2:Quanta 3D 200iSEM( )FIB( ) (EDAX) (EBSD):STEM-

3Quanta 3D 200i

4 Quanta 3D 200i:Quanta 3D 200i , - .Quanta 3D 200i- , -SEM , FIB, EDAX EBSD.

5SEM : 3 30 ( SE ) 5 30 (SE) - 15 30 (SE)

: 200 30 k

30 k - 100 A

6 : :-2 - , 250/- -

3- !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

7Quanta 3D 200i P :

8 1. 2. , 3. 4. ( )5.

9GasflowGas flow ESEM

10 : 1 Torr 20 TorrESEM

11 , :: 379 15 525- : 50 50 Z 25 -10 +70 360 300

12

13 :

LCD- ,

14 -10 +70:Si/SiO20255070

15:

16 SiO2

: 17

18

: Ga 1000 9 30 2 30 0.2 65A 20-10019

:

-

-

-

-

-

20

15 mm WD- .21

Quanta 3D 22

- Quanta 3D 200i23

- : 24

. .25

: 26

: . . .27

() 28

: - , 29

30

:

( 4 Be 92 U )

,

( )

( )31

Quanta 3D 200i 32

: () - 33

, Si, Ca ( ):34

( ):35

: 36

37

OIM

(OIM):38

EBSD Quanta 3D 200i39

EBSD:

~ 70 EBSD

40

-:nl = 2dhkl sinq EBSD:41

:42

43

44

: ~ 50 nm : , ..

, . 45

-

46

:47

:48 : , .

:

, , , EDAX STEM

:49