«Исследование дефектности тонких пленок алюминия»
description
Transcript of «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»
![Page 1: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/1.jpg)
«Исследование дефектности тонких пленок алюминия»
Группа: ИУ4-112
Студент: Сухов П.Е.
Руководитель: Миронов Ю.М.
1
![Page 2: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/2.jpg)
Цель работы
Изучение теоретических основ высоковакуумной сканирующей туннельной микроскопии высокого разрешения. Освоение работы сверхвысоковакуумного сканирующего зондового микроскопа JSPM4610A. Получение топографии поверхности исследуемого образца в режиме постоянного туннельного тока.
6
![Page 3: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/3.jpg)
Теоретические основы сканирующей туннельной микроскопии
7
![Page 4: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/4.jpg)
Туннелирование электронов
8
![Page 5: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/5.jpg)
Теория туннелирования электронов
9
![Page 6: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/6.jpg)
Подход Бардина – Терсоффа – Хамана к описанию туннельного тока
10
![Page 7: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/7.jpg)
Диаграмма туннелирования
11
![Page 8: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/8.jpg)
Микроскоп JSPM 4610A
12
![Page 9: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/9.jpg)
Камера обмена образцов в открытом виде
12
![Page 10: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/10.jpg)
Необходимо
После нажатия кнопки «Stop» давление в камере сохраняется в течении 5 секунд, после чего автоматически открывается напускной клапан - и давление в камере повышается до атмосферного. При этом необходимо отследить повышение давления по стрелке датчика и открыть камеру ТОЛЬКО после того как в ней установится атмосферное давление (через 3-5 сек после открытия напускного клапана).
12
![Page 11: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/11.jpg)
Результат
Изображение поверхности образца в режиме СТМ
12
![Page 12: «Исследование дефектности тонких пленок алюминия»](https://reader035.fdocument.pub/reader035/viewer/2022062309/56814021550346895dab7e16/html5/thumbnails/12.jpg)
Выводы
12