控制在 0 ～ 40℃的範圍內。

除了必須使用於上述溫度範圍內，還必須避免使用於會

讓流體溫度急遽變化場所，以及會結露的場所。

■ 如果使用時超過最高使用壓力，可能會導致故障，

因此請勿超過最高使用壓力。

■ 請瞭解壓縮空氣特性後再設計空壓回路。● 本產品有可能因為壓縮性、膨脹性等空氣特性，造成飛出

、噴出或洩漏等現象。

● 請將回路設計成在系統內之壓縮空氣能進行排氣。

■ 為避免因漏電而造成錯誤動作，請確認漏電。● 當使用於可程式化控制器等時，可能受漏電之影響而造成

誤動作。

■ 本產品的感測器部與顯示器部都是各自獨立的，如

果流量量程相同的機種，可以彼此互換。● 不同流量量程的機種不可互換。

● 感測器部與顯示器部必須同時使用。如果只安裝任一方，

則無法發揮功能。

■ 使用本產品時，不得超出產品本身規格之範圍。

本型錄記載之產品係設計為限使用於壓縮空氣系統

中。請勿使用在規格範圍外之壓力或溫度，否則可

能造成破壞或動作不良。

■ 不可當作交易用的度量表。

由於本產品不適用計量法，所以請勿使用於商業交

易。請當作工業用感測器來使用。

■ 本產品支援的流體為壓縮空氣與氮氣，若使用其他

氣體，則無法保證精度，因此請勿使用其他氣體。

危險

注意

危險

警告

警告

注意

警告

1. 規格的確認

3. 依照用途設計

4. 使用環境

2. 為安全之設計

設計/選擇時

個別注意事項：壓縮空氣用流量感測器　PFD系列

■ 流量感測器上沒有活動部，但由於電磁閥重複 ON/OFF 後，整流元件的網眼部或是固定部會有微幅移

動，因此可能產生微粒。如果不希望微粒產生，請

務必在流量感測器的二次側（下流）設置過濾器。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1460


■ 感測器部採防塵、防滴構造，因此保養與清掃時讓感

測器噴濺到水滴，也不會造成故障，請安心使用。但

是依然要避免於經常會噴濺到水滴，以及水、油激烈

噴濺的場所中使用。

■ 符合CE之使用條件

本產品係能因應 EMC 指令之 CE 規格產品。有關適

用於本產品之抗干擾性之匹配規格為 EN61000-6-2，但本規格必須符合下列條件。條件● 連接端子台的電源線，請勿達到3公尺長。● 由於對突波電磁抗擾性無耐性，因此請在裝置側實施防護

