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6-2-5
MEMS-ONE
p. 36-39
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MEMS
MEMS MEMS
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DB( )
DB(
)
etc
Excel
Excel
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A B CAA BB CCA B CAA
MEMS
,DRIE,
DRIE RIE
DRIE••••
• (100)•••
RIE•••
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(DRIE)(DRIE)
90 =90 9090 =90 9090 =90 9090 =90 9090 =90 9090 =90 90
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0.6 m39kHz
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S-N 23 50/25 RH
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COP
p. v-42, v-52
(GPa) (MPa) (ppm/ )PMMA 5.1-5.3
5.8-6.6Ni 40-110 9-11 (40-120 )
A 200-220Ni 140-230 8-10 (40-120 )
B 150-190SOG 6.4-7.8
2.9-3.13.2-3.5 RT-500
Si 181-1822.9-4.0 (RT-1000 )
MEMS-ONE
MemsONEMemsONE
p. v-51
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MEMS-ONE
MEMS
p.75-78
MEMS-ONE
p.90,91