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4º CURSO DE TECNOLOGIA DO VÁCUO

PARA INDÚSTRIA E LABORATÓRIOS

20 - setembro - 2016

UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO - INSTITUTO DE FÍSICA

BOMBAS DE VÁCUO - 2

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BOMBA TURBOMOLECULAR

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IFUSP - DFN

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BOMBA TURBOMOLECULAR (HORIZONTAL) - ROTOR

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BOMBA MOLECULAR

(HOLWECK) - MDP

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BOMBA MOLECULAR (MDP)

BOMBA TURBOMOLECULAR

+

MDP

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TURBO

+

MDP

(ROTOR)

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IFUSP - DFN

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BOMBA IÔNICA

ÓRBITRON

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IFUSP - DFN

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IFUSP - DFN

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IFUSP - DFN

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BOMBA DE

TITÂNIO

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BOMBA DE SUBLIMAÇÃO DE TITÂNIO

DURAÇÃO DOS FILAMENTOS DE TITÂNIO (SUBLIMÁVEIS):

10E03 Torr DIAS

10E06 Torr SEMANAS

10E07 Torr MESES

10E08 Torr ANOS

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BOMBA IÔNICA

MAGNÉTICA

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IFUSP - DFN

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BOMBA IÔNICA MAGNÉTICA

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PRIMEIRA BOMBA IÔNICA VARIAN

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BOMBA IÔNICA RIP (ROUND ION PUMP)

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BOMBA IÔNICA RIP - VISTA INFERIOR

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REVESTIMENTO NEG

1 µm

ímãs

cátodos

BOMBA IÔNICA RIP + NEG

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BOMBA IÔNICA RIP

+ NEG (Zr + V + Ti 1µm)

+ Paládio (150 nm)

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BOMBA

CRIOGÊNICA

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BOMBA CRIOGÊNICA

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Bomba Centrífuga

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BOMBA ATÓMICA

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mhlw€¦ · hin s s ssssssss s ssssssss ssssss ssss sss S S S 94 . Ill O O 94 S S 0) co o S S sssss 00 ssssssssss ssssssssssssssss SSSSSSSSSSSSSSSSSSSSSSS

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PPPPPPP rrrrrr oooooooo ggggggg rrrrrrrr aaaaaaaa … · KKKKKKK íííííííí ssssssss éééééé rrrrrrrr őő rrrpppppppp rrr ooooooo gggggggg rrrrrrrr aaaaaaaa mmmmmmmm oooooooo

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