對策。■ 請確認產品能夠耐受使用環境中的各項條件。

● 無法在功能受阻之環境中使用。例如：高溫、藥液環境、藥

品、振動、濕氣、水滴、切削水、氣體環境等存在之特殊環

境。臭氧發生環境。

■ 使用時，務必讓環境溫度維持在 0 〜 50℃的範圍內。

■ 請避免振動49 m/s2以上、衝擊294 m/s2以上之使用。

■ 在進行配管前，請勿拆下空壓裝置包裝袋或配管孔

口的防塵蓋。● 如在配管連接作業前拆下配管孔口之護蓋，則異物會從配

管孔口進入空壓裝置內部，可能造成故障、誤動作等。

■ 安裝空壓裝置，請勿採用以配管支撐之安裝方法。

注意

注意

■ 電源電壓及輸出請使用規格電壓。

如果施加規格電壓以上的電壓，可能會造成運作異

常、感測器破損，也可能引發觸電、火災。此外，

請勿使用超過輸出額定之負載，否則可能造成輸出

破損或火災。

■ 配管連接完成後供應壓縮空氣時，請務必確認配管

連接部之所有部分有無空氣洩漏。● 在配管連接部用毛刷塗洩漏偵測液，用以檢查漏氣。請勿

讓洩漏偵測液附著在樹脂零件上，否則樹脂零件可能會破

損。

■ 請讓纜線遠離噪聲來源（例如高功率電線等）。噪

聲可能導致誤動作。

■ 請勿讓輸出電晶體短路。

負載如果短路，則過電流保護回路就會啟動，以防

止輸出電晶體破損，但如果長時間放置不管，還是

有可能破損。

■ 請勿使用會產生突波電壓的負載。直接驅動繼電器、電

磁閥等會產生突波的負載時，請使用內置突波吸收元件

的產品。此外，若同樣的電源線上也有突波的產生源，

請採取相同的處理方式。

■ 沒有雷突波的耐性。

本產品是適用於CE標章的產品，但沒有雷突波的耐

性。請在裝置端採取雷突波的防護措施。

■ 請勿重複彎曲引線或施予拉力，否則可能造成斷

線。

■ 感測器部與監控器部的配線，請使用產品內附的纜

線（3 m）。如果要延長纜線，請洽詢本公司。

■ 配線時請務必確認線材的顏色，以及端子的編號。

配線錯誤可能會造成感測器損壞、故障、運作異

常，因此請先閱讀使用說明書，並確認配線的顏

色、端子編號後，再進行配線。

必要時，請放置噪聲濾波器。

■ 請確認配線之絕緣。

請避免與其他回路接觸、短路、端子間絕緣不良。

否則過電流會流入感測器，並造成損壞。

■ 請讓本產品遠離高壓電線、高壓設備，以及馬達等

動力設備。

■ 配線前，請先確認感測器的端子台、感測器的連接

器有無切粉或電線的碎屑。

危險注意

警告

■ 請在空壓裝置周圍確保用來安裝、拆卸、配線、配

管作業之空間。

警告

5. 空間的確保

1. 安裝 2. 運轉前的確認


PFD Series個別注意事項

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





1461


PFD Series

［建議值］

連接螺牙固定轉矩 N・mRc3/8 22〜24

Rc1/2 28〜30

Rc3/4 31〜33

Rc1 36〜38

Rc1 1/2 48〜50

Rc2 54〜56

■ 配管時，請勿對樹脂部施力。

■ 與空壓機連接之配管不得因振動、鬆弛、張力現象而

鬆脫。● 配管的鬆脫會造成危險的發生。

■ 配管材質使用尼龍軟管或聚氨酯軟管時，請注意下

列事項。● 在焊渣飛散之環境下，請使用耐燃性軟管或金屬鋼管。

● 螺旋軟管使用於標準快速接頭時，請用束線帶固定軟管根

部。軟管一旦轉動，維持能力將因此減弱。

■ 配管連接部之結合部配管請避免因裝置運轉、振

動、外力等而移動。

■ 配管時，請在連接空壓裝置前進行吹除異物作業。● 重要的是配管時，管內部之異物不得進入空壓裝置內部。

■ 連接配管時，請使用適當的轉矩來固定。● 目的在於防止空氣洩漏或螺牙損壞。

● 請勿讓螺紋受到損傷。固定時，請先用手旋轉螺牙，再使

用工具。

■ 連接配管時，密封膠帶的纏繞方法是由距離配管螺

牙前面 2mm 以上的內側位置開始，朝螺牙的方向及

相反方向進行纏繞。● 倘密封膠帶從配管螺牙前面露出，螺牙有可能會讓密封膠

帶斷裂，斷裂的部分將進入內部，並因而造成產品故障。

■ 以節流閥（圓形閥、球形閥等）調整流量時，請把

節流閥安裝在感測器的二次側（下流）。否則會發

生偏流（流量的不穩定），並可能產生誤差。

■ 請勿在感測器前設置減壓閥（調壓閥）。否則會發

生偏流，並可能產生誤差。● 若想要在一次側設置減壓閥，請安裝10D以上的直管部。

※這裡的「D」指的是配管的內徑。

● 選擇減壓閥時，請選擇流量特性高於感測器最大流量的產

品。

■ 配管時，請依照流體的方向與感測器指示的方向。

若接反了，會顯示較多。

■ 配管時如果要使用彎管與軸套，我們建議在一次側

設置10D以上、在二次側設置5D以上的直管部。● 至於 PFD-163 系列，請務必設置直管部。

● 若有需要因為軸套而變更口徑，請勿變更超過1個尺寸。

● 當使用液狀密封劑時，請注意不要附著在樹脂零件上，否

則樹脂零件可能會破損。

注意

3. 配管


■ 使用空壓裝置的回路前應設置空氣過濾器。

■ 配管連接完成後，供應壓縮空氣時，請勿施加急遽較

高壓力之方式供應。● 如配管連接脫落，配管軟管會彈出，可能發生事故。

注意

4. 空壓

使用軸套時

5D10D

使用彎管時

5D10D



F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





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PFD Series個別注意事項

■ 空氣的品質● 請依據用途使用本公司之清淨空氣系統裝置。

● 請勿使用含有空壓機氧化油、焦油或碳之壓縮空氣。

● 所使用的壓縮空氣不得含有固態異物。

● 請在感測器的一次側（上流）設置過濾器、空氣乾燥機、油

霧過濾器後再使用。此外，感測器的整流元件（金網）是為

了對配管中流動進行整流而設置的，並非過濾異物的過濾

器，因此請務必另外安裝過濾器。

■ 如果突然把與感測器相連的閥打開，則會產生額定

流量的數十倍流量，可能會造成白金薄膜感測器與

整流元件破損，也可能會流出到二次側。把與感測

器相連的閥打開時，請觀察顯示器的顯示值，慢慢

打開閥，以避免超過額定流量。

■ 進行保養時，請事前將電源關閉、停止供應壓縮空

氣，並確認無殘壓後再進行維護。● 此為確保安全之必要條件。

■ 請每年進行一次以上的定期檢查，以確保運作正

常。

■ 請勿拆解、改造，否則會造成故障。■ 運作中如果發生異常，請立即切斷電源，停止使用，

並與經銷商聯絡。

■ 打開電源後的10秒內，會進行硬體檢查等內部設

定。此時，顯示、輸出都不會正常運作。特別是以

開關輸出連接控制類裝置的聯鎖回路時，可能造成

異常停止，因此在這段時間中，請將輸出遮蓋。

■ 當想變更輸出設定值時，控制系統裝置可能出現突

發的動作，因此請停止裝置後再進行變更。

■ 使用聯鎖回路時，請設置多重聯鎖回路並定期檢

查，確保運作正常，以防止故障發生。

警告注意

注意

1. 使用時 2. 保養/檢查

使用/維護時

・需要超清淨空氣時


油霧過濾器閥空氣乾燥機過濾器


油霧過濾器閥空氣乾燥機精密過濾過濾器

過濾器

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾





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壓縮空氣用流量感測器 FRL - ckdtaiwan.com.tw · 累計脈衝輸出裝備（選購品）...

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