装置設置例 · Genesisシリーズの特長...

本　　社　〒108-8507　東京都港区港南2-13-37�大阪支店　〒532-0003　大阪市淀川区宮原3-5-36�http: / /www.edax.co. jp

●会社名および商品名は各社の商標または登録商標です。�●仕様および外観は、改良のため予告なく変更されることがあります。あらかじめご了承ください。�

TEL（03）3740-5172（直通）�TEL（06）6350-3815（直通）�

GE200208DN Printed in Japan

装置設置例�

●上面図� ●正面図�

800mm

800mm

800mm

1500mm

●電源AC100V�　1kVA以下�

EDXの原理�

Genesis Series

Genesis Series

電子顕微鏡で試料を観察する際に、試料から2次電子（SE）、反射電子（BSE）、特性X線などが発生します。

EDXは、この特性X線を半導体検出器によって検出します。�

特性X線が検出器に入射すると、そのエネルギーに比例した電子・正孔対が、検出素子内で発生します。これらを

マルチチャンネルアナライザーによって各エネルギーごとに振り分け、スペクトラムとして表示します。�

このスペクトラムから、電子顕微鏡で観察している試料の定性分析や、定量分析を多元素同時に行うことが出来ます。�

EDXは、微小領域の元素分析をすばやく行うのに最適なシステムといえます。�

原理・特長�

Ｘ線マッピング�

粒子自動分析�

HPDで�簡単定性分析�

自動多点分析�

超高分解能�半導体検出器�

材料解析の�アシスト�

Energy DispersiveAnalysis of X-ray

●�

2 （ジェネシス）�

�

Genesisシリーズの特長�

Genesisは、究極のパフォーマンスを標準化した、次世代マイクロアナリシスシステムです。�

Genesis SeriesEnergy DispersiveAnalysis of X-ray

●�

3

基本的な定性・定量分析においては、深い技術の蓄積から生まれた�

洗練された各種機能で、さまざまなサンプル、分析条件に対して高精度の分析が実現できます。�

マッピング・ラインスキャンにおいても、従来から定評のある各種機能に加えて、�

さまざまな新機能を追加し、高精度・高精細のマッピング・ラインスキャンを実現しました。�

その他、業界の標準となった粒子自動解析機能や、各種自動分析機能など、�

さまざまなアプリケーションにきめ細かく対応するGenesisシリーズは、�

次世代マイクロアナリシスシステムです。�

シングルウィンドウ�インターフェース�

すべてのアプリケーションを1つのウィンドウに統合�イージーオペレーションにもかかわらず、高度な分析ニーズを完璧に満たしたソフトウェアの完成です。�

新開発デジタルシグナルプロセッサ（DSP）�

アナライザーには、新開発のデジタルシグナルプロセッサ（DSP）を採用し、ハイカウントレート分析と究極のスループットを実現�これにより分析時間を大幅に短縮�

超高分解能半導体検出器�

Mn-Kαにおける検出器分解能132eV以下�

C-Kαにおける検出器分解能60eV以下�

X線マッピング�

X線マップの可能性向上�

従来のマッピングとは異なり、全てのスペクトラムを収集保存する方式のマッピングです。�

データ収集後に、全エリアの積算スペクトルから見落とした元素を発見しその元素のマッピング再生や注目領域

のスペクトラムを抽出し定量分析など、あらゆるデータの解析が可能です。�

●スペクトラルマップ� Spectral Map

Genesis Series

原理・特長�








●�

4

Ag-Lマップ像� Pd-Lマップ像�

Ba-Lマップ像�

Zn-Kマップ像�

全エリアの積算スペクトル�

BSE像�

見落とし元素発見�

スペクトル抽出�

Build Map

●定量マップ�

このスペクトラルマップの最大の特長は定量マップの構築です。保存された全てのスペクトラムを定量計算させる

ので重複ピークを分離したマッピング像が得られます。�

Quant Map

●ラインスキャン�

