表面データを解析レポートに変える

表面の画像処理および測定用ソフトウェア

時間

X = 15 μm Y = 12.0 μm Z = 2.9 μm

シリーズ Mountains® ‐ 最も包括的な 表面解析ソフトウェア シリーズ共焦点顕微鏡 ＆ 干渉顕微鏡ソフトウェア

走査型プローブ顕微鏡ソフトウェア

2D 光学 ＆ 触針式形状測定ソフトウェア

3D 光学 ＆ 触針式形状測定ソフトウェア

走査型電子顕微鏡ソフトウェア

携帯型 2D 粗さ計測ソフトウェア

形状 ＆ ビジョン ソフトウェア

ハイパースペクトル（ラマン）ソフトウェア

画像処理顕微鏡ソフトウェア

MountainsMap® イメージング トポグラフィ

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提供

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提供

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提供

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Spec

MountainsMap® SPM

MountainsMap® プロファイル

MountainsMap® 専用ソフトウェア パッケージ。高度および特殊な応用分野のための多種のオプション モジュールがあります。

MountainsMap® スキャニング トポグラフィ

MountainsMap® SEM

MountainsMap® Ra

MountainsMap® フォーム

MountainsMap® ハイパースペクトル

MountainsMap® イメージ

2

計器メーカー、研究所、産業現場のために設計されたMountains®シリーズは、広範な機器に対応する専用の画像処理および測定用ソフトウェアを提供します。 MountainsMap®の各専用パッケージは、以下のタイプを含む特定の顕微鏡、プロフィロメーター、またはスペクトロメーターに価値の高い機能性をもたらします。

Mountains®は、現在の市場における独自の装置画像処理および表面測定に関する豊富な専門性を統合し、科学者、技術者、および各業界のメーカーが多様な機器を使用しながら同じMountains® 環境で作業することを可能にします。 これはまさに難なく相関解析の世界へ踏み込める方法です。

Mountains®は様々に異なる機器からのデータを統合し、共存（共局在化）させます。 例えば、顕微鏡のイメージとラマン密度マップを、3D光学プロファイラ、走査型プローブ顕微鏡、またはプロフィロメーターで測定した3D表面トポグラフィを統合することができます。

画像処理 – 最先端の画像処理技術とインテリジェントフィルタを駆使して機器により取得された表面データの視覚化。

解析 – 最新の標準と方法に準拠した解析。

レポート生成 – 解析を迅速化するパワフルな自動化機能による柔軟なDTP環境で詳細な表面測定レポートを生成。

専用パッケージを補完する一体型のMountainsMap®プレミアムパッケージとモジュラー型のMountainsMap®ユニバーサルパッケージがあります。 あらゆるタイプの機器との互換性があるこれらのパッケージは、異なる機器の間の相乗効果を期待する研究所のための理想的なツールです。

カスタムパッケージは、計器メーカーとの提携に基づきデジタルサーフ社が設計を手がけるパッケージです。

Mountains® ‐ 最も包括的な 表面解析ソフトウェア シリーズ

イメージ提供: IEMN（リール）

イメージ提供: Agilent Technologies

SEM+ STM 蛍光 + AFM

各表面解析機器に最適なソリューションをお選びください

異なる機器のデータを組み合わせた相関解析

200 nm 60 nm

画像処理 最先端の画像処理によって あらゆる表面のフィーチャーを視覚化4

Mountains® 7の最先端の画像処理は次の特長を備えています。 • 任意の角度と倍率での3D表面トポグラフィのリアルタイム 画像処理• 鮮明なレンダリング• ほぼ完全な照明条件に対応する6つのプリセット設定• 広範なイメージ拡張ツール• OpenGLおよびDirect3Dのサポート

3D表面トポグラフィをリアルタイムで表示

3Dトポグラフィ上にマルチチャンネル データをオーバーレイして表示

4Dによる表面の遷移の視覚化と定量化

ICMAB-CSICから提供されたバイフェロイック ナノ複合材のイメージ

イメージ提供: Carl Zeiss

イメージ提供: LNE（フランス国家計量標準期間（French National Metrology Institute））。

トポグラフィ

トポグラフィ

AFM: 有機材料

酸によるガラスの浸食イメージのシリーズから抽出した3枚のイメージ。

共焦点顕微鏡: 太陽電池

トポグラフィ上のイメージのオーバーレイ

位相

トポグラフィ上の位相のオーバーレイ

Sz 2.92 nm時間

Sz 9.95 nm

Sz 32.0 nm

トポグラフィ以外のマルチチャンネル データを3D表面トポグラフィに相関させることで、表面のフィーチャーを際立たせます。 Mountains®は、マルチチャンネルのイメージセットによる作業をトポグラフィのみのイメージと同様に容易にします。

