25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
-
Upload
ganendrajati-widagdo -
Category
Documents
-
view
230 -
download
0
Transcript of 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 1/18
BAB I
PENDAHULUAN
A. Latar Belakang Masalah
Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat pesat. Hal ini dapat dilihat
dari banyaknya alat teknologi yang diiptakan untuk mempermudah peker!aan manusia.
Dalam pengkarakteristikan bahan ditemukannya alat seperti mikroskop" #$D" %EM" dan lain
sebagainya. %alah satu alat yang akan dibahas dalam makalah ini adalah %EM &%anning
Eletrone Miroopy' yakni Mikroskop Pemindai Elektron.
Mikroskop Pemindai Elektron Merupakan Mikroskop yang menggunakan hamburan
elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom(atom yang
membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi in)ormasi tentang topogra)i permukaan
sampel" komposisi dan si)at(si)at lain seperti kondukti*itas listrik. %ehinga sangat ook
untuk mengkarakteristikan suatu bahan.
Mikroskop Pemindai Elektron memiliki beberapa komponen yang lebih kompleks
!ika dibandingkan dengan mikroskop pada umumnya dimana memiliki tata ara penggunaan
yang berbeda serta perlakuan sampel yang agak berbeda pula sebelum dilakukan pemindaianmenggunakan mikroskop ini.
B. +u!uan
Adapun tu!uan dari penulisan makalah ini yaitu untuk mengetahui dan memahami
salah satu pengkarakteristikan bahan" dalam kasus ini menggunakan %anning Elektron
Mirosopy &%EM'" meliputi ,omponen komponen" tata ara penggunaannya dan perlakuan
untuk menggunakan mikroskop ini.
-. Metode Penulisan
Penulis mempergunakan metode obser*asi dan kepustakaan. -ara(ara yang
digunakan pada penelitian ini adalah
%tudi Pustaka
Dalam metode ini penulis membaa buku(buku yang berkaitan denga penulisan makalah ini
yang diperoleh dari internet dan sumber literature lainya.
1
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 2/18
BAB II
PEMBAHA%AN
Mikroskop Pemindai Elektron
Mikroskop Pemindai Elektron &%EM' adalah !enis mikroskop elektron yang gambar
permukaan sampel dipindai dengan menggunakan sinar elektron berenergi tinggi dalam pola
pemindai pi/el. Mikroskop Pemindai Elektron &%EM' adalah mirosope yang menggunakan
hamburan elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom(atom
yang membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi in)ormasi tentang topogra)i
permukaan sampel" komposisi dan si)at(si)at lain seperti kondukti*itas listrik.
Alat ini memiliki banyak keuntungannya !ika dibandingkan dengan menggunakan
mikroskop ahaya. %EM menghasilkan bayangan dengan resolusi yang tinggi" yang
maksudnya adalah pada !arak yang sangat dekat tetap dapat menghasilkan perbesaran yang
maksimal tanpa memeahkan gambar. Persiapan sampel relati) mudah. ,ombinasi dari
perbesaran kedalaman !arak )ous" resolusi yang bagus" dan persiapan yang mudah" membuat
%EM merupakan satu dari alat(alat yang sangat penting untuk digunakan dalam penelitiansaat ini.
Beberapa persoalan yang dibahas dalam memahami tata ara penggunaan
Mikroskop Pemindai Elektron &%EM' adalah sebagai berikut0
A. %umber Elektron
Elektron disemburkan dari sebuah )ilamen" yang dibuat dari bermaam(maam
material" salah satunya adalah +ungsten hair pin gun. 1ilamen ini adalah sebuah loop
tungsten yang ber)ungsi sebagai katoda. %ebuah tegangan di berikan kepada loop" yang
menyebabkan loop men!adi panas.