スペクトラルマップから任意の位置・線幅でラインスキャンを抽出

します。重複ピークを分離した定量ラインスキャンも可能です。�

Line Scan

●ドリフトコレクション�

マッピング中にドリフトが発生した場合、マッピング像にずれが生じることがあります。

任意に設定した頻度で、このずれを自動補正します。�

Drift Correction


●�

5

Ag-L定量マップ像�

リファレンス�

コレクト�

カレント�

ドリフトマップ�

Pd ･Tiの線幅定量ラインスキャン�

Pd-L定量マップ像�

Build QMap


X線分析で粒子クラス分け実現�

BSE像から粒子解析を行い、その時に得られる粒子の座標データを使って、全ての粒子について自動分析を

行います。この結果、各粒子について粒子解析による物理的データとＸ線分析による化学組成の両方を得る

ことができます。�

粒子解析�

Genesis Series

原理・特長�








●�

6

BSE像の輝度グレイスケールに対するしきい値を決定して粒子解析を行います。�

粒子X線分析�

解析結果から得られる粒子のXY座標データを使って、全ての粒子についてX線分析を行います。�

クラス分け�

粒子の形状（平均粒径、面積、アスペクト比など）や元素濃度に注目して、粒子のクラス分けや抽出が可能です。

また、得られたデータから興味のある粒子を検索して、再度、詳細に分析することが可能です。�


●�

7

マルチスタブ自動分析�

複数視野の自動分析はもちろんのこと、複数の試料の自動分析が無人運転可能です。�

1�2�3�4�5�6�7�8�9�10

パイライト�ルチル�Si リッチ�K長石�パイライト小�モナザイト�ジルコン�Fe Al Si�スファレライト+Cu�スファレライト�

マルチフィールドの粒子自動分析結果（5×5）�

定性･定量分析�

HPDで簡単定性分析�

定性分析を行う際、そのX線スペクトラムを得た時の分析条件（加速電圧、X線取出し角、分解能など）によって

計算した理論強度をグラフィック処理し、表示する機能です。�

表示結果と実測スペクトラムを比較することにより、定性分析の精度を上げることができます。�

特に、重複ピークが存在している場合（S-KとMo-Lの重複）は、通常のK-L-Mマーカーによる定性分析だけでは

判断できません。�

イージーオペレーション�

Genesis Series

原理・特長�








●�

8

★ＨＰＤ法によるピーク分離機能�

Genesisの定性定量プログラムは、簡単、迅速

かつ正確に元素の同定を行うことができます。�

メインコントロールパネルの操作は仕事の流れに

そってボタン配置され、上から下へボタンを

順にクリックしていくだけで、操作が完結する

ようになっています。�

Ｓ-ＫマーカーとＳのＨＰＤ� Mo-LマーカーとＭｏのＨＰＤ� ＳとＭｏのＨＰＤ�

2.00 2.50 2.00 2.50 2.00 2.50

生物試料の場合、含水料および表面状態が、計算結果に大きく影響します。そこで、測定試料条件（例えば

凍結乾燥）による含水量を考慮し、P/B法によって濃度計算を行います。�

AEMユーザー用、薄膜試料分析プログラムです。濃度計算は、Cliff-Lorimerの手法を用いたスタンダード法、

理論的Q値を用いるスタンダードレス法が準備されています。�

スタンダードレス法では、6種類のクロスセクションモデルを選択できます。薄膜近似された濃度は、膜厚入力

による吸収補正や、蛍光補正を加えることができます。�

定量分析プログラムには、スタンダードレス法・SEC法・

スタンダード法の3つの方法が使用できます。特に

低真空SEM用定量補正・コーティング補正・加速電圧

補正等の採用により、さまざまな環境下においても、

最高の定量精度が得られます。�

�

真空圧を下げると、試料室内雰囲気の違いによって、

同じ試料でも軽元素のX線強度が大きく変わり、定量

すると定量誤差が生じます。�

そのため、低真空圧における定量分析には、この強度

補正が必須です。�

�

非導電性サンプルを分析する際の、蒸着膜の影響を

補正するプログラムです。一般に、カーボン蒸着した

場合、カーボンによる軽元素のX線吸収や、カーボン

