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オングストロオングストロ ムビ ム電子回折法によ pf 常のTEM/STEM (beam...
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第１回先進的観測技術研究会 2012.12.26 KEK オングストロームビーム電子回折法による オングストロ ムビ ム電子回折法による 金属ガラスの局所構造解析 東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 平田 秋彦 、 陳 明偉 共同研究者： Pengfei Guan, 1 藤田 武志, 1 弘津 禎彦, 2 井上 明久, 3 Alain Reza Yavari, 1,4 桜井 利夫, 3 1 WPI AIMR T h k Ui i 1. WPI‐AIMR, T ohoku University 2. ISIR, Osaka University, Osaka 567‐0047, Japan 3. IMR, Tohoku University 4. Euronano, SIMAP ‐CNRS, Institut National Polytechnique de Grenoble
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2012.12.26 KEK
Pengfei Guan,1 ,1 ,2 ,3AlainRezaYavari,1,4 ,31 WPI AIMR T h k U i i1.WPIAIMR,TohokuUniversity2.ISIR,OsakaUniversity,Osaka5670047,Japan3.IMR,TohokuUniversity4.Euronano,SIMAPCNRS,Institut NationalPolytechnique deGrenoble
DF
averageinformation
0 0 0 5 1 0
RD
()
0.0 0.5 1.0r / nm
+
Febased metallic glassSiO glass Fe basedmetallicglassSiO2 glass
SAED
J M Cowley Ultramicroscopy 90 197 (2002)
A.Hirataetal.,Phys.Rev.B78,144205(2008).
J.M.Cowley,Ultramicroscopy 90,197(2002).
TEM/STEM(beamdiameter1nm)
=> =>
1.
=> 3.6 STEM> 3.6 STEM
2.
=> 35nmEELS
MD
+
JEOLJEM2100F TEM/STEM
JEM2100FinWPI5m
STEM
(CEOShexapole)
(CEOShexapole)
TEMEELS
Ronchigram
LargeCLaperture
200kV,Cs=0.002mm
d0
dd
ds
d0 =>dd =>d => d2 = d02 + d d2 + d 2 (+ d 2 + d f2)
Beamdiameter:ds >d =d0 +dd +ds (+dc +df )
STEM
BeamsourceNormal ABEDmode
Smallaperture
STEMmode
Condenserlens(5m)Largeaperture
(30m)
Specimen1.0A(Max.resolution)
3.6A
Diffractionpattern
Calculation Experiment
CA30m =25mradBFSTEM3.6A
0.36nm
1.0A5nm
CA5m =3.3mrad
3.6A=> 3.6A.
STEMimageABEDpattern
OnDigitalMicrograph
OnJEOLSimpleViewer
Videocapture
ABED
HAADSTEMimageAunanocluster
beamsizebeamsize
Aunanocrystal(Reference)
10
ABED2
X
RMCMDRMCMD3
Sheng et al., Nature 439, 419 (2006).
:Angstrombeamelectrondiffraction :AbinitioMDsimulation
Specimen:ZrNi metallicglass
STEMmode( >3mrad)
TEMmode(
Ebeam
Previousworks(conventionalTEM)
10Abeam=> 140 atoms
Howmanyatomsareinthiscolumn?
=>140atoms
Ebeam
Thiswork(CscorrectedSTEM)
Howmanyatomsareinthiscolumn?
3.6Abeam=>20atoms
peaktoppositioninS(Q)
Interatomicspacing
Interatomicdistance
ABEDS(Q)
(MD)
198atoms(132Zr,66Ni)
CN10
CN10
CN11
0282CN12
Halfpartof3Dreciprocalspace
a*b*c*
000
3nm
20 10
3.6AABED
ABED
Onaxis
( )()
i l ti
simulation
CN10
CN11
CN12
ABED
experiment
1 nm beam1nmbeam
GatanSTEMDiffraction
step:0.325nmImaging
STEM 0 3 0 4 0.30.4nm
EELS35nm
MD