%ebuah anode" yang bermuatan lebih positi) daripada )ilament" dipasang sedemikian
rupa" sehingga keadaan demikian membuat elektron memiliki gaya yang sangat kuat. Hal ini
akan mengakibatkan elektron diperepat menu!u anoda. %ebagian elektron yang diperepat
menerobos lubang pada anoda sebagai panaran elektron &eletron beam'. Beberapa ontoh
)ilamen antara lain Lanthanum He/aboride )ilaments and )ield emission guns.
2
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 3/18
Gambar 3 : Sumber elektron dibangkitkan dengan sumber tegangan tinggi
B. Daya Dalam Lensa %ilinder Magnetik
Sesudah "Analisis Material Berkas Cahaya elektron ", MH Loretto
3
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 4/18
C. 2alan Berkas -ahaya 3ang Mele4ati ,olom
%uatu berkas elektron dihasilkan dalam senapan elektron" yang terletak di bagian
atas kolom" yang digambarkan disebelah kiri. Berkas ini tertarik melalui anoda"
dikodensasikan dengan lensa kondensor" dan ter)okus sebagai titik yang sangat tepat pada
sampel oleh lensa ob!ekti). ,umparan pemindai diberi energi &dengan mem*ariasikan
tegangan yang dihasilkan oleh generator pemindai' dan meniptakan medan magnet yang
membelokkan berkas bolak(balik dalam pola terkontrol. +egangan yang berbeda(beda !uga
diterapkan pada kumparan di sekeliling leher tabung sinar katoda &-$+' yang menghasilkan
ahaya yang dibelokkan dengan pola bolak(balik di permukaan -$+. Pola de)leksi dari
berkas elektron adalah sama dengan pola de)leksi dari titik terang di -$+.
Berkas elektron yang mengenai sampel, menghasilkan elektron sekunder !lektron ini dikumpulkan oleh
detektor sekunder atau baksatter detektor, dikon#ersi ke tegangan, dan diperkuat $egangan yang
diperkuat diterapkan pada grid dari C%$ dan menyebabkan intensitas ahaya berubah ubah Gambar yang
terbentuk terdiri dari ribuan titik&titik dengan berbagai intensitas pada permukaan C%$ yang sesuai dengan
topogra'i sampel
D. Diagram -ahaya %EM
%kema ini menun!ukkan lintasan ahaya untuk kondisi pem)okusan oleh dua probe(
)orming lens
1. 2arak ker!a keil &kiri'" dan
4
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 5/18
2. 2arak ker!a besar &kanan'.
,edua kondisi memiliki lensa(lensa kondensor dan tingkatan numerik yang sama.
2ika" sampel dipindah lebih !auh dari lensa" hal yang akan ter!adi adalah
5. 2arak ker!a % di tambah
6. Perbesaran berkurang
7. Ukuran titik bertambah
8. %udut hamburan alpha berkurang
Gambar ( : )enahayaan mikroskop eletron
Pengurangan perbesaran didapati ketika pergerakan lensa dikurangi" yang gilirannya
menambah !arak lensa ) dari lensa. $esolusi spesimen dikurangi dengan menambahkan !arak
ker!a" sebab ukuran titik diperbesar. %ebaliknya" kedalaman medan ditingkatkan dengan
menambah !arak ker!a" sebab penyebaran sudut diperkeil" lihat gambar 8.
E. Interaksi
5
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 6/18
*alaupun semua sinyal ini terdapat pada S!M, tidak semua dari mereka yang terdeteksi dan digunakan
untuk mendapatkan in'ormasi Sinyal yang paling umum digunakan adalah !lektron Sekunder, yakni
Baksattered !lektron dan +&ray
1. Menggunakan $uang Hampa
,etika %EM digunakan" kolom harus selalu berada di ruang hampa. Ada banyak
alasan untuk ini. 2ika sampel berada dalam lingkungan yang penuh gas" sebuah berkas
elektron tidak dapat dihasilkan atau dipertahankan karena ketidakstabilan yang tinggi dalam
berkas. 9as dapat bereaksi dengan sumber elektron" menyebabkannya terbakar" atau
menyebabkan elektron dalam berkas terionisasi" yang menghasilkan kotoran seara aak dan
menyebabkan ketidakstabilan dalam berkas. Pengiriman berkas melalui kolom optik elektron
!uga akan terhambat oleh kehadiran molekul lainnya. Molekul lain yang bisa datang dari
sampel atau mikroskop itu sendiri" bisa membentuk senya4a dan mengembun pada sampel.