リアルタイムに変化する3D表面上でフライトをシミュレートし、時間またはその他の次元（温度、圧力、磁界等）による表面の遷移をモニタします。 プレゼンテーション用にフライトのビデオを出力できます。 主成分解析（カルーネン レーブ変換オペレータ）を使用して、優勢な変化の領域または変化率が異なる領域を特定できます。

最先端の画像処理によって あらゆる表面のフィーチャーを視覚化

隠れたフィーチャーを視覚化

SEMで3Dに移行

機器の物理的限界を超える

前: 未加工のSTMイメージ 後: 3Dによる原子ステップ高さ

Sz 32.0 nm

Mountains® 7の多様なインテリジェントフィルタを使用して、偏差を取り除き、イメージの品質を向上させることができます。 表面の隠れたフィーチャーを視覚化し、解析に含めることができます。

走査型電子顕微鏡で取得したイメージから3D表面を再構成します。 新たな次元を体感し、表面トポグラフィに関する25年に及ぶMountains®の経験を共有してください。3Dに移行するには次の2つの方法があります。• Mountains®の立体写真測量アルゴ

リズムを使用した、異なる傾斜角（またはアナグリフ）で撮影した2つのイメージからの3D再構成。

• Mountains®の照度差ステレオ法（シェーディングから得た形状）を使用してクワッド検出器により取得した4つのイメージからの3D再構成（これは特に粗さ表面の最適化に適しています）。

MountainsMap®は顕微鏡のイメージをつなぎ合わせることで（スティッチング）、局所的な解像度に影響を与えずに水平方向の視野の限界を超えた表示が可能です。 また、異なる高さで取得したスキャンデータを継ぎ合わせることで

（パッチング）、1点走査式のシステムの欠点である垂直方向の限界を超えることもできます。

表面測定 表面解析の最新の標準と方法

ISO 25178に準拠したRaからの表面テクスチャの解析

トライボロジー表面の機能解析の実行

Mountains®シリーズは、粗さとうねりをフィルタ処理するための先進的なISO 16610技術を搭載しています。 広範に及ぶISOの面積およびプロファイルに関するパラメータを計測します。 3Dパラメータの中には、ISO 25178の高さ、機能ベアリング比、空間、複合、機能体積、フィーチャーのすべてのパラメータがあります。 また、I S Oパラメータはそれと同等のASME B46.1（米国）、GB/T（中国）、DIN

（ドイツ）、JIS（日本）、NF（フランス）、BSI （英国）、UNI（イタリア）、UNE（スペイン）のパラメータとして表現することも可能なため、場所に関わることなく適切なパラメータを使用することができます。

トライボロジー表面の摩擦領域、コア領域、潤滑領域の解析は、Mountains®シリーズが搭載する多くの先進的な表面テクスチャ解析機能の一つです。 ISO 25178機能体積パラメータのグラフィック解析

未加工の表面 うねり表面

粗さ表面

6

表面解析の最新の標準と方法

グレイン、微小部、島の解析

周波数スペクトル、方向性、スケールの解析

グレインの形態解析は、2値化、高さに基づくしきい値化、セグメンテーション等の複数の補完的ツールを用いて行われます。

フーリエ変換とウェーブレット変換を用いて、異なるスケールにおける処理表面間の相互作用や現象を解析します。 周波数スペクトル、パワースペクトルデンシティ、自己相関、相互相関のプロットを表示します。 等方性、方向性、周期性を計測します。 FFTプロットエディタを使用して表面からノイズを除去します。

大きいグレイン

小さいグレイン

METROLOGY8

距離、角度、体積、ステップ高さの測定

許容値の設定により形状の寸法と偏差を解析

Mountains®は表面形状の迅速で正確な解析に必要なすべてのツールを提供します。

自動車からナノテクノロジーまであらゆる応用分野で、抽出した垂直・水平方向の形状の幾何学的寸法設計が可能です。 あらゆるスケールの形状の作図で偏差解析を実行できます。

ステップ高さ（ISO 5436-1に準拠）

クレーターまたは穴部の体積

from surface geometry to surface composition表面測定

距離、角度、ポイント

表面の形状から表面の合成まで8

テクスチャセル（モチーフ）の解析

表面の合成の解析（ラマン分光解析）

AFMフォースカーブの解析

分水界線（watershed）とWolfプルーニングのアルゴリズムによるパワフルなISO 25178のセグメンテーションに基づくモチーフ解析を使用して、隔離された表面のフィーチャーを検出して定量化します。 個々のモチーフまたはすべてのモチーフについて形態パラメータが計測されます。 マイクロレンズアレイに球状キャップが表示され、半径を含む球パラメータが計算されます。

ラマン分光器やFT-IR分光器のソリューションの中には、スペクトルとハイパースペクトル立方体のインタラクティブな視覚化、参照スペクトルに基づく合成密度マッピング、「扁平化」した超立方体の3D視覚化などがあります。

AFMフォースカーブ解析の中には、密着点の自動検出、タンパク質アンフォールディングのみみず鎖（WLC）モデル、カーブシリーズの統計などがあります。

from surface geometry to surface composition

ハイパースペクトル立法体

密度マップ

表面の形状から表面の合成まで

基板の参照スペクトル

マイクロビーズの参照スペクトル

波数

波数

強度

強度 平

均波

数

生産性解析ワークフロー: トレーサビリティ、微調整、自動化のすべてに対応する単一ツール

研究および生産への容易な統合

解析ワークフローは、解析文書内ですべてのステップをグラフィック表示するため、完全な計量トレーサビリティが可能です。ワークフロー内のステップをいつでもクリックして微調整することができます。 または、ワークフローをテンプレートとして適用して、類似する測定データセットの解析を自動化することもできます。 例えば、複数の静的（計測が完了した）データ母集団および（または）動的（計測中の）データ母集団を自動的に解析して、統計解析に使用することができます。

合格/不合格を示す緑と赤のランプが、パラメータ値と許容限度と共に自動的に表示されます。

ジョブの入力• Mountains®は、研究や生産で使用される100以上の測定データとイメージファイル形式を入力します。

作業の共有• MATLABTMと互換性があるため、研究者はMATLABTMを使用してカスタムオペレータを作成し、それらを

Mountains®で実行することができます。• 弊社と提携関係にある計器メーカーにとってはMountains® SDKを使用するメリットがあります。これに

よって、新しいアドインとしてMountains®に組み込まれる特定のアプリケーション指向のツールを開発することが可能になります。

結果の出力• すべての数値結果はExcelTMと互換性のあるテキスト形式でエクスポートが可能なため、品質管理システ

ム等のサードパーティ製ツールで処理することができます。 • 複数ページで構成されるMountains®の解析文書は標準のPDF形式およびWordTMと互換性のあるRTF

形式で発行できます。• すべてのフレーム（表面イメージとパラメータ表を含む）は96～1200dpiの解像度で

PNG、JPG、GIF、BMP、またはEMFビットマップ形式による出力が可能なため、ポスターやプレゼンテーションに挿入することができます。

解析レポートを迅速・容易に生成

Pass

10

合格

効果てきめんのツール

柔軟なユーザー環境での迅速な作業

Mountains®は、複雑なアルゴリズムを、誰もが容易に理解可能で数回のクリックだけで使用できるツールへと変換します。• パーティションレベリング オペレータを使用すると、1回

のマウスクリックで、MEMSや機械部品等の表面上で面を特定、抽出、レべリングすることができます（右方向へのシーケンスを参照）。

• 修正オペレータを使用すると、測定の欠陥（汚れ、穴、欠損データ）をマウス操作で特定して、数学的に修正して、滑らかな形状にシームレスに置き換えることができます。

• 外れ値除外オペレータを使用すると、光学プロファイラの測定データの外れ値が自動的に除外されます。

• 詳細な形状モジュールを使用すると、測定済みのプロファイルを線や弧のセグメントに自動的に分解し、個別に解析したり、個別または全体でCAD DXFファイルにマッチングさせたりすることができます。

解析を開始してから、サンプルやチュートリアルを使用して、複数ページの表面測定レポートをすぐに作成できます。 サンプル文書を使用して、それを修正できます。 サンプル文書内のデータをご自身の測定データやイメージに置き換えれば、それらのデータに基づいて解析の全ステップが再計算されます。

最も一般的な概念から個々の機能にまで直観的にナビゲートできるMountains® 7の新しいトップダウンの論理編成によって、必要な機能を容易に探すことができます。 新しいリボン形式のインターフェース上に自動的に表示される文脈依存のオブジェクトインスペクタによって、表面イメージや解析を微調整できます。簡潔にまとめられたヘルプを表示する拡張ツールチップによって、作業中にヘルプを参照できます。 … そして最も重要な点として、 自国の言語で作業することができます！

解析レポートを迅速・容易に生成

表面データを解析レポートに変える

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