の吸収端効果により、軽元素X線強度に影響を与え

ます。したがって、軽元素を含む非導電性サンプルの

定量計算には不可欠な補正となります。�

★低真空SEM用定量補正プログラム�

★コーティング補正プログラム�

酸化銅の定量値比較�

1 10 50 100

真空圧（Pa）�

X線強度�

加速電圧�

（kV）�

3�

5�

8�

10�

15�

20�

25�

30�

平均�

真値�

78.65�

78.64�

79.86�

81.26

78.82�

78.16�

77.09�

76.67

Ｃｕ-Ｋ�Ｃｕ-Ｌ� Ｏ-Ｋ�

21.18�

21.84�

22.91�

23.33�

21.35�

21.36�

20.14�

18.74�

21.36�

20.12

重量濃度Ｗt％�

ＥＤＡＸＺＡＦ�

78.64�

79.89

Si�Na�O


●�

9

●バルク試料用定性定量分析ソフトウェア� SEM Quant ZAF

●薄膜試料用定性定量分析ソフトウェア� TEM Quant Materials

●生物試料用定性定量分析ソフトウェア� TEM Quant Biological

EDAXZAF・PhiRhoZ・PhiZAFから一種選択�


マルチフィールド自動分析�

分析エリアを画像上で任意に指定し、自動多点分析を行います。この自動分析は、スポット･制限視野･全域の

各モードで実行可能なので、目的に合わせて色々な組み合わせができます。�

さらに、ステージ･カラムがEDAX制御可能な電子顕微鏡と組み合わせて、マルチフィールドの全自動多点分析が

可能になります。�

広域視野（数百μm2～cm2）のマルチフィールドスペクトラルマップを実現しました。�

下図は、16フィールド（4×4）のスペクトラルマップ例です。一度取り込んでしまえば、データ収集後に、定量マップ

の構築や定量線幅ラインスキャンの抽出など、あらゆる解析が可能です。�

Genesis Series

原理・特長�








●�

10

●マルチフィールドスペクトラルマップ�

Ａｌ-Kマップ像� Ｓｉ-Kマップ像�

Mg-Kマップ像� MgAlSi重ね合わせ�

マルチフィールド画像（4×4）上の分析ポイント�

マルチフィールドのスペクトラムマップ（4×4）�

マルチフィールド線幅ラインスキャン�

GaAsとGa0.84Al0.16Asの多層膜で、GaAs層のみの

分析を目的として、Alに対する特性 X線の発生領域を、

加速電圧１５Kvでシミュレートしました。シミュレーション

より、加速電圧１５Kvでは、両側のGa0.84Al0.16As層は

まだ励起されることが予想できます。このように事前に、

試料内での特性X線の空間分布を知ることにより、最適

な分析条件を設定することができます。�

�


●�

11

＊フライトシミュレーションソフトウェア� Flight Simulation

既知試料のスペクトラムをデータベースに登録することに

より、そのデータベースを使って、未知試料スペクトラム

の検索を可能にします。異物分析のソーティングに最適

です。�

�

＊スペクトラムマッチングソフトウェア� Spectrum Match

このソフトウェアは、分析データの処理をオフラインで実行可能にします。�

これにより、装置の前でデータ処理を行う必要がなくなるので、システムの稼働率を大幅に向上させることができます。�

＊リモートオペレーションソフトウェア� Remote

報告書作成ソフトウェアです。オリジナルテンプレートに、分析データを貼付するだけで報告書が作成できます。�

もちろん、テンプレートの新規登録も可能なため、顧客ニーズにあった多目的な報告が行えます。�

●ウルトラレポート��

Ultra Report

イメージ� スペクトル� カスタム�

GaAsGa0.84Al0.16As Ga0.84Al0.16As

1.2μm1.2μm 1.2μm

15Kv

超高分解能半導体検出器（2年間保証）�Genesis Series

原理・特長�








●�

12

●超高分解能半導体検出器�

●半導体検出器の特長�

EDAXは、歴史的に培ったノウハウを活かし、最先端プロセス技術を駆使した究極の検出器を開発しました。特に、

軽元素においては、最高の分解能と感度（P／B比）を実現した検出器を、EDX市場に提供しております。�

EDXの検出器を評価する値として使用されている分解能とは、Mn-Kαピークの半値幅の数値を使いますが、

EDAXの検出器はB,C,N,Oにおいても最高の分解能と感度を実現します。�

●超高純度SiクリスタルとLEAPテクノロジーの開発により、特に軽元素の分解能、P／B比が向上 �

●新開発のデジタルシグナルプロセッサ（DSP）の採用により、Ｘ線スループットが大幅に向上 �

●検出器を保護する安全回路（オートバイアス機構）を採用 �

●CDU、Standard、r-TEMシリーズとあらゆるニーズに応える検出器をラインナップ �

●すべてのメーカーの電子顕微鏡、EPMAに取り付け可能�

130eV 132eV 138eV

0.20 0.40 0.600.20 0.40 0.600.20 0.40 0.60


●�

13

使用時以外は、液体窒素の補給が不要なコンパクト

タイプ検出器です。�

●分　解　能：132eV以下（Mn-Kαの半値幅）�

●液体窒素容量：2.5リットル（約2日間使用可能） �

●冷却時間：約30分 �

●種類／検出元素：Be膜／Na～U�　　　　　　　　SUTW膜／Be～U �※TEM用、EPMA用として5リットルタイプもオプション設定して

います。�

●CDUシリーズ検出器�

液体窒素冷却タイプの標準型検出器です。�


●液体窒素容量：10リットル（約7日間使用可能） �

●冷却時間：約1時間�

●種類／検出元素：Be膜／Na～U�　　　　　　　　SUTW膜／Be～U�

●ALC（液体窒素自動補給装置）との組み合わせに

より、約3週間の連続使用が可能 �

●電子顕微鏡以外にも加速器、オージェ、XRDなどへの

取り付けが可能 �※ウィンドウレス型検出器ECONシリーズも別途用意しています。�

●Standardシリーズ検出器�

r-TEMは、近年のAEMの重要性を考慮した新しい

タイプの検出器です。新設計のエンドキャップを採用し、

Solid Angleを大幅に向上させました。特にX線強度が

得にくいAEMにおいて、薄膜試料の微小部の分析に、

とても有効です。�

また、X線カウントレートモニタリング機能とスイング

アーム機構も装備しているので、分析時には自動的に、

検出器を分析位置にスイングさせます。あらかじめ設定

した分析条件を満たしていない時は、もとの位置まで

自動的に戻ります。分析コンディションや検出器の保護

まで考慮した、高性能な検出器です。 �


●液体窒素容量：5リットル（約4日間使用可能） �

●冷却時間：約1時間�

●種類／検出元素：Be膜／Na～U�　　　　　　　　SUTW膜／Be～U

●r-TEMシリーズ検出器�

材料解析のアシスト�

特性X線の低エネルギー側で、ハイカウントレート・

優れたＰ/Ｂ比・高分解能を実現した波長分散型Ｘ線

スペクトロメータです。�

�

Customer Support

原理・特長�







OIM（結晶方位解析）とEDAX（元素分析）のインテグレーションシステムです。�

これにより、SE像/OIM/EDXデータの一括管理が可能です。�

装置納入後のフォローの一環として、「ユーザーズスクール」を

定期開催しております。スクールに参加いただくことにより、測定

原理・操作方法はもとより応用分野にいたるまで広範囲な要望

にお応えします。�

セールスサポート�

EDAXテクニカルサポートセンターでは、ユーザーからの電話をEDX専任の技師が、随時、直接おとりします。緊急

の場合はもちろんのこと、さまざまな質問に対しても、迅速に対応いたします。�

技術サポート�

常設のアプリケーションラボでは、すべての機器をいつでも運転できる状態で展示し、経験豊富なアプリケーション・

エンジニアが、各種アプリケーションの進め方など、あらゆる相談に応じています。�

アプリケーションサポート�

3000

2000

CPS

1000

00.35 0.4 0.45 0.5 0.55

X線エネルギー（KeV）�

完璧なサービスで最大限の性能を引き出します。�

SE EDS Fe Map OIM

Quartz�

Fe2O3�

Fe3O4�

�

Phase

●LEXS（レックス）シリーズ�

●Pegasus（ペガサス）シリーズ�

N Ka

Ti La O Ka

100.0μm=25 steps 100.0μm=25 steps 100.0μm=25 steps


●�

14

Genesisシリーズシステム構成�

*1：マルチフィールド分析／ステージコントロールは、電子顕微鏡のステージがモータードライブで、EDAX制御可能な場合に限ります。�*2：電子顕微鏡条件のリード／コントロールは、電子顕微鏡がEDAX制御可能な場合に限ります。��＊仕様および型式などは、予告なしに変更することがありますので、ご了承ください。�

Standard/Be �

Standard/SUTW �

CDU/Be �

CDU/SUTW �

ｒTEM/Be �

ｒTEM/SUTW �

EDAM データアクイジションモジュール（タワー型）�

EDAM データアクイジションモジュール（ビルトイン型）�

ハイエンドマシン�

インクジェットプリンター�

バルク試料用定性定量分析�

　定性（オート／マニュアル）�

　　HPD法によるピーク分離�

　定量（スタンダードレス法／SEC法／スタンダード法）�

　　低真空SEM用補正プログラム�

　　コーティングﾞ補正プログラム�

薄膜試料用定性定量分析�

生物試料用定性定量分析�

イメージング �

　電子顕微鏡像の収集･表示（最大８１９２×６４００画素）�

　マルチフィールドイメージ（広域イメージ） *1�

X線マッピング�

　スペクトラルマップ／スロースキャンマップ／高速マップ�

　マルチフィールドマップ（広域マップ） *1 �

定量マップ（ROI / Net強度 / ZAF WT%）�

ラインスキャン（ROI / Net強度 / ZAF WT%）�

ドリフトコレクション�

電子顕微鏡条件のリード/コントロール *2�


　マルチポイント自動分析（9900点／フィールド）�

　マルチフィールド自動分析 *1 �


　マルチフィールド／マルチスタブ粒子自動分析 *1�

ステージコントロール *1�

フライトシミュレーション�

スペクトラムマッチング�

リモートオペレーション�

相分析�

ウルトラリポート�

�

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�

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�

SEM Quant ZAF/�

SEM Quant PhiZAF/�

SEM Quant PhiRhoz�

�

�

�

TEM Quant Materials�

TEM Quant Biological�

Image�

�

�

X-ray Mapping�

�

�

Quant Map�

Line Scan�

Drift Correction�

Column Control�

Multi Point Analysis�

�

�

Particl Analysis�

�

Stage Control�

Flight Simulation�

Spectrum Match�

Remote�

IO Mate�

Ultra Report �

�

主な仕様／機能� 2000�

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��●�

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4000�

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�◆選択／ ●標準／ ●オプション�

検出器�Be膜： Na～U�SUTW膜： Be～U�

�

�

�

アナライザー�

�

PCワークステーション�

プリンター�

分析ソフトウェア�

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