Ini akan menurunkan kontras dan mengaburkan detail dalam gambar.
%ebuah lingkungan *akum !uga diperlukan dalam bagian dari persiapan sampel.
%alah satu ontoh adalah oater menggerutu. 2ika tidak di ruang *akum sebelum sampel
dilapisi" molekul gas akan mendapat !alan argon dan emas. Hal ini bisa mengakibatkan
lapisan yang tidak rata" atau tidak ada lapisan sama sekali.
9. ,onstruksi %EM
Bagan terpenting dari %EM adalah apa yang disebut sebagai kolom elektron
&eletron olumn' yang memiliki piranti(piranti sebagai berikut
6
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 7/18
1. Pembangkit elektron &eletron gun' dengan )ilamen sebagai pengemisi elektron atau
disebut !uga sumber iluminasi.
2. %ebuah sistem lensa elektromagnet yang dapat dimuati untuk dapat mem)okuskan
atau mereduksi berkas elektron yang dihasilkan )ilamen ke diameter yang sangat
keil.
3. %ebuah sistim. perambah &san' untuk menggerakan berkas elektron ter)okus tadi
pada permukaan sampel.
4. %atu atau lebih system deteksi untuk mengumpulkan hasil interaksi antara berkas
elektron dengan sampel dan merubahnya ke signal listrik.
5. %ebuah konektor ke pompa *akum.
Gambar - : .iagram antara ruang hampa dan sistem pendeteksian : / %uang sampel0 -
)emegang sampel0 3 Bagian pendeteksi ruang #aum0 ( Lensa 1byekti'0 )ompa pemutar0 2
photo&multiplier blok0 )engukur tekanan #aum0 4 5lep penutup0 6 5lep pintu
%ebagai tambahan" %EM memiliki beberapa piranti untuk memungkinkan kon*ersi
signal listrik yang datang dari detetor ke bentuk bayangan pada layar +:" )oto" spektrum"
dll. Pada gambar 8 dapat kita lihat bah4a elektron dari )ilamen di)okuskan dengan lensa
,ondensor sehingga bila berkas elektron ini menumbuk sampel berkas elektron tadi memiliki
diameter sekitar 6(6; nanometer. Berkas elektron ini dibuat bergerak merambah seluruh
permukaan sampel dengan rambahan <ig<ag oleh koil de)leksi yang di dalamnya terdapat
lensa(lensa obyekti). Ukuran dari lokasi yang dirambah dapat diubah dengan ara mengatur perbesaran &magni)ikasi' yang merupakan perbandingan antara ukuran lokasi yang dirambah
7
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 8/18
yang terlihat di monitor terhadap lokasi pada sampel. Akibatnya" semakin keil lokasi yang
dirambah pada sampel semakin besar perbesaran gambar pada monitor. +erakhir" gambar =
!uga menun!ukkan skema detektor seara keseluruhan berdasarkan blok(blok )ungsi.
H. Elektron %ekunder
Elektron primer" yaitu elektron pengeksitasi &e/iting eletron' dapat berinteraksi
dengan elektron lain dalam sampel" misalnya menolaknya dengan se!umlah energi kinetik.
