3. gyakorlat
description
Transcript of 3. gyakorlat
![Page 2: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/2.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 2/31
Litográfia
![Page 3: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/3.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 3/31
Negatív litográfia
• Negatív lakk:- A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva.
UV fényUV fény
Előhívás után megmaradt lakk
Ablak
Megvilágított terület a lakkon
Árnyékolt terület a lakkon
Ábra a maszkon
Si szeletSi szelet
LakkLakkOxidOxid
LakkLakk
OxidOxid
Si szeletSi szelet
![Page 4: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/4.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 4/31
Pozitív litográfia
• Pozitív lakk:- A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva.
photoresist
silicon substrate
oxide oxide
silicon substrate
photoresist
UV fényUV fény
Előhívás után megmaradt lakkÁrnyékolt
terület a lakkon
Megvilágított terület a lakkon
Ábra a maszk
Ablak
Si szeletSi szelet
LakkLakkOxidOxid
LakkLakk
OxidOxid
Si szeletSi szelet
![Page 5: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/5.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 5/31
Fotolitográfia lépései
7) Előhívás ellenőrzése5) Előhívás 6) Beégetés
UV fény
Maszk
4) Pozícionálás, megvilágítás
Lakk
2) Lakk felcentrifugálása
3) Beszárítás1) Nedvesség eltávolítása
![Page 6: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/6.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 6/31
ZY
X
Lakk adagoló fúvóka
Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás (EBR)
Vákuum
Vákuumos szelettartóVákuumos szelettartó
Motor
SzeletSzelet
Levegő elszívás
Maradék lakk elvezetése
Lakk áramlásLakk áramlás
Rozsdamentes acél tál
Áramló levegőÁramló levegő
4 dimenzióban mozgatható fúvóka
Lakkfelvitel eszközei
![Page 7: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/7.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 7/31
Fotolitográfiai gyártósor
![Page 8: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/8.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 8/31
Vákuumtechnika
![Page 9: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/9.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 9/31
Vákuumrendszer általános felépítése
![Page 10: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/10.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 10/31
Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú
• Szívási sebesség 1-300m3/óra• Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) - 0,001 mbar (kétfokozatú)
![Page 11: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/11.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 11/31
Elővákuum mérése: Termopár
• Mérési elv a hővezetésen alapul
• Méréshatár: 0,001mbar
• Szál elkoszolódhat, kiéghet• Lassú
![Page 12: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/12.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 12/31
Elővákuum mérése: Pirani mérő
• Legelterjedtebb
• Méréshatár: 2-0,001mbar
• Gyors
• W szál elkoszolódhat, kiéghet
![Page 13: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/13.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 13/31
Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú
• Nagyon elterjedt
• Egyszerű felépítés
• Könnyen tisztítható, javítható
• Szívási sebesség mérettől függ: 100-10000 l/s
• Végvákuum: ~10-8 mbar
![Page 14: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/14.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 14/31
Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú
![Page 15: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/15.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 15/31
Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú
• Nagyon elterjedt
• Szívási sebesség mérettől függ: 50-3500 l/s
• Végvákuum: ~10-10 mbar
![Page 16: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/16.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 16/31
Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő
• Széles mérési tartomány: 10-2 – 10-10 mbar
• Egyszerű
• Kiéghet a fűtött katód
![Page 17: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/17.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 17/31
Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő
![Page 18: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/18.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 18/31
Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő
• Nincs fűtött katód, nem éghet ki
• Kisebb pontosság
• Mérési tartomány: ~10-8 mbar-ig
![Page 19: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/19.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 19/31
Fémréteg leválasztási módszerek
![Page 20: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/20.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 20/31
CVD reaktor
Hordozó
Vékony réteg
8) Melléktermék eltávolítás
1) Reagens felhő
Melléktermék 2) Előreakciók
3) Gáz molekulák diffúziója
4) Vegyület abszorpciója
5) A vegyület bediffundál a hordozóba 6) Felületi reakciók
7) Melléktermékek deszorpciója
Elszívás
Gáz befújás
CVD (Chemical Vapor Deposition)
![Page 21: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/21.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 21/31
Három zónás fűtés
Termoelemek
Nyomás mérő
Kifújás a vákuum szivattyúhoz
Gáz bemenetTermoelemek
LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
![Page 22: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/22.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 22/31
Katódporlasztás
![Page 23: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/23.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 23/31
Vákuumgőzölés
![Page 24: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/24.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 24/31
Vákuumgőzölés módjai
A gőzölés történhet:• Huzalról• Tégelyből• Csónakból• Elektron sugárral
A tartó anyaga lehet:• Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo).
![Page 25: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/25.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 25/31
Elektronsugaras gőzölés
http://www.ett.bme.hu/vlab/start.html
![Page 26: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/26.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 26/31
Vákuumgőzölő
![Page 27: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/27.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 27/31
Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő
![Page 28: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/28.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 28/31
Kontaktusréteg kialakítása
![Page 29: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/29.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 29/31
Kontaktus réteg
a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg
b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg
leválasztással
![Page 30: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/30.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 30/31
Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg
![Page 31: 3. gyakorlat](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062322/56814bf2550346895db8df37/html5/thumbnails/31.jpg)
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat 31/31
Eltemetett vezetőréteg