2ika elektron yang tertolak ini berasal dari ikatan yang lemah dan dapat ditolak atau
dikeluarkan dengan hanya beberapa e: disebut sebagai elektron sekunder. &%ingkatnya"
sebuah elektron yang ditolak atau dikeluarkan dari sebuah atom dalam sampel adalah
elektron sekunder" berapapun energinya'. ,arena elektron sekunder ini memiliki energi keil"
mereka dapat terlepas dari sampel dan hanya dapat dideteksi bila mereka diproduksi di
permukaan. Untuk alasan yang sama" makanya elektron sekunder ini sensiti*e terhadap
topogra)i sampel.
>leh karena elektron sekunder memiliki kerapatan yang tinggi sebelum mereka
memperoleh kesempatan untuk menyebar" maka elektron sekunder ini memiliki resolusi
ruang &spatial' yang tinggi dibandingkan dengan signal yang lain yang mungkin timbul akibat
interaksi berkas elektron ini dengan sampel. Elektron sekunder memba4a hanya sedikitin)ormasi tentang komposisi unsur dari sampel0 namun bagaimanapun" sensiti*itas topogra)i
dan resolusi ruang yang tinggi mereka menyebabkan elektron sekunder ini dipakai untuk
memperoleh bayangan mikroskopik.
Gambar 2 : Contoh bayangan dan energi elektron sekunder yang terpantul
8
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 9/18
Gambar : Gra'ik energi elektron sekunder yang terpantul
,arena alasan sensiti*itas topogra)i inilah maka bayangan yang dihasilkan dari
elektron sekunder sangat mudah diinterpretasikan seara *isual karena gambar yang
dihasilkan sama dengan lokasinya. Bayangan dari perbesaran =;.;;; kali yang dihasilkan
dengan elektron sekunder sebanding dengan partikel emas pada gra)it pada pusat gambar
yang pada gambar ? dan gambar @.
I. Elektron +erpantul
2ika elektron primer &elektron dari berkas yang datang' berinteraksi dengan inti atom
atau satu elektron dari atom sampel" elektron primer ini dapat dipantulkan ke suatu arah
dengan mengalami sedikit kehilangan energi. %ebagian dari beberapa elektron terpantul ini
dapat sa!a mengarah keluar sampel sehingga" setelah beberapa kali pantulan" sehingga
mereka dapat dideteksi. Elektron terpantul ini lebih energik dibandingkan dengan elektron
sekunder sehingga dapat sa!a masih dapat dipantulkan meskipun sudah terpendam dalam di
dalam sampel. ,arena itu bila dibandingkan dengan elektron sekunder" signal elektron
terpantul tidak dapat memberikan in)ormasi tentang topogra)i sampel dan !uga resolusi ruang
pada sampel. Namun bagaimanapun terdapat keuntungan sebagai kompensasi antara satu
sama yang lain. 2ika nomor atom dalam sampel semakin besar maka besar gaya pantulan inti
positi)nya lebih besar sehingga elektron terpantul ini dapat memberikan !uga in)ormasi
tentang komposisi sampel.
9
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 10/18
Gambar 4 : 7a8 Hasil elektron sekunder0 7b8 Hasil elktron terpantul
9ambar adalah )oto area yang sama dari alloy Ag(-u(Ni. Pada hasil elektron
terpantul" bagian yang terang adalah Ag dan bagian yang gelap adalah -u(Ni. ,ita dapat
membuktikannya dengan prinsip bah4a semakin tingginya nomor atom dari suatu lokasi
semakin tinggi intensitas signalnya.
J. ED# &Energy(dispersi*e #(ray %petrosopy'
Bila elektron dengan energi yang ukup besar menumbuk pada sampel" mereka
menyebabkan ter!adinya emisi sinar(/ yang energinya dan intensitasnya bergantung pada
komposisi elemental sampel. Dengan menggunakan )enomena ini untuk menganalisa
komposisi elemental dari *olume(mikro &kasarnya satu sampai beberapa ratus kubik
mikrometer' itulah yang disebut sebagai analisis mikro. Pada ED# di mana sinar(/ yang
diemisikan dikon*ersi dan disimpan seara elektronik dan bukan dengan di)raksi kristal.
1. ,arakteristik %inar(#
Bila sebuah elektron ditolak dari kulit dalam atom oleh interaksi dengan berkas
elektron energi tinggi" hasilnya adalah ion tersebut berada pada tingkat eksitasi. %etelah
melalui proses relaksasi atau de(eksitasi" ion tereksitasi ini memanarkan energi untuk dapat
kembali ke tingkat normal yaitu keadaan dasar &ground state'. Proses yang paling mungkin
10
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 11/18
dalam kebanyakan kasus adalah deretan trans)ormasi yang masing(masing sebuah elektron
dari kulit luar !atuh ke tempat kosong di dalam kulit terdalam. %eperti yang telah kita lihat"
setiap ke!atuhan menyebabkan elektron tersebut kehilangan se!umlah energi" katakan sa!a
beda energi antara kulit di mana elektron berasal dan kulit ke mana elektron !atuh. Energi ini
dibebaskan dalam bentuk radiasi elektromagnetik dalam kasus transisi energi tinggi yang
melibatkan kulit terdalam. Energi yang diradiasikan ini seara unik mengindikasikan atom
dari mana radiasi berasal" makanya disebut sebagai sinar(/ karakteristik.
6. Nomenlature
9aris(garis ini biasanya dinamakan sesuai dengan kulit atom ke mana elektron !atuh
dan kulit dari mana elektron berasal. Misalnya" !ika kulit yang kosong &tu!uan' adalah kulit ,
dan kulit dari mana elektron berasal adalah kulit L" maka sinar(/ ,C diradiasikan. 2ika
elektron !atuh dari kulit M yang berada dua tingkat di atas kulit ," maka sinar(/ yang
diradiasikan dinamakan sinar(/ ,. Dalam ED# ini umumnya berhubungan dengan sinar(/
deret ," L" dan M.
Gambar 6 : 5ulit atom dan tingkat&tingkat transisi
3. Intensitas %inar(/ ,arakteristik
Intensitas sinar(/ karakteristik yang terdeteksi tergantung pada 7 )aktor. Pertama"
nomor atom dari atom teradiasi dan !uga atom lingkungannya. ,edua" probabilitas
terabsorpsinya sinar(/ sebelum terlepas keluar dari sampel. ,etiga" )luoresen sekunder yang
!uga merupakan salah satu akibat terabsorpsinya sinar(/ tersebut. %ebagai ontoh" suatu sinar(
/ karakteristik energi tinggi dari unsure A mungkin diabsorpsi oleh atom unsur B" karenanya
merangsang sebuah emisi karakteristik dari unsur kedua dari energi yang lebih rendah.
+erdapatnya unsur A dan B dalam sampel yang sama akan menaikkan intensitas dari emisi
11
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 12/18
karakteristik dari unsur B dan mengurangi emisi karakteristik dari unsur A. Inilah yang
disebut sebagai e)ek matriks &matri/ e))et'" yaitu sebuah e)ek yang tergantung pada matriks
sampel" yang karenanya membutuhkan perlakuan khusus selama analisa kuantitati).
Gambar /9 : !lement mikro&#olume yang berinteraksi dengan berkas eletron
4. $esolusi $uang %inar(#
%inar(/ ber!alan di dalam sampel dengan !arak yang !auh lebih !auh dibandingkan
dengan elektron dan karenanya terlepas dari kedalaman di mana elektron primer telah
tersebar seara luas. ,onsekuensinya" signal sinar(/ memiliki keterbatasan resolusi ruang
dibandingkan dengan signal elektron sekunder dan terpantul. +egangan pemerepat elektron
dari kolom elektron dan nomor atom rata(rata dari *olume sampel yang dianalisa
mempengaruhi resolusi ruang dari signal sinar(/. 9ambar 5; memperlihatkan seara
kualitati) e)ek dari keduanya yaitu ukuran dan bentuk dari *olume interaksi.
=. Analisis
%eperti kita lihat pada 9ambar 55" sebuah spektrum energi dispersi biasanya
dilukiskan sebagai histogram" dengan sumbu hori<ontal menyatakan satuan energi dan sumbu
*ertial adalah !umlah ounts atau intensitas. 9ambar ini menun!ukan sebuah spektrum
sinar(/" yang seara !elas menun!ukan beberapa si)at khusus. 3ang paling !elas adalah sinar(/
karakteristik dari besi" kromium" dan nikel. Untuk setiap dari element ini terlihat kedua peak
,(alpha dan ,(beta peak. ,etidakrataan dari spetrum
12
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 13/18
ini menun!ukkan )luktuasi statistik dari hannel(ke(hannel. Akhirnya" semua
spektrum ini bertumpang tindih dengan spektrum yang berkurang seara perlahan dari kiri ke
kanan.
Gambar // : Spektrum sinar& dari beberapa unsur sebagai hasil !.+
Analisis kualitati) adalah proses indenti)ikasi unsur(unsur yang ada dalam sampel.
Analisis kuantitati) bertu!uan untuk men!a4ab berapa banyak unsur #" 3 dan yang ada
dalam sampel. Fualitati*e analysis is the proess o) identi)ying 4hih elements are present in
a sampel. Dalam rumusan yang sederhana" analisis kualitati) dilakukan dengan ara
menentukan energi dari peak yang ada dalam spektrum dan membandingkan dengan table
energi emisi sinar(/ dari unsur(unsur yang sudah diketahui. Dalam peralatan modern hal ini
tidak perlu dilakukan karena komputer seara otomatis akan memberikan simbol unsur untuk
setiap peak pada spektrum.
Gambar /- : .epth pro'ile beberapa unsur untuk ketebalan tertentu suatu sampel
Analisa kuantitati) tidak hanya men!a4ab unsur apa yang ada dalam sampel tetapi
!uga konsentrasi unsur tersebut. Untuk melakukan analisa kuantitati) maka perlu dilakukan
13
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 14/18
beberapa proses seperti meniadakan bakground" dekon*olusi peak yang bertumpang tindih
dan menghitung konsentrasi unsur.
,elebihan dari %EM adalah bah4a tidak diperlukan penyiapan sampel seara
khusus. +ebal sampel tidak masalah bagi %EM seperti halnya pada +EM. Makanya sampel
tebal dapat !uga dianalisa dengan %EM asalkan dapat ditaruh di atas tatakan sampelnya.
Hampir semua bahan non(konduktor yang dianalisa dengan %EM perlu dilapisi dengan
lapisan tipis pada permukaannya dengan bahan konduktor. Lapisan ini penting untuk
meniadakan atau mereduksi muatan listrik yang tertumpuk seara epat dibahan non(
konduktor pada saat disinari dengan berkas elektron energi tinggi. Bahan pelapisan yang
biasa dipakai adalah emas atau karbon. Bila lapisan ini tidak ada maka pada sampel non(
konduktor akan menghasilkan distorsi" kerusakan thermal dan radiasi yang dapat merusak
material sampel. Pada situasi yang ekstrim" sampel dapat memperoleh muatan yang ukup
untuk mela4an berkas elektron yang !atuh padanya sehingga sampel ini bertindak sebagai
ermin.
Gambar /3 : )elapisan permukaan sampel non&konduktor dengan emas
,. Preparasi %ampel
5. +eknik Pelapisan dengan Emas
2ika tu!uan analisa bukan untuk memperoleh spektrum sinar(/" emas adalah bahan
pelapis yang sering digunakan untuk melapisi sampel non( konduktor. 9ambar 57
memperlihatkan seara skematik apa yang disebut sebagai sputtering. Alat ini terdiri dari
po4er supply D.- yang diatur antara 5 sampai 7 k*" dihubungkan seperti pada gambar 57"
kutub positi) ke lempengan emas dan kutub negati) ke sampel. %emua system ini ditaruh di
ruang *akum yang dihubungkan dengan pompa *akum. Bila kita masukan ke dalam *akum
gas seperti argon" atom argon ini akan menumbuk lempengan emas dan karenanya atom emas
14
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 15/18
terlepas dari lempengannya dan ditarik menu!u sampel oleh medan listrik. Dengan demikian
sampel terlapisi dengan emas.
6. +eknik Pelapisan dengan ,arbon
Pelapisan dengan emas dalam banyak kasus tidak mengi!inkan kita untuk
memperoleh !uga spektrum sinar(/ dari sampel karena lapisan emas dapat mengabsorpsi
signal sinar(/ yang keluar dari sampel. Bila kita inginkan spektrum sinar(/ dari sampel non(
konduktor maka haruslah digunakan material pelapisan yang transparan terhadap sinar(/.
Gambar /( : $eknik pelapisan dengan 5arbon untuk sampel non&konduktor
Dalam kasus ini" karbon adalah material yang sering dipakai. 9ambar 58
menun!ukkan seara skematik alat pelapisan dengan karbon. Alat ini terdiri dari 6 elektroda
yang dihubungkan dengan sumber tegangan A.- tegangan rendah dan intensitas tinggi di
mana batangan karbon diarahkan antara 6 elektroda tersebut. >leh karena intensitas arus yang
tinggi maka u!ung yang ta!am dari batangan karbon ini seepatnya tere*aporasi dan dengan
demikian sampel terlapisi dengan karbon. Batangan karbon ini dipadukan dengan sebuah
perGpegas yang selalu membuat kontak antara dua elektroda tetap ter!aga. %eluruh sistem ini
!uga berada dalam ruang *akum yang dihubungkan dengan pompa *akum.
L. Beberapa -ontoh Hasil %EM
Pada tabel 5 ditampilkan beberapa sampel yang telah diamati dengan menggunakan
%anning Eletron Mirosopy &%EM'.
$abel / : Beberapa ontoh hasil S!M dengan berbagai resolusi 3
15
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 16/18
16
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 17/18
BAB III
PENU+UP
A. ,esimpulan
Berdasarkan uraian diatas maka diperoleh kesimpulan sebagai berikut
5. Landasan teori bertumpu pada konsep sumber elektron
2. %pesimen mudah diperoleh" terutama yang berhubungan dengan persiapan untuk
melakukan u!i sampel.
3. Diperlukan keahlian khusus untuk dapat mengoperasikan %EM" namun demikian
prinsip(prinsip dasar dari mikroskop sangatlah mendasar dan perlu dikuasainya
pengertian(pengertian dasar tentang elektron.
4. Diperlukan keterampilan khusus untuk melakukan perobaan dan diperlukan
keahlian tersendiri untuk mampu membaa makna dari hasil pemeriksaan di layar
monitor atau print out.
5. Hanya bisa dilakukan di tempat(tempat khusus" sebab alat ini terlalu mahal artinya
perlakuan penelitian dapat dilakukan di laboratorium(laboratorium khusus.
B. %aran
17
7/23/2019 25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem
http://slidepdf.com/reader/full/25416900-mikroskop-pemindai-elektron-sem 18/18
$e)erensi
5. httpGGen.4ikipedia.orgG4ikiG%anningeletronmirosope
2. Dr.rer.nat. ,ebamoto" Prinsip dan Pemakaian %EM dan ED#" %lide presentasi
3. httpGG444.hem.mul.a.ukGsur)[email protected]
4. httpGG4tm.ite.p4r.4ro.plG<ueGtssedeG
=. httpGG444.hkbu.edu.hk
?. httpGGmse.iastate.eduGmirosopyGollege